專利名稱：檢測臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化光學(xué)檢測設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測臺。
背景技術(shù)：
通常，平板玻璃、觸摸屏、導(dǎo)光板或液晶面板等器件在制造中需要經(jīng)過表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測，通過光學(xué)檢測判定元器件表面結(jié)構(gòu)是否存有缺陷。在光學(xué)檢測過程中，一般先通過第一光學(xué)檢測儀對元件表面快速地進(jìn)行初檢，以判斷是否存在缺陷，初檢后再通過第二光學(xué)檢測儀對初檢后的元件表面慢速地進(jìn)行復(fù)檢，以檢查出具體的缺陷，如線路的短路、斷路、錯(cuò)位等缺陷?，F(xiàn)有的檢測臺如圖5所示，檢測臺包括運(yùn)載平臺11、支架12，設(shè)置在支架12—側(cè)的第一光學(xué)檢測儀13，設(shè)置在支架12另一側(cè)的第二光學(xué)檢測儀14。檢測一待測物件如平板顯示器15時(shí)，平板顯示器15先放置在設(shè)有第一光學(xué)檢測儀13 —側(cè)的運(yùn)載平臺11上，然后平板顯示器15在推動(dòng)或帶動(dòng)作用下，在運(yùn)載平臺11上朝具有第二光學(xué)檢測儀14的另一側(cè)運(yùn)動(dòng)，即第一方向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)第一光學(xué)檢測儀13在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng),如此第一光學(xué)檢測儀13實(shí)現(xiàn)對平板顯示器15表面的初檢，初檢后的平板顯示器15表面進(jìn)入到有第二光學(xué)檢測儀14的另一側(cè)，第二光學(xué)檢測儀14在第二方向運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對平板顯示器15表面的復(fù)檢。然在隨著待測物件如平板顯示器尺寸的增大，如物件的長度為L，第一光學(xué)檢測儀和第二光學(xué)檢測儀在第一方向上的距離為D，應(yīng)用這樣的布局方式，運(yùn)載平臺的長度至少應(yīng)為2L+D的尺寸長度，如此，運(yùn)載平臺的尺寸會(huì)很大，從而會(huì)加大自動(dòng)化光學(xué)檢測設(shè)備的成本。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述，本實(shí)用新型有必要提供一種可減小運(yùn)載平臺尺寸、降低成本的檢測臺。一種檢測臺，用于檢測待測物件，包括運(yùn)載平臺、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀，所述運(yùn)載平臺用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺上，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測儀，所述第一光學(xué)檢測儀以及第二光學(xué)檢測儀在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀對待測物體分段檢測。其中，所述第一光學(xué)檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。其中，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀分段同時(shí)測量。[0009]其中，第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀排列成兩排，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀將檢測臺分成第一段及第二段。其中，所述第一段、第二段、所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離均為待測物件長度的一半。其中，所述待測物件的長度為L，第一段的長度LI在L/2到L之間，第二段的的長度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離D小于L。其中，所述待測物件的長度為L，所述第一段的長度為L，所述第二段的長度為L/2，所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離為L/2。一種檢測臺，用于檢測待測物件，包括運(yùn)載平臺、支架、第一光學(xué)檢測儀、以及第二光學(xué)檢測儀，所述運(yùn)載平臺用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測物件，所述第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀分別列成兩排并設(shè)于所述支架上，所述兩排第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀將運(yùn)載平臺分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學(xué)檢測儀以及第二光學(xué)檢測儀在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，并且所述第一段的長度為LI，第二段的長度為D，第三段的長度為L2，所述待測物的長度為L，使得所述 L〈=L1+L2〈2L，0〈D〈L。