懸臂式高頻探針卡的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種懸臂式高頻探針卡設(shè)置于檢測(cè)機(jī)以及待測(cè)電子對(duì)象之間，且包含一載板、一針座、二探針及一電路板。其中，該載板具有一第一面及一第二面，且該第一面朝向該檢測(cè)機(jī)，而該第二面則朝向該待測(cè)電子對(duì)象；該針座設(shè)于該載板的第二面上且以絕緣材料制成；所述探針以導(dǎo)電材料制成，且具有相連接一懸臂段與一針尖段，該懸臂段與該針座連接，而該針尖段則用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象；該電路板具可撓性，且設(shè)于該載板上，并與所述探針連接；該電路板上布設(shè)信號(hào)傳輸電路，且信號(hào)傳輸電路一端連接各該探針，另一端則用以與該檢測(cè)裝置連接。
【專(zhuān)利說(shuō)明】懸臂式高頻探針卡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是與探針卡有關(guān)；特別是指一種懸臂式高頻探針卡。

【背景技術(shù)】
[0002]用以檢測(cè)電子產(chǎn)品的各精密電子元件間的電性連接是否確實(shí)的方法，部分是以使用懸臂式探針的探針卡作為一檢測(cè)機(jī)與待測(cè)電子對(duì)象之間的測(cè)試信號(hào)與電源信號(hào)的傳輸接口。
[0003]懸臂式探針卡主要是由相互電性連接的探針與剛性的多層印刷電路板所構(gòu)成，且探針用以點(diǎn)觸待測(cè)電子對(duì)象的待測(cè)部位，多層印刷電路板則與檢測(cè)機(jī)的信號(hào)端子接觸，而多層印刷電路板上為方便電路布局與設(shè)計(jì)，其上通常設(shè)置有許多貫孔，但隨著數(shù)字科技的進(jìn)步，待測(cè)電子對(duì)象的指令周期與每秒的信號(hào)傳輸量日益增大，貫孔于高頻時(shí)將產(chǎn)生貫孔效應(yīng)(Via stub effect)造成整體的電感量提升，而測(cè)試信號(hào)頻率越高，其電感的阻抗值則會(huì)因高頻的信號(hào)通過(guò)而提高，造成高頻的測(cè)試信號(hào)無(wú)法順利通過(guò)，而容易有測(cè)試誤判的情形產(chǎn)生。
[0004]另外，隨著待測(cè)電子對(duì)象的指令周期與每秒的信號(hào)傳輸量亦日益增大，檢測(cè)機(jī)的處理器所產(chǎn)生的測(cè)試信號(hào)的頻率，并無(wú)法滿(mǎn)足待測(cè)電子對(duì)象所需的高頻測(cè)試信號(hào)的信號(hào)傳輸量需求。為解決上述困擾，大多利用待測(cè)電子對(duì)象來(lái)產(chǎn)生所需的高頻測(cè)試信號(hào)，再通過(guò)探針卡傳送回待測(cè)電子對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而達(dá)到高頻測(cè)試的目的。但回饋元件通常設(shè)至于多層印刷電路板的表層(即朝向檢測(cè)機(jī)的面)上，而使得回饋測(cè)試信號(hào)上的電路路徑較長(zhǎng)，不僅使得測(cè)試信號(hào)容易受到多層印刷電路板上的其他線路或元件影響，也會(huì)造成電路路徑的具有較高的微量電感，使得電路的阻抗值會(huì)因?yàn)闇y(cè)試信號(hào)頻率越高而大幅提升，同樣會(huì)造成高頻的測(cè)試信號(hào)無(wú)法順利通過(guò)的情形，而容易有誤判測(cè)試信號(hào)的情形產(chǎn)生。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的用于提供一種懸臂式高頻探針卡，可有效地傳輸高頻測(cè)試信號(hào)。
[0006]緣以達(dá)成上述目的，本發(fā)明所提供懸臂式高頻探針卡用以設(shè)置于一檢測(cè)機(jī)以及一待測(cè)電子對(duì)象之間，且包含有一載板、一針座、二探針以及一電傳輸件。其中，該載板具有一第一面以及一第二面，且該第一面朝向該檢測(cè)機(jī)，而該第二面則朝向該待測(cè)電子對(duì)象；該針座設(shè)于該載板的第二面上，且以絕緣材料制成；所述探針以導(dǎo)電材料制成，且各該探針具有相連接一懸臂段與一針尖段，該懸臂段與該針座連接，而該針尖段則用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象的待測(cè)部位；該電傳輸件具可撓性，并與所述探針的懸臂段連接；另外，該電傳輸件具有多個(gè)信號(hào)傳輸電路，且各該信號(hào)傳輸電路一端電性連接各該探針，另一端則用以與該檢測(cè)裝置電性連接。
[0007]依據(jù)上述構(gòu)思，該電傳輸件為軟性電路板(Flexible Printed Circuit board,FPC)，且該軟性電路板上布設(shè)有所述多個(gè)信號(hào)傳輸電路。
