專利名稱：高精度數(shù)顯式螺旋測微器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種高精度數(shù)顯式光柵螺旋測微器，主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)過程及產(chǎn)品檢測過程中對于回轉(zhuǎn)體直徑，板件厚度等器件小尺寸的高精確測量。
背景技術(shù)：
隨著工業(yè)生產(chǎn)對產(chǎn)品精度越來越高的要求，對產(chǎn)品的檢驗也需要高精度要求的測量儀器，目前生產(chǎn)與實驗當(dāng)中廣泛被使用的測量儀器為游標(biāo)卡尺與螺旋測微器，其讀數(shù)能夠測量出O. 001毫米，但其最后一位為估讀所得，且目前市面上的測微器的種類大部分為 需人工讀數(shù)的儀器，在讀數(shù)過程中，需花費大量的時間，以確保讀數(shù)的準(zhǔn)確性，即使如此，也很難排除人為的疲勞的原因而導(dǎo)致的讀數(shù)錯誤。目前市場上也有生產(chǎn)廠家生產(chǎn)出了部分?jǐn)?shù)顯式的螺旋測微器，但其測量精度為0.001厘米，這難以達到部分機械加工中要求達O. 001毫米的精度。而本實用新型能很好的解決這一問題，數(shù)顯式使數(shù)顯式使讀數(shù)通過數(shù)顯屏顯示出來，減少了人工讀數(shù)的麻煩，而且數(shù)顯式螺旋測微器的的測量精度達到了 0.001毫米的程度。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型能將螺旋測微器的測量精度提高到O. 001毫米，并能在數(shù)顯屏上顯
/Jn ο本實用新型是一種高精度數(shù)顯復(fù)位式光柵螺旋測微器，(圖I)包括由具有螺距為O. 5毫米的測微器外殼測桿傳動螺紋8的測微器外殼I、測微器外殼I內(nèi)的測桿2及測桿內(nèi)的中心轉(zhuǎn)軸3組成的測桿傳動機構(gòu)(圖I)(圖2)(圖4);由中心轉(zhuǎn)軸3的中部通過光柵盤固定螺紋52連接的光柵盤4、在光柵盤4邊緣與中心轉(zhuǎn)軸3成90度分布的通過激光計數(shù)器固定孔(29)中的螺釘固定于測微器外殼I上的4個激光計數(shù)器25組成的測量信號檢測機構(gòu)(圖2)(圖11);由中心轉(zhuǎn)軸3、位于中心轉(zhuǎn)軸3上光柵盤4右側(cè)的軸輪5、與后蓋6成一體的粗調(diào)轉(zhuǎn)動齒輪軸30、安裝于測微器外殼I與后蓋6之間粗調(diào)傳動齒輪22、粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪11、粗調(diào)連動彈簧環(huán)47、粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10、粗調(diào)連動外環(huán)9組成的粗調(diào)傳動機構(gòu)(圖2)(圖8);由中心轉(zhuǎn)軸3、細(xì)調(diào)連動彈簧46、細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)13、細(xì)調(diào)連動外環(huán)12、后蓋6、滾珠(50)、組成的細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)(圖I)(圖2)(圖9);由粗調(diào)連動外環(huán)9通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔中的螺釘安裝于后蓋6上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器27、通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸32連接于后蓋6上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片26、通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔34中的螺釘固定于后蓋6上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器32、粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束32組成的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)(圖I)(圖6);由細(xì)調(diào)連動外環(huán)12、后蓋6、U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片24、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸31、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器23、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束48組成的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)(圖2)、(圖7)六大機構(gòu)。本實用新型中測桿傳動機構(gòu)的特征在于測桿2右部有與測微器外殼I上測微器外殼測桿傳動螺紋8相配合的相配合的外螺紋(圖1)，中心轉(zhuǎn)軸3與測桿2通過中心轉(zhuǎn)軸3上的弧形鍵與測桿2上的弧形槽相連接(圖4)。本實用新型中測量信號檢測機構(gòu)的特征在于激光計數(shù)器25包括激光器43與光電感應(yīng)器41并且激光器43與光電感應(yīng)器41通過激光計數(shù)器固定孔29中的螺釘安裝在光柵盤4上光柵孔40六個方位上可供布局其它元器件僅剩余的兩側(cè)(圖2)(圖9)，光柵盤4邊緣有125個均勻分布的光柵孔40 (圖10)，其中光柵角度67是光柵孔角度65的4倍(圖10)。