感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的制造方法
【專利摘要】一種感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，具備：定子、與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與該旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)且與定子在軸方向上相對(duì)的轉(zhuǎn)子。定子具備從內(nèi)周側(cè)到外周側(cè)配置的兩個(gè)以上的發(fā)送繞組及接收繞組，轉(zhuǎn)子具備分別與這兩個(gè)以上的發(fā)送繞組及接收繞組進(jìn)行磁通耦合并構(gòu)成角度檢測(cè)碼道的兩個(gè)以上的磁通耦合體。進(jìn)而，兩個(gè)以上的接收繞組和外周側(cè)的接收繞組串聯(lián)連接，內(nèi)周側(cè)的接收繞組和外周側(cè)的接收繞組通過共通使用的引出配線而引出。
【專利說明】感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)隨著轉(zhuǎn)子相對(duì)于定子的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的物理量的變化進(jìn)行檢測(cè)，并基于該變化測(cè)量物體的旋轉(zhuǎn)角的回轉(zhuǎn)編碼器。
【背景技術(shù)】
[0002]感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器具備配置有發(fā)送繞組及接收繞組的定子、配置有與它們磁通耦合的磁通耦合繞組的轉(zhuǎn)子(例如，日本特開2011 - 085504號(hào)公報(bào))。在回轉(zhuǎn)編碼器中，由于搭載該回轉(zhuǎn)編碼器的千分尺等的小型化的請(qǐng)求、高精度化的請(qǐng)求，要求將接收繞組的節(jié)距進(jìn)一步微細(xì)化。
[0003]在構(gòu)成絕對(duì)位置檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的情況下，最低需要兩個(gè)接收繞組。接收繞組具有對(duì)不同相位的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的多個(gè)配線。因而，當(dāng)接收繞組的數(shù)量增加時(shí)，配線圖案就會(huì)相應(yīng)地復(fù)雜化，導(dǎo)致電路規(guī)模進(jìn)一步增大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器具備定子；轉(zhuǎn)子，其與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與定子在軸方向上相對(duì)；兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道(track)，其相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于定子的與轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及轉(zhuǎn)子的與定子的相對(duì)面，并從內(nèi)周側(cè)到外周側(cè)而配置，兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道分別具備:發(fā)送繞組，其設(shè)置于定子并以旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀；接收繞組，其設(shè)置于定子并沿著發(fā)送繞組以旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀；磁通耦合體，其設(shè)置于轉(zhuǎn)子并以旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀，且與發(fā)送繞組及接收繞組磁通耦合。進(jìn)而，兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道所具備的一接收繞組和另一接收繞組的一端共通地連接，一接收繞組和另一接收繞組的另一端通過引出配線而被引出。
[0005]在具有上述構(gòu)成的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器中，一接收繞組和另一接收繞組串聯(lián)連接，一接收繞組和另一接收繞組通過共通使用的引出配線而引出。因而，能夠?qū)碜越邮绽@組的引出配線數(shù)削減到半數(shù)，進(jìn)而，能夠縮小接收控制部的電路規(guī)模。
[0006]上述感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器例如可如下那樣構(gòu)成。即，轉(zhuǎn)子是第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子，第一轉(zhuǎn)子與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與定子在軸方向上相對(duì)；第二轉(zhuǎn)子配置于第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)，相對(duì)于第一轉(zhuǎn)子可旋轉(zhuǎn)，并與定子在軸方向上相對(duì)，轉(zhuǎn)子還具備旋轉(zhuǎn)傳遞裝置，該旋轉(zhuǎn)傳遞裝置傳遞旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，并使第二轉(zhuǎn)子以不同于第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道是內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道和配置于該內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)的外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道，內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于定子的與第一轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及第一轉(zhuǎn)子的與定子的相對(duì)面，外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于定子的與第二轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及第二轉(zhuǎn)子的與定子的相對(duì)面。進(jìn)而構(gòu)成內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的磁通耦合體設(shè)置于第一轉(zhuǎn)子，構(gòu)成外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的磁通耦合體設(shè)置于第二轉(zhuǎn)子。
[0007]另外，上述感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器也可如下那樣構(gòu)成。即，轉(zhuǎn)子是第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子，第一轉(zhuǎn)子與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與定子在軸方向上相對(duì)；第二轉(zhuǎn)子配置于第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)，相對(duì)于第一轉(zhuǎn)子可旋轉(zhuǎn)，并與定子在軸方向上相對(duì)，轉(zhuǎn)子還具備旋轉(zhuǎn)傳遞裝置，該旋轉(zhuǎn)傳遞裝置傳遞旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，并使第二轉(zhuǎn)子以不同于第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道是第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道和第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道，第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道分別相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于定子的與第一轉(zhuǎn)子相對(duì)的部分及第一轉(zhuǎn)子的與定子相對(duì)的部分，第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道分別相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于定子的與第二轉(zhuǎn)子相對(duì)的部分及第二轉(zhuǎn)子的與定子相對(duì)的部分。進(jìn)而，構(gòu)成第一角度檢測(cè)碼道?第四角度檢測(cè)碼道的接收繞組中的任意兩個(gè)接收繞組的一端共通地連接，另一端通過引出配線而被引出。
[0008]進(jìn)而，上述感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器也可以例如為，第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道形成于定子的與第一轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及第一轉(zhuǎn)子的與定子的相對(duì)面，第二角度檢測(cè)碼道配置于第一角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)，第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道形成于定子的與第二轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及第二轉(zhuǎn)子的與定子的相對(duì)面，第四角度檢測(cè)碼道配置于第三角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)。另外，也可以為第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道層疊形成在定子及轉(zhuǎn)子的相對(duì)方向，第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道層疊形成在定子及轉(zhuǎn)子的相對(duì)方向。
[0009]另外，上述感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的第一及第二角度檢測(cè)碼道也可在第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成NI次及N2次信號(hào)周期性的變化，第三及第四角度檢測(cè)碼道也可在第二轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成N3次及N4次信號(hào)周期性的變化。在這種情況下，也考慮到N1、N2、N3、N4為各不相同的數(shù)，且N1、N2、N3、N4中的一個(gè)和另一個(gè)的最大公約數(shù)全都為I。只要這樣構(gòu)成上述感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，則能夠降低第一?第四角度檢測(cè)碼道的串?dāng)_，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)量精度的進(jìn)一步的提高。
[0010]進(jìn)而，第一?第四角度檢測(cè)碼道中的兩個(gè)角度檢測(cè)碼道也可具有共通的發(fā)送繞組，共通的發(fā)送繞組也可同時(shí)對(duì)第一?第四接收繞組中的兩個(gè)接收繞組上誘發(fā)電流，兩個(gè)接收繞組也可分別與第一?第四接收繞組中的剩余的兩個(gè)接收繞組共通地連接。根據(jù)這種構(gòu)成，通過將發(fā)送繞組設(shè)為兩個(gè)角度檢測(cè)碼道共通的構(gòu)成，能夠削減零件數(shù)量，通過簡(jiǎn)化制造工藝，能夠降低制造成本。另外，因?yàn)橥ㄟ^一個(gè)發(fā)送繞組，能夠檢測(cè)兩個(gè)檢測(cè)碼道的角度，所以可期待角度檢測(cè)的高速化及電路構(gòu)成的簡(jiǎn)單化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是表示第一實(shí)施方式的千分尺頭I的剖面圖；
[0012]圖2是構(gòu)成同實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51的立體圖；
[0013]圖3是構(gòu)成同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51的分解立體圖；
[0014]圖4是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的定子41、第一及第二轉(zhuǎn)子42及51的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0015]圖5是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的定子41的構(gòu)成的平面圖；[0016]圖6是用于詳細(xì)說明同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的定子41的構(gòu)成的平面圖；
[0017]圖7是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42的構(gòu)成的平面圖；
[0018]圖8是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第二轉(zhuǎn)子51的構(gòu)成的平面圖；
[0019]圖9是表示同實(shí)施方式的收發(fā)控制部6及運(yùn)算處理部7的構(gòu)成的框圖；
[0020]圖10是表示向同實(shí)施方式的第一發(fā)送繞組SI及第二發(fā)送繞組82供給電流的電流供給裝置的電路圖；
[0021]圖11是表示通過在同實(shí)施方式的第一、第二發(fā)送繞組S1、S2中流動(dòng)的電流而在第一、第二磁通耦合體Ml、M2產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概要圖；
[0022]圖12是表示第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的定子41 一 2、第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 2及51 — 2的構(gòu)成的側(cè)剖面圖
[0023]圖13是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的定子41 一 2的構(gòu)成的平面圖；
[0024]圖14是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的第一轉(zhuǎn)子42 — 2的構(gòu)成的平面圖；
[0025]圖15是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的第二轉(zhuǎn)子51 — 2的構(gòu)成的平面圖；
[0026]圖16是表示第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 3的定子41 一 3、第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 3及51 — 3的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0027]圖17是表示同實(shí)施方式的收發(fā)控制部6 - 3及運(yùn)算處理部7的構(gòu)成的框圖；
[0028]圖18是表示向同實(shí)施方式的第一發(fā)送繞組S1、第二發(fā)送繞組S2及第四發(fā)送繞組S4供給電流的電流供給裝置的電路圖；