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型檢測臺通過在支架兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測儀，以及在支架的兩側(cè)或一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測儀，可使得檢測時(shí)，待測物件放置在初始位置位于運(yùn)載平臺的一段時(shí)，其一段可伸過支架與另一段的第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀平齊，從而可避免僅有一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀而與該第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀對齊而需要的更大位置長度，然后通過支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀來初查或者復(fù)查，如此可減小運(yùn)載平臺的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且在初檢過程中，通過兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀對待測物件兩段分別同時(shí)掃描，可節(jié)省掃描時(shí)間，提高檢測效率。

圖1為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例檢測臺示意圖；圖2為本實(shí)用新型檢測線路示意圖；圖3為本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例檢測臺示意圖；圖4為本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例檢測臺示意圖；圖5為現(xiàn)有的檢測臺示意圖。
具體實(shí)施方式
為詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說明。請參閱圖1，本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例所示檢測臺20，包括運(yùn)載平臺21、支架22、第一光學(xué)檢測儀23、以及第二光學(xué)檢測儀24。所述運(yùn)載平臺21用以承載待測物件25。運(yùn)載平臺21上可設(shè)置傳送裝置(圖未示)，以帶動(dòng)待測物件25在第一方向上運(yùn)動(dòng)，如沿著圖I的水平方向。運(yùn)載平臺21上亦可不設(shè)傳送帶，通過外物推拉待測物件25在運(yùn)載平臺21
在一方向上滑動(dòng)。所述支架22在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中為U型門，支架22設(shè)在運(yùn)載平臺21上，將運(yùn)載平臺21分成第一段211及第二段212，支架22形成通道(圖未示)可供待測物件25穿過從第一段211運(yùn)行至第二段212。所述第一光學(xué)檢測儀23和第二光學(xué)檢測儀24在第一方向上的距離為D，第一段211的長度為LI，第二段212的長度為L2。所述支架22也可以為龍門結(jié)構(gòu)。所述第一光學(xué)檢測儀23以及所述第二光學(xué)檢測儀24分別設(shè)置在支架22的兩側(cè)或一側(cè)，且所述第一光學(xué)檢測儀23以及第二光學(xué)檢測儀24在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，如圖1中的鉛垂方向。在檢測的過程中，所述待測物件25沿著第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第一光學(xué)檢測儀23沿著第二方向移動(dòng)，從而使第一光學(xué)檢測儀23掃描待測物件25的整個(gè)待側(cè)面，從而實(shí)現(xiàn)了對待測物件25的初步檢測。在檢測的過程中，所述待測物件25沿著第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第二光學(xué)檢測儀24沿著第二方向移動(dòng)，從而使第二光學(xué)檢測儀24掃描待測物件25的經(jīng)初步檢測疑似缺陷位置，從而實(shí)現(xiàn)了對待測物件25的復(fù)檢。在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，所述第一光學(xué)檢測儀23為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件大致的缺陷位置。所述第二光學(xué)檢測儀24為高倍顯微鏡，用以對所述缺陷位置高倍顯示，以便對缺陷進(jìn)一步確認(rèn)。本第一較佳實(shí)施例中，該支架22的一段的兩側(cè)分別設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測儀23，該支架22另一段的兩側(cè)分別設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測儀24。較佳地，所待測物件25的長度為L，第一段211的長度LI為L/2，第二段212的長度L2為L/2，所述第一光學(xué)檢測儀23和第二光學(xué)檢測儀24在第一方向上的距離D為L/2。如此，運(yùn)載平臺的總體長度為3L/2，小于長度2L+D。應(yīng)用所述的檢測臺20的檢測所述待測物件25時(shí)，將待測物件25置入運(yùn)載平臺21的第一段211，待測物件25的末段與第一段211外側(cè)平齊，前段穿入支架22的通道，且與設(shè)置在第二段212的第一光學(xué)檢測儀23對齊。