檢查裝置、檢查裝置的校正方法及檢查方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種檢查裝置、檢查裝置的校正方法及檢查方法。在傳感器面板等檢查對象物的檢查裝置中，可以實現(xiàn)消除因線纜的寄生電容等造成的誤差的校正，并且可以以良好的精度測量傳感器面板的微小的靜電電容。在卸除了傳感器面板的狀態(tài)下，傳感器面板檢查裝置(1)的校正部(46)對多個第二線纜(37)中的至少任一個供給信號部(11)的交流信號，并且調(diào)整在校正信號部(42)中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓及相位，以便使與第一線纜(36)電連接的電流檢測部(41)的電流計的輸出為零。若電流計的輸出為零，則存儲當時的上述交流電源的電壓及相位。在檢查傳感器面板時，基于所存儲的電壓及相位，來使校正信號部(42)的交流電源產(chǎn)生交流信號。
【專利說明】檢查裝置、檢查裝置的校正方法及檢查方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明主要涉及以靜電電容式的傳感器面板等為檢查的對象的檢查裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為檢測觸碰位置的觸控面板裝置的一種，公知有所謂的靜電電容式觸控面板裝置。靜電電容式觸控面板裝置的傳感器面板具有在例如用玻璃等形成的透明基板上設(shè)置有第一圖案透明導(dǎo)電層和第二圖案透明導(dǎo)電層的結(jié)構(gòu)。上述的圖案透明導(dǎo)電層例如通過使用氧化銦錫(Indium Tin Oxide, ITO)成膜而形成。
[0003]兩個圖案透明導(dǎo)電層相互垂直交叉地配置，分別用作電極。另外，以下有時稱第一圖案透明導(dǎo)電層及第二圖案透明導(dǎo)電層為第一電極及第二電極。第一電極與第二電極被配置成隔著傳感器面板的厚度方向的間隙而對置。
[0004]由于以上的結(jié)構(gòu)，在第一電極與第二電極的交叉部分形成一種電容器，上述的電容器的靜電電容會因?qū)щ娦晕矬w(例如人體)接近或者接觸而變化。觸控面板裝置可以通過檢測上述的靜電電容的變化來檢測與傳感器面板觸碰的位置。上述方式稱為所謂的投影型靜電電容方式，在可以高精度地檢測觸碰位置的方面相當優(yōu)異。
[0005]另外，對于觸控面板裝置的制造者而言，為了避免不良品的混入而確保產(chǎn)品品質(zhì)而對傳感器面板進行檢查是極為重要的。
[0006]作為上述檢查措施之一，以往，使由針狀的導(dǎo)通探針所構(gòu)成的接觸頭與沿縱橫方向配置的各電極、與其連接的布線直接接觸，來檢查各電極(布線)是否導(dǎo)通和與相鄰的電極(布線)是否短路。
[0007]然而，對于這樣使接觸頭直接接觸來進行檢查的方法，由ITO膜構(gòu)成的上述的電極與接觸頭間無穩(wěn)定性，會由于氧化膜的接觸電阻的不穩(wěn)定性而無法正確地測量電特性。另外，由于接觸頭與檢查對象的電極等直接接觸，因此存在會形成刮痕而使品質(zhì)降低的問題。
[0008]另一方面，如專利文獻I所公開的那樣，為了精度良好地對組裝而成的觸控面板上的規(guī)定的觸碰輸入位置進行檢測，提出了檢查觸控面板整體的電阻值等電特性的方法。
[0009]另外，除專利文獻I公開的內(nèi)容以外，還提出了下述方案，即一邊向各個電極供給檢查信號，一邊使接觸頭與電極交叉部分接觸，基于接觸頭的檢測信號來檢查電極等的優(yōu)劣。
[0010](現(xiàn)有技術(shù)文獻)
[0011](專利文獻)
[0012]專利文獻1:日本特開2005-274225號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013](發(fā)明所要解決的問題)
[0014]然而，在這樣的檢查方法中，需要使接觸頭與沿縱橫方向配置的所有的電極的交叉部分接觸來進行檢查。因此，若電極的數(shù)量增加，則移動接觸頭所需的時間變長，檢查時間會顯著地增加。
[0015]另外，雖然在檢查的過程中考慮測量第一電極與第二電極的交叉部分處的靜電電容，但上述的靜電電容至多亦不過1pF左右，與此相對，檢查裝置的電路所含的非意圖的電容成分(所謂的寄生電容)為10pF左右，這種寄生電容會成為降低測量精度的重大原因。因此，從提高檢查的精度的觀點出發(fā)，要求恰當?shù)嘏懦鲜黾纳娙莸挠绊憽?br> [0016]本發(fā)明鑒于以上的情況而提出，其目的在于，在傳感器面板等檢查對象物的檢查裝置中，可以實現(xiàn)消除因線纜的寄生電容等造成的誤差的校正(calibrat1n，校準，標定)，并且可以以良好的精度對傳感器面板的微小的靜電電容進行測量。
[0017](解決問題的措施及效果)
[0018]本發(fā)明要解決的問題如上，接下來，對用以解決上述的課題的措施及其效果進行說明。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的第一觀點，提供一種檢查對象物的檢查裝置，上述檢查對象物呈面板狀，并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉。即，上述檢查裝置構(gòu)成為具備第一布線體、第二布線體、信號部、信號供給切換部、電流檢測部、檢測切換部以及校正信號部。上述第一布線體具備多個，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接。上述第二布線體具備多個，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接。上述信號部是供給交流信號的交流電源。上述信號供給切換部能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換。上述電流檢測部具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計。上述檢測切換部能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換。上述校正信號部具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源。上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變。
[0020]據(jù)此，可以實現(xiàn)消除因線纜的寄生電容等造成的誤差的校正。另外，由于控制校正信號部的交流電源，以便消除因寄生電容等造成的電流，因此電流檢測部的電流計可以檢測基于第一導(dǎo)電體與第二導(dǎo)電體的交叉部分的靜電電容的電流本身。因此，通過恰當?shù)卮_定電流計的量程，可以以良好的精度來測量傳感器面板的微小的靜電電容。
[0021]在上述檢查裝置中，優(yōu)選具有以下的結(jié)構(gòu)。即，上述檢查裝置具備至少控制上述信號部、上述電流檢測部以及上述校正信號部的校正部。上述校正部在進行卸除了上述檢查對象物的校正時，對上述第二布線體的至少任一個供給上述信號部的交流信號，并調(diào)整上述校正信號部中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓以及相位，以便使與上述第一布線體電連接的上述電流檢測部的電流計的輸出為零。另外，上述校正部獲取上述電流計的輸出為零時賦予給上述校正信號部的交流電源的電壓及相位的參數(shù)即校正參數(shù)并存儲。另外，上述校正部在進行上述檢查對象物的檢查時，基于所存儲的上述校正參數(shù)來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