[0029]圖19是表示第四實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 4的定子41 一 4、第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 4及51 — 4的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0030]圖20是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 4的第一轉(zhuǎn)子42 — 4的構(gòu)成的平面圖；
[0031]圖21是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 4的第二轉(zhuǎn)子51 — 4的構(gòu)成的平面圖；
[0032]圖22是表示第五實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 5的定子41 一 5、第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 5及51 — 5的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0033]圖23是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的定子41 - 5的第一配線層41A上的構(gòu)成的平面圖；
[0034]圖24是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的定子41 一 5的第二配線層41B上的構(gòu)成的平面圖；
[0035]圖25是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)子42 — 5的第一配線層42A上的構(gòu)成的平面圖；
[0036]圖26是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)子42 — 5的第二配線層42B上的構(gòu)成的平面圖；
[0037]圖27是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第二轉(zhuǎn)子51 — 5的第一配線層51A上的構(gòu)成的平面圖；
[0038]圖28是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第二轉(zhuǎn)子51 — 5的第二配線層51B上的構(gòu)成的平面圖；
[0039]圖29是表示同實(shí)施方式的接收第一碼道的信號(hào)時(shí)的情形的概要圖；
[0040]圖30是表示同實(shí)施方式的接收第二碼道的信號(hào)時(shí)的情形的概要圖；
[0041]圖31是表示同實(shí)施方式的接收第三碼道的信號(hào)時(shí)的情形的概要圖；
[0042]圖32是表示同實(shí)施方式的接收第四碼道的信號(hào)時(shí)的情形的概要圖；
[0043]圖33是表示第六實(shí)施方式的定子41 - 6、第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 6及51 — 5的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0044]圖34是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的定子41 一 6的第一配線層41A — 6的構(gòu)成的平面圖；
[0045]圖35是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的定子41 一 6的第二配線層41B — 6的構(gòu)成的平面圖；
[0046]圖36是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)子42 — 6的第一配線層42A — 6上的構(gòu)成的平面圖；
[0047]圖37是表示構(gòu)成同實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)子42 — 6的第二配線層42B — 6上的構(gòu)成的平面圖；
[0048]圖38是表不第七實(shí)施方式的千分尺頭I 一 7的剖面圖；
[0049]圖39是同實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 7的分解立體圖；
[0050]圖40是表示第八實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的定子41、轉(zhuǎn)子42 — 8的構(gòu)成的側(cè)剖面圖；
[0051]圖41是表示同感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的轉(zhuǎn)子42 - 8的構(gòu)成的平面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0052]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0053][1.第一實(shí)施方式]
[0054][1- 1.整體構(gòu)成]
[0055]首先，參照?qǐng)D1對(duì)搭載有第一實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的千分尺頭I的整體構(gòu)成進(jìn)行說明。圖1是表示第一實(shí)施方式的千分尺頭I的剖面圖。
[0056]千分尺頭I具有主體2、從主體2延伸的主軸3、將主軸3設(shè)置于中心而成的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4。另外，千分尺頭I具有收發(fā)控制部6、運(yùn)算處理部7及顯示部8。收發(fā)控制部6對(duì)與感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4之間的信號(hào)的收發(fā)進(jìn)行控制。運(yùn)算處理部7基于來自收發(fā)控制部6 (感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4)的信號(hào)，執(zhí)行運(yùn)算處理。顯示部8顯示運(yùn)算處理部7計(jì)算出的運(yùn)算結(jié)果。
[0057]主體2形成為大致圓筒狀，在內(nèi)部具備收納空間21、22。收納空間21、22由中隔板23隔開。在主體2的主軸前端側(cè)(圖中，左側(cè))的壁及中隔板23上，分別形成有主軸3進(jìn)行貫通的貫通孔24、25，在主體2的基端側(cè)(圖中，右側(cè))的端部，形成有內(nèi)螺紋26。這些貫通孔24、25及內(nèi)螺紋26配置在同軸上。
[0058]主軸3形成為大致圓柱狀，在前端部具有與被測(cè)量物(未圖示)接觸的接觸面31，在基端部具有旋鈕部32。該旋鈕部32用于從外部對(duì)主軸3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作。而且，主軸3插通在主體2的貫通孔24、25內(nèi)，成為兩端從主體2突出的狀態(tài)。另外，在主軸3的外周形成有進(jìn)給螺紋33，與主體2的內(nèi)螺紋26螺合。這樣，當(dāng)旋鈕部32旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過進(jìn)給螺紋33和內(nèi)螺紋26的螺合，主軸3就沿著貫通孔24、25進(jìn)行進(jìn)退。進(jìn)給螺紋33例如以0.5mm的節(jié)距旋轉(zhuǎn)40圈而形成，能夠使主軸3進(jìn)退20mm。另外，在主軸3的大致中央部，沿軸方向形成有直線狀的鍵槽34。
[0059][I 一 2.感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的構(gòu)成]
[0060]接下來，參照?qǐng)D1?圖3對(duì)構(gòu)成感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51進(jìn)行說明。圖2是構(gòu)成感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51的立體圖。圖3是構(gòu)成感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51的分解立體圖。如圖2及圖3所示，感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4由第一回轉(zhuǎn)編碼器40和第二回轉(zhuǎn)編碼器50構(gòu)成，收納在主體2的收納空間22內(nèi)。
[0061]第一回轉(zhuǎn)編碼器40具備定子41、第一轉(zhuǎn)子42、第一旋轉(zhuǎn)圓筒43。
[0062]定子41在圓板的中央具有主軸3插通的插通孔44，固定于中隔板23。具體而言，定子41外嵌于中隔板2B的形成于貫通孔25的周圍的緣部件27。
[0063]第一轉(zhuǎn)子42在圓板的中央具有主軸3插通的插通孔45，在距定子41規(guī)定尺寸的位置，以在軸方向上相對(duì)定子41而配置。
[0064]第一旋轉(zhuǎn)圓筒43在該第一旋轉(zhuǎn)圓筒43內(nèi)插通有主軸3的狀態(tài)下，配設(shè)于比定子41更靠主軸3的前端側(cè)，繞主軸3可旋轉(zhuǎn)地支承第一轉(zhuǎn)子42。即，在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的定子41側(cè)的端部，沿著主軸3的外周而形成有轉(zhuǎn)子支承部46，在該轉(zhuǎn)子支承部46的外周，夕卜嵌有第一轉(zhuǎn)子42。
[0065]另外，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43具備從外周向中心螺入的螺釘狀的鍵47。該鍵47的前端從第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的內(nèi)周突出，與主軸3的外周的鍵槽34卡合。S卩，當(dāng)主軸3旋轉(zhuǎn)時(shí)，因?yàn)樵谥鬏S3的鍵槽B4內(nèi)卡合有鍵47，所以第一旋轉(zhuǎn)圓筒43就與主軸3同步旋轉(zhuǎn)。
[0066]另外，在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的外周，形成有第一齒輪48。該齒輪48在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43上，并設(shè)置于主軸3的前端側(cè)的端部，具有比第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的其他部分的外周大的外徑尺寸。第一齒輪48的齒數(shù)例如設(shè)定為40枚。
[0067]第二回轉(zhuǎn)編碼器50具備前述的定子41、第二轉(zhuǎn)子51、第二旋轉(zhuǎn)圓筒(保持體)52、中間齒輪53。
[0068]定子41是第一回轉(zhuǎn)編碼器40的定子41，成為第一回轉(zhuǎn)編碼器40及第二回轉(zhuǎn)編碼器50公用的零件。
[0069]第二轉(zhuǎn)子51在圓板的中央具有可配置第一轉(zhuǎn)子42的孔54，以包圍該第一轉(zhuǎn)子42的方式配置在該第一轉(zhuǎn)子42的外周。另外，第二轉(zhuǎn)子51與第一轉(zhuǎn)子42同樣，以在軸方向上相對(duì)定子41的方式配置在與定子41相距規(guī)定尺寸的位置。這樣，各轉(zhuǎn)子42、51的與定子41相對(duì)的面彼此形成大致同一平面。
[0070]第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 (第一齒輪48以外的部分)插通于第二旋轉(zhuǎn)圓筒52的內(nèi)部，第二旋轉(zhuǎn)圓筒52支承于該第一旋轉(zhuǎn)圓筒43。在該第二旋轉(zhuǎn)圓筒52的定子41側(cè)的端部，粘貼有第二轉(zhuǎn)子51。這樣，第二轉(zhuǎn)子51可旋轉(zhuǎn)地支承于主軸3的軸周圍。S卩，第一轉(zhuǎn)子42、第二轉(zhuǎn)子51分別配置于內(nèi)側(cè)和外側(cè)，構(gòu)成雙重圓筒構(gòu)造。
[0071]另外，在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52的外周形成有第二齒輪55。該齒輪55在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52上，并設(shè)置于主軸3的前端側(cè)的端部，具有與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的齒輪48大致相同的外徑尺寸。第二齒輪55的齒數(shù)例如設(shè)定為41枚，比第一齒輪48的齒數(shù)多I枚。
[0072]中間齒輪53可旋轉(zhuǎn)地支承于主體2，以與第一齒輪48和第二齒輪55雙方都嚙合的狀態(tài)進(jìn)行配置。即，中間齒輪53由與第一齒輪48嚙合的第一中間齒輪53A、與第二齒輪55嚙合的第二中間齒輪53B、將這兩個(gè)中間齒輪53A、53B軸支承在同一軸上的軸部53C構(gòu)成。中間齒輪53A、53B的各齒數(shù)設(shè)定為同數(shù)，例如，12枚。在此，成為一對(duì)齒輪的第一齒輪48及第一中間齒輪53A的各模數(shù)都一致,成為另一對(duì)齒輪的第二齒輪55及第二中間齒輪53B的各模數(shù)也都一致，由此，當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43旋轉(zhuǎn)時(shí)，經(jīng)由中間齒輪53，第二旋轉(zhuǎn)圓筒
52就能夠圓滑地旋轉(zhuǎn)。
[0073]此時(shí)，由于齒輪48和齒輪55的齒數(shù)的不同，各轉(zhuǎn)子42、51以不同的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。例如，在如本實(shí)施方式那樣將齒輪48的齒數(shù)設(shè)為40，并將齒輪55的齒數(shù)設(shè)為41的情況下，在主軸3在進(jìn)退移動(dòng)范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)40圈期間，第一轉(zhuǎn)子42旋轉(zhuǎn)40圈，第二轉(zhuǎn)子51旋轉(zhuǎn)39圈。
[0074]另外，第一回轉(zhuǎn)編碼器40及第二回轉(zhuǎn)編碼器50可檢測(cè)各自的轉(zhuǎn)子42、51的一圈以內(nèi)的絕對(duì)角度。即，定子41每當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)子42旋轉(zhuǎn)一圈，都輸出表示一周期的變化的相位信號(hào)。而且，由于第一轉(zhuǎn)子42與主軸3同步旋轉(zhuǎn)，因此第一轉(zhuǎn)子42相關(guān)的相位信號(hào)通過主軸3的旋轉(zhuǎn)一圈，來呈現(xiàn)本發(fā)明的第一周期的變化。例如，在主軸3旋轉(zhuǎn)40圈期間，呈現(xiàn)40周期的變化。
[0075]就第二轉(zhuǎn)子51而言，定子41也是每當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)子51旋轉(zhuǎn)一圈，都輸出表示一周期的變化的相位信號(hào)。而且，由于第二轉(zhuǎn)子51在主軸3旋轉(zhuǎn)40圈期間旋轉(zhuǎn)39圈，因此第二轉(zhuǎn)子51相關(guān)的相位信號(hào)通過主軸3的旋轉(zhuǎn)40圈，來呈現(xiàn)39周期的變化。
[0076][1-3.感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的層疊構(gòu)造]
[0077]接著，參照?qǐng)D4對(duì)定子41、第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51的層疊構(gòu)造進(jìn)行說明。圖4是定子41、第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51的剖面圖。定子41具有橫跨在絕緣層41IA及41IB上而形成的第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2。另外，定子41在插通孔44和第一接收繞組Rl之間具備第一發(fā)送繞組SI，且在第二接收繞組R2的外周具備第二發(fā)送繞組S2而構(gòu)成。進(jìn)而，第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2通過第一接觸配線Cl而共通連接。第一轉(zhuǎn)子42具有第一磁通耦合體Ml。另外,第二轉(zhuǎn)子51具有第二磁通耦合體M2。
