一種混酸溶液的電位滴定方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及對混酸中各酸組分含量的測定【技術領域】，這種混酸溶液的電位滴定方法，包括如下步驟：步驟一：配制濃度為0.1～0.2mol/L的強堿-乙二醇溶液，利用基準試劑在自動電位滴定儀中標定出所述強堿-乙二醇溶液的實際濃度；步驟二：在所述混酸溶液加入第一溶劑及第二溶劑，攪拌均勻形成混合體系叫，利用強堿-乙二醇溶液在自動電位滴定儀中滴定出所述混合體系中三個酸濃度等當點；其中，所述第一溶劑與所述第二溶劑的體積比為8～16：1；所述第一溶劑為乙醇，所述第二溶劑為乙二胺或丁胺；步驟三：根據質量守恒原理，利用步驟二獲得的酸濃度等當點計算所述混酸溶液中各酸的含量。本發(fā)明可快速準確地測試混酸中各酸濃度。
【專利說明】一種混酸溶液的電位滴定方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及蝕刻過程中混合溶液的處理方法，尤其是對混酸溶液中各組分含量的測定方法。
【背景技術】
[0002]濕刻是TFT制造過程中用酸性腐蝕液對金屬膜層進行圖形化，進而形成柵極(Gate Mol Al)、源、漏極(Source-Drain Cr)像素(ITO)電極的核心工藝。其中，招和鑰常作為導電材料來形成柵極，其濕刻液可使用多種不同的酸，但最普及的是利用混酸(磷酸、硝酸和冰醋酸)對其進行溶解和氧化還原過程，從而實現柵極膜層的圖形化。
[0003]鋁蝕刻液混酸的組成大概為磷酸(70~72%)、硝酸(1.8%~2.0%)、冰醋酸(9.5%~10.5%)，各酸和鋁、鑰反應的原理如下所示:
[0004]
【權利要求】
1.一種混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟一:配制濃度為0.1~0.2mol/L的強堿-醇溶液，利用基準試劑在自動電位滴定儀中標定出所述強堿-醇溶液的實際濃度； 步驟二:在所述混酸溶液即硝酸、磷酸、醋酸混合液中，加入第一溶劑及第二溶劑，攪拌均勻形成混合體系，利用步驟一標定后的強堿-醇溶液在自動電位滴定儀中滴定出所述混合體系中三個酸濃度等當點；其中， 所述第一溶劑與所述第二溶劑的體積比為8~16:1 ;所述第一溶劑為乙醇，所述第二溶劑為乙二胺或丁胺； 步驟三:根據質量守恒原理，利用步驟二獲得的酸濃度等當點計算所述混酸溶液中各酸的含量。
2.根據權利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述步驟二中還包括:利用步驟一標定后的強堿-醇溶液在自動電位滴定儀中滴定出所述第一溶劑及第二溶劑混合后的背景酸濃度等當點；用于消除背景酸度對所述醋酸含量計算的影響。
3.根據權利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述第一溶劑、第二溶劑總體積與所述混酸溶液的質量比為200~400ml:lg。
4.根據權利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述強堿為分析純的氫氧化鉀或氫氧化鈉；所述強堿-醇溶液中溶劑為乙醇或乙二醇。
5.根據權利要求1所述混酸溶液的電位滴定方法，其特征在于，所述基準試劑為苯甲酸或鄰苯二甲酸氫鉀。`
【文檔編號】G01N27/44GK103604856SQ201310576348
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月15日 優(yōu)先權日:2013年11月15日
【發(fā)明者】徐蕊 申請人:深圳市華星光電技術有限公司