然后使待測物件25朝第二段212運(yùn)動(dòng)，同時(shí)開啟支架22的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀23,待測物件25在第一方向運(yùn)動(dòng),第一光學(xué)檢測儀23在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng)，與待測物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)待測物件25前段運(yùn)動(dòng)到第二段212的外側(cè)平齊時(shí)，待測物件25的末段恰進(jìn)入到支架22的通道內(nèi)，如此，支架22的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀23分別將待測物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實(shí)現(xiàn)對待測物件25整個(gè)表面的初檢。在初檢過程中，待測物件25的前段在被第二段212的第一光學(xué)檢測儀23掃描的同時(shí)，第一段211的第一光學(xué)檢測儀23對待測物件25的后段進(jìn)行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時(shí)間。然后使待測物件25朝第一段211運(yùn)動(dòng)，同時(shí)退出第一光學(xué)檢測儀23開啟支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24，待測物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，第二光學(xué)檢測儀24在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng)，與待測物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)待測物件25末端運(yùn)動(dòng)到第一段211的外側(cè)平齊時(shí)，待測物件25的前段恰進(jìn)入到支架22的通道內(nèi)，如此，支架22的兩側(cè)的光第二光學(xué)檢測儀24分別將待測物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實(shí)現(xiàn)對待測物件25整個(gè)表面的復(fù)檢。本實(shí)用新型可以采用待測物件25最小移動(dòng)法，最小第二光學(xué)檢測儀24移動(dòng)法，或者待測物件25與二光學(xué)檢測儀24位移總和最小法進(jìn)行檢測，從而優(yōu)化檢測路徑。結(jié)合參閱圖2，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的復(fù)檢示意圖，箭頭方向代表復(fù)檢的順序。初檢后獲知整個(gè)待測物件25表面缺陷點(diǎn)的具體位置，通過支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24分別掃描聚焦抓取缺陷點(diǎn)，為了便于說明，將支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24分別定義為左側(cè)顯微鏡、右側(cè)顯微鏡，以兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24各取五個(gè)復(fù)檢點(diǎn)的影響為例。在通過初步檢測獲取疑似缺陷位置信息后,每一缺陷坐標(biāo)位置為(X1、Yi),其中，i為待測點(diǎn)的次序，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的一種復(fù)檢流程如下通過計(jì)算機(jī)分析獲得支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24即左側(cè)顯微鏡與右側(cè)顯微鏡需要分別掃描的缺陷點(diǎn)及兩側(cè)的第二光學(xué)檢測儀24對應(yīng)的最佳的優(yōu)化路徑，其計(jì)算方式可以為第一方向位移最小法、第二方向位移最小法、或者第一方向與第二方向位移之和最小法。例如圖2中，右側(cè)第二光學(xué)檢測儀24需要抓取第1、2、3、4、5共五個(gè)缺陷點(diǎn)的圖 像，左側(cè)第二光學(xué)檢測儀24需要抓取6、7、8、9、10五個(gè)缺陷點(diǎn)的圖像；右側(cè)第二光學(xué)檢測儀24從起始位置移到第I缺陷點(diǎn)所在縱坐標(biāo)Yl位置，左側(cè)第二光學(xué)檢測儀24移動(dòng)第6缺陷點(diǎn)的Y6位置；沿著水平方向移動(dòng)待測物體25，使其第I缺陷點(diǎn)移動(dòng)至右側(cè)第二光學(xué)儀器24 ；右側(cè)第二光學(xué)檢測儀24聚焦，微調(diào)并抓取第I缺陷點(diǎn)的影像；移動(dòng)待測物體25至第6缺陷點(diǎn)移動(dòng)至左側(cè)第二光學(xué)檢測儀24，微調(diào)左側(cè)第二光學(xué)檢測儀24并抓取第6缺陷點(diǎn)的影像，同時(shí)右側(cè)第二光學(xué)檢測儀24移動(dòng)至第2缺陷點(diǎn)所在的縱坐標(biāo)位置Y2 ；類似地，兩邊分別復(fù)檢一個(gè)缺陷點(diǎn)，在檢測左側(cè)的缺陷點(diǎn)過程中，右側(cè)的第二光學(xué)檢測24移動(dòng)至下一個(gè)缺陷點(diǎn)所對應(yīng)的縱坐標(biāo)的位置，在檢測右側(cè)的缺陷點(diǎn)過程中，左側(cè)的第二光學(xué)檢測24移動(dòng)至下一個(gè)缺陷點(diǎn)所對應(yīng)的縱坐標(biāo)的位置，如此可以大大減少檢測的時(shí)間。進(jìn)一步地，若采用自動(dòng)跟蹤聚焦顯微鏡，則所述的微調(diào)步驟可以省略。