[0078][1-4.感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的平面構(gòu)造]
[0079]接著，參照?qǐng)D5?圖8對(duì)定子41、第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51上的平面構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。圖5?圖8分別是表示定子41、第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51的構(gòu)成的平面圖。
[0080]如圖5所示，在與第一、第二轉(zhuǎn)子42、51相對(duì)的定子41上，第一發(fā)送繞組SI及第二發(fā)送繞組S2與主軸3設(shè)置為同軸。第一發(fā)送繞組SI從主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)起以第一直徑形成為大致圓形狀。第二發(fā)送繞組S2從主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)起以大于第一直徑的第二直徑形成為大致圓形狀。
[0081]另外，如圖5所示，在與第一、第二轉(zhuǎn)子42、51相對(duì)的定子41上，與主軸3同軸地設(shè)有第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2。第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2形成于第一發(fā)送繞組SI和第二發(fā)送繞組S2之間，在內(nèi)周側(cè)形成有第一接收繞組Rl，在外周側(cè)形成有第二接收繞組R2。第一接收繞組Rl檢測(cè)由第一磁通耦合繞組Ml生成的磁通。第二接收繞組R2檢測(cè)由第二磁通耦合繞組M2生成的磁通。[0082]第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2分別由在旋轉(zhuǎn)方向上相位不同的三個(gè)接收繞組Rll?R13及接收繞組R21?R23構(gòu)成。在此，當(dāng)著眼于接收繞組Rll時(shí)，如圖6所示，由形成為環(huán)狀(菱形狀)的電線構(gòu)成。接收繞組Rll以交叉部不短路的方式使相互交叉的部分排列在基板的上下，相互通過由通孔來連接而分別絕緣分離地配置。另外，構(gòu)成該接收繞組Rll的電線的環(huán)以兩個(gè)為一組而構(gòu)成繞組PAR1。在本實(shí)施方式中，接收繞組Rll將9個(gè)(NI)繞組PARl串聯(lián)地連接而成。另外，構(gòu)成第二接收繞組R2的接收繞組R21將10個(gè)(N2)繞組PAR2串聯(lián)地連接而成。進(jìn)而，這些接收繞組Rll及接收繞組R21通過接觸配線Cll而串聯(lián)連接，且通過公用的引出配線Wll而引出。因而，構(gòu)成引出配線Wll的兩根配線中的一根與接收繞組Rll連接，另一根與接收繞組R21連接。另外，剩余的接收繞組R12、R13、R22及R23也大致同樣地構(gòu)成。即，接收繞組R12及R13與接收繞組Rll大致同樣地構(gòu)成，R22及R23與接收繞組R21大致同樣地構(gòu)成，R12和R22通過接觸配線C12而串聯(lián)地連接，R13和R23通過接觸配線C13而串聯(lián)地連接，通過引出配線W12、W13而引出。
[0083]根據(jù)本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，將第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2串聯(lián)連接，進(jìn)而，將這些接收繞組Rl及R2的引出配線設(shè)為公用。由此，可將接收繞組的引出配線的數(shù)量削減到半數(shù)，進(jìn)而，將接收控制部的電路規(guī)模縮小。另外，在本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器中，由第一發(fā)送繞組S1、后述的第一磁通耦合體Ml及第一接收繞組Rl構(gòu)成的第一角度檢測(cè)碼道的信號(hào)和由第二發(fā)送繞組S2、后述的第二磁通耦合體M2及第二接收繞組R2構(gòu)成的第二角度檢測(cè)碼道的信號(hào)從公用的引出配線Wll?W13接收。因而，第一角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)和第二角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)分時(shí)地交替地進(jìn)行。
[0084]如圖7所示，在與定子41相對(duì)的第一轉(zhuǎn)子42上，與主軸3同軸地設(shè)有第一磁通耦合體Ml。第一磁通耦合體Ml以在第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)一圈中距主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)的距離周期性地變化NI次的方式形成。另外，第一磁通耦合體Ml可與第一發(fā)送繞組SI進(jìn)行磁通耦
八
口 ο
[0085]第一磁通耦合繞組Ml通過將例如9個(gè)(NI)配線圖案PAMl連接為環(huán)狀而形成。第一磁通耦合體Ml具有以節(jié)距λ I而在第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的連續(xù)的具有齒輪狀形狀的配線的部分和與該齒輪狀的配線部分外接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀的配線。更具體而言，第一磁通耦合體Ml交替地構(gòu)成向遠(yuǎn)離主軸3的方向突出的凸部Mll和向接近主軸3的方向凹陷的凹部Μ12。另外，第一磁通耦合體Ml具有將多個(gè)凸部Mll連結(jié)的圓環(huán)狀的連結(jié)部Μ13。即，多個(gè)凹部Μ12及凸部Mll形成齒輪狀的第一電流路徑L11，多個(gè)凸部Mll及連結(jié)部Μ13形成圓環(huán)狀的第二電流路徑L12。
[0086]如圖8所示，在與定子41相對(duì)的第二轉(zhuǎn)子51上，與主軸3同軸地設(shè)有第二磁通耦合體M2。第二磁通耦合繞組M2以在第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)一圈中距主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)的距離周期性地變化Ν2次的方式形成。另外，第二磁通耦合體M2可與第二發(fā)送繞組S2進(jìn)行磁通耦合。
[0087]第二磁通耦合體M2以例如10個(gè)(Ν2)配線圖案ΡΑΜ2連接為環(huán)狀而形成。S卩，第二磁通耦合繞組M2的配線圖案ΡΑΜ2的數(shù)量與第一磁通耦合繞組Ml的配線圖案PAMl的數(shù)量不同，僅差一個(gè)。第二磁通耦合體M2具有以節(jié)距λ 2而在第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分內(nèi)接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀的配線。更具體而言，第二磁通耦合體M2交替地構(gòu)成向接近主軸3的方向凹陷的凹部M21和向遠(yuǎn)離主軸3的方向突出的凸部M22。另外，第二磁通耦合體M2具有將多個(gè)凹部M21連結(jié)的圓環(huán)狀的連結(jié)部M23。S卩，多個(gè)凹部M21及凸部M22形成齒輪狀的第一電流路徑L21，多個(gè)凹部M21及連結(jié)部M23形成圓環(huán)狀的第二電流路徑L22。
[0088][1- 5.收發(fā)控制部6及運(yùn)算處理部7]
[0089]接著，參照?qǐng)D9對(duì)本實(shí)施方式的收發(fā)控制部6及運(yùn)算處理部7的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。圖9是表示收發(fā)控制部6及運(yùn)算處理部7的構(gòu)成的框圖。
[0090]首先，對(duì)收發(fā)控制部6進(jìn)行說明。收發(fā)控制部6具備控制對(duì)第一回轉(zhuǎn)編碼器40的信號(hào)的收發(fā)的第一收發(fā)控制部61、控制對(duì)第二回轉(zhuǎn)編碼器50的信號(hào)的收發(fā)的第二收發(fā)控制部62。
[0091]第一收發(fā)控制部61具備第一發(fā)送控制部63和第一接收控制部64。第一發(fā)送控制部63向定子41發(fā)送第一轉(zhuǎn)子42用(第一發(fā)送繞組SI用)的規(guī)定的交流信號(hào)。第一接收控制部64從定子41 (第一接收繞組Rl)接收第一轉(zhuǎn)子42的相位信號(hào)。
[0092]同樣，第二收發(fā)控制部62具備第二發(fā)送控制部65和第二接收控制部66。第二發(fā)送控制部65向定子41發(fā)送第二轉(zhuǎn)子51用(第二發(fā)送繞組S2用)的規(guī)定的交流信號(hào)。第二接收控制部66從定子41 (第二接收繞組R2)接收第二轉(zhuǎn)子51的相位信號(hào)。第一接收控制部64及第二接收控制部66將從定子41接收到的第一轉(zhuǎn)子42的相位信號(hào)和第二轉(zhuǎn)子51的相位信號(hào)輸出到運(yùn)算處理部7。
[0093]接著，對(duì)運(yùn)算處理部7進(jìn)行說明。運(yùn)算處理部7具備旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部71、旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部72及主軸位置計(jì)算部73。旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部71分別計(jì)算出第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)角Θ 1、Θ 2。旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部72基于由旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部71計(jì)算出的各轉(zhuǎn)子42、51的旋轉(zhuǎn)角Θ 1、Θ 2，計(jì)算出主軸3的旋轉(zhuǎn)相位。主軸位置計(jì)算部73基于由旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部72計(jì)算出的主軸3的旋轉(zhuǎn)相位，計(jì)算出主軸3的絕對(duì)位置。
[0094]旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部71具備第一旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部74及第二旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部75。第一旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部74基于來自第一接收控制部64的相位信號(hào)，計(jì)算出第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ1。第二旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部75基于來自第二接收控制部66的相位信號(hào)，計(jì)算出第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)角Θ 2。
[0095]第一旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部74基于來自第一接收控制部64的相位信號(hào)，計(jì)算出第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ I作為旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的絕對(duì)角度(0° < Θ1< 360° )。在此，來自第一接收控制部64的相位信號(hào)在第一轉(zhuǎn)子42旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)不產(chǎn)生同一相位。第一旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部74存儲(chǔ)有第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ I和相位信號(hào)的關(guān)系。由此，根據(jù)從第一接收控制部64輸出的相位信號(hào)，唯一地決定第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ 1，計(jì)算出第一轉(zhuǎn)子42旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的絕對(duì)角度。
[0096]另外，第二旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部75與第一旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部74同樣，基于來自第二接收控制部66的相位信號(hào)，計(jì)算出第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)角Θ 2作為旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的絕對(duì)角度。
[0097]旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部72具備差分計(jì)算部76及總旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部77。差分計(jì)算部76計(jì)算出由旋轉(zhuǎn)角計(jì)算部71計(jì)算出的第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ I及第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)角Θ2的差分Θ3?？傂D(zhuǎn)相位計(jì)算部77基于差分Θ 3，計(jì)算出主軸3的總旋轉(zhuǎn)相位。
[0098]總旋轉(zhuǎn)相位計(jì)算部77存儲(chǔ)有差分Θ 3和主軸3的總旋轉(zhuǎn)相位的關(guān)系。即，由于主軸3以在進(jìn)退移動(dòng)范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)40圈期間第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)角Θ I及第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)角θ 2之差成為I圈的方式設(shè)定，因此在0°?360°的范圍內(nèi)計(jì)算出差分Θ3，根據(jù)該差分Θ 3，唯一地計(jì)算出主軸3的總旋轉(zhuǎn)相位Θ T0
[0099]在主軸位置計(jì)算部73，預(yù)設(shè)定存儲(chǔ)有主軸3的每旋轉(zhuǎn)一圈的移動(dòng)節(jié)距(0.5mm)ο而且，在主軸位置計(jì)算部73，通過移動(dòng)節(jié)距(0.5mm)和總旋轉(zhuǎn)相位Θ T進(jìn)行乘法運(yùn)算，計(jì)算出主軸3的總移動(dòng)量，即，主軸3的絕對(duì)位置。顯示部8例如通過數(shù)字顯示，來顯示主軸3的絕對(duì)位置。
[0100][1- 6.千分尺頭I的動(dòng)作]
[0101]接著，對(duì)本實(shí)施方式的千分尺頭I的動(dòng)作進(jìn)行說明，當(dāng)通過旋鈕部32使主軸3旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過主體2的內(nèi)螺紋26和主軸3的進(jìn)給螺紋33的螺合，主軸3沿軸方向進(jìn)退。當(dāng)主軸3旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過主軸3的與鍵槽34卡合的鍵47，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43與主軸3 —同旋轉(zhuǎn)。