[0008]依據(jù)上述構(gòu)思，該電傳輸件包含有多個(gè)同軸電纜，且所述同軸電纜的中心導(dǎo)線各別形成各該信號(hào)傳輸電路。
[0009]依據(jù)上述構(gòu)思，該載板具有一穿孔，而該電傳輸件穿過(guò)該穿孔，使該信號(hào)傳輸電路一端位于該第一面的所在側(cè)而與該檢測(cè)裝置連接，另一側(cè)則位于該第二面的所在側(cè)而連接所述探針的懸臂段。
[0010]依據(jù)上述構(gòu)思，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部，而該第二區(qū)段則設(shè)置于該針座中；該電傳輸件則與該第一區(qū)段連接。
[0011]依據(jù)上述構(gòu)思，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部，而該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中，且與該電傳輸件連接。
[0012]依據(jù)上述構(gòu)思，該針座具有一第一側(cè)面以及一第二側(cè)面，且該第一側(cè)面背向該第二側(cè)面；各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段、一第二區(qū)段以及一第三區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座的第一側(cè)面處；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中；該第三區(qū)段外露于該針座的第二側(cè)面處，且與該電傳輸件連接。
[0013]依據(jù)上述構(gòu)思，本發(fā)明更提供有另一懸臂式高頻探針卡用以設(shè)置于一待測(cè)電子對(duì)象上方，且包含有一載板、一針座、二探針、一電傳輸件以及一回饋元件。其中，該針座設(shè)于該載板上，且以絕緣材料制成；所述探針以導(dǎo)電材料制成；各該探針具有相連接一懸臂段與一針尖段，該懸臂段與該針座連接，而該針尖段則用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象的待測(cè)部位；該電傳輸件具有多個(gè)信號(hào)傳輸電路電性連接各該探針；該回饋元件設(shè)于該電路板上，且電性連接所述信號(hào)傳輸電路；由此，當(dāng)該待測(cè)電子對(duì)象產(chǎn)生高頻的檢測(cè)信號(hào)而傳導(dǎo)至其中一該探針時(shí)，高頻的檢測(cè)信號(hào)經(jīng)過(guò)該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路以及該回饋元件而傳導(dǎo)至另一該探針，進(jìn)而回流至該待測(cè)電子對(duì)象。
[0014]依據(jù)上述構(gòu)思，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，并外露于該針座外部，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接；該第二區(qū)段則設(shè)置于該針座中。
[0015]依據(jù)上述構(gòu)思，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接。
[0016]依據(jù)上述構(gòu)思，該針座具有一第一側(cè)面以及一第二側(cè)面，且該第一側(cè)面背向該第二側(cè)面；各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段、一第二區(qū)段以及一第三區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座的第一側(cè)面處；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中；該第三區(qū)段外露于該針座的第二側(cè)面處，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接。
[0017]依據(jù)上述構(gòu)思，該電傳輸件與該回饋元件埋設(shè)于該針座中。
[0018]依據(jù)上述構(gòu)思，該電傳輸件是與該載板連接。
[0019]依據(jù)上述構(gòu)思，還包含有二電感性元件，且所述電感性元件一端分別電性連接所述探針的懸臂段，而另一端則電性連接至一檢測(cè)機(jī)；當(dāng)該檢測(cè)機(jī)產(chǎn)生低頻或直流的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，通過(guò)其中一該電感性元件而傳導(dǎo)至其中一該探針，而輸出至該待測(cè)物，而后，由另一該探針接收并傳導(dǎo)至另外一該電感性元件，進(jìn)而回流至該檢測(cè)機(jī)。