[0022]據(jù)此，可以自動地確定用于消除因寄生電容造成的電流的、校正信號部的交流電源的電壓及相位。因此，可以減輕校正所需的工夫。
[0023]在上述檢查裝置中，優(yōu)選具有以下的結(jié)構(gòu)。即，上述校正部在進行上述校正時，切換上述信號供給切換部的狀態(tài)，以便對作為上述信號部的信號的供給對象的上述第二布線體進行變更，并且將上述信號供給切換部的狀態(tài)與上述校正參數(shù)建立對應(yīng)而存儲。上述校正部在進行上述檢查對象物的檢查時，基于與上述信號供給切換部的狀態(tài)對應(yīng)地存儲的上述校正參數(shù)，來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
[0024]據(jù)此，即便寄生電容等對應(yīng)于哪個第二布線體作為信號供給對象而變化，也可以進行與其對應(yīng)的校正，因此可以良好地維持測量精度。
[0025]優(yōu)選地，在上述檢查裝置中，上述校正部在上述校正時控制上述檢測切換部，以便將多個上述第一布線體和與其對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計同時連接。
[0026]據(jù)此，可以同時并行地進行涉及多個電流計的校正操作，因此可以有效地縮短校正所需的時間。
[0027]在上述檢查裝置中，優(yōu)選具有以下的結(jié)構(gòu)。即，上述檢查裝置具備至少控制上述信號部、上述電流檢測部、上述信號供給切換部以及上述檢測切換部的檢查部。上述檢查部控制上述信號供給切換部，以便向從多個上述第二導(dǎo)電體中的選擇出的一個供給上述信號部的交流信號，并且控制上述檢測切換部，以便將從多個上述第一導(dǎo)電體中選擇出的一個與對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計進行連接。上述檢查部在將從選擇出的第二導(dǎo)電體中作為供給上述信號部的交流信號的端部的供給端開始經(jīng)由選擇出的第二導(dǎo)電體與選擇出的第一導(dǎo)電體的交叉部分到達選擇出的第一導(dǎo)電體中作為連接上述電流計的一側(cè)的端部的計測端的電路作為形成電路時，利用上述電流計檢測電流，來計測包含上述形成電路的電阻即電路電阻和流過上述形成電路的電流的相位的偏移即電流相位偏移中的任一個的形成電路計測值。另外，上述檢查部基于所獲得的上述形成電路計測值，來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常。
[0028]據(jù)此，可以通過獲得形成電路計測值來判定第一導(dǎo)電體及第二導(dǎo)電體是否均一地形成。另外，可以實現(xiàn)不使用接觸頭等的非接觸的檢查，因此可以大幅地縮短操作時間。
[0029]優(yōu)選地，在上述檢查裝置中，上述檢查部對上述形成電路計測值進行計測，并且對選擇出的上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的交叉部分的靜電電容進行測量。
[0030]據(jù)此，可以有效地運用檢查時間來進行檢查，因此可以進一步縮短操作時間。
[0031 ] 優(yōu)選地，在上述檢查裝置中，上述檢查部針對以選擇出的第一導(dǎo)電體為共用，伴隨著使選擇出的第二導(dǎo)電體從上述第一導(dǎo)電體的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依次改變，上述形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常。
[0032]另外，優(yōu)選地，在上述檢查裝置中，上述檢查部針對以選擇出的第二導(dǎo)電體為共用，伴隨著使選擇出的第一導(dǎo)電體從上述第二導(dǎo)電體的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依序變化，上述形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常。
[0033]據(jù)此，可以合理地判定第一導(dǎo)電體及第二導(dǎo)電體的形狀是否均一。
[0034]在上述檢查裝置中，也可以具有以下的結(jié)構(gòu)。即，上述檢查部通過判定第一形成電路和第二形成電路之間上述電路電阻或電流相位偏移是否相等，來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常，上述第一形成電路是分別選擇上述第一導(dǎo)電體與上述第二導(dǎo)電體而構(gòu)成的上述形成電路，上述第二形成電路是通過以針對由上述第一形成電路選擇出的第一導(dǎo)電體向遠離上述第二導(dǎo)電體的上述供給端的方向挪動一個的方式選擇上述第一導(dǎo)電體、并且以針對由上述第一形成電路選擇出的第二導(dǎo)電體向接近上述第一導(dǎo)電體的上述計測端的方向挪動一個的方式選擇上述第二導(dǎo)電體而構(gòu)成的的上述形成電路。
[0035]據(jù)此，也可以合理地判定第一導(dǎo)電體及第二導(dǎo)電體的形狀是否均一。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的第二觀點，可以提供一種如下的檢查對象物的檢查裝置中的校正方法，上述檢查對象物呈面板狀，并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉。S卩，上述檢查裝置具備第一布線體、第二布線體、信號部、信號供給切換部、電流檢測部、檢測切換部以及校正信號部。上述第一布線體具備多個，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接。上述第二布線體具備多個，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接。上述信號部是供給交流信號的交流電源。上述信號供給切換部能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換。上述電流檢測部具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計。上述檢測切換部能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換。上述校正信號部具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源。上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變。另外，上述校正方法包含信號條件調(diào)整步驟、信號條件存儲步驟以及校正信號產(chǎn)生步驟。在上述信號條件調(diào)整步驟中，在卸除了上述檢查對象物的狀態(tài)下，向上述第二布線體的至少任一個供給上述信號部的交流信號，并且調(diào)整上述校正信號部中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓及相位，以便使與上述第一布線體電連接的上述電流檢測部的電流計的輸出為零。在上述信號條件存儲步驟中，獲取上述電流計的輸出為零時賦予給上述校正信號部的交流電源的電壓及相位的參數(shù)即校正參數(shù)并存儲。在上述校正信號產(chǎn)生步驟中，在進行上述檢查對象物的檢查時，基于所存儲的上述校正參數(shù)來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