[0102]當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43旋轉(zhuǎn)時(shí),第一轉(zhuǎn)子42就與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43—同旋轉(zhuǎn)。第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)通過定子41來檢測(cè)，并發(fā)送到第一接收控制部64。接下來，在運(yùn)算處理部7，計(jì)算出第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)一圈以內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角Θ1。
[0103]在此，由于第一轉(zhuǎn)子42與主軸3同步旋轉(zhuǎn)，因此，第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角ΘI呈現(xiàn)的是主軸3的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角。
[0104]另外，當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43旋轉(zhuǎn)時(shí)，與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43的齒輪48嚙合的中間齒輪53的第一中間齒輪53A就旋轉(zhuǎn)。進(jìn)而，與中間齒輪53的第二中間齒輪53B嚙合的第二旋轉(zhuǎn)圓筒52的齒輪55旋轉(zhuǎn)，第二轉(zhuǎn)子51與第二旋轉(zhuǎn)圓筒52—同旋轉(zhuǎn)。第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)一圈以內(nèi)的相位信號(hào)通過定子41來檢測(cè)，并發(fā)送到收發(fā)控制部6。接下來，在運(yùn)算處理部7，計(jì)算出第二轉(zhuǎn)子51的旋轉(zhuǎn)一圈以內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角Θ 2。
[0105]接下來，在運(yùn)算處理部7，計(jì)算出各轉(zhuǎn)子42、51的旋轉(zhuǎn)角Θ 1、Θ 2的差分Θ3，基于該差分Θ 3，計(jì)算出主軸3的總旋轉(zhuǎn)相位ΘΤ。最后，基于總旋轉(zhuǎn)相位Θ T和主軸3的進(jìn)給節(jié)距(0.5mm)，計(jì)算出主軸3的絕對(duì)位置，顯示于顯示部8。
[0106]在本實(shí)施方式中，第二回轉(zhuǎn)編碼器50相對(duì)于第一回轉(zhuǎn)編碼器40的旋轉(zhuǎn)角直到旋轉(zhuǎn)一圈都能夠利用。因而，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠擴(kuò)大主軸3的側(cè)長(zhǎng)范圍。另外，如果在具有與本實(shí)施方式同等的側(cè)長(zhǎng)范圍的裝置上應(yīng)用本實(shí)施方式的構(gòu)成，就能夠降低構(gòu)成部請(qǐng)求的零件精度、裝配容許精度。
[0107][1-7.回轉(zhuǎn)編碼器的動(dòng)作]
[0108]接著，對(duì)本實(shí)施方式的回轉(zhuǎn)編碼器4的動(dòng)作原理進(jìn)行說明。
[0109]如圖10所示，第一發(fā)送繞組SI及第二發(fā)送繞組S2的一端都接地，另一端經(jīng)由開關(guān)Swl而與交流電源V連接。在測(cè)量時(shí)，交替地向第一發(fā)送繞組SI及第二發(fā)送繞組S2供給周期性地變化的發(fā)送電流。由此，第一角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)和第二角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)交替地進(jìn)行。
[0110]接著，參照?qǐng)D11對(duì)第一角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)進(jìn)行說明。當(dāng)向第一發(fā)送繞組Si例如順時(shí)針地流動(dòng)電流時(shí)，就會(huì)在各電流路徑上沿右旋方向產(chǎn)生磁場(chǎng)，因此該磁場(chǎng)與第一磁通耦合體Ml結(jié)合而向第一磁通耦合體Ml逆時(shí)針地流動(dòng)電流。
[0111]在第一磁通耦合體Ml中，主要是在凹部M12誘發(fā)的電流變成主流。因而，在磁通耦合體Ml中誘發(fā)的電流主要在由凹部M12及凸部Mll形成的齒輪狀的第一電流路徑Lll中流動(dòng)。由此，在第一磁通耦合體Ml的凹部M12，產(chǎn)生從圖7的紙面的表面向背面前進(jìn)的磁場(chǎng)，在凸部M11，產(chǎn)生從紙面的背面向表面前進(jìn)的磁場(chǎng)，這些磁場(chǎng)形成節(jié)距λ I的周期性的磁氣圖案。這些磁場(chǎng)由第一接收繞組Rl接收。在此，第一接收繞組Rl與第二接收繞組R2共通地連接。因而，在第一接收繞組Rl中誘發(fā)的電流經(jīng)由第一接觸配線Cl流到第及第二接收繞組Rl及R2。
[0112]另外，在對(duì)第一發(fā)送繞組SI流動(dòng)了電流的情況下，向第二磁通耦合體M2的第二電流路徑L22流動(dòng)大部分的電流，因?yàn)橥ㄟ^該電流而產(chǎn)生的磁場(chǎng)遍及轉(zhuǎn)子一周而均勻，所以不會(huì)在接收繞組Rl上產(chǎn)生第二電流路徑L22的電流。另外，在第一電流路徑L21上也有流動(dòng)電流的可能性，但因?yàn)榈谝淮磐詈象wMl的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距λ 1X10，與此相對(duì)，第二磁通耦合體M2的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距λ 2X9，所以與第一接收繞組Rl結(jié)合的磁場(chǎng)的影響會(huì)在一周的總體中抵消來自第二磁通耦合體M2的磁場(chǎng)的影響。即，通過不同的節(jié)距λ 1、λ 2，能夠抵消對(duì)第二接收繞組R2的影響，能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行第一角度檢測(cè)碼道的角度的測(cè)量。另夕卜，在出于小型化等目的而減窄了第一及第二角度檢測(cè)碼道的間隔的情況下，通過第一磁通耦合體Μ1，有可能向第二接收繞組R2誘發(fā)電流，但同樣，通過第一及第二角度檢測(cè)碼道的節(jié)距的差異，這種感應(yīng)電流會(huì)被抵消，大致檢測(cè)不到。
[0113]接著，對(duì)第二角度檢測(cè)碼道的角度的測(cè)量進(jìn)行說明。當(dāng)向第二發(fā)送繞組S2例如順時(shí)針地流動(dòng)電流時(shí)，就會(huì)在第二發(fā)送繞組S2的各電流路徑上沿右旋方向產(chǎn)生磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)與第二磁通耦合體M2結(jié)合而向第二磁通耦合體M2逆時(shí)針地流動(dòng)電流。
[0114]與第一角度檢測(cè)碼道的角度的測(cè)量的情況同樣，也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行第二角度檢測(cè)碼道的角度的測(cè)量。即，在第二磁通耦合體M2中，在齒輪狀的第一電流路徑L21上誘發(fā)電流，由此，產(chǎn)生磁場(chǎng)，通過第二磁通耦合體M2和第二接收繞組R2磁通耦合，向接收繞組R2流動(dòng)感應(yīng)電流，通過檢測(cè)該感應(yīng)電流，進(jìn)行第二角度檢測(cè)碼道的角度的測(cè)量。進(jìn)而，第二磁通耦合體M2給第一接收繞組Rl帶來的影響以及第一磁通耦合體Ml給第二接收繞組R2帶來的影響通過第一及第二角度檢測(cè)碼道的節(jié)距的差異而抵消，大致檢測(cè)不到。
[0115][2.第二實(shí)施方式]
[0116]接著，對(duì)本發(fā)明第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2進(jìn)行說明。在第一實(shí)施方式中，對(duì)具有兩個(gè)碼道的構(gòu)成的ABS式感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4進(jìn)行了說明，但在第二實(shí)施方式中，對(duì)具有四個(gè)碼道的構(gòu)成的ABS式感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2進(jìn)行說明。
[0117]例如，如第一實(shí)施方式所示，在由三個(gè)配線的組構(gòu)成一個(gè)接收繞組的情況下，每增加一個(gè)碼道，都要各增加六根引出配線。因而，在如通常那樣構(gòu)成了具有四個(gè)碼道的構(gòu)成的ABS式感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的情況下，為了接收繞組，需要24根引出配線。因而，需要許多配線空間，進(jìn)而，導(dǎo)致控制電路的電路規(guī)模也增大。但是，在具有四個(gè)碼道的構(gòu)成的ABS式感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器上應(yīng)用了本發(fā)明的情況下，能夠?qū)⒁雠渚€消減到半數(shù)12根，且能夠?qū)⒈匾呐渚€空間及電路規(guī)模消減到半分程度。
[0118][2 - 1.第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的層疊構(gòu)造]
[0119]接著，參照?qǐng)D12對(duì)本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的層疊構(gòu)造進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的層疊構(gòu)成與第一實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4的構(gòu)成大致同樣，但在以下這點(diǎn)上不同。
[0120]即，在本實(shí)施方式中，定子41 一 2從插通孔44向外側(cè)依次具有第一?第四發(fā)送繞組SI?S4，在第一發(fā)送繞組SI和第二發(fā)送繞組S2之間配置第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2，在第三發(fā)送繞組S3和第四發(fā)送繞組S4之間配置第三接收繞組R3及第四接收繞組R4。另外，第一及第二接收繞組Rl及R2通過第一接觸配線Cl而串聯(lián)連接，第三及第四接收繞組R3及R4通過第二接觸配線C2而串聯(lián)連接。
[0121]進(jìn)而,第一轉(zhuǎn)子42 — 2從插通孔45向外側(cè)依次具有第一磁通稱合體Ml及第二磁通耦合體M2，第二轉(zhuǎn)子51 - 2從中心方向向外側(cè)方向依次具有第三磁通耦合體M3及第四磁通耦合體M4。
[0122][2 - 2.第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的平面構(gòu)造]
[0123]接著，參照?qǐng)D13?圖15對(duì)本實(shí)施方式I的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的平面構(gòu)造進(jìn)行說明。
[0124]圖13是表示本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的定子41 一 2的構(gòu)成的平面圖。如上所述，本實(shí)施方式的定子41 - 2由第一?第四發(fā)送繞組SI?S4及第一?第四接收繞組Rl?R4構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，第一發(fā)送繞組S1、第二發(fā)送繞組S2、第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2的構(gòu)成與第一實(shí)施方式同樣。
[0125]第三及第四接收繞組R3、R4與第一及第二接收繞組Rl、R2同樣，分別由在旋轉(zhuǎn)方向上相位不同的三個(gè)接收繞組R31?R33及接收繞組R41?R43構(gòu)成。另外，第三接收繞組R3與第一接收繞組Rl同樣，將形成為環(huán)狀(菱形狀)的9個(gè)(NI)電線對(duì)組合而構(gòu)成，第四接收繞組R4與第二接收繞組R2同樣，將形成為環(huán)狀(菱形狀)的10個(gè)(N2)電線對(duì)組合而構(gòu)成。在此，第二及第四接收繞組R3、R4配置在第一及第二發(fā)送繞組SI及S2、第一及第二接收繞組Rl及R2的外側(cè)。因而，第三及第四接收繞組R3、R4的半徑比第一及第二接收繞組R1、R2的半徑大。
[0126]另外，在本實(shí)施方式中，接觸配線Cl(下稱第一接觸配線)的構(gòu)成也與第一實(shí)施方式同樣。進(jìn)而，本實(shí)施方式的定子41 一 2具有由配線C21?C23構(gòu)成的第二接觸配線C2。配線C21?C23分別將接收繞組R31和R41、接收繞組R32和R42及接收繞組R33和R43串聯(lián)連接。進(jìn)而，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2具有含有配線W21、W22及W23的引出配線W2，分別通過配線W21，從接收繞組R31和R41引出配線，通過配線W22，從接收繞組R32和R42引出配線，通過配線W23，從接收繞組R32和R43引出配線。另外，在本實(shí)施方式中，分別將第一接收繞組Rl和第二接收繞組R2、第三接收繞組R3和第四接收繞組R4串聯(lián)連接，但也可采用不同的組合，例如，也可分別將第一接收繞組Rl和第三接收繞組R3、第二接收繞組R2和第四接收繞組R4連接。此外，當(dāng)分別將第二接收繞組R2和第三接收繞組R3連接時(shí)，因?yàn)橥瑫r(shí)向第二及第三角度檢測(cè)碼道流動(dòng)接收信號(hào)，所以測(cè)量精度有可能會(huì)下降。因而，通過將第二接收繞組R2和第三接收繞組R3分別與第一接收繞組Rl或第四接收繞組R4連接，能夠防止這種測(cè)量精度的降低。
[0127]另外，在本實(shí)施方式中，將第一接收繞組Rl和第三接收繞組R3及第二接收繞組R2和第四接收繞組R4的電線對(duì)的數(shù)量制成相等，但構(gòu)成第三及第四接收繞組R3、R4的電線對(duì)的數(shù)量可適當(dāng)調(diào)節(jié)，當(dāng)然，也可設(shè)為與構(gòu)成第一及第二接收繞組Rl、R2的電線對(duì)的數(shù)量不同的數(shù)量。
[0128]圖14是表示第一磁通耦合繞組Ml及第二磁通耦合繞組M2的構(gòu)成的平面圖。圖15是表示第三磁通耦合繞組M3及第四磁通耦合繞組M4的構(gòu)成的平面圖。第三磁通耦合繞組M3的構(gòu)成與第一磁通耦合繞組Ml大致同樣，第四磁通耦合繞組M4的構(gòu)成與第二磁通耦合繞組M2大致同樣。但是，第三及第四磁通耦合繞組M3、M4分別具有比第一及第二磁通耦合繞組Ml、M2大的半徑，以使其分別與第三及第四接收繞組R3、R4進(jìn)行磁通耦合。
[0129][2 - 3.第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的動(dòng)作]
[0130]接著，對(duì)本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2的動(dòng)作進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的動(dòng)作與第一實(shí)施方式大致同樣，但在以下這點(diǎn)上不同。即，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 2將第一接收繞組Rl和第二接收繞組R2串聯(lián)連接，將第三接收繞組R3和第四接收繞組R4串聯(lián)連接。因而，在第一實(shí)施方式中，分時(shí)地交替地進(jìn)行第一及第二角度檢測(cè)碼道的測(cè)量，但在本實(shí)施方式中，也進(jìn)一步分時(shí)地交替地進(jìn)行第三及第四角度檢測(cè)碼道的測(cè)量。另外，例如，第一角度檢測(cè)碼道的測(cè)量和第三角度檢測(cè)碼道的測(cè)量等是通過從不同的引出配線接收的信號(hào)進(jìn)行測(cè)量的，這能夠同時(shí)測(cè)量。