請參閱圖3，本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例所示的檢測臺30，其結(jié)構(gòu)與第一較佳實(shí)施例大致相同，其區(qū)別在于所述待測物件25的長度為L，第一段211的長度LI在L/2到L之間，第二段212的長度L2在L/2到L之間，當(dāng)LI < L2時(shí)，所述支架兩側(cè)的光學(xué)檢測儀在第一方向上的距離D在L LI與L之間，當(dāng)L1>L2時(shí)，所述支架兩側(cè)的光學(xué)檢測儀在第一方向上的距離D在L-L2與L之間。如此，運(yùn)載平臺21的總體長度為L1+L2+D，小于長度2L+D。應(yīng)用該第二較佳實(shí)施例中所述的檢測臺30的檢測所述待測物件25的過程與所述第一較佳實(shí)施例的過程相同，在此不再詳述?？梢钥闯?，D+L1彡L ；D+L2彡L, L1+L2彡2L2D ;機(jī)臺總長度L1+L2+D彡2L-D ;當(dāng)L1L2L D L/2時(shí)，平臺長度最短。從第一、第二較佳實(shí)施例可看出，通過在支架22兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測儀23，以及在支架22的兩側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測儀24，可使得檢測時(shí)，待測物件25放置在運(yùn)載平臺21初始位置位的一段時(shí)，待測物件25的一段可伸過支架與另一段的第一光學(xué)檢測儀23或光學(xué)第二光學(xué)檢測儀24平齊，從而可相對僅在支架一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測儀、另一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測儀的運(yùn)載平臺21節(jié)省了的長度，然后通過支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀23或第二光學(xué)檢測儀24來初查或者復(fù)查，如此減小運(yùn)載平臺21的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且無需對經(jīng)過支架下通道長度D的時(shí)間空閑，可節(jié)省時(shí)間，提高了檢測效率。請參閱圖4，本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所示的檢測臺40，其結(jié)構(gòu)與第一較佳實(shí)施例大致相同，其區(qū)別在于該支架22僅一側(cè)分別設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測儀24，且位于運(yùn)載平臺21的第一段211。所待測物件25的長度為L，如此，為了確保復(fù)檢能被第二光學(xué)檢測儀24完全掃描到，則第一段211的長度需為L，所述第一光學(xué)檢測儀23和第二光學(xué)檢測儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長度L2之和為L，從而整個(gè)運(yùn)載平臺21的總體長度為2L,小于長度2L+D。較佳地,本第三實(shí)施例中，所述第一光學(xué)檢測儀23和第二光學(xué)檢測儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長度均為L/2。應(yīng)用該第二較佳實(shí)施例中所述的檢測臺30的檢測所述待測物件25的過程與所述第一較佳實(shí)施例的過程相同，在此不再詳述。有必要說明的是在初檢中，所述待測物件25的前段可與第一段211的第一光學(xué)檢測儀23平齊，亦可伸過支架與第二段212的第一光學(xué)檢測儀23平齊。然本實(shí)用新型通過在支架22兩側(cè)均設(shè)置第一光學(xué)檢測儀23，如此可減小初檢掃描時(shí)間，如此，需將所述待測物件25的前段伸過支架與第二段212的第一光學(xué)檢測儀23平齊，從而，在待測物件25的前段在被第二段212的第一光學(xué)檢測儀23掃描的同時(shí)，第一段211的第一光學(xué)檢測儀23對待測物件25的后段進(jìn)行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時(shí)間。在復(fù)檢中，待測物件25的前段與末段均需通過設(shè)置在支架22第一段211的所述第二光學(xué)檢測儀24掃描。綜上，本實(shí)用新型檢測臺通過在支架兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測儀，以及在支架的兩側(cè)或一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測儀，可使得檢測時(shí)，待測物件放置在位于運(yùn)載平臺初始位置的一段時(shí)，待測物件的一段可伸過支架與支架另一側(cè)的第一光學(xué)檢測儀或光學(xué)第二光學(xué)檢測儀平齊，從而可避免僅有一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀而與該第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀對齊而需要的更大位置長度，然后通過支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀來初查或者復(fù)查，如此可減小運(yùn)載平臺的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且在檢測過程中，通過兩側(cè)的第一光學(xué)檢測儀對待測物件兩段同時(shí)分別掃描，可節(jié)省掃描時(shí)間，提高檢測效率。