[0020]依據(jù)上述構(gòu)思,該電感性元件為扼流圈(choke)。
[0021 ] 如此一來(lái)，通過(guò)上述的設(shè)計(jì)，便可有效地傳輸高頻測(cè)試信號(hào)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]為能更清楚地說(shuō)明本發(fā)明，以下結(jié)合較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后，其中:
[0023]圖1是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0024]圖2是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖3是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0026]圖4是本發(fā)明第四較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0027]圖5是本發(fā)明第五較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖6是本發(fā)明第五較佳實(shí)施例的波型衰減圖。
[0029]圖7是本發(fā)明第六較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖8是本發(fā)明第七較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖9是本發(fā)明第八較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0032]圖10是本發(fā)明第九較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
[0033]圖11是本發(fā)明第十較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。

【具體實(shí)施方式】
[0034]請(qǐng)參圖1所示，本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的懸臂式高頻探針卡是設(shè)置于一檢測(cè)機(jī)100以及一待測(cè)電子對(duì)象200之間，用以將該檢測(cè)機(jī)100的檢測(cè)信號(hào)傳輸予該待測(cè)電子對(duì)象200。該懸臂式高頻探針卡包含有一載板10、一針座20、二探針30以及一電傳輸件40，其中:
[0035]該載板10為一剛性的印刷電路板,且布設(shè)有電路布局(圖未)。該載板10具有一第一面1a以及一第二面1b,該第一面1a朝向該檢測(cè)機(jī)100,而該第二面1b則朝向該待測(cè)電子對(duì)象200，且該載板10上具有多個(gè)貫穿該第一面1a與該第二面1b的穿孔12。
[0036]該針座20是設(shè)于該載板10的第二面1b上，且位于所述穿孔12處附近。另外，該針座20是以環(huán)氧樹(shù)脂(Epoxy)制成而具有絕緣及吸震的特性。當(dāng)然，在其他實(shí)施態(tài)樣中，亦可選用其他絕緣材料。
[0037]該二探針30以導(dǎo)電材料制成，且各該探針30具有相連接一針尖段31與一懸臂段32，該針尖段31用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象200的待測(cè)部位(圖未示)。該懸臂段32具有相連接的一第一區(qū)段321及一第二區(qū)段322，該第一區(qū)段321是與該針尖段31連接，且外露于該針座20外部，而該第二區(qū)段322則埋設(shè)于該針座20中。
[0038]該電傳輸件40具可撓性,而于本實(shí)施例中，該電傳輸件40是選用單層軟性電傳輸件(Flexible Printed Circuit, FPC)制成，并布設(shè)有多個(gè)信號(hào)傳輸電路(圖未示)，且設(shè)于該載板10上并穿過(guò)該穿孔12，使該電傳輸件40上的信號(hào)傳輸電路的其中一端位于該第一面1a所在側(cè)，以供與該檢測(cè)裝置100的檢測(cè)端子110電性連接。而所述信號(hào)傳輸電路的另一側(cè)則位于該第二面1b的所在側(cè)，并埋設(shè)于該針座20中而各別電性連接各該懸臂段32的第二區(qū)段322。