[0131]另外，在第二實(shí)施方式中，通過利用上述的發(fā)送控制部6及運(yùn)算處理部7將第一轉(zhuǎn)子42 — 2及第二轉(zhuǎn)子51 - 2的旋轉(zhuǎn)角進(jìn)行比較，能夠以充分的精度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)的絕對(duì)位置檢測(cè)。此外，根據(jù)本實(shí)施方式的構(gòu)成，能夠降低機(jī)構(gòu)部所請(qǐng)求的零件精度及裝配精度，能夠降低制造上的負(fù)擔(dān)。
[0132]另外，在本實(shí)施方式中，第二回轉(zhuǎn)編碼器50相對(duì)于第一回轉(zhuǎn)編碼器40的旋轉(zhuǎn)角直到旋轉(zhuǎn)一圈都能夠利用。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠擴(kuò)大主軸3的側(cè)長(zhǎng)范圍。另外，如果在具有與本實(shí)施方式同等的側(cè)長(zhǎng)范圍的裝置上應(yīng)用本實(shí)施方式的構(gòu)成，就能夠降低構(gòu)成部所請(qǐng)求的零件精度、裝配容許精度。
[0133][3.第三實(shí)施方式]
[0134][3-1.第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 3的構(gòu)成]
[0135]接著，對(duì)第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 3的構(gòu)成進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4-3與第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2大致同樣，但定子41 - 3的構(gòu)成不同。S卩，如圖16所示，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 3省略第三發(fā)送繞組S3而構(gòu)成，將第二發(fā)送繞組S2設(shè)為用于第二及第三角度檢測(cè)碼道的共通的發(fā)送繞組。因而，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的零件數(shù)量比第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器少，能夠設(shè)為簡(jiǎn)單的構(gòu)成。
[0136]另外，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 3的發(fā)送控制部6 — 3的構(gòu)成與上述第一及第二實(shí)施方式的發(fā)送控制部6的構(gòu)成不同。S卩，如圖17所示，本實(shí)施方式的收發(fā)控制部6 - 3具有發(fā)送控制部60 - 3、第一接收控制部64 - 3及第二接收控制部66 —3。
[0137]發(fā)送控制部60 - 3對(duì)第一及第二回轉(zhuǎn)編碼器40、50的信號(hào)的發(fā)送進(jìn)行控制。發(fā)送控制部60 — 3向定子41發(fā)送第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 2、51 — 2用(第一發(fā)送繞組S1、第二發(fā)送繞組S2及第四發(fā)送繞組S4用)的規(guī)定的交流信號(hào)。
[0138]第一接收控制部64 — 3從定子41 一 3 (第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2)接收第一轉(zhuǎn)子42 - 2的相位信號(hào)。在此，相位信號(hào)是基于第一磁通耦合體Ml的信號(hào)和基于第二磁通耦合體M2的信號(hào)之間的相位差的信號(hào)。
[0139]第二接收控制部66 - 3從定子41 一 3 (第三接收繞組R3及第四接收繞組R4)接收第二轉(zhuǎn)子51 - 2的相位信號(hào)。在此，相位信號(hào)是表示基于第三磁通耦合體M3的信號(hào)和基于第四磁通耦合體M4的信號(hào)之間的相位差的信號(hào)。第一接收控制部64 - 3及第二接收控制部66 - 3將從定子41 - 3接收到的各定子42 — 2、51 — 2的相位信號(hào)輸出到運(yùn)算處理部7。
[0140]另外，運(yùn)算處理部7的構(gòu)成與第一實(shí)施方式的運(yùn)算處理部7的構(gòu)成同樣。
[0141][3 - 2.第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 3的動(dòng)作]
[0142]接著，對(duì)第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 3的動(dòng)作進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 3的動(dòng)作與第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2的動(dòng)作大致同樣，但在本實(shí)施方式中，如圖18所示，經(jīng)由開關(guān)Sw2，分別向第一發(fā)送繞組S1、第二發(fā)送繞組S2及第四發(fā)送繞組S4供給發(fā)送電流。在這一點(diǎn)上，與同時(shí)向第一發(fā)送繞組SI及第三發(fā)送繞組S3供給發(fā)送電流的第二實(shí)施方式不同。但是，例如，在本實(shí)施方式中，也能夠同時(shí)向第一發(fā)送繞組SI及第四發(fā)送繞組S4供給發(fā)送電流，能夠同時(shí)進(jìn)行第一及第四角度檢測(cè)碼道的測(cè)量。
[0143][4.第四實(shí)施方式]
[0144]接著，對(duì)第四實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 4進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 4中，定子41 一 4的構(gòu)成與第二實(shí)施方式的定子41 一 2的構(gòu)成不同。即，如圖19所示，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 4在第一接收繞組Rl和第二接收繞組R2之間配置有第一發(fā)送繞組S1- 4，且在第三接收繞組R3和第四接收繞組R4之間配置有第二發(fā)送繞組S2 - 4。因而，在第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2中，設(shè)有四根發(fā)送繞組，在第三實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 3中，設(shè)有三根發(fā)送繞組，但在本實(shí)施方式中，進(jìn)一步將發(fā)送繞組的數(shù)量消減到兩根，能夠?qū)崿F(xiàn)零件數(shù)量的削減及構(gòu)成的簡(jiǎn)化。
[0145]另外，在本實(shí)施方式中，通過在第一發(fā)送繞組SI — 4上誘發(fā)發(fā)送電流，進(jìn)行第一及第二角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)，通過在第二發(fā)送繞組S2 — 4上誘發(fā)發(fā)送電流，進(jìn)行第三及第四角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)。因而，第一接收繞組Rl及第二接收繞組R2分別與第三接收繞組R3或第四接收繞組R4連接。在本實(shí)施方式中，通過第一接觸配線Cl 一 4，將第二接收繞組R2及第三接收繞組R3連接，通過第二接觸配線C2 - 4，將第一接收繞組Rl及第四接收繞組R4連接。
[0146]另外，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 4的第一轉(zhuǎn)子42 — 4及第二轉(zhuǎn)子51 - 4的構(gòu)成與第二實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2不同。即，在本實(shí)施方式中，第一發(fā)送繞組SI — 4在平面圖中位于第一接收繞組Rl和第二接收繞組R2之間。因而，例如，在使用與第一及第二實(shí)施方式同樣的第一磁通耦合繞組Ml的情況下，被誘發(fā)的電流的流到圓環(huán)狀的第二電流路徑L12的電流成為主流，有可能不能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行測(cè)量。因而，如圖20所示，本實(shí)施方式的第一磁通耦合繞組Ml — 4具有齒輪狀的電流路徑及與該齒輪狀的電流路徑內(nèi)接的電流路徑而構(gòu)成。另外，如圖20所示，第二磁通耦合繞組M2 - 4因?yàn)榕渲糜诒徽T發(fā)的第一發(fā)送繞組S1- 4的外側(cè)，所以具有齒輪狀的電流路徑和與該齒輪狀的電流路徑外接的圓環(huán)狀的電流路徑。另外，圖21圖示的是本實(shí)施方式的第三磁通耦合繞組M3 - 4及第四磁通耦合繞組M4 - 4的構(gòu)成，從同樣的理由來看，第三磁通耦合體M3 - 4的構(gòu)成與第一磁通耦合體Ml — 4大致同樣，第四磁通耦合體M4 - 4的構(gòu)成與第二磁通耦合體M2 —4大致同樣。
[0147][5.第五實(shí)施方式][0148]接著，對(duì)第五實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 5進(jìn)行說明。在第二實(shí)施方式中，對(duì)在平面上配置有四個(gè)碼道的構(gòu)成的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 2進(jìn)行了說明，但在這種構(gòu)成中，會(huì)導(dǎo)致其外徑增大。在本實(shí)施方式中，采用的是具有四個(gè)碼道且小型化了的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 5。
[0149][5-1.第五實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 5的層疊構(gòu)造]
[0150]接著，參照?qǐng)D22，對(duì)定子41 - 5、第一轉(zhuǎn)子42 — 5及第二轉(zhuǎn)子51 — 5的層疊構(gòu)造進(jìn)行說明。圖22是定子41 一 5、第一轉(zhuǎn)子42 — 5及第二轉(zhuǎn)子51 — 5的剖面圖。如圖22所示，定子41 一 5具有第一配線層41A及第二配線層41B。第一配線層41A具有橫跨在絕緣層411A及412A上而形成的第一接收繞組Rl — 5及第三接收繞組R3 — 5。另外，第一配線層41A通過在插通孔44和第一接收繞組Rl - 5之間具備第一發(fā)送繞組SI — 5，且在第一接收繞組Rl - 5和第三接收繞組R3 - 5之間具備第二發(fā)送繞組S2 — 5，且在第三接收繞組R3 - 5的外周具備第三發(fā)送繞組S3 - 5而構(gòu)成。第二配線層41B具有橫跨在絕緣層41IB及絕緣層412B上而形成的第二接收繞組R2 — 5及第四接收繞組R4 — 5。進(jìn)而，第一接收繞組Rl — 5及第四接收繞組R4 — 5通過第一接觸配線Cl 一 5而共通地連接，第二接收繞組R2 — 5及第三接收繞組R3 — 5通過第二接觸配線C2 — 5而共通地連接。第一轉(zhuǎn)子42 — 5在第一配線層42A上具有第一磁通耦合體Ml — 5，且在第二配線層42B上具有第二磁通耦合體M2 - 5。另外，第二轉(zhuǎn)子51 - 5在第一配線層51A上具有第三磁通耦合體M3 - 5，且在第二配線層5IB上具有第四磁通耦合體M4 — 5。
[0151][5 - 2.第五實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 5的平面構(gòu)造]
[0152]接著，參照?qǐng)D23?圖28對(duì)定子41 一 5、第一轉(zhuǎn)子42 — 5及第二轉(zhuǎn)子51 — 5上的平面構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。圖23?圖28分別是表示定子41 - 5的第一及第二配線層41A及41B、第一轉(zhuǎn)子42 - 5的第一及第二配線層42A及42B、第二轉(zhuǎn)子51 — 5的第一及第二配線層5IA及5IB的構(gòu)成的平面圖。
[0153]如圖23所示，在與第一、第二轉(zhuǎn)子42 — 5、51 — 5相對(duì)的定子41 一 5的第一配線層41A上,與主軸3同軸地設(shè)有第一發(fā)送繞組SI — 5、第二發(fā)送繞組S2 — 5及第三發(fā)送繞組S3 - 5。第一發(fā)送繞組S1- 5從主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)起以第一直徑形成為大致圓形狀。第二發(fā)送繞組S2 - 5從主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸)起以大于第一直徑的第二直徑形成為大致圓形狀。第三發(fā)送繞組S3 - 5從主軸3 (旋轉(zhuǎn)軸))起以大于第二直徑的第三直徑形成為大致圓形狀。
[0154]另外，如圖23所示，在與第一、第二轉(zhuǎn)子42 — 5、51 — 5相對(duì)的定子41 一 5的第一配線層41A上，與主軸3同軸地設(shè)有第一接收繞組Rl - 5及第三接收繞組R3 — 5。第一接收繞組Rl — 5形成在第一發(fā)送繞組SI — 5和第二發(fā)送繞組S2 — 5之間。第三接收繞組R3 — 5形成在第二發(fā)送繞組S2 — 5和第三發(fā)送繞組S3 — 5之間。第一接收繞組Rl —5對(duì)由第一磁通耦合繞組Ml - 5產(chǎn)生的磁通進(jìn)行檢測(cè)。第三接收繞組R3 - 5對(duì)由第三磁通耦合繞組M3 - 5產(chǎn)生的磁通進(jìn)行檢測(cè)。
[0155]第一接收繞組Rl — 5由在旋轉(zhuǎn)方向上相位不同的三個(gè)接收繞組Rll - 5、R12 一5及R13 — 5構(gòu)成。接收繞組Rll - 5、R12 — 5及R13 — 5分別由配置為環(huán)狀(菱形狀)的電線構(gòu)成。接收繞組Rll - 5、R12 — 5及R13 — 5以交叉部不短路的方式使相互交叉的部分排列在基板的上下，相互通過由通孔來連接，分別絕緣分離地配置。此外，第二接收繞組R2 - 5、第三接收繞組R3 — 5及第四接收繞組R4 — 5的構(gòu)成也與第一接收繞組Rl — 5大致同樣。
[0156]進(jìn)而，如圖24所示，在與第一、第二轉(zhuǎn)子42 — 5、51 — 5相對(duì)的定子41 一 5的第二配線層41B上，與主軸3同軸地設(shè)有第二接收繞組R2 - 5及第四接收繞組R4 — 5。第二接收繞組R2 — 5與第一接收繞組Rl — 5同樣，形成在對(duì)應(yīng)于第一發(fā)送繞組SI — 5和第二發(fā)送繞組S2 — 5之間的位置。另外，第四接收繞組R4 — 5與第三接收繞組R3 — 5同樣，形成在對(duì)應(yīng)于第二發(fā)送繞組S2 - 5和第三發(fā)送繞組S3 - 5之間的位置。第二接收繞組R2 — 5對(duì)由第二磁通耦合繞組M2 - 5產(chǎn)生的磁通進(jìn)行檢測(cè)。第四接收繞組R4 — 5對(duì)由第四磁通耦合繞組M4 - 5產(chǎn)生的磁通進(jìn)行檢測(cè)。
[0157]如圖25及圖26所示，在與定子41 一 5相對(duì)的第一轉(zhuǎn)子42 — 5上，與主軸3同軸地設(shè)有第一磁通耦合體Ml - 5及第二磁通耦合體M2 - 5。第一磁通耦合體Ml — 5及第二磁通耦合體M2 - 5經(jīng)由絕緣層而層疊，第一磁通耦合體Ml - 5可與第一發(fā)送繞組S1- 5磁通耦合。第二磁通耦合體M2 - 5可與第二發(fā)送繞組S2 - 5磁通耦合。
[0158]第一磁通耦合繞組Ml - 5通過將例如10個(gè)(NI — 3)配線圖案PAMl — 5連接為環(huán)狀而形成。第一磁通耦合體Ml — 5具有以節(jié)距λ I — 5而在第一轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分外接的圓形狀的配線部分重疊而成的形狀的配線。更具體而言，第一磁通耦合體Ml — 5交替地構(gòu)成向遠(yuǎn)離主軸3的方向突出的凸部Mll — 5和向接近主軸3的方向凹陷的凹部Μ12 — 5。另外，第一磁通耦合體Ml — 5具有將多個(gè)凸部Mll — 5連結(jié)的圓環(huán)狀的連結(jié)部Μ13 — 5。S卩，多個(gè)凹部Μ12 一 5及凸部Mll — 5形成齒輪狀的第一電流路徑Lll 一 5，多個(gè)凸部Mll — 5及連結(jié)部Μ13 - 5形成圓環(huán)狀的第二電流路徑L12 - 5。