[0037]據(jù)此，可以實現(xiàn)消除因線纜的寄生電容等造成的誤差的校正。另外，控制校正信號部的交流電源，以便消除因寄生電容等造成的電流，因此電流檢測部的電流計可以檢測基于第一導(dǎo)電體與第二導(dǎo)電體的交叉部分的靜電電容的電流本身。因此，可以通過恰當?shù)卮_定電流計的量程，來以良好的精度對傳感器面板的微小的靜電電容進行測量。此外，可以自動地確定用以消除因寄生電容造成的電流的校正信號部的交流電源的電壓及相位，因此可以減輕校正所需的功夫。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的第三觀點，可以提供一種如下的檢查對象物的檢查裝置中的檢查方法，上述檢查對象物呈面板狀，并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉。S卩，上述檢查裝置具備第一布線體、第二布線體、信號部、信號供給切換部、電流檢測部、檢測切換部以及校正信號部。上述第一布線體具備多個，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接。上述第二布線體具備多個，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接。上述信號部是供給交流信號的交流電源。上述信號供給切換部能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換。上述電流檢測部具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計。上述檢測切換部能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換。上述校正信號部具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源。上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變。另外，上述檢查方法包含切換步驟、形成電路計測值獲取步驟、以及判定步驟。在上述切換步驟中，控制上述信號供給切換部，以便向從多個上述第二導(dǎo)電體中的選擇出的一個供給上述信號部的交流信號，并且控制上述檢測切換部，以便將從多個上述第一導(dǎo)電體中選擇出的一個與對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計進行連接。在上述形成電路計測值獲取步驟中，當將從選擇出的第二導(dǎo)電體中作為供給上述信號部的交流信號的端部的供給端開始經(jīng)由選擇出的第二導(dǎo)電體與選擇出的第一導(dǎo)電體的交叉部分到達選擇出的第一導(dǎo)電體中作為連接上述電流計的一側(cè)的端部的計測端的電路作為形成電路時，通過利用上述電流計檢測電流，來計測包含上述形成電路的電阻即電路電阻和流過上述形成電路的電流的相位的偏移即電流相位偏移中的任一個的形成電路計測值。在上述判定步驟中，基于所獲得的上述形成電路計測值，來判定上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體是否存在異堂巾O
[0039]據(jù)此，可以通過獲得形成電路計測值，來判定第一導(dǎo)電體及第二導(dǎo)電體是否均一地形成。另外，可以實現(xiàn)不使用接觸頭等的非接觸的檢查，因此可以大幅地縮短操作時間。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0040]圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的傳感器面板檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0041]圖2是表示在卸除傳感器面板的狀態(tài)下進行傳感器面板檢查裝置的校正的情形的圖。
[0042]圖3是表示信號部的電壓相位與利用電流檢測部的電流計檢測出的電流相位的關(guān)系的曲線圖。
[0043]圖4是表示傳感器面板檢查裝置檢查傳感器面板中的位置(1，4)時的形成電路的圖。
[0044]圖5是示意地表示形成電路的圖。
[0045]圖6是表示要檢查的位置的座標與形成電路的電阻值的關(guān)系的表。
[0046]圖7是表示形成電路的電阻值與電流的相位的關(guān)系的矢量圖。
[0047](附圖標記的說明)
[0048]I 傳感器面板檢查裝置(檢查裝置)
[0049]31信號供給切換部
[0050]32檢測切換部
[0051]36第一線纜(第一布線體)
[0052]37第二線纜(第二布線體)
[0053]41電流檢測部
[0054]42校正信號部
[0055]45控制器單元(控制部)
[0056]46校正部
[0057]47檢查部
[0058]50傳感器面板(檢查對象物)
[0059]51第一電極(第一導(dǎo)電體)
[0060]52第二電極(第二導(dǎo)電體)
[0061]56第一引板布線部
[0062]57第二引板布線部

【具體實施方式】
[0063]接下來，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的傳感器面板檢查裝置I的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示在卸除了傳感器面板的狀態(tài)下進行傳感器面板檢查裝置I的校正的情形的圖。圖3是表示信號部11的電壓相位與用電流檢測部41的電流計檢測出的電流相位的關(guān)系的曲線圖。
[0064]圖1所示的傳感器面板檢查裝置I構(gòu)成為可以檢查作為檢查對象物的傳感器面板50。圖1表示將傳感器面板50設(shè)置在傳感器面板檢查裝置I上的狀態(tài)。
[0065]傳感器面板50是觸控面板裝置的主要構(gòu)成部件，構(gòu)成為將在縱方向上細長的多個的第一電極(第一導(dǎo)電體)51和在橫方向上細長的多個第二電極(第二導(dǎo)電體)52以彼此交叉的方式設(shè)置在由玻璃等構(gòu)成的透明基板上。
[0066]沿傳感器面板50的厚度方向觀察時,第一電極51和第二電極52相互垂直地交叉而配置成矩陣狀。具體而言，第一電極51在圖1的橫方向上以等間隔的方式排列設(shè)置M個，第二電極在圖1的縱方向上以等間隔的方式排列設(shè)置N個。另外，在以后的說明中，有時分別將第一電極51排列的方向稱為X方向，將第二電極52排列的方向稱為y方向。
[0067]結(jié)果，利用兩個電極51、52構(gòu)成為MXN的矩陣。另外，圖1中以俯視的方式繪制，而在第一電極51與第二電極52之間,在傳感器面板50的厚度方向上形成有規(guī)定的間隙。
[0068]第一電極51及第二電極52的形狀都為如將固定的大小的小的多個菱形穿成串的圖案，寬幅部與窄幅部在長邊方向上重復(fù)交替地出現(xiàn)。俯視時，第一電極51及第二電極52在上述的窄幅部的部分彼此交叉。據(jù)此，利用第一電極51及第二電極52中的任一個覆蓋了可以檢測觸碰位置的區(qū)域(以下有時稱為觸碰區(qū)域)的大致整體。
[0069]在上述的觸碰區(qū)域中，利用配置成矩陣狀的第一電極51與第二電極52的關(guān)系設(shè)定了傳感器座標系。上述座標系可以通過上述的X方向及y方向的座標來表示。具體而言，位于圖1中的觸碰區(qū)域的左下角的兩電極的交叉部分設(shè)定為(1，I)，位于右上角的交叉部分設(shè)定為(M，N)。
[0070]另外，在圖1的傳感器面板50中，第一電極51及第二電極52的數(shù)量都為4個(M=4,N = 4)，但不限于此例，可以適當?shù)卦鰷p。另外，第一電極51及第二電極52的形狀也不受上述限定，例如，可以變更成寬度為固定的形狀的電極。