[0039]如此一來(lái)，當(dāng)該檢測(cè)機(jī)100自其檢測(cè)端子110輸出測(cè)試信號(hào)時(shí)，便可通過(guò)該電傳輸件40上的信號(hào)傳輸電路及其中一該探針30傳輸至該待測(cè)電子對(duì)象200的待測(cè)部位，而后，測(cè)試信號(hào)便再通過(guò)另一探針30以及信號(hào)傳輸電路回傳至該檢測(cè)機(jī)100而達(dá)到檢測(cè)的目的。由上述傳輸路徑可得知，探針30與測(cè)試機(jī)100之間僅通過(guò)該電傳輸件40的信號(hào)傳輸電路連接，而不會(huì)有被該載板10上的其他元件或線路影響的疑慮。另外，由于該電傳輸件40上僅單純?cè)O(shè)有信號(hào)傳輸電路而已，不需設(shè)計(jì)貫孔來(lái)布設(shè)其他額外的電路結(jié)構(gòu)，而使得信號(hào)傳輸時(shí)不會(huì)有貫孔效應(yīng)(Via stub effect)的產(chǎn)生，使得高頻的測(cè)試信號(hào)可順利地通過(guò)，而不會(huì)有檢測(cè)誤判的情形產(chǎn)生。
[0040]另外，除前述第一實(shí)施例外，本發(fā)明亦可如圖2或圖3所示的第二及第三較佳實(shí)施例般，將電傳輸件41、42連接于探針30的第一區(qū)段321上，亦可達(dá)到相同的目的。再者，除上述結(jié)構(gòu)外，請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明第四較佳實(shí)施例，其針座20定義有相背的一第一側(cè)面20a以及一第二側(cè)面20b，而各探針50懸臂段52的長(zhǎng)度較長(zhǎng)而區(qū)分為一第一區(qū)段521、一第二區(qū)段522以及一第三區(qū)段523，其中該第一區(qū)段521與針尖段51連接，且外露于該針座20的第一側(cè)面20a處；該第二區(qū)段522則埋設(shè)于該針座20中；該第三區(qū)段523外露于該針座20的第二側(cè)面20b處，且與電傳輸件43連接，而此種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)除可達(dá)前述目的與優(yōu)點(diǎn)外，亦可使探針得到較好的支撐效果。
[0041]此外，上述的設(shè)計(jì)理念除用于傳輸該檢測(cè)機(jī)100的信號(hào)外，亦適用于該待測(cè)電子對(duì)象200的回饋(loopback)檢測(cè)。請(qǐng)參閱圖5,本發(fā)明第五較佳實(shí)施例包含有一載板10、一針座20、二探針50、一電傳輸件60以及一回饋元件70，而該載板10、該針座20與該二探針50與前述實(shí)施例相同，于此便不再重述。而本實(shí)施例的電傳輸件60同樣是以單層軟性電傳輸件制成，不同之處是埋設(shè)于該針座20中而與該二探針50的第二區(qū)段522連接，且其上的信號(hào)傳輸電路同樣電性連接該二探針50。該回饋元件70具有于高頻呈導(dǎo)通的特性，于本實(shí)施例中為一電容，但不以此為限，亦可是其他可于高頻導(dǎo)通的元件代替。該回饋元件70焊設(shè)于該電傳輸件60上而與該電傳輸件60上的信號(hào)傳輸電路電性連接，且同樣埋設(shè)于該針座20中，以與該電傳輸件60同時(shí)達(dá)到穩(wěn)固固定的效果。
[0042]如此一來(lái)，當(dāng)該待測(cè)電子對(duì)象200輸出的高頻測(cè)試信號(hào)(如12Gbps)傳輸至其中一探針50后，便通過(guò)該電傳輸件60上的信號(hào)傳輸電路與該回饋元件70傳導(dǎo)至另一探針50，以回傳至該待測(cè)電子對(duì)象200達(dá)到自我檢測(cè)的目的。通過(guò)上述的設(shè)計(jì)，除可如前述設(shè)計(jì)避免干擾、不會(huì)有貫孔效應(yīng)產(chǎn)生外，更可有效地縮短信號(hào)回饋時(shí)的傳導(dǎo)路徑，進(jìn)而有效地縮減路徑上的微量電阻與電感，并由圖6可看出本發(fā)明的設(shè)計(jì)可有效地降低高頻的測(cè)試信號(hào)傳輸時(shí)的損耗，進(jìn)而使高頻的測(cè)試信號(hào)能順利地回饋回該待測(cè)電子對(duì)象200，而不會(huì)有信號(hào)誤判的情形產(chǎn)生。
[0043]除上述第五較佳實(shí)施例的設(shè)計(jì)外，亦可如圖7或圖8所示的第六及第七較佳實(shí)施例，是直接將電傳輸件61、62與回饋元件71、72設(shè)于探針50的第一區(qū)段521或是第三區(qū)段523上；或是如圖9及圖10所示的第八及第九較佳實(shí)施例，將電傳輸件63、64與回饋元件73,74承靠于載板10上，皆能達(dá)到前述第五實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)與目的。
[0044]此外，請(qǐng)參閱圖11，于上述第五實(shí)施例的架構(gòu)下，更可增設(shè)二電感性元件80設(shè)置于該載板10上，且該二電感性元件80的一端分別與該二探針50電性連接，而另一端則用以供與該檢測(cè)機(jī)100的檢測(cè)端子110電性連接。而于本實(shí)施例中，該電感性元件為一扼流圈(choke),但亦可使用線圈(coil)、繞組(Winding)或磁珠(Bead)等具有電感特性的元件代替，但使用扼流圈的好處在于其體積較小，而可輕易地設(shè)于該載板10上，亦不會(huì)增加整體的體積，而可有效地使整體結(jié)構(gòu)達(dá)到薄型化的目的。