[0159]第二磁通耦合繞組M2 — 5通過將例如9個(gè)(Ν2 — 3)配線圖案ΡΑΜ2 — 5連接為環(huán)狀而形成。即，第二磁通耦合繞組M2 - 5的配線圖案ΡΑΜ2 - 5的數(shù)量與第一磁通耦合繞組Ml — 5的配線圖案PAMl - 5的數(shù)量不同，僅差一個(gè)。第二磁通耦合體M2 — 5具有以節(jié)距λ 2 — 5而在第一轉(zhuǎn)子42 - 5的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分內(nèi)接的圓形狀的配線部分重疊而成的形狀的配線，更具體而言，第二磁通耦合體M2 — 5交替地構(gòu)成向接近主軸3的方向凹陷的凹部Μ21 — 5和向遠(yuǎn)離主軸3的方向突出的凸部Μ22 - 5。另外，第二磁通耦合體M2 — 5具有將多個(gè)凹部Μ21 — 5連結(jié)的圓環(huán)狀的連結(jié)部Μ23 - 5。S卩，多個(gè)凹部Μ21 — 5及凸部Μ22 — 5形成齒輪狀的第一電流路徑L21 - 5，多個(gè)凹部Μ21 — 5及連結(jié)部Μ23 — 5形成圓環(huán)狀的第二電流路徑L22 —5。
[0160]如圖27及圖28所示，在與定子41 一 5相對(duì)的第二轉(zhuǎn)子51 — 5上，與主軸3同軸地設(shè)有第三磁通耦合體M3 — 5及第四磁通耦合體Μ4 - 5。第三磁通耦合繞組M3 — 5及第四磁通耦合繞組Μ4 - 5經(jīng)由絕緣層而層疊，第三磁通耦合體M3 - 5可與第三發(fā)送繞組
S3— 5磁通稱合。第四磁通稱合體Μ4 — 5可與第二發(fā)送繞組S2 — 5磁通f禹合。
[0161]第三磁通耦合體M3 - 5以例如11個(gè)(N3 — 3)配線圖案PAM3 — 5而形成。第四磁通耦合體M4 — 5以例如7個(gè)(N4 — 3)配線圖案PAM4 — 5而形成為齒輪形狀。另外，配線圖案PAM3 — 5形成為與上述配線圖案PAM2 — 5大致同樣，配線圖案PAM4 — 5形成為與上述配線圖案PAMl — 5大致同樣。[0162]另外，在本實(shí)施方式中，NI 一 5、N2 — 5、N3 一 5、N4 — 5全都是不同的數(shù)，而且，其中的一個(gè)數(shù)和其他數(shù)的最大公約數(shù)全都為I。因而，在第一?第四磁通耦合繞組Ml - 5、M2 — 5、M3 — 5、M4 — 5中產(chǎn)生的磁場(chǎng)分別僅在對(duì)應(yīng)的第一?第四接收繞組Rl — 5、R2 —5、R3 — 5、R4 — 5上誘發(fā)電流。理由是，在磁通耦合繞組不對(duì)應(yīng)的磁通耦合繞組上誘發(fā)的電流全都互相抵消而變成O。在本實(shí)施方式中，通過這種構(gòu)成，來降低第一?第四角度檢測(cè)碼道的串?dāng)_，實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的進(jìn)一步的提聞。
[0163][5 — 3.第五實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 5的動(dòng)作]
[0164]接著，對(duì)具備這種構(gòu)成的本實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，對(duì)本實(shí)施方式的回轉(zhuǎn)編碼器的動(dòng)作原理進(jìn)行說明。
[0165]第一?第三發(fā)送繞組SI — 5、S2 — 5及S3 — 5使周期性地變化的發(fā)送電流以任意的順序而流通，即，分時(shí)地流通。在本實(shí)施方式中，第一發(fā)送繞組SI — 5在第一角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)時(shí)使用，第二發(fā)送繞組S2 — 5在第二及第四角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)時(shí)使用，第三發(fā)送繞組S3 - 5在第三角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)時(shí)使用。
[0166]首先，參照?qǐng)D25及圖29對(duì)第一角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)進(jìn)行說明。當(dāng)向第一發(fā)送繞組S1- 5例如順時(shí)針地流動(dòng)電流時(shí)，就在發(fā)送繞組S1- 5的電流路徑上沿右旋方向產(chǎn)生磁場(chǎng)，因此該磁場(chǎng)與第一及第二磁通I禹合體Ml — 5、M2 — 5結(jié)合而向第一及第二磁通耦合體Ml - 5, M2 - 5逆時(shí)針地流動(dòng)電流。
[0167]在第一磁通耦合體Ml — 5中，主要是在凹部M12 — 5誘發(fā)的電流變成主流。因而，在磁通耦合體Ml - 5中誘發(fā)的電流主要在由凹部M12 — 5及凸部Mll — 5形成的齒輪狀的第一電流路徑Lll - 5中流動(dòng)。由此，在第一磁通耦合體Ml - 5的凹部M12 — 5產(chǎn)生從圖29的紙面的表面向背面前進(jìn)的磁場(chǎng)，在凸部Mll - 5發(fā)生從紙面的背面向表面前進(jìn)的磁場(chǎng)，這些磁場(chǎng)形成節(jié)距λ I — 5的周期性的磁氣圖案。這些磁場(chǎng)由第一接收繞組Rl — 5接收。在此，第一接收繞組Rl — 5與第四接收繞組R4 — 5共通地連接。因而，在第一接收繞組Rl — 5中誘發(fā)的電流流到第一及第四接收繞組Rl — 5及R4 — 5。
[0168]另外，在第二磁通耦合體M2 - 5中，在凹部Μ21 — 5及連結(jié)部Μ23 — 5誘發(fā)電流，主要向圓環(huán)狀的第二電流路徑L22 — 5流動(dòng)電流。流到由凹部Μ21 — 5及凸部Μ22 — 5構(gòu)成的齒輪狀的第一電流路徑L21 - 5的電流成為流到第二電流路徑L22 - 5的電流的10分之I的值。因而，在第二磁通耦合體M2 - 5中產(chǎn)生的形成節(jié)距λ 2 — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)與在第一磁通耦合體Ml - 5中產(chǎn)生的形成節(jié)距λ I — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)相比，極其小。另外，因?yàn)榈谝淮磐詈象wMl - 5的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距λ 1- 5X10，與此相對(duì)，第二磁通耦合體M2 - 5的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距λ 2 — 5X9，所以如圖29所示，與第一接收繞組Rl — 5結(jié)合的磁場(chǎng)的影響會(huì)在一周程度的總體中抵消來自第二磁通耦合體M2 - 5的磁場(chǎng)的影響。即，通過不同的節(jié)距λ I — 5、λ2 - 5，在第一接收繞組Rl - 5中，第二磁通耦合體M2 —5引起的感應(yīng)電壓互相抵消，所以檢測(cè)不到其信號(hào)。即，在第一接收繞組Rl - 5中，能夠抑制來自第二磁通耦合體M2 - 5的串?dāng)_。另外，第三及第四磁通耦合繞組M3 - 5、Μ4 — 5與第一及第二磁通耦合繞組Ml — 5、M2 — 5相比，與第一發(fā)送繞組S1- 5的距離較遠(yuǎn)，由第一發(fā)送繞組S1- 5誘發(fā)的電流很小，可忽略不計(jì)。
[0169]接著，參照?qǐng)D26、圖30及圖31對(duì)第二及第四角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)進(jìn)行說明。當(dāng)向第二發(fā)送繞組S2 — 5例如順時(shí)針地流動(dòng)電流時(shí)，就向第一?第四磁通耦合體Ml -5、M2 — 5、M3 — 5及M4 — 5逆時(shí)針地流動(dòng)電流。
[0170]在第二磁通耦合體M2 - 5中，被凸部M22 — 5誘發(fā)的電流變成主流。因此，電流主要在由凹部M21 — 5及凸部M22 — 5形成的齒輪狀的第一電流路徑L21 — 5中流動(dòng)。由此，在第二磁通耦合體M2 - 5的凹部M21 - 5，產(chǎn)生從圖26的紙面的表面向背面前進(jìn)的磁場(chǎng)，在凸部M22 - 5，產(chǎn)生從紙面的背面向表面前進(jìn)的磁場(chǎng)，這些磁場(chǎng)形成節(jié)距λ 2 — 5的周期性地變化的磁氣圖案。這些磁場(chǎng)由第二接收繞組R2 - 5接收。因?yàn)榈诙邮绽@組R2 -5及第三接收繞組R3 — 5共通地連接，所以在第二接收繞組R2 - 5中誘發(fā)的電流會(huì)流到第二及第三接收繞組R2 — 5及R3 — 5。
[0171]在第四磁通耦合體Μ4 - 5中，被凹部Μ42 — 5誘發(fā)的電流變成主流。因此，電流主要在由凹部Μ42 — 5及凸部Μ41 — 5形成的齒輪狀的第一電流路徑L41 一 5中流動(dòng)。由此，在第四磁通耦合體Μ4 — 5的凹部Μ42 — 5，產(chǎn)生從圖28的紙面的表面向背面前進(jìn)的磁場(chǎng)，在凸部Μ41 - 5，產(chǎn)生從紙面的背面向表面前進(jìn)的磁場(chǎng)，這些磁場(chǎng)形成節(jié)距λ 4 — 5的周期性的磁氣圖案。這些磁場(chǎng)由第四接收繞組R4 — 5接收。因?yàn)榈谒慕邮绽@組R4 — 5及第一接收繞組Rl - 5共通地連接，所以在第四接收繞組R4 - 5中誘發(fā)的電流會(huì)流到第一及第四接收繞組Rl — 5及R4 — 5。
[0172]在本實(shí)施方式中，同時(shí)對(duì)誘發(fā)電流的磁通耦合體的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的第二及第四接收繞組R2 — 5及R4 — 5沒有連接，而是分時(shí)且獨(dú)立地使用。即，在其他時(shí)刻，誘發(fā)電流的第一及第四接收繞組Rl — 5及R4 — 5和第二及第三接收繞組R2 — 5及R3 — 5共通地連接。因而，能夠同時(shí)進(jìn)行第二及第四角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)，進(jìn)而，與現(xiàn)有構(gòu)成相比，能夠削減零件數(shù)量。另外，在本實(shí)施方式中，第一及第四接收繞組Rl — 5及R4 — 5共通地連接，進(jìn)而，第二及第三接收繞組R2 — 5及R3 — 5共通地連接。在這種構(gòu)成中，因?yàn)楣餐ǖ剡B接的接收繞組在層疊方向上不重疊，所以能夠適當(dāng)?shù)亟档痛當(dāng)_。
[0173]另一方面，在第一磁通耦合體Ml - 5中，在凸部Mll — 5及連結(jié)部Μ13 — 5誘發(fā)電流，電流主要在圓環(huán)狀的第二電流路徑L12 - 5中流動(dòng)。因而，與上述的情況同樣，在第一磁通耦合體Ml - 5中產(chǎn)生的形成中距λ I — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)與在第二磁通耦合體M2 - 5中產(chǎn)生的形成節(jié)距λ2 — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)相比，極其小。另外，即使在若干磁場(chǎng)在第二接收繞組R2 - 5上誘發(fā)了電流的情況下，通過第一磁通耦合體Ml - 5和第二接收繞組R2 - 5的相位的差異，其電流也會(huì)互相抵消，幾乎檢測(cè)不到。另外，第三磁通耦合體M3 - 5也同樣，因?yàn)殡娏髁鞯綀A環(huán)狀的第二電流路徑L32 - 5，所以在信號(hào)的檢測(cè)上大致不會(huì)受到影響。
[0174]接著，參照?qǐng)D27及圖32對(duì)第三角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)進(jìn)行說明。當(dāng)向第三發(fā)送繞組S3 - 5例如順時(shí)針地流動(dòng)電流時(shí)，就會(huì)在發(fā)送繞組S3 - 5的電流路徑上沿右旋方向發(fā)生磁場(chǎng)，因此該磁場(chǎng)與第三及第四磁通耦合體M3 — 5、Μ4 — 5結(jié)合而向第三及第四磁通耦合體M3 — 5、Μ4 — 5逆時(shí)針地流動(dòng)電流。
[0175]在第三磁通耦合體M3 - 5中，主要是被凸部Μ32 — 5誘發(fā)的電流變成主流。因而，在第三磁通耦合體M2 - 5中誘發(fā)的電流主要在由凹部Μ31 — 5及凸部Μ32 — 5形成的齒輪狀的第一電流路徑L31 - 5中流動(dòng)。由此，在第三磁通耦合體M3 - 5的凹部Μ31 — 5，產(chǎn)生從圖27的紙面的表面向背面前進(jìn)的磁場(chǎng)，在凸部Μ32 — 5，產(chǎn)生從紙面的背面向表面前進(jìn)的磁場(chǎng)，這些磁場(chǎng)形成節(jié)距λ 3 — 5的周期性的磁氣圖案。這些磁場(chǎng)由第三接收繞組R3 -5接收。在此，第三接收繞組R3 - 5與第二接收繞組R2 - 5共通地連接。因而，在第三接收繞組R3 - 5中誘發(fā)的電流流到第二及第三接收繞組R2 — 5及R3 — 5。
[0176]另外，在第四磁通耦合體M4 - 5中，在凸部M41 — 5及連結(jié)部M42 — 5誘發(fā)電流，主要向圓環(huán)狀的第二電流路徑L42 — 5流動(dòng)電流。流到由凹部M43 — 5及凸部M41 — 5構(gòu)成的齒輪狀的第一電流路徑L41 - 5的電流成為流到第二電流路徑L42 - 5的電流的10分之I程度的值。因而，在第四磁通耦合體M4 — 5中產(chǎn)生的形成節(jié)距λ4 — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)與在第三磁通耦合體M3 - 5產(chǎn)生的形成節(jié)距λ 3 — 5的磁氣圖案的磁場(chǎng)相比，極其小。另外，因?yàn)榈谌磐詈象wM3 - 5的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距(λ3 — 5) X 11，與此相對(duì)，第四磁通耦合體Μ4 - 5的一周的長(zhǎng)度為節(jié)距(λ4 — 5) X 7，所以如圖32所示，與第三接收繞組R3 — 5結(jié)合的磁場(chǎng)的影響會(huì)在一周程度的總體中抵消來自第四磁通耦合體Μ4 - 5的磁場(chǎng)的影響。即，通過不同的節(jié)距λ3 — 5、λ4 — 5，在第三接收繞組R3 - 5中，第四磁通耦合體Μ4 - 5引起的感應(yīng)電壓會(huì)互相抵消，所以其信號(hào)不會(huì)被檢測(cè)到。即，在第三接收繞組R3 - 5中，能夠抑制來自第四磁通耦合體Μ4 - 5的串?dāng)_。另外，第一及第二磁通耦合繞組Ml — 5、Μ2 — 5與第二及第四磁通I禹合繞組M3 — 5、Μ4 — 5相比，遠(yuǎn)尚第二發(fā)送繞組S3 —5的距離，由第三發(fā)送繞組S3 - 5誘發(fā)的電流很小，可忽略不計(jì)。
[0177]由以上可知，由于從第一及第二角度檢測(cè)碼道檢測(cè)到的接收信號(hào)在第一轉(zhuǎn)子42 一 5旋轉(zhuǎn)一圈期間，偏移一周程度，所述第一及第二角度檢測(cè)碼道從第一?第四接收繞組Rl — 5、R2 — 5、R3 — 5、R4 — 5得到隨著第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 5及51 — 5相對(duì)于定子41 一 5的位置而變化的接收信號(hào)，因此能夠從兩個(gè)接收信號(hào)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)一圈的絕對(duì)位置。另外，從第三及第四角度檢測(cè)碼道檢測(cè)到的接收信號(hào)也同樣，由于在第二轉(zhuǎn)子51 - 5旋轉(zhuǎn)一圈期間，偏移一周程度，因此能夠從兩個(gè)接收信號(hào)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)一圈的絕對(duì)位置。
[0178]另外，本實(shí)施方式的千分尺頭I的構(gòu)成及動(dòng)作與第一實(shí)施方式的千分尺頭I的構(gòu)成及動(dòng)作大致同樣。進(jìn)而，本實(shí)施方式的發(fā)送控制部6及運(yùn)算處理部7的構(gòu)成及動(dòng)作與第二實(shí)施方式的構(gòu)成及動(dòng)作大致同樣。
[0179][6.第六實(shí)施方式]
[0180]接著，參照?qǐng)D33?37對(duì)本發(fā)明的第六實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖33是表示本實(shí)施方式的定子41 一 6和第一及第二轉(zhuǎn)子42 — 6及51 — 5的構(gòu)成的側(cè)剖面圖。另外，圖34及圖35是表示本實(shí)施方式的定子41 - 6的第一配線層41Α — 6及第二配線層41Β — 6的構(gòu)成的平面圖。進(jìn)而，圖36及圖37分別表示構(gòu)成第一轉(zhuǎn)子42 - 6的第一及第二配線層42Α —6及42Β — 6上的構(gòu)成的平面圖。