本實用新型中粗調(diào)傳動機構(gòu)的特征在于軸輪5與粗調(diào)傳動齒輪22通過齒相連接，粗調(diào)傳動齒輪22與粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪11通過齒相連接圖8，粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪11在粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10以內(nèi)并通過安裝于由粗調(diào)連動外環(huán)9外側(cè)中部的環(huán)形槽與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10內(nèi)側(cè)中部的環(huán)形槽共同組成的粗調(diào)彈簧安放環(huán)形槽14中的粗調(diào)連動彈簧環(huán)47互相連接(圖I)(圖8),粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10與粗調(diào)連動外環(huán)9通過粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10上的槽與粗調(diào)連動外環(huán)9上的鍵相連接，并且粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10上的槽的弧長是粗調(diào)連動外環(huán)9上的鍵的弧長的2-3倍(圖 8)。本實用新型細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)中的細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)13位于細(xì)調(diào)連動外環(huán)12的內(nèi)部并通過細(xì)調(diào)連動外環(huán)12上的鍵與細(xì)調(diào)連動外環(huán)12連接，細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)46安放于有中心轉(zhuǎn)軸30尾部外側(cè)的環(huán)形槽與細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)13中心內(nèi)側(cè)的環(huán)形槽共同形成的細(xì)調(diào)彈簧環(huán)安裝槽19中，其中細(xì)調(diào)連動外環(huán)12通過安裝于滾珠孔環(huán)槽中的滾珠相連接，中心轉(zhuǎn)軸3尾部頂尖與細(xì)調(diào)連動外環(huán)12接觸相連接。本實用新型粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)的特征在于粗調(diào)連動外環(huán)11靠近后蓋一側(cè)的厚度大于靠近測微器外殼處并在較厚處內(nèi)側(cè)分布有齒，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片26上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性桿58 —端伸入的粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)10上相鄰齒之間，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片26上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板60伸入粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器27中，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器27上還包含有一個激光器43與一個光電感應(yīng)器41，激光器43與光電感應(yīng)器41分別安裝于粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板60面積最大的的兩側(cè)。本實用新型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)中細(xì)調(diào)連動外環(huán)12靠近后蓋6 —側(cè)外側(cè)分布有齒，U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片24上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性桿57 —端伸入的細(xì)調(diào)連動外環(huán)12上相鄰齒之間，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片24上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板55伸入細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器23中，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器23上還包含有一個激光器43與一個光電感應(yīng)器41，激光器43與光電感應(yīng)器41分別安裝于細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板60面積最大的兩側(cè)。本實用新型由于有激光計數(shù)裝置與正反轉(zhuǎn)檢測裝置，使用時在測桿2歸零、顯示屏復(fù)位后信號處理器在正反轉(zhuǎn)信號控制下對激光計數(shù)器傳來的光電信號統(tǒng)計，在數(shù)顯屏上進行顯示。