[0071]第一電極51及第二電極52通過使用上述的ITO并利用濺射或蒸鍍等公知的方法形成圖案透明導(dǎo)電層而構(gòu)成。當然，作為電極的材料，不限定于使用ΙΤ0，可以使用例如氧化銦鋒(Indium Zinc Oxide, IZO)等各種材料。
[0072]在基板上形成有第一引板(tab，接點)布線部56及第二引板布線部57，以便與第一電極51及第二電極52連接。上述的第一引板布線部56及第二引板布線部57構(gòu)成為形成在避開上述的觸碰區(qū)域的位置，可以將第一電極51及第二電極52與觸控面板裝置的驅(qū)動電路(圖略)電連接。
[0073]在本實施方式中，第一引板布線部56及第二引板布線部57使用具有導(dǎo)電性的膏材料(具體而言是銀膏)，通過絲網(wǎng)印刷而形成。當然，不限于上述結(jié)構(gòu)，也可以使用例如銅膏來代替銀膏，或者使用例如噴墨印刷等其他印刷方法來代替絲網(wǎng)印刷。另外，也可以在蒸鍍具有導(dǎo)電性的各種金屬膜后選擇性地進行蝕刻，據(jù)此形成第一引板布線部56及第二引板布線部57的圖案。
[0074]本實施方式的傳感器面板檢查裝置I用來檢查傳感器面板50中的電極交叉部分的靜電電容是否與設(shè)計相符，并且用于檢查電極51、52是否正確地形成。上述傳感器面板檢查裝置I具備第一線纜(第一布線體)36、第二線纜(第二布線體)37、信號部11、信號供給切換部31、檢測切換部32、電流檢測部41、校正信號部42和控制器單元(控制部)45作為主要結(jié)構(gòu)。
[0075]第一線纜36及第二線纜37由具有導(dǎo)電性的電線構(gòu)成。當傳感器面板50設(shè)置在傳感器面板檢查裝置I上時，第一線纜36經(jīng)由傳感器面板50的第一引板布線部56與第一電極51電連接，第二線纜37經(jīng)由傳感器面板50的第二引板布線部57與第二電極52電連接。
[0076]信號部11構(gòu)成為供給規(guī)定的電壓的交流信號的交流電源?？梢詫⑸鲜龅男盘柌?1供給的交流信號設(shè)定成例如頻率在1kHz?100kHz的范圍內(nèi)，電壓的有效值在IV?1V的范圍內(nèi)。信號部11的一端接地，另一端與信號供給切換部31電連接。
[0077]信號部11與控制器單元45連接，可以基于來自控制器單元45的控制指令，來產(chǎn)生交流信號。
[0078]信號供給切換部31可以從多個第二電極52中選擇全部或一部分，將上述選擇出的第二電極52與信號部11電連接。上述信號供給切換部31具有分別與第二電極52對應(yīng)的多個開關(guān)。另外，在附圖中，對各個開關(guān)標注了 “I”?“4”的編號，上述編號與上述的傳感器座標系中的y座標對應(yīng)。各個開關(guān)構(gòu)成為可以進行導(dǎo)通/切斷(0N/0FF)動作，并且經(jīng)由上述第二線纜37及第二引板布線部57與對應(yīng)的第二電極52電連接。
[0079]信號供給切換部31與控制器單元45連接，可以基于來自控制器單元45的控制指令，來分別切換上述開關(guān)的導(dǎo)通/切斷(0N/0FF)。
[0080]檢測切換部32可以從多個第一電極51中選擇全部或一部分，將上述選擇出的第一電極51與電流檢測部41電連接。上述檢測切換部32具有分別與第一電極51對應(yīng)的多個開關(guān)。另外，在附圖中，對各個開關(guān)標注了 “I”?“4”的編號，上述編號與上述的傳感器座標系中的X座標對應(yīng)。上述的開關(guān)構(gòu)成為可以進行導(dǎo)通/切斷(0N/0FF)動作，并且經(jīng)由上述第一線纜36及第一引板布線部56與對應(yīng)的第一電極51電連接。
[0081]檢測切換部32也與信號供給切換部31同樣地與控制器單元45連接，可以基于來自控制器單元45的控制指令，來切換上述開關(guān)的導(dǎo)通/切斷(0N/0FF)。
[0082]電流檢測部41具有配置成分別與多個第一電極51對應(yīng)的多個電流計。各個電流計將檢測出的電流的值發(fā)送給控制器單元45。
[0083]校正信號部42具備配置成分別與電流檢測部41的電流計對應(yīng)的多個交流電源。上述交流電源的一端接地，另一端與上述電流計連接。
[0084]上述交流電源可以產(chǎn)生與前述的信號部11 一致的頻率的交流信號。另外，各個交流電源構(gòu)成為可以基于來自控制器單元45的控制指令，來獨立地改變輸出的交流信號的電壓及相位。
[0085]控制器單元45構(gòu)成為微型計算機，具備未圖示的作為運算部的CPU以及作為存儲部的ROM、RAM等。另外，在控制器單元45的上述ROM中，存儲有用于使傳感器面板檢查裝置I動作的程序。
[0086]在上述程序中，包含用于利用傳感器面板檢查裝置I來實現(xiàn)本實施方式的校正方法的校正程序。另外，在上述程序中包含用于利用傳感器面板檢查裝置I來實現(xiàn)本實施方式的檢查方法的檢查程序。
[0087]上述校正方法包含信號條件調(diào)整步驟、信號條件存儲步驟和校正信號產(chǎn)生步驟，具體內(nèi)容后述。因此，上述校正程序與上述各步驟相對應(yīng)地包含信號條件調(diào)整步驟、信號條件存儲步驟和校正信號產(chǎn)生步驟。
[0088]另外，上述檢查方法包含切換步驟、形成電路計測值獲取步驟和判定步驟，具體內(nèi)容后述。因此，上述檢查程序與上述各步驟對應(yīng)地包含切換步驟、形成電路計測值獲取步驟和判定步驟。
[0089]另外，上述硬件與上述軟件協(xié)同動作，據(jù)此，可以使控制器單元45作為校正部46及檢查部47發(fā)揮作用。
[0090]校正部46進行下列操作作為檢查的前階段，即對信號部11、信號供給切換部31、檢測切換部32、電流檢測部41和校正信號部42發(fā)送控制信號而進行控制，確定校正所需的參數(shù)。上述的操作在卸除了傳感器面板50的狀態(tài)下進行。
[0091]檢查部47在傳感器面板50設(shè)置在傳感器面板檢查裝置I上的狀態(tài)下，對信號部
11、信號供給切換部31、檢測切換部32、電流檢測部41和校正信號部42發(fā)送控制信號而進行控制，進行傳感器面板50的檢查。
[0092]首先，參照圖2對校正操作進行說明。上述的校正操作通常在傳感器面板檢查裝置I首次被使用的情況、變更了裝置的設(shè)置場所的情況下等執(zhí)行。
[0093]傳感器面板檢查裝置I具備未圖示的為指示執(zhí)行檢查或校正而操作的操作部。在傳感器面板50未安裝在傳感器面板檢查裝置I上的圖2的狀態(tài)下，若使用者指示校正操作，則控制器單元45 (校正部46)控制成在信號部11產(chǎn)生了交流信號的狀態(tài)下，使構(gòu)成信號供給切換部31的四個開關(guān)中的一個為導(dǎo)通(ON)，剩下的三個為切斷(OFF)。另外，控制器單元45使構(gòu)成檢測切換部32的四個開關(guān)中的一個為導(dǎo)通(0N)，剩下的三個為切斷(OFF)。在本次說明中，分別是信號供給切換部31中“I”的開關(guān)為導(dǎo)通(ON)，檢測切換部32中“I”的開關(guān)為導(dǎo)通(0N)。
[0094]另外，在與信號供給切換部31的“I”的開關(guān)對應(yīng)的第二線纜37與信號部11連接的狀態(tài)下，信號部11產(chǎn)生交流信號。與此相伴，由于與上述“I”的開關(guān)相連的第一線纜36等所產(chǎn)生的寄生電容的影響，電流流過與檢測切換部32中的“I”的開關(guān)對應(yīng)的電流檢測部41的電流計。