[0181]如圖33?圖35所示，本發(fā)明的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 6基本上與第三實(shí)施方式的千分尺頭4 一 5相同，但在本實(shí)施方式中，在定子41 一 6中，形成于第一配線層41Α —6的兩個(gè)接收繞組通過第一接觸配線Cl 一 6而串聯(lián)連接，且通過第一引出配線Wl — 6而共通地引出。同樣，形成于第二配線層41Β - 6的兩個(gè)接收繞組通過第二接觸配線C2 — 6而串聯(lián)連接，通過第二引出配線W2 - 6而共通地弓I出，在這種構(gòu)成中，能夠省略在形成于第一配線層41Α - 6和第二配線層41Β - 6之間的絕緣層上設(shè)置通孔配線等的工序，能夠?qū)崿F(xiàn)制造工藝的簡(jiǎn)化及制造成本的削減。
[0182]接著，對(duì)采用了上述構(gòu)成時(shí)的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 6的動(dòng)作進(jìn)行探討。當(dāng)向第二發(fā)送繞組S2 - 5流動(dòng)電流時(shí)，就會(huì)在設(shè)置于第一轉(zhuǎn)子42 - 6的磁通耦合繞組中的具有齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分內(nèi)接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀的磁通耦合繞組(在第五實(shí)施方式中，第二磁通耦合繞組M2 - 5)上誘發(fā)電流，同時(shí)，也會(huì)在設(shè)置于第二轉(zhuǎn)子51 - 5的磁通耦合繞組中的具有齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分外接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀的磁通耦合繞組(在第五實(shí)施方式中，第四磁通耦合繞組M4 - 5)上誘發(fā)電流。在第五實(shí)施方式中，獨(dú)立地設(shè)置第二接收繞組R2 - 5和第四接收繞組R4 - 5，適當(dāng)?shù)亟邮者@些電流。
[0183]鑒于上述點(diǎn)，在本實(shí)施方式中，也考慮使由第二發(fā)送繞組S2 — 5誘發(fā)的電流流到不同的接收繞組。為此，可應(yīng)用種種方法，但在本實(shí)施方式中，如圖36及37所示，將第一磁通耦合體Ml - 6形成為齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分內(nèi)接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀，且將第二磁通耦合體M2 - 6形成為齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分外接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀。另外，配線圖案的節(jié)距等與第五實(shí)施方式同樣，在第一磁通稱合體Ml — 6中，形成節(jié)距λ I — 5的磁氣圖案,在第二磁通耦合體M2 - 6中，形成節(jié)距λ 2 — 5的磁氣圖案。由此，由第二發(fā)送繞組S2 — 5誘發(fā)的電流流到電氣獨(dú)立地形成的(不導(dǎo)通的)第一接收繞組Rl - 5和第四接收繞組R4 - 5，能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行第一角度檢測(cè)碼道和第四角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)。另外，在本實(shí)施方式中，與第五實(shí)施方式不同，通過第一發(fā)送繞組S1-5，進(jìn)行第二角度檢測(cè)碼道的角度的檢測(cè)。
[0184]另外，也可與第五實(shí)施方式同樣地構(gòu)成第一及第二磁通耦合繞組，且將第三磁通耦合繞組設(shè)為齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分外接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀，并將第四磁通耦合繞組設(shè)為齒輪狀的配線部分和與該齒輪狀的配線部分內(nèi)接的圓形狀的配線部分重疊在一起的形狀。
[0185][7.第七實(shí)施方式]
[0186][7—1.構(gòu)成]
[0187]接著，參照?qǐng)D38對(duì)搭載有第七實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 7的千分尺頭I 一 7的整體構(gòu)成進(jìn)行說明。圖38是表示第七實(shí)施方式的千分尺頭I 一 7的剖面圖。另夕卜，在第七實(shí)施方式中，就與第一實(shí)施方式同樣的構(gòu)成而言，附帶同一符號(hào)，省略其說明。
[0188]如圖38所示，千分尺頭I 一 7具有與第一實(shí)施方式不同的主軸3 — 7及在中心設(shè)有主軸3 - 7的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 7。此外，千分尺頭I 一 7在其他構(gòu)成上具有與第一實(shí)施方式同樣的構(gòu)成。
[0189]主軸3 — 7與第一實(shí)施方式同樣，形成為大致圓柱狀，在前端側(cè)的端部具有與被測(cè)量物(未圖示)接觸的接觸面31，在基端側(cè)的端部具有旋鈕部32。
[0190]在主軸3 — 7的中央部，與第一實(shí)施方式不同，設(shè)有導(dǎo)程角不同的兩個(gè)鍵槽34a —
7、34b - 7。第一鍵槽34a — 7與主軸3 — 7的軸平行地設(shè)置為直線狀。第二鍵槽34b —7相對(duì)于主軸3 - 7設(shè)置為螺旋狀。第一鍵槽34a — 7和第二鍵槽34b — 7的起點(diǎn)及終點(diǎn)的位置在主軸3 - 7的軸方向上大致一致。即，第一鍵槽34a - 7和第二鍵槽34b — 7在主軸3-7的軸方向上大致形成在相同范圍內(nèi)。
[0191]此外，在主軸3 — 7進(jìn)退時(shí)，鍵槽34a — 7,34b 一 7與主軸3 — 7—同向主體2的外部退出，但設(shè)有外側(cè)框架11，以使即使在主軸3 - 7前進(jìn)到了最大限度時(shí)，鍵槽34a — 7、34b - 7也不露出在外部。
[0192]接下來，對(duì)感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 7進(jìn)行說明。圖39是感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 一 7的分解立體圖。如圖39所示，感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器4 - 7由第一回轉(zhuǎn)編碼器40 - 7和第二回轉(zhuǎn)編碼器50 — 7構(gòu)成，配設(shè)在主體2的收納空間22內(nèi)。
[0193]第一回轉(zhuǎn)編碼器40 — 7具有定子41 一 7及與鍵槽34 — 7卡合的鍵47a — 7，且具有以主軸3 - 7中心可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的第一轉(zhuǎn)子42 - 7。
[0194]定子41 一 7在插通有主軸3 - 7的狀態(tài)下，固定于收納空間22的前端側(cè)內(nèi)壁28。
[0195]第一轉(zhuǎn)子42 — 7配設(shè)于主軸3 — 7的近外側(cè)。第一轉(zhuǎn)子42 — 7以與定子41 一7在軸方向上相對(duì)的方式配置在與定子41 一 7距離規(guī)定距離的位置。第一轉(zhuǎn)子42 — 7具備與定子41 - 7成對(duì)并以與定子41 - 7相對(duì)的狀態(tài)相對(duì)于定子41 - 7旋轉(zhuǎn)的第一配線層42A — 7及第二配線層42B — 7、以主軸3 — 7為中心可旋轉(zhuǎn)支承的第一及第二配線層42A - 7、42B — 7的的第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7、與第一鍵槽34a — 7卡合的第一鍵47a — 7。在本實(shí)施方式中，第一配線層42A - 7及第二配線層42B — 7是具有主軸3 — 7進(jìn)行插通的孔的小圓板。
[0196]第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7為外嵌于主軸3 — 7的圓筒狀，與第一轉(zhuǎn)子板48 — 7的背面連接，對(duì)第一轉(zhuǎn)子板48 - 7的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行支承。在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7上，設(shè)有在與軸正交的方向上貫通形成的兩個(gè)孔43 - 7a、43 — 7b，在第一孔43 — 7a內(nèi)螺合有第一鍵47a —
7。另外，第二孔43 - 7b形成為在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7的周方向上具有長(zhǎng)度的長(zhǎng)孔狀。
[0197]第二回轉(zhuǎn)編碼器50 — 7具有定子41 一 7及與鍵槽34b — 7卡合的鍵47b — 7，且具有以主軸3 — 7為中心可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的第二轉(zhuǎn)子51 — 7。
[0198]第二轉(zhuǎn)子51 — 7以包圍該第二轉(zhuǎn)子51 — 7的方式配置在第一轉(zhuǎn)子42 — 7的外偵U。第二轉(zhuǎn)子51 - 7以與定子41 - 7在軸方向上相對(duì)的方式配置在距定子41 - 7規(guī)定距尚的位置。第二轉(zhuǎn)子51 — 7與第一轉(zhuǎn)子42 — 7同樣,具備與定子41 一 7成對(duì)并以與定子41 一 7相對(duì)的狀態(tài)相對(duì)于定子41 - 7進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一配線層51A — 7及第二配線層51B - 7、以主軸3 - 7為中心可旋轉(zhuǎn)支承單一配線層51A-7及第二配線層51B-7的第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 - 7、與第二鍵槽34b - 7卡合的第二鍵47b — 7。
[0199]第一配線層51A - 7及第二配線層51B — 7是具有將第一轉(zhuǎn)子42 — 7所含的第一配線層42A - 7及第二配線層42B — 7游嵌于內(nèi)側(cè)的程度大小的內(nèi)孔的環(huán)狀板。第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7與第二配線層51B - 7的背面連接，是在內(nèi)側(cè)具有游嵌第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 —7的孔的圓筒狀。
[0200]在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7上，具有從與軸正交的方向上貫通形成的孔52 — 7a，在該孔52 - 7a內(nèi)螺合有第二鍵47b — 7。此外，第二鍵47b — 7穿過第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7的長(zhǎng)孔即第二孔43 - 7b而與第二鍵槽34b - 7卡合。
[0201]而且，第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 - 7以將第一轉(zhuǎn)子42 — 7隔開的方式在定子41 一 7相反側(cè)具有對(duì)主軸3 — 7進(jìn)行軸支承的軸承部52 - 7b。另外，在主軸的軸方向上，第二鍵47b —7的位置與設(shè)置于第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7的第一鍵47a — 7的位置大致相同。
[0202]此外，在固定有定子41 - 7的收納空間22的前端側(cè)內(nèi)壁28，以稍向定子41 — 7的后端側(cè)延伸的方式延伸設(shè)置有主軸軸承27 - 7，另外，以稍向第一配線層51A - 7及第二配線層51B - 7更靠定子41 - 7側(cè)延伸的方式延伸設(shè)置有第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7的主軸軸承43 - 7c，通過第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7的主軸軸承43 — 7c與主體2的主軸軸承27 — 7抵接，來適當(dāng)確保定子41 - 7和第一配線層51A - 7之間的間隙。[0203]另外，在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 - 7和中隔板23之間，插裝有未圖示的螺旋彈簧(施力裝置)，使第二轉(zhuǎn)子51 — 7向定子41 一 7側(cè)施力，并且通過第一轉(zhuǎn)子42 — 7由第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7的內(nèi)壁來推壓，也使第一轉(zhuǎn)子42 - 7向定子42 — 7施力。
[0204][7 — 2.千分尺頭I — 7的動(dòng)作]
[0205]接著，對(duì)具備這種構(gòu)成的第七實(shí)施方式的千分尺頭I 一 7的動(dòng)作進(jìn)行說明。當(dāng)通過旋鈕部32對(duì)主軸3 — 7進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作時(shí)，通過主體2的內(nèi)螺紋與主軸3-7的進(jìn)給螺紋33的螺合，主軸3 - 7就會(huì)沿軸方向進(jìn)退。
[0206]另外，當(dāng)主軸3 — 7旋轉(zhuǎn)時(shí)，就會(huì)在主軸3 - 7的第一鍵槽34a — 7及第二鍵槽34b - 7內(nèi)分別卡合有第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7的第一鍵47a — 7和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7的第二鍵47b — 7，因此隨著主軸3 - 7的旋轉(zhuǎn)，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7就進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，由于第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7通過主軸軸承43 - 7c對(duì)主軸3 — 7進(jìn)行軸支承，因此旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7以主軸3 - 7為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，由于第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 —7通過軸承部52-7b對(duì)主軸3 - 7進(jìn)行軸支承，因此第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7也以主軸3 — 7為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0207]而且，由于第一鍵槽34a — 7和第二鍵槽34b — 7彼此導(dǎo)程角不同，因此每當(dāng)主軸3 一 7旋轉(zhuǎn)一圈，在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7中，彼此就以不同的旋轉(zhuǎn)量(旋轉(zhuǎn)相位)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。當(dāng)通過主軸3 - 7的旋轉(zhuǎn)而第一及第二旋轉(zhuǎn)圓筒43 - 7、52 — 7旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一轉(zhuǎn)子42 — 7就與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43 — 7 —同旋轉(zhuǎn)，第二轉(zhuǎn)子51-7與第二旋轉(zhuǎn)圓筒52 — 7 —同旋轉(zhuǎn)。S卩，在第七實(shí)施方式中，也與第一實(shí)施方式同樣，第一轉(zhuǎn)子42 — 7以與第二轉(zhuǎn)子51 - 7不同的轉(zhuǎn)速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0208]此外，在第七實(shí)施方式中，也與第一實(shí)施方式同樣，在與定子41相對(duì)的第一轉(zhuǎn)子42 — 7上，形成有第一、第二磁通耦合繞組Ml、M2。在與定子41相對(duì)的第二轉(zhuǎn)子51 — 7上，形成有第三、第四磁通耦合繞組M3、M4。在與第一、第二轉(zhuǎn)子42 - 7、51 — 7相對(duì)的定子41 一 7上，形成有第一?第三發(fā)送繞組SI?S3及第一?第三接收繞組Rl?R3。