圖I是本實用新型按圖3后蓋圖中B-O-C所在面對整個部件的剖面圖。圖2是本實用新型按圖3后蓋圖中A-O-B所在面對整個部件的剖面圖。圖3是本實用新型后蓋的左視圖(以圖I為參考面)。圖4時本實用新型測桿連接D-D剖面示意圖。圖5是本實用新型中粗(細(xì))調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器的放大圖。[0017]圖6是本實用新型粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測原理示意圖(由圖I左視)。圖7是本實用新型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測原理示意圖(由圖I左視)。圖8是本實用新型粗調(diào)轉(zhuǎn)動原理示意圖(圖2的F-F剖面圖)。圖9是本實用新型細(xì)調(diào)裝置放大圖及細(xì)調(diào)傳動原理圖(G-G剖面圖)。圖10是本實用新型激光光柵計數(shù)原理示意圖。圖11是本實用新型光柵盤右視圖(以圖I為參考面)。圖中標(biāo)記如下I測微器外殼2測桿3中心轉(zhuǎn)軸·[0025]4光柵盤5軸輪6后蓋7控制腔8測微器外殼測桿傳動螺紋 9粗調(diào)連動外環(huán)10粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)11粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪12細(xì)調(diào)連動外環(huán)13細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)14粗調(diào)彈簧環(huán)形槽15粗調(diào)連動鍵間隙16滾珠裝孔17滾珠孔環(huán)槽18細(xì)調(diào)連動鍵間隙19細(xì)調(diào)彈簧環(huán)行槽20細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測帶動齒 21后蓋固定螺紋22粗調(diào)傳動齒輪23細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器24U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片25激光計數(shù)器26粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片27粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器28細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測擋光片 29激光計數(shù)器固定孔30粗調(diào)傳動齒輪軸31細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸 32粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸 33中心轉(zhuǎn)軸孔34粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔 35細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔36后蓋緊固螺紋37粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片安裝間隙38后蓋緊固環(huán)39光柵遮光柵40光柵孔41光電感應(yīng)器42激光束43激光器44激光計數(shù)器安裝角度 45光柵長度46細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)47粗調(diào)連動彈簧環(huán)48細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束49粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束 50滾珠51滾珠裝孔密封螺釘52光柵盤固定螺紋53激光計數(shù)器螺釘起通孔 54細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸55細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板 56細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片57細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性片58粗調(diào)正反裝檢測片剛性桿 59粗調(diào)正反裝檢測片彈性片 60粗調(diào)正反裝檢測片擋光板61示屏與電路安放口62檢測信號導(dǎo)線安裝槽 63電源開關(guān)[0045]64復(fù)位按鈕65光柵孔角度66擋光柵角度67光柵角度
具體實施方式
從圖I與圖4可看出本實用新型包括本實用新型包括具有測微器外殼測桿傳動螺紋(8)的測微器外殼(I)，測微器外殼(I)內(nèi)的在右部有較小一段與測微器外殼(I)上測微器外殼測桿傳動螺紋⑶相配合的螺紋的可伸縮測桿⑵，測桿⑵通過測微器外殼測桿傳動螺紋(8)在測微器外殼(I)中隨測量者的調(diào)節(jié)而自由伸縮，用以對測件進行夾緊測量，測桿內(nèi)有中心轉(zhuǎn)軸(3)，中心轉(zhuǎn)軸(3)上的向測桿(2)凸出的部分可使測桿(2)與中心轉(zhuǎn)軸(3)同步轉(zhuǎn)動，同時由于中心轉(zhuǎn)軸(3)與測桿(2)接觸部分光滑有間隙，所以摩擦力較小，于是測桿(2)由于轉(zhuǎn)動使其在測微器外殼(I)上測微器外殼測桿傳動螺紋(8)帶動下向旋進或旋出方向微小平移，而中心轉(zhuǎn)軸(3)在中心轉(zhuǎn)軸(3)右側(cè)安裝于細(xì)調(diào)彈簧環(huán)安裝槽(19)中的細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)的阻擋作用下保持與測微器外殼(I)相對不變的位置。從圖I與圖10圖11可以看出本實用新型還包括位于中心轉(zhuǎn)軸(3)的中部的、邊緣·均布125個光柵孔(40)的、通過光柵盤固定螺紋(52)固定于中心轉(zhuǎn)軸(3)上的圓形光柵盤(4)，光柵盤(4)用以對激光計數(shù)器(25)左側(cè)激光器(43)發(fā)來的激光束(42)進行間斷的遮擋，光柵孔(40)的左側(cè)四個成90度均布的激光計數(shù)器(25)上的激光器(43)，激光器