[0095]本實施方式的傳感器面板檢查裝置I中的校正操作包含確定控制校正信號部42的條件的操作，以便消除上述的電流對上述電流計的影響。具體說明上述的條件確定操作如下:控制器單元45 (校正部46) —邊讀取與檢測切換部32中的“I”的開關(guān)相連的電流計的輸出，一邊在校正信號部42，使與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓及相位變化，來尋找電流計的輸出為零的條件(信號條件調(diào)整步驟)。
[0096]另外，在假設(shè)校正時流過電流檢測部41的電流僅是因上述寄生電容的影響產(chǎn)生的電流的情況下，電流計檢測的波形的相位如圖3的虛線所示，相對于信號部11的電壓相位準確地超前90°。然而，實際上流過電流檢測部41的電流計的波形的相位偏移為小于90°的值，難以通過計算來求取。這是由于受到了構(gòu)成電路的布線、開關(guān)所具有的電阻(例如第一線纜36的電阻、檢測切換部32的開關(guān)的導(dǎo)通(ON)電阻)的影響。因此，為了恰當?shù)叵鲜龅碾娏鞯挠绊?，不僅需要細致地調(diào)整校正信號部42中的交流電源的電壓，還需要細致地調(diào)整相位。
[0097]若電流檢測部41中的電流計的輸出為零，則控制器單元45將此時賦予給交流電源的條件(電壓及相位的參數(shù))存儲在上述的存儲部(RAM等)中(信號條件存儲步驟)。
[0098]一邊在檢測切換部32中將導(dǎo)通(ON)的開關(guān)依次從“I”開始切換為“2”、“3”、“4”，一邊重復(fù)上述的操作。據(jù)此，可以獲取在信號供給切換部31中“I”的開關(guān)為導(dǎo)通(ON)的狀態(tài)下，為消除各個第一線纜36等的寄生電容的影響所需的、應(yīng)賦予給校正信號部42的交流電源的電壓及相位的參數(shù)(以下，有時稱為校正參數(shù))。
[0099]當然，獲取上述的校正參數(shù)的操作也可以利用電流檢測部41的多個電流計同時并行地執(zhí)行。具體而言，控制器單元45在檢測切換部32中多個(例如，全部四個)開關(guān)為導(dǎo)通(ON)的狀態(tài)下，讀取與各個開關(guān)相連的電流檢測部41的電流計的輸出，并且使對應(yīng)的校正信號部42的交流電源的電壓及相位變化。另外，控制器單元45獲取為使各個電流計的輸出為零而應(yīng)賦予給各交流電源的電壓及相位的參數(shù)，并存儲在存儲部中。通過這樣構(gòu)成，可以顯著地縮短校正所需的時間。
[0100]若針對電流檢測部41的所有電流計(校正信號部42的交流電源)獲取校正參數(shù)，則本次一邊在信號供給切換部31中將為導(dǎo)通(ON)的開關(guān)從“I”開始依次切換為“2”、“3”、“4”，一邊重復(fù)與上述相同的操作。據(jù)此，可以獲得與信號供給切換部31的四個開關(guān)的狀態(tài)相對應(yīng)的、應(yīng)賦予給校正信號部42的各個交流電源的校正參數(shù)。
[0101]另外，在本實施方式中構(gòu)成為，如上述那樣，通過控制由電流計共用的交流電壓發(fā)生源構(gòu)成的校正信號部42來進行校正。這種模擬的(analogue)校正與僅對測量值進行數(shù)值補償運算的(數(shù)字的，digital)校正相比，在檢查精度方面顯著地優(yōu)異。即，本實施方式的基于傳感器面板檢查裝置I的檢查包含第一電極51與第二電極52的交叉位置處的靜電電容的測量，上述靜電電容至多為1pF左右。另一方面，上述的寄生電容的影響甚至高達10pF左右。因此，在包含寄生電容的形態(tài)下測量靜電電容，之后對寄生電容的量進行補償運算的數(shù)字的校正方法中，需要將電流檢測部41的電流計的量程設(shè)定成可以測量IlOpF以上。另一方面，根據(jù)本實施方式的校正方法，由于在電流測量的階段已消除了寄生電容的量，因此至多只要可以測量20pF左右的量程，就可以毫無問題地測量靜電電容。因此，可以運用電流計的高分辨率的測量量程，以良好的精度對微小的靜電電容進行測量。
[0102]以上，校正所需的操作結(jié)束，接下來，對傳感器面板50的檢查進行說明。圖4是表示傳感器面板檢查裝置I檢查傳感器面板50中的位置(1，4)時的形成電路的圖。圖5是示意地表示形成電路的圖。圖6是表示要檢查的位置的座標與形成電路的電阻值的關(guān)系的表。圖7是表示形成電路的電阻值與電流的相位的關(guān)系的矢量圖。
[0103]首先，參照圖4針對檢查的構(gòu)思進行說明。本實施方式的傳感器面板檢查裝置I構(gòu)成為除了測量第一電極51與第二電極52的交叉部分處的靜電電容之外,還基于第一電極51及第二電極52的電阻值(或者與電阻值相應(yīng)地變化的值)來檢查上述第一電極51及第二電極52的形狀的均一性。這是為了應(yīng)對不僅要對電極的導(dǎo)通/短路、還要對電極的粗/細也可以適當?shù)貦z查的需求的日益高漲。
[0104]以下，詳細的進行說明。配置在傳感器面板50上的第一電極51及第二電極52在MXN個位置彼此交叉。如前所述，由于在第一電極51與第二電極52之間形成有間隙，因此可以認為在上述的交叉部分形成有電容器。
[0105]另外，如上所述，第一電極51及第二電極52由ITO導(dǎo)電膜形成,對于上述的ΙΤ0,雖然可以說在與其他透明電極材料的關(guān)系中表現(xiàn)出優(yōu)異的低電阻率，但表現(xiàn)出相應(yīng)的電阻值。因此，可以認為在著眼于第一電極51及第二電極52所形成的MXN個交叉部分的情況下，在上述交叉部分與在X方向或y方向上和上述交叉部分相鄰的其他交叉部分之間，分別存在一個電阻。另外，在以下的說明中，有時將各個電阻稱為“單位電阻”。
[0106]如上所述，第一電極51及第二電極52為重復(fù)串聯(lián)菱形那樣的圖案形狀，上述菱形的形狀是固定的，而與第一電極51及第二電極52無關(guān)。另外，第一電極51排列的間隔與第二電極52排列的間隔是相互相等的。因此，只要第一電極51及第二電極52的形狀無異常(例如，前述的電極的粗/細)、圖案均勻地形成，被視作位于交叉部分與交叉部分之間的電阻的電阻值應(yīng)該是固定的，而與其朝向是X方向還是I方向無關(guān)。
[0107]另外，可以認為在第一電極51與第一引板布線部56的連接部和與上述連接部最近的上述交叉部分之間也存在電阻。上述連接部附近的第一電極51的形狀被設(shè)定成上述電阻的電阻值與上述的單位電阻的電阻值一致。上述情況對第二電極52也同樣。
[0108]總結(jié)以上的說明，可以視為如圖4中點劃線或?qū)嵕€所示，第一電極51及第二電極52中排列有電阻值固定的多個電阻(單位電阻)。
[0109]在此，考慮檢查上述的傳感器座標系中的(1，4)的情況。該情況下，檢查部47從四個一組存在的上述第一電極51中選擇與檢查對象的X座標對應(yīng)的第一電極51，另外從四個一組存在的上述第二電極52中選擇與檢查對象的y座標對應(yīng)的第二電極52，控制檢測切換部32及信號供給切換部31，以便使這些電極成為檢查對象(切換步驟)。具體而言，檢查部47在檢測切換部32中將“I”的開關(guān)設(shè)定為導(dǎo)通(ON)，在信號供給切換部31中將“4”的開關(guān)設(shè)定為導(dǎo)通(0N)。
[0110]據(jù)此，信號部11與電流檢測部41的電流計通過圖4中用粗線表示的L字狀的電路而連接。以上述粗線描畫出的電路從第二電極52與第二引板布線部57的連接部分開始，經(jīng)由以上述的(1，4)表示的電極交叉部分，抵達第一電極51與第一引板布線部56的連接部分。
[0111]另外，在第二電極52中，與第二引板布線部57連接的一側(cè)的端部是供給來自信號部11的交流信號的端部，因此在以下的說明中有時稱為供給端。另外，在第一電極51中，與第一引板布線部56連接的一側(cè)的端部是連結(jié)電流檢測部41的電流計的一側(cè)的端部，因此在以下的說明中有時稱為計測端。