[0045]如此一來(lái)，當(dāng)該檢測(cè)機(jī)100的檢測(cè)端子110輸出低頻或直流的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，該二電感性元件80是呈短路或低阻抗的狀態(tài)，而該回饋元件70則呈現(xiàn)斷路或是高阻抗的狀態(tài)，使得該檢測(cè)端子110輸出的低頻或直流檢測(cè)信號(hào)將通過(guò)其中一該電感性元件80而傳導(dǎo)至其中一該探針50并輸出至該待測(cè)物200，而后，由另一該探針50接收并傳導(dǎo)待測(cè)物200回傳的低頻或直流檢測(cè)信號(hào)，并傳導(dǎo)至另外一該電感性元件80，進(jìn)而回流至該檢測(cè)機(jī)100。
[0046]當(dāng)然，上述電感性元件80的設(shè)計(jì)，同樣適用于上述的第六至第九較佳實(shí)施例的架構(gòu)，于此容不再贅述。值得一提的是，在上述各實(shí)施例中所述的電傳輸件40-43、60-64除使用軟性電路板外，在其他實(shí)際實(shí)施中，亦可選用多個(gè)條同軸電纜做為電傳輸件，并將同軸電纜的中心導(dǎo)線做為信號(hào)傳輸電路，亦可達(dá)到相同的目的。
[0047]綜上所述可得知，通過(guò)上述的設(shè)計(jì)，不管是檢測(cè)機(jī)100的檢測(cè)信號(hào)傳輸、或是待測(cè)電子裝置200的自我回饋檢測(cè)，皆能可有效地達(dá)到避免其他線路或元件的干擾，亦不會(huì)有貫孔效應(yīng)產(chǎn)生，且更能有效地降低線路微量電感，而能有效地降低高頻的測(cè)試信號(hào)傳輸時(shí)損耗，而不會(huì)在高頻檢測(cè)時(shí)有信號(hào)誤判的情形產(chǎn)生。
[0048]另外，以上所述僅為本發(fā)明較佳可行實(shí)施例而已，凡是應(yīng)用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所為的等效變化，理應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種懸臂式高頻探針卡，用以設(shè)置于一檢測(cè)機(jī)以及一待測(cè)電子對(duì)象之間，且包含有: 一載板，具有一第一面以及一第二面，且該第一面朝向該檢測(cè)機(jī)，而該第二面則朝向該待測(cè)電子對(duì)象； 一針座，設(shè)于該載板的第二面上，且以絕緣材料制成； 二探針，以導(dǎo)電材料制成，各該探針具有相連接一懸臂段與一針尖段，該懸臂段與該針座連接，而該針尖段則用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象的待測(cè)部位；以及 一電傳輸件，具可撓性，且設(shè)于該載板上，并與所述探針的懸臂段連接；另外，該電傳輸件具有多個(gè)信號(hào)傳輸電路，且各該信號(hào)傳輸電路一端電性連接各該探針，另一端則用以與該檢測(cè)裝置電性連接。
2.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡,其中，該電傳輸件為軟性電路板,且該軟性電路板上布設(shè)有所述多個(gè)信號(hào)傳輸電路。
3.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡,其中，該電傳輸件包含有多個(gè)同軸電纜,且所述同軸電纜的中心導(dǎo)線各別形成各該信號(hào)傳輸電路。
4.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡，其中，該載板具有一穿孔，而該電傳輸件穿過(guò)該穿孔，使該信號(hào)傳輸電路一端位于該第一面的所在側(cè)而與該檢測(cè)裝置連接，另一側(cè)則位于該第二面的所在側(cè)而連接所述探針的懸臂段。
5.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡，其中，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部，而該第二區(qū)段則設(shè)置于該針座中；該電傳輸件則與該第一區(qū)段連接。
6.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡，其中，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部，而該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中，且與該電傳輸件連接。