(43)可發(fā)出連續(xù)激光束(42)，光柵孔(40)右側(cè)有激光計數(shù)器(25)上的光電感應(yīng)器(41)，光電感應(yīng)器(41)用以對激光器(43)發(fā)出的、在光柵孔(40)間斷通透作用下產(chǎn)生的、在光柵孔右側(cè)的間斷激光束信號(42)進行感應(yīng)檢測，產(chǎn)生高低電平的電信號，輸送給測微器的信號處理器進行計數(shù)從圖2圖8還可以看出本實用新型還包括中心轉(zhuǎn)軸(3)上光柵盤(4)右側(cè)處、通過中心轉(zhuǎn)軸(3)軸輪(5)連接的、并通過粗調(diào)傳動齒輪軸(30)固定于后蓋(6)上的粗調(diào)傳動齒輪(22)，粗調(diào)傳動齒輪(22)與固定于測微器外殼(I)與后蓋￠)中間的粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)連接，粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)由安放于由粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)內(nèi)側(cè)中心環(huán)形凹槽與粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)外側(cè)中心環(huán)形凹槽共同形成的粗調(diào)彈簧安放環(huán)形槽(14)中的粗調(diào)連動彈簧環(huán)(47)與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)連接，粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)與粗調(diào)連動外環(huán)(9)由粗調(diào)連動外環(huán)(9)上的鍵與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)上尺寸為粗調(diào)連動外環(huán)(9)上鍵的弧度的2-3倍的鍵槽連接組成粗調(diào)裝置，當(dāng)使用者調(diào)動粗調(diào)裝置上的粗調(diào)連動外環(huán)(9)時，在粗調(diào)連動外環(huán)
(9)上位于粗調(diào)連動鍵間隙(15)中的鍵對粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)的作用下帶動粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)
(10)的轉(zhuǎn)動，粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)則通過位于粗調(diào)彈簧安放環(huán)形槽(14)中的粗調(diào)連動彈簧環(huán)(47)對粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)內(nèi)側(cè)中部環(huán)形凹槽壁、粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)外側(cè)中部環(huán)形凹槽壁的彈性壓力的作用下而產(chǎn)生的摩擦力的作用下帶動粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)轉(zhuǎn)動，粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)則帶動粗調(diào)傳動齒輪(22)轉(zhuǎn)動，粗調(diào)傳動齒輪(22)繼續(xù)帶動軸輪(5)轉(zhuǎn)動，進而帶動中心轉(zhuǎn)軸(3)轉(zhuǎn)動，對測件進行夾緊，當(dāng)測件已經(jīng)加勁時，由于測件對轉(zhuǎn)動部位的阻礙作用，而粗調(diào)彈簧安放環(huán)形槽(14)中的粗調(diào)連動彈簧環(huán)(47)對粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)內(nèi)側(cè)中部環(huán)形凹槽壁、粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)外側(cè)中部環(huán)形凹槽壁的彈性壓力的作用下而產(chǎn)生的摩擦力的大小一定，提供了測桿(2)對測件的恒定大小的夾緊力，同時使使用者無需擔(dān)心用于測件的阻擋作用而使粗調(diào)連動外環(huán)(9)在繼續(xù)調(diào)節(jié)過程中對測量造成的不良影響。[0050]從圖I圖6圖8可以看出本實用新型中粗調(diào)連動外環(huán)(9)上靠近后蓋(6)邊緣厚度比靠近測微器外殼(I)處厚，粗調(diào)連動外環(huán)(9)上靠近后蓋(6)厚度較厚處內(nèi)側(cè)有環(huán)形齒，環(huán)形齒間隙中安放由粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸(32)而固定在后蓋(6)上的、粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)上的、粗調(diào)正反檢測片剛性片(58)的一端，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)上與粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(59) —端連接的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(60)伸入安裝于后蓋(6)上的、由螺釘固定于后蓋(6)上粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔(34)內(nèi)的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)內(nèi)，當(dāng)使用者使用時順時鐘調(diào)動粗調(diào)連動外環(huán)(9)時，當(dāng)粗調(diào)連動外環(huán)(9)中的鍵還未接觸到粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)上鍵槽槽壁使粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)轉(zhuǎn)動時,在粗調(diào)連動外環(huán)