[0112]如圖4所示，與座標(1，4)對應(yīng)的L字狀的電路中包含串聯(lián)連接的五個電阻和形成在上述的電極交叉部分的電容器。
[0113]如此，座標(X，y)的檢查通過使交流信號流過在上述座標處呈L字狀彎折的電路而執(zhí)行。以下，有時稱上述的電路為“形成電路”。上述的形成電路與要檢查的座標以I對I的方式對應(yīng)。在本實施方式中，應(yīng)檢查的座標有MXN個，因此形成電路也有MXN個。
[0114]圖5示意地示出傳感器面板50中的上述形成電路與傳感器面板檢查裝置I連接的狀態(tài)(在該圖中省略了校正信號部42)。流過上述電路的交流電流i利用電流檢測部41的電流計來測量。
[0115]另外，由于形成電路可以根據(jù)想檢查的位置的座標(X，y)進行各種變化，因此形成電路的電阻值也不同。考慮到上述情況，檢查部47預(yù)先計算針對任意的座標(x，y)的形成電路的電阻值，并存儲在上述的RAM等中。存儲內(nèi)容的例子如圖6所示，根據(jù)此表可知，(1,4)的情況下形成電路的電阻值為五個單位電阻的量，(1，1)的情況下的形成電路的電阻值為兩個單位電阻的量。
[0116]檢查部47在使信號部11產(chǎn)生交流信號的狀態(tài)下，對電流檢測部41的電流計的輸出進行相位檢波并計算，據(jù)此來獲取上述的形成電路中的靜電電容和形成電路的電阻值(形成電路計測值)。
[0117]另外，此時信號部11所產(chǎn)生的交流信號與圖2中說明的校正時的信號是同一信號。另外，校正信號部42的交流電源由校正部46控制，以便基于根據(jù)信號供給切換部31的狀態(tài)而存儲的上述的校正參數(shù)來產(chǎn)生交流信號(本實施方式的校正方法中的校正信號產(chǎn)生步驟)。因此，基于電流計的輸出獲得的靜電電容的精度良好。
[0118]將這樣獲取的靜電電容與規(guī)定的判定基準值相比，在超出允許范圍的情況下判定為不良品。另外，將獲取的電阻值與規(guī)定的判定基準值相比，在超出允許范圍的情況下判定為是電極51、52的形狀存在異常的不良品(判定步驟)。
[0119]靜電電容及形成電路的電阻值的獲取是將想檢查的位置的座標如(1，1)、(I,
2).....(M — 1，N)、(M，N)這樣切換，并且對所有的座標而執(zhí)行。當然，要檢查的坐標的順序不限于上述，可以適當確定。
[0120]另外，良品/不良品的判定方法不限于上述。例如，也可以不利用相位檢波來獲取形成電路的電阻值，而取而代之，求取電流計檢測出的電流的輸出相位來作為形成電路計測值。如圖7的矢量圖所示，只要形成電路的靜電電容C固定，檢測的電流的相位與信號部11的電壓相位的偏移Θ會隨著形成電路的電阻值的增加而減小。因此，也可以基于上述相位來判定電極51、52的形狀是否存在異常。
[0121]另外，也可以將通過切換想檢查的位置的座標并重復(fù)計測而獲得的多個形成電路的電阻值(或者與電阻值相對應(yīng)地變化的值)的關(guān)系作為判定電極51、52的形狀有無異常的根據(jù)。
[0122]例如，通過圖6可知，若y座標為固定，使X座標逐一遞增，則形成電路的電阻值會逐一增加一個單位電阻的量。也可以利用上述情況，通過對固定I座標而使X座標如座標(1，1)、(2，I)、(3，I)、(4,1)這樣增加時，形成電路的電阻值是否相應(yīng)地單調(diào)增加(或電流的相位偏移是否單調(diào)減少)進行調(diào)查來判定電極51、52的形狀的正確性。
[0123]與上述相同，在X座標固定而使y座標逐一遞增的情況下，形成電路的電阻值也逐一增加一個單位電阻的量。因此，也可以通過調(diào)查固定X座標而使y座標如座標(3，I)、(3，2)、(3，3)、(3，4)這樣增加時，形成電路的電阻值是否相應(yīng)地單調(diào)增加(或電流的相位偏移是否單調(diào)減少)來判定電極51、52的形狀的正確性。
[0124]進而，通過圖6可知，座標(X，y)與(x+1，y — I)存在形成電路的電阻值相等的關(guān)系。也可以利用上述情況，通過對例如座標(2，4)、(3，3)、(4，2)調(diào)查形成電路的電阻值(或電流的相位偏移)是否相互相等來判定電極51、52的形狀的正確性。
[0125]如以上所說明的，本實施方式的傳感器面板檢查裝置I以傳感器面板50為檢查對象，在上述的傳感器面板50中，并排的多個第一電極51與并排的多個第二電極52被配置成從面板厚度方向觀察時彼此交叉。另外，傳感器面板檢查裝置I具備第一線纜36、第二線纜37、信號部11、信號供給切換部31、電流檢測部41、檢測切換部32和校正信號部42。第一線纜36有多個，在檢查時與第一電極51的每一個電連接。第二線纜37有多個，在檢查時與第二電極52的每一個電連接。信號部11是供給交流信號的交流電源。信號供給切換部31可以針對是否經(jīng)由第二線纜37向多個第二電極52的每一個供給或切斷信號部11的交流信號進行切換。電流檢測部41具有可以檢測流過第一電極51的電流的多個電流計。檢測切換部32可以針對是否經(jīng)由第一線纜36將第一電極51的每一個與電流計連接或切斷進行切換。校正信號部42具有可以對各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源。校正信號部42的各個上述交流電源構(gòu)成為其電壓及相位可以改變。
[0126]據(jù)此，可以實現(xiàn)消除因第一線纜36的寄生電容等產(chǎn)生的誤差的校正。另外，由于控制校正信號部42的交流電源，以便消除寄生電容等產(chǎn)生的電流，因此電流檢測部41的電流計可以檢測基于第一電極51與第二電極52的交叉部分的靜電電容的電流本身。因此，通過恰當?shù)卮_定電流計的量程，可以以良好的精度對傳感器面板50的微小的靜電電容進行測量。
[0127]另外，本實施方式的傳感器面板檢查裝置I具備至少控制信號部11、電流檢測部41、以及校正信號部42的校正部46。校正部46在卸除了傳感器面板50的校正時，對第二線纜37的至少任一個供給信號部11的交流信號，并且調(diào)整校正信號部42中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓及相位，以便使與第一線纜36電連接的電流檢測部41的電流計的輸出為零。另外，校正部46獲取電流計的輸出為零時賦予給校正信號部42的交流電源的電壓及相位的參數(shù)即校正參數(shù)并存儲。另外，校正部46在檢查傳感器面板50時，基于已存儲的校正參數(shù)，來使校正信號部42的交流電源產(chǎn)生交流信號。
[0128]據(jù)此，用以消除寄生電容所產(chǎn)生的電流的校正信號部的交流電源的電壓及相位被校正部46自動地確定。因此，可以減輕校正所費的工夫。
[0129]另外，本實施方式的傳感器面板檢查裝置I的校正部46在校正時，切換信號供給切換部31的狀態(tài)，以便變更作為信號部11的信號的供給對象的第二線纜37，并且將上述信號供給切換部31的狀態(tài)與所獲取的校正參數(shù)建立對應(yīng)關(guān)系而存儲。另外，校正部46在檢查傳感器面板50時，基于與信號供給切換部31的狀態(tài)對應(yīng)地存儲的校正參數(shù)，來使校正信號部42的交流電源產(chǎn)生交流信號。
[0130]據(jù)此，即便寄生電容等根據(jù)將哪個第二線纜37作為信號供給對象而變化，也可以進行與其相對應(yīng)的校正，因此可以良好地維持測量精度。
[0131]另外，本實施方式的傳感器面板檢查裝置I的校正部46可以控制檢測切換部32，以便在校正時使多個第一線纜36和與其對應(yīng)的電流檢測部41的電流計同時連接。