[0209][7 — 8.效果]
[0210]第七實(shí)施方式的千分尺頭I 一 7由于構(gòu)成與第一實(shí)施方式大致同樣，因此可實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施方式同樣的效果。
[0211][8.第八實(shí)施方式]
[0212]接著，對(duì)本發(fā)明的第八實(shí)施方式進(jìn)行說明，上述第一?第七實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器具有以不同的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)轉(zhuǎn)子而構(gòu)成。但是，當(dāng)然，即使在具有一個(gè)轉(zhuǎn)子及三個(gè)以上轉(zhuǎn)子的情況下，也可采用本發(fā)明。在本實(shí)施方式中，對(duì)僅具有一個(gè)轉(zhuǎn)子的情況進(jìn)行說明。
[0213]圖40是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的轉(zhuǎn)子42 - 8及定子41的構(gòu)成的側(cè)剖面圖。本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器具有與第一實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器大致同樣的構(gòu)成，但第一實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器具備第一轉(zhuǎn)子42及第二轉(zhuǎn)子51，與此相對(duì)，本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器僅具備一個(gè)轉(zhuǎn)子42 — 8，在這一點(diǎn)上不同。另外，定子41的構(gòu)成與第一實(shí)施方式的定子41的構(gòu)成相同。
[0214]圖41是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的轉(zhuǎn)子42 - 8的構(gòu)成的平面圖。在該轉(zhuǎn)子42 — 8上，配置有與第一實(shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的第一磁通耦合繞組Ml及第二磁通耦合繞組M2相同構(gòu)成的第一磁通耦合繞組Ml及第二磁通耦合繞組M2。
[0215]因?yàn)楸緦?shí)施方式的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器僅具備一個(gè)轉(zhuǎn)子42 - 8，所以從該轉(zhuǎn)子42 - 8和定子41的旋轉(zhuǎn)角度，計(jì)算出主軸3的位置。因此，不需要齒輪等旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與第一?第七實(shí)施方式相比，能夠設(shè)為簡(jiǎn)單的構(gòu)成。這種回轉(zhuǎn)編碼器因?yàn)橐簿哂信c第一實(shí)施方式同樣構(gòu)成的定子41，所以能夠削減引出配線的數(shù)量，能夠擁有與第一實(shí)施方式同樣的優(yōu)點(diǎn)。
[0216][9.其他實(shí)施方式]
[0217]以上對(duì)本發(fā)明的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不局限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，可進(jìn)行各種變更、追加、替換等。例如，第一?第四磁通耦合體也可以不如上述實(shí)施方式那樣采用第一?第四磁通耦合繞組，而是采用電極、形成于導(dǎo)電板的孔、凹部等。
[0218]另外，上述實(shí)施方式基于第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子的位置關(guān)系，來檢測(cè)第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到第幾圈。但是，本發(fā)明也可以基于第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子的位置關(guān)系，檢測(cè)第二轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)到第幾圈。
[0219]本發(fā)明基于2013年I月18日日本專利申請(qǐng)(申請(qǐng)?zhí)?2013 — 007916)，主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其全部?jī)?nèi)容。
【權(quán)利要求】
1.一種感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，具備: 定子; 轉(zhuǎn)子，其與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與所述旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與所述定子在軸方向上相對(duì)； 兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道，其相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于所述定子的與所述轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及所述轉(zhuǎn)子的與所述定子的相對(duì)面，并從內(nèi)周側(cè)到外周側(cè)而配置， 所述兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道分別具備: 發(fā)送繞組，其設(shè)置于所述定子并以所述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀； 接收繞組，其設(shè)置于所述定子并沿著所述發(fā)送繞組以所述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀；磁通耦合體，其設(shè)置于所述轉(zhuǎn)子并以所述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀，且與所述發(fā)送繞組及所述接收繞組磁通耦合， 所述兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道所具備的一接收繞組和另一接收繞組的一端共通地連接，所述一接收繞組和所述另一接收繞組的另一端通過引出配線而被引出。
2.如權(quán)利要求1所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述轉(zhuǎn)子是第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子， 所述第一轉(zhuǎn)子與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與所述旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與所述定子在軸方向上相對(duì)； 所述第二轉(zhuǎn)子配置于所述第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)，相對(duì)于所述第一轉(zhuǎn)子可旋轉(zhuǎn)，并與所述定子在軸方向上相對(duì)， 所述轉(zhuǎn)子還具備旋轉(zhuǎn)傳遞裝置，該旋轉(zhuǎn)傳遞裝置傳遞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，并使所述第二轉(zhuǎn)子以不同于所述第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 所述兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道是內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道和配置于該內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)的外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道， 所述內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于所述定子的與所述第一轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及所述第一轉(zhuǎn)子的與所述定子的相對(duì)面， 所述外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于所述定子的與所述第二轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及所述第二轉(zhuǎn)子的與所述定子的相對(duì)面， 構(gòu)成所述內(nèi)周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的磁通耦合體設(shè)置于所述第一轉(zhuǎn)子， 構(gòu)成所述外周側(cè)的角度檢測(cè)碼道的磁通耦合體設(shè)置于所述第二轉(zhuǎn)子。
3.如權(quán)利要求1所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述轉(zhuǎn)子是第一轉(zhuǎn)子和第二轉(zhuǎn)子， 所述第一轉(zhuǎn)子與旋轉(zhuǎn)軸卡合并與所述旋轉(zhuǎn)軸一同旋轉(zhuǎn)，且與所述定子在軸方向上相對(duì)； 所述第二轉(zhuǎn)子配置于所述第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)，相對(duì)于所述第一轉(zhuǎn)子可旋轉(zhuǎn)，并與所述定子在軸方向上相對(duì)， 所述轉(zhuǎn)子還具備旋轉(zhuǎn)傳遞裝置，該旋轉(zhuǎn)傳遞裝置傳遞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，并使所述第二轉(zhuǎn)子以不同于所述第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 所述兩個(gè)以上的角度檢測(cè)碼道是第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道和第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道， 所述第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道分別相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于所述定子的與所述第一轉(zhuǎn)子相對(duì)的部分及所述第一轉(zhuǎn)子的與所述定子相對(duì)的部分， 所述第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道分別相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)軸而同軸地形成于所述定子的與所述第二轉(zhuǎn)子相對(duì)的部分及所述第二轉(zhuǎn)子的與所述定子相對(duì)的部分， 構(gòu)成所述第一角度檢測(cè)碼道~第四角度檢測(cè)碼道的接收繞組中的任意兩個(gè)接收繞組的一端共通地連接，另一端通過引出配線而被引出。
4.如權(quán)利要求3所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述第一角度檢測(cè)碼道及第二角度檢測(cè)碼道形成于所述定子的與所述第一轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及所述第一轉(zhuǎn)子的與所述定子的相對(duì)面， 所述第二角度檢測(cè)碼道配置于所述第一角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)， 所述第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道形成于所述定子的與所述第二轉(zhuǎn)子的相對(duì)面及所述第二轉(zhuǎn)子的與所述定子的相對(duì)面， 所述第四角度檢測(cè)碼道配置于所述第三角度檢測(cè)碼道的外周側(cè)。
5.如權(quán)利要求3所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述第一角度檢測(cè)碼 道及第二角度檢測(cè)碼道層疊形成在所述定子及所述轉(zhuǎn)子的相對(duì)方向， 所述第三角度檢測(cè)碼道及第四角度檢測(cè)碼道層疊形成在所述定子及所述轉(zhuǎn)子的相對(duì)方向。
6.如權(quán)利要求3~5所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述第一角度檢測(cè)碼道在所述第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成NI次信號(hào)周期性的變化， 所述第二角度檢測(cè)碼道在所述第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成N2次信號(hào)周期性的變化， 所述第三角度檢測(cè)碼道在所述第二轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成N3次信號(hào)周期性的變化， 所述第四角度檢測(cè)碼道在所述第二轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)一圈內(nèi)生成N4次信號(hào)周期性的變化， N1、N2、N3、N4為各不相同的數(shù)， N1、N2、N3、N4中的一個(gè)和另一個(gè)的最大公約數(shù)全都為I。
7.如權(quán)利要求3~5所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述第一角度檢測(cè)碼道~第四角度檢測(cè)碼道中的兩個(gè)角度檢測(cè)碼道具有共通的發(fā)送繞組， 所述共通的發(fā)送繞組同時(shí)對(duì)所述第一接收繞組~第四接收繞組中的兩個(gè)接收繞組上誘發(fā)電流， 所述兩個(gè)接收繞組分別與所述第一接收繞組~第四接收繞組中的剩余兩個(gè)接收繞組共通地連接。
8.如權(quán)利要求6所述的感應(yīng)檢測(cè)式回轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 所述第一角度檢測(cè)碼道~第四角度檢測(cè)碼道中的兩個(gè)角度檢測(cè)碼道具有共通的發(fā)送繞組， 所述共通的發(fā)送繞組同時(shí)對(duì)所述第一接收繞組~第四接收繞組中的兩個(gè)接收繞組上誘發(fā)電流， 所述兩個(gè)接收繞組分別與所述第一接收繞組~第四接收繞組中的剩余兩個(gè)接收繞組共通地連接。
【文檔編號(hào)】G01D5/249GK103940454SQ201410024920
【公開日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月18日
【發(fā)明者】佐佐木康二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社三豐