(9)右內(nèi)側(cè)齒對粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性桿(58)的帶動下，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)繞粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸(32)順時鐘轉(zhuǎn)動，則如圖6中粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片檔光板(60)也順時鐘位移，直至與粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)內(nèi)壁接觸，此時粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)繼續(xù)帶動粗調(diào)正反裝檢測片剛性片(58)順時鐘轉(zhuǎn)動一個較小的角度，而此時由于粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(59)的彈性作用，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(59)將發(fā)生彎曲，使粗調(diào)連動外環(huán)(9)不會由于粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性片(58)的阻礙作用而不能繼續(xù)轉(zhuǎn)動，此時粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測檔光 板(60)處于順時鐘位移狀態(tài)中，如圖6所示粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(49)處于未被遮擋的狀態(tài)中，此時粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)中激光感應(yīng)器能接收到激光信號并產(chǎn)生低電平輸出信號傳輸給信號處理器進行處理，極短的處理時間后粗調(diào)連動外環(huán)(9)還得轉(zhuǎn)動一個較小的角度使粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(59)產(chǎn)生彎曲后，粗調(diào)連動外環(huán)(9)中的鍵才與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)中的鍵槽槽壁相接觸使粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)傳動，當(dāng)使用者改變粗調(diào)連動外環(huán)(9)的轉(zhuǎn)向，逆時鐘旋轉(zhuǎn)時，由于粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)中的鍵槽是粗調(diào)連動外環(huán)(9)中的鍵的弧度的2-3倍，所以當(dāng)粗調(diào)連動外環(huán)(9)帶動粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)轉(zhuǎn)動時，粗調(diào)連動外環(huán)
(9)還未帶動粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)轉(zhuǎn)動，而此時在粗調(diào)連動外環(huán)(12)帶動下，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片(26)逆時鐘旋轉(zhuǎn)，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片檔光板(443)產(chǎn)生逆時鐘位移，并擋住由粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)發(fā)出的激光束(49)，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器接收不到激光信號，而差生一個高電平信號傳送給信號處理器進行處理，同順時鐘旋轉(zhuǎn)同樣的原因，到此時粗調(diào)連動外環(huán)(9)還得轉(zhuǎn)動一個較小的角度使粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(59)產(chǎn)生彎曲后，粗調(diào)連動外環(huán)(9)中的鍵才與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)中的鍵槽槽壁相接觸使粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)傳動，所以達到了只有先對使用者的正反轉(zhuǎn)的檢測后再由傳動結(jié)構(gòu)帶動中心轉(zhuǎn)軸(3)轉(zhuǎn)動進行光柵計數(shù)的目的。