[0132]據(jù)此，可以同時并行地進行有關(guān)多個電流計的校正操作，因此可以有效地縮短校正所需的時間。
[0133]另外，本實施方式的傳感器面板檢查裝置I包含至少控制信號部11、電流檢測部41、信號供給切換部31及檢測切換部32的檢查部47。檢查部47控制信號供給切換部31，以便對從4個第二電極52中選擇出的I個供給信號部11的交流信號，并且控制檢測切換部32，以便將從4個第一電極51中選擇出的I個與對應(yīng)的電流檢測部41的電流計進行連接。檢查部47在將從選擇出的第二電極52中供給信號部11的交流信號的端部即供給端開始，經(jīng)由選擇出的第二電極52與選擇出的第一電極51的交叉部分，抵達選擇出的第一電極51中連接電流計的一側(cè)的端部即計測端的電路作為形成電路時，利用電流計檢測電流將上述的形成電路的電阻即電路電阻、或流過形成電路的電流的相位的偏移即電流相位偏移計測為形成電路計測值。另外，檢查部47基于所獲得的形成電路計測值，來檢查第一電極51及第二電極52的異常。
[0134]據(jù)此，可以通過獲得形成電路計測值(電阻值、或與電阻值對應(yīng)地變化的值)，來判定第一電極51及第二電極52的圖案形狀是否均勻地形成。另外，由于實現(xiàn)了不使用接觸頭等的非接觸檢查，因此可以大幅地縮短操作時間。
[0135]另外，在本實施方式的傳感器面板檢查裝置I中，檢查部47對形成電路計測值進行計測，并且對選擇出的第一電極51及第二電極52的交叉部分中的靜電電容進行測量。
[0136]據(jù)此，可以有效地運用檢查時間來進行檢查，因此可以進一步縮短操作時間。
[0137]另外，在本實施方式的傳感器面板檢查裝置I中，檢查部47針對以選擇出的第一電極51為共用(公共端)，伴隨著使選擇出的第二電極52從第一電極51的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依序變化(換言之，伴隨著固定檢查位置的X座標，使I座標從一側(cè)向另一側(cè)依序變化)，形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此可以檢查第一電極51及第二電極52的異常。
[0138]另外，上述檢查部47針對以選擇出的第二電極52為共用，伴隨著使選擇出的第一電極51從第二電極52的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依序變化(換言的，伴隨著固定檢查位置的I座標，使X座標從一側(cè)向另一側(cè)依序變化)，形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此可以檢查第一電極51及第二電極52的異常。
[0139]據(jù)此，可以合理地判定第一電極51及第二電極52的圖案形狀是否均一。
[0140]另外，檢查部47可以通過判定第一形成電路與第二形成電路之間上述電路電阻或電流相位偏移是否相等，來檢查第一電極51及第二電極52的異常，上述第一形成電路是分別選擇第一電極51與第二電極52(換言之，選擇檢查位置(x，y))而構(gòu)成的形成電路，上述第二形成電路是通過按照相對于由上述第一形成電路選擇出的第一電極51，向遠離第二電極52的上述供給端的方向偏移I個的方式選擇第一電極51，并且按照相對于由上述第一形成電路選擇的第二電極52，向接近第一電極51的上述計測端的方向偏移I個的方式選擇第二電極52(換言之，選擇檢查位置(x+l，y — I))而構(gòu)成的上述形成電路。
[0141]據(jù)此，也可以合理地判定第一電極51及第二電極52的圖案形狀是否均一。
[0142]以上對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式進行了說明，上述的結(jié)構(gòu)也可以如下變更。
[0143]上述實施方式的校正方法與檢查方法不限于彼此組合而執(zhí)行。即，上述實施方式的校正方法也可以與其他檢查方法、例如不測量形成電路的電阻值而僅測量靜電電容的檢查方法組合。另外，上述實施方式的檢查方法也可以與其他校正方法、例如對測量值進行補償運算的數(shù)字的校正方法組合。
[0144]作為檢查對象物，不限定于觸控面板裝置的傳感器面板50。即，本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于對并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體被配置成沿面板厚度方向觀察時彼此交叉的面板狀的檢查對象物進行檢查的情況。
【權(quán)利要求】
1.一種檢查對象物的檢查裝置，上述檢查對象物呈面板狀，并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉，其特征在于，具備: 多個第一布線體，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接； 多個第二布線體，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接； 信號部，作為供給交流信號的交流電源； 信號供給切換部，能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換； 電流檢測部，具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計； 檢測切換部，能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換；以及 校正信號部，具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源， 上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 具備至少控制上述信號部、上述電流檢測部以及上述校正信號部的校正部， 上述校正部 在卸除了上述檢查對象物的校正時，對上述第二布線體的至少任一個供給上述信號部的交流信號，并且調(diào)整上述校正信號部中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓以及相位，以便使與上述第一布線體電連接的上述電流檢測部的電流計的輸出為零， 獲取上述電流計的輸出為零時賦予給上述校正信號部的交流電源的電壓及相位的參數(shù)即校正參數(shù)并存儲， 在進行上述檢查對象物的檢查時，基于所存儲的上述校正參數(shù)來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
3.如權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征在于， 上述校正部在進行上述校正時，切換上述信號供給切換部的狀態(tài)，以便對作為上述信號部的信號的供給對象的上述第二布線體進行變更，并且將上述信號供給切換部的狀態(tài)與上述校正參數(shù)建立對應(yīng)而存儲， 在進行上述檢查對象物的檢查時，基于與上述信號供給切換部的狀態(tài)對應(yīng)地存儲的上述校正參數(shù)，來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
4.如權(quán)利要求2或3所述的檢查裝置，其特征在于， 上述校正部在進行上述校正時控制上述檢測切換部，以便將多個上述第一布線體和與其對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計同時連接。