所述支架亦可為多個(gè)支架排列形成構(gòu)成一整體的支架，第一光學(xué)檢測儀與第二光學(xué)檢測儀設(shè)置在該整體支架的兩側(cè)。此外，本實(shí)用新型的檢測臺還可以設(shè)置兩個(gè)、三個(gè)及其他數(shù)量的支架，每一支架上安裝第一光學(xué)檢測儀及第二光學(xué)檢測儀，通過提高支架的數(shù)量，可以采用類似上述方法對待測物分段分別同時(shí)檢測，進(jìn)一步提高了檢測速度。上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種緊湊型的檢測臺，用于檢測待測物件，包括運(yùn)載平臺、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀，所述運(yùn)載平臺用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺上，其特征在于至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測儀，所述第一光學(xué)檢測儀以及第二光學(xué)檢測儀在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀對待測物體分段檢測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學(xué)檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀分段同時(shí)測量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測臺，其特征在于第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀排列成兩排，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀將檢測臺分成第一段及第二段。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述第一段、第二段、所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離均為待測物件長度的一半。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述待測物件的長度為L，第一段的長度LI在L/2到L之間，第二段的的長度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離D小于L。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述待測物件的長度為L，所述第一段的長度為L，所述第二段的長度為L/2，所述兩排第一光學(xué)檢測儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測儀之間在第一方向上的距離為L/2。
8.一種緊湊型的檢測臺，用于檢測待測物件，包括運(yùn)載平臺、支架、第一光學(xué)檢測儀、以及第二光學(xué)檢測儀，所述運(yùn)載平臺用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測物件，其特征在于所述第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀分別列成兩排并設(shè)于所述支架上，所述兩排第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀將運(yùn)載平臺分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學(xué)檢測儀以及第二光學(xué)檢測儀在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，并且所述第一段的長度為LI，第二段的長度為D，第三段的長度為L2，所述待測物的長度為L，使得所述L〈=L1+L2〈2L，0〈D〈L。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學(xué)檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學(xué)檢測儀或第二光學(xué)檢測儀分段同時(shí)測量。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種緊湊型的檢測臺。該檢測臺，用于檢測待測物件，包括運(yùn)載平臺、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀，所述運(yùn)載平臺用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺上，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)分別設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測儀，所述第一光學(xué)檢測儀以及第二光學(xué)檢測儀在檢測待測物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測儀和/或第二光學(xué)檢測儀對待測物體分段檢測。本實(shí)用新型可減小運(yùn)載平臺的尺寸，從而降低設(shè)備的成本。
文檔編號G01N21/88GK202854051SQ20122051126
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月29日
發(fā)明者裴世鈾, 李波, 溫曄, 楊鐵成, 張梁, 孫繼忠 申請人:肇慶中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司