由圖9可以看出本實用新型還包括在中心轉(zhuǎn)軸(3)尾部通過安放于由細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)內(nèi)側(cè)中心的環(huán)形凹槽與中心轉(zhuǎn)軸(3)尾部外側(cè)環(huán)形凹槽共同形成的細(xì)調(diào)彈簧環(huán)安裝槽(19)內(nèi)的細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)與細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)相連，細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)通過細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)上的鍵與細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)上尺寸是細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)上鍵尺寸大的3倍的鍵槽間隙連接，細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)通過安裝于滾珠孔環(huán)槽(17)內(nèi)的滾珠(50)連接固定在后蓋(6)上的細(xì)調(diào)結(jié)構(gòu)，細(xì)調(diào)結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)動原理與粗調(diào)傳動的傳動原理相同，但是細(xì)調(diào)結(jié)構(gòu)中的細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)與其環(huán)心相近的一側(cè)不是像粗調(diào)聯(lián)動彈簧環(huán)(47) —樣與粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)相接觸，而與中心轉(zhuǎn)軸(3)直接相接觸傳動，同時由于細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)位于由細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)內(nèi)側(cè)中心的環(huán)形凹槽與中心轉(zhuǎn)軸(3)尾部外側(cè)環(huán)形凹槽共同形成的細(xì)調(diào)彈簧環(huán)形槽(19)的中心，所以細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)對中心轉(zhuǎn)軸有固定作用，由于滾珠(50)安裝于細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)內(nèi)側(cè)左部的環(huán)形內(nèi)凹槽與后蓋(6)右部外側(cè)環(huán)形外凹槽共同形成的滾珠孔環(huán)形槽(17)中間，所以滾珠對細(xì)調(diào)裝置有固定作用。由圖2圖7可以看出本實用新型還包括細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)靠近測微器外殼(I)一側(cè)外側(cè)有細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測帶動齒(20)，通過細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸(31)固定連接在后蓋(6)上的U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片(24)上細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片彈性片(56)向內(nèi)伸入控制腔(7)內(nèi)，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性片(57) —端伸向細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)帶動齒(20)中，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(55)伸入通過螺釘安裝于后蓋(6)上細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔(35)中而固定于后蓋(6)上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(23)中的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測裝置結(jié)構(gòu)，其中細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測裝置的原理與粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測裝置的原理相同，但不同的是細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測裝置中細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)順時鐘旋轉(zhuǎn)時，其帶動U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片
(24)逆時鐘旋轉(zhuǎn)。圖10是本實用新型的的光柵計數(shù)原理圖，如圖共有四個激光計數(shù)器(定義從圖10看從左到右四個激光計數(shù)器分別為計數(shù)器一、計數(shù)器二、計數(shù)器三、計數(shù)器四)上的四個激光器(43)與四個光電感應(yīng)器(41)，且一個光柵孔(40)的長度稱之為一個光柵孔長度、兩個光柵孔之間的光柵遮光柵(39)之間的長度稱之為遮光柵長度、遮光柵長度與光柵孔長度相加組成光柵長度(45)，如圖11中一個光柵所對應(yīng)于光柵盤(4)中心的角度稱為一個光柵角度￠7)且對應(yīng)圖10中的一個光柵長度(45)、一個光柵遮光柵(39)對應(yīng)于光柵盤(4)中心的角度為一個遮光柵角度￠6)對應(yīng)于圖10中的擋光柵長度、一個光柵孔(40)對應(yīng)于光柵盤(4)中心的角度稱為一個光柵孔角度￠7)對應(yīng)于圖10中的一個光柵孔長度。光柵盤上一周共有125個光柵，125個光柵角度為360度，故每個光柵的角度為2. 