5.如權(quán)利要求1?4中任一項所述的檢查裝置，其特征在于， 具備至少控制上述信號部、上述電流檢測部、上述信號供給切換部及上述檢測切換部的檢查部， 在進行上述檢查對象物的檢查時，上述檢查部 控制上述信號供給切換部，以便向從多個上述第二導(dǎo)電體中的選擇出的一個供給上述信號部的交流信號， 控制上述檢測切換部，以便將從多個上述第一導(dǎo)電體中選擇出的一個與對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計進行連接， 當將從選擇出的第二導(dǎo)電體中作為供給上述信號部的交流信號的端部的供給端開始經(jīng)由選擇出的第二導(dǎo)電體與選擇出的第一導(dǎo)電體的交叉部分到達選擇出的第一導(dǎo)電體中作為連接上述電流計的一側(cè)的端部的計測端的電路作為形成電路時，利用上述電流計檢測電流，來計測包含上述形成電路的電阻即電路電阻和流過上述形成電路的電流的相位的偏移即電流相位偏移中的任一個的形成電路計測值， 基于所獲得的上述形成電路計測值，來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異堂巾O
6.如權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查部對上述形成電路計測值進行計測，并且對選擇出的上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的交叉部分的靜電電容進行測量。
7.如權(quán)利要求5或6所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查部針對以選擇出的第一導(dǎo)電體為共用，伴隨著使選擇出的第二導(dǎo)電體從上述第一導(dǎo)電體的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依序變化，上述形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常。
8.如權(quán)利要求5?7中任一項所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查部針對以選擇出的第二導(dǎo)電體為共用，伴隨著使選擇出的第一導(dǎo)電體從上述第二導(dǎo)電體的長邊方向一側(cè)向另一側(cè)依序變化，上述形成電路的電路電阻或電流相位偏移是否單調(diào)地增加或減少進行判定，據(jù)此來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常。
9.如權(quán)利要求5?8中任一項所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查部通過判定第一形成電路和第二形成電路之間上述電路電阻或電流相位偏移是否相等，來檢查上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體的異常， 上述第一形成電路是分別選擇上述第一導(dǎo)電體與上述第二導(dǎo)電體而構(gòu)成的上述形成電路， 上述第二形成電路是通過以針對由上述第一形成電路選擇出的第一導(dǎo)電體向遠離上述第二導(dǎo)電體的上述供給端的方向挪動一個的方式選擇上述第一導(dǎo)電體、并且以針對由上述第一形成電路選擇出的第二導(dǎo)電體向接近上述第一導(dǎo)電體的上述計測端的方向挪動一個的方式選擇上述第二導(dǎo)電體而構(gòu)成的上述形成電路。
10.一種檢查對象物的檢查裝置的校正方法，上述檢查對象物呈面板狀,并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉，上述檢查裝置具備: 多個第一布線體，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接； 多個第二布線體，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接； 信號部，作為供給交流信號的交流電源； 信號供給切換部，能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換； 電流檢測部，具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計； 檢測切換部，能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換；以及 校正信號部，具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源， 上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變， 其特征在于，包含: 信號條件調(diào)整步驟，在卸除了上述檢查對象物的狀態(tài)下，向上述第二布線體的至少任一個供給上述信號部的交流信號，并且調(diào)整上述校正信號部中與上述電流計對應(yīng)的交流電源的電壓及相位，以便使與上述第一布線體電連接的上述電流檢測部的電流計的輸出為零； 信號條件存儲步驟，獲取上述電流計的輸出為零時賦予給上述校正信號部的交流電源的電壓及相位的參數(shù)即校正參數(shù)并存儲；以及 校正信號產(chǎn)生步驟，在進行上述檢查對象物的檢查時，基于所存儲的上述校正參數(shù)來使上述校正信號部的交流電源產(chǎn)生交流信號。
11.一種檢查對象物的檢查裝置中的檢查方法,上述檢查對象物呈面板狀,并且被配置成并排的多個第一導(dǎo)電體和并排的多個第二導(dǎo)電體在從面板厚度方向觀察時彼此交叉，上述檢查裝置具備: 多個第一布線體，在檢查時與上述第一導(dǎo)電體的每一個電連接； 多個第二布線體，在檢查時與上述第二導(dǎo)電體的每一個電連接； 信號部，作為供給交流信號的交流電源； 信號供給切換部，能夠針對經(jīng)由上述第二布線體向多個上述第二導(dǎo)電體的每一個供給上述信號部的交流信號或切斷供給進行切換； 電流檢測部，具有能夠檢測流過上述第一導(dǎo)電體的電流的多個電流計； 檢測切換部，能夠針對經(jīng)由上述第一布線體將上述第一導(dǎo)電體的每一個與上述電流計連接或切斷連接進行切換；以及 校正信號部，具有能夠向各個上述電流計供給交流信號的多個交流電源， 上述檢查裝置構(gòu)成為上述校正信號部的各個上述交流電源的電壓及相位能夠改變， 其特征在于，包含: 切換步驟，控制上述信號供給切換部，以便向從多個上述第二導(dǎo)電體中的選擇出的一個供給上述信號部的交流信號，并且控制上述檢測切換部，以便將從多個上述第一導(dǎo)電體中選擇出的一個與對應(yīng)的上述電流檢測部的電流計進行連接； 形成電路計測值獲取步驟，當將從選擇出的第二導(dǎo)電體中作為供給上述信號部的交流信號的端部即供給端開始經(jīng)由選擇出的第二導(dǎo)電體與選擇出的第一導(dǎo)電體的交叉部分到達選擇出的第一導(dǎo)電體中作為連接上述電流計的一側(cè)的端部即計測端的電路作為形成電路時，通過利用上述電流計檢測電流，來計測包含上述形成電路的電阻即電路電阻和流過上述形成電路的電流的相位的偏移即電流相位偏移中的任一個的形成電路計測值；以及判定步驟，基于所獲得的上述形成電路計測值，來判定上述第一導(dǎo)電體及上述第二導(dǎo)電體是否存在異常。
【文檔編號】G01R27/26GK104238849SQ201410250830
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月7日
【發(fā)明者】山下宗寛 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社