7.如權(quán)利要求1所述懸臂式高頻探針卡，其中，該針座具有一第一側(cè)面以及一第二側(cè)面，且該第一側(cè)面背向該第二側(cè)面；各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段、一第二區(qū)段以及一第三區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座的第一側(cè)面處；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中；該第三區(qū)段外露于該針座的第二側(cè)面處，且與該電傳輸件連接。
8.—種懸臂式高頻探針卡，用以設(shè)置于一待測(cè)電子對(duì)象上方，且包含有: 一載板; 一針座，設(shè)于該載板上，且以絕緣材料制成； 二探針，以導(dǎo)電材料制成；各該探針具有相連接一懸臂段與一針尖段，該懸臂段與該針座連接，而該針尖段則用以點(diǎn)觸該待測(cè)電子對(duì)象的待測(cè)部位； 一電傳輸件，具有多個(gè)信號(hào)傳輸電路電性連接各該探針；以及 一回饋元件，電性連接所述信號(hào)傳輸電路； 由此，當(dāng)該待測(cè)電子對(duì)象產(chǎn)生高頻的檢測(cè)信號(hào)而傳導(dǎo)至其中一該探針時(shí)，高頻的檢測(cè)信號(hào)經(jīng)過(guò)該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路以及該回饋元件而傳導(dǎo)至另一該探針，進(jìn)而回流至該待測(cè)電子對(duì)象。
9.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，該電傳輸件為軟性電路板，且該軟性電路板上布設(shè)有所述多個(gè)信號(hào)傳輸電路。
10.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，該電傳輸件包含有多個(gè)同軸電纜，且所述同軸電纜的中心導(dǎo)線各別形成各該信號(hào)傳輸電路。
11.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，并外露于該針座外部，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接；該第二區(qū)段則設(shè)置于該針座中。
12.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段及一第二區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座外部；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接。
13.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，該針座具有一第一側(cè)面以及一第二側(cè)面，且該第一側(cè)面背向該第二側(cè)面；各該探針的懸臂段具有相連接的一第一區(qū)段、一第二區(qū)段以及一第三區(qū)段，該第一區(qū)段與該針尖段連接，且外露于該針座的第一側(cè)面處；該第二區(qū)段則埋設(shè)于該針座中；該第三區(qū)段外露于該針座的第二側(cè)面處，且與該電傳輸件的信號(hào)傳輸電路連接。
14.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，該電傳輸件與該回饋元件埋設(shè)于該針座中。
15.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡，其中，該電傳輸件與該載板連接。
16.如權(quán)利要求8所述懸臂式高頻探針卡,還包含有二電感性元件,且所述電感性元件一端分別電性連接所述探針的懸臂段，而另一端則電性連接至一檢測(cè)機(jī)；當(dāng)該檢測(cè)機(jī)產(chǎn)生低頻或直流的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，通過(guò)其中一該電感性元件而傳導(dǎo)至其中一該探針，而輸出至該待測(cè)物，而后，由另一該探針接收并傳導(dǎo)至另外一該電感性元件，進(jìn)而回流至該檢測(cè)機(jī)。
17.如權(quán)利要求16所述懸臂式高頻探針卡，其中，該電感性元件為扼流圈。
【文檔編號(hào)】G01R1/067GK104297534SQ201410335151
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年7月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月15日
【發(fā)明者】顧偉正, 賴(lài)俊良, 黃俊中, 洪敬智, 吳勇楠, 何志浩 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司