88度，又每個遮光柵角度為光柵孔角度的3倍故每個光柵孔角度為O. 72度，每個遮光柵角度為2. 16度，所以一周共可以分為500個光柵孔角度，對應(yīng)于中心轉(zhuǎn)軸(3)帶動測桿(2)在測微器外殼測桿傳動螺紋帶動下進給一個螺距長度O. 5毫米，因此每一個光柵孔長度對應(yīng)O. 001毫米。計數(shù)原理如圖10共分為a、b、C、d、e四個時刻，a時刻為測量的起始位置，此時計數(shù)器四激光信號可通過，計數(shù)器四輸入給信號處理器一個低電平，而另外三個激光計數(shù)器由于其上的光電感應(yīng)器接收不到激光信號所以輸入給信號處理器高電平；當(dāng)光柵盤(4)轉(zhuǎn)動一個光柵孔角度時計數(shù)器四激光信號被遮擋，而計數(shù)器三激光信號可通過，計數(shù)器三輸入給信號處理器低電平，另外三個激光計數(shù)器輸入給信號處理器高電平，對應(yīng)于b時刻；當(dāng)光柵盤再轉(zhuǎn)動一個光柵孔角度時，計數(shù)器三激光信號被遮擋，計數(shù)器二激光信號可通過，計數(shù)器二輸入給信號處理器低電平，另外三個激光計數(shù)器輸入給信號處理器高電平，對應(yīng)于c時刻；當(dāng)光柵盤再轉(zhuǎn)動一個光柵角度時，計數(shù)器二激光信號被擋住，計數(shù)器一激光信號可通過，計數(shù)器一輸入給信號處理器低電平，另外三個激光計數(shù)器輸入給信號處理器高電平，對應(yīng)于d時刻；當(dāng)計數(shù)器再轉(zhuǎn)動一個光柵孔角度時，計數(shù)器一激光信號被擋住，計數(shù)器四激光信號可通過，計數(shù)器四輸入給信號處理器低電平，另外三個激光計數(shù)器輸入給信號處理器高電平，對應(yīng)于e時刻，此時四個計數(shù)器與相鄰光柵的相對位置與a時刻相同，從此之后重復(fù)這一過程。在原理圖中共5個光柵，在實際試用新型中共有125個光柵，實際實用新型中原理圖中5個光柵孔中無激光信號通過的光柵孔之見還有30個光柵，而各個時刻每個激光計數(shù)器與之相鄰的光柵的相對位置與原理圖相同，于是光柵盤每轉(zhuǎn)一個光柵角度時總會有一個計數(shù)器計數(shù)一次，光柵盤轉(zhuǎn)動一周，共計數(shù)500次，對應(yīng)于500微米即O. 5毫米。[0054]本實用新型傳動原理及信號處理器信號接收方式由以上設(shè)計方案可知，當(dāng)測量者順時鐘粗調(diào)時，粗調(diào)連動外環(huán)(9)、粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)、粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)、粗調(diào)傳動齒輪均順時鐘旋轉(zhuǎn)，而軸輪(5)與中心轉(zhuǎn)軸(3)逆時針旋轉(zhuǎn)，此時測桿(2)也逆時針旋轉(zhuǎn)，測桿
(2)所測實際范圍減小，此時粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(49)被擋住，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)傳出高電平給信號處理器，同時，在中心轉(zhuǎn)軸(3)逆時針帶動下，整個細(xì)調(diào)裝置在極小時間后亦逆時針轉(zhuǎn)動，從而使U型正反轉(zhuǎn)檢測片順時鐘轉(zhuǎn)動，擋住細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(48)，使細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器正向信號處理器輸入一個高電平；逆時針粗調(diào)時反之，當(dāng)逆時針粗調(diào)時，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)經(jīng)檢測器傳出高電平給計數(shù)器，此時測桿(2)所測實際范圍增大，同時極小時間后，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器向信號處理器輸入一個低電平；當(dāng)測量者順時鐘細(xì)調(diào)時，在細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)的帶動下，測桿(2)亦將順時鐘傳動，測桿( 2)所測實際長度增大，此時細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(48)被通過，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器傳輸?shù)碗娖浇o信號處理器，同時在中心轉(zhuǎn)軸帶動下，粗調(diào)轉(zhuǎn)置中軸輪(5)順時鐘轉(zhuǎn)動,進而帶動粗調(diào)傳動齒輪(22)、粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)
(10)、粗調(diào)連動外環(huán)(9)逆時針轉(zhuǎn)動,使粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)也逆時針轉(zhuǎn)動,從而粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束沒被檔住，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)向信號處理器輸入一個低電平，反之，當(dāng)逆時針細(xì)調(diào)時，測桿(20)所測實際長度減小，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器傳出高電平給信號處理器，同時極小時間后，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)向信號處理器輸入一個高電平實現(xiàn)；(以上順時鐘粗調(diào)、逆時針粗調(diào)、順時鐘細(xì)調(diào)、逆時針細(xì)調(diào)均在一個極小時間后實現(xiàn)了粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器與細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器向信號處理器輸入電平信號的同步。)四個計數(shù)器同時工作，激光計數(shù)器上光電感應(yīng)器(41)每得到激光照射時便將低電平傳送給信號處理器，當(dāng)?shù)貌坏郊す庹丈鋾r，便將高電平傳給信號處理器。當(dāng)激光計數(shù)器傳給信號處理器的電平由高電平轉(zhuǎn)換為低電平時，信號處理器便計數(shù)一次。以下所述的信號均表示計數(shù)器傳輸給信號處理器的電平由高電平轉(zhuǎn)換為低電平。為表述方便此處定義計數(shù)加處理為任意一個激光計數(shù)器輸入給信號處理器的電平由高變?yōu)榈蜁r，則在原有數(shù)據(jù)基礎(chǔ)上增加一個單位(一個單位對應(yīng)于I微米)；定義減處理為任意一個激光計數(shù)器輸入給信號處理器的電平由高變?yōu)榈蜁r，則在原有數(shù)據(jù)基礎(chǔ)上減少一個單位。本實用新型的信號處理器的處方式為，電源打開時，將上次使用關(guān)閉電源的數(shù)據(jù)作為初始數(shù)據(jù)X，此時隨時判斷粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器與細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器的輸入狀態(tài)，如果均為高電平，此時，信號處理器為計數(shù)減臨界狀態(tài)，只要兩正反轉(zhuǎn)檢測器傳給信號處理器保持高電平保持不變，信號處理器對激光計數(shù)器信號進行在X上進行減處理；若兩正反轉(zhuǎn)檢測器傳給信號處理器均為低電平則信號處理器處于計數(shù)加臨界狀態(tài)，只要兩正反轉(zhuǎn)檢測器傳給信號處理器保持低電平兩個低電平不變，信號處理器對激光計數(shù)器輸入高電平信號在X上進行加處理；如果細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器與粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器輸入信號中有一個為高電平，有一個為低電平，則信號處理器對原數(shù)據(jù)X不做任何處理，但在此時對任意一個正反轉(zhuǎn)檢測器輸入信號發(fā)生改變之前的、激光計數(shù)器傳來的信號進行加處理并保存在另一個變量之上，設(shè)此變量為y，直到其中任意一個正反轉(zhuǎn)檢測器輸入信號發(fā)生改變時后，兩個正反轉(zhuǎn)檢測器輸入電平相同時那一刻起，停止對激光計數(shù)器輸入高電平在y上的加處理，并判斷此時的兩個相同正反轉(zhuǎn)檢測器輸入電平的高低，若是高電平，則將X減y的值賦值給X，然后對在此之后的激光計數(shù)器傳來的信號在X上進行減處理，若是低電平，則將X加I后賦值給X，然后在此之后的激光計數(shù)器傳來的信號進行減處理；同時信號處理器只對有變化的從激光計數(shù)器輸入的信號進行處理，對恒定不變的信號不進行處理，即保證了對激光計數(shù)器向信號處理器輸入的高電平信號只做一次處理，當(dāng)處理之后，只要原來輸入信號的激光計數(shù)器的電平未發(fā)生變化，則不管粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器輸入電平、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器輸入電平、復(fù)位輸入電平發(fā)生何種變化，信號處理器對原激光計數(shù)器輸入的未改變的信號不再做任何處理。信號處理器隨時將處理后的信號X進行譯碼顯示在數(shù)顯屏上。本實用新型測量誤差分析的說明本實用新型中的中心轉(zhuǎn)軸(3)與光柵盤(4)通過螺紋緊固在一起，故此螺紋連接不會使測量產(chǎn)生誤差，但中心轉(zhuǎn)軸(3)與測桿(2)通過鍵槽相連接，此處存在極其細(xì)小的間隙，設(shè)此值為z，且在測量時首先應(yīng)將測桿(2)縮進測微器外殼(I)中，此時由測微器傳動原理可知，中心轉(zhuǎn)軸⑶與光柵盤⑷比測桿⑵多順時鐘轉(zhuǎn)動了一個z值，測量顯示值將比實際值大，但當(dāng)夾緊被測物時，中心轉(zhuǎn)軸逆時針轉(zhuǎn)動，由轉(zhuǎn)動原理可知夾緊被測物體時中心轉(zhuǎn)軸⑶與光柵盤⑷比測桿⑵多逆時針轉(zhuǎn)動一個z值，此時剛好與測桿(2)縮進測微器外殼(I)過程中多順時鐘轉(zhuǎn)動的一個z值相抵消，故 此處的鍵槽配合傳動對測量精度不產(chǎn)生影響。
權(quán)利要求1.一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征在于主要由測桿傳動機構(gòu)、信號檢測機構(gòu)、粗調(diào)傳動機構(gòu)、細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)、粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)六部分組成；測桿傳動機構(gòu)由具有測微器外殼測桿傳動螺紋(8)的測微器外殼(I)、測微器外殼(I)內(nèi)的測桿(2)及測桿內(nèi)的中心轉(zhuǎn)軸(3)組成；信號檢測機構(gòu)由中心轉(zhuǎn)軸(3)的中部通過光柵盤固定螺紋(52)連接的光柵盤(4)、在光柵盤(4)邊緣與中心轉(zhuǎn)軸(3)成90度分布的通過激光計數(shù)器固定孔(29)中的螺釘固定于測微器外殼(I)上的4個激光計數(shù)器(25)組成；粗調(diào)傳動機構(gòu)由中心轉(zhuǎn)軸(3)、位于中心轉(zhuǎn)軸(3)上光柵盤(4)右側(cè)的軸輪(5)、與后蓋(6)成一體的粗調(diào)轉(zhuǎn)動齒輪軸(30)、通過測微器外殼(I)與后蓋(6)在后蓋固定螺紋(21)的連接下而安裝于測微器外殼(I)與后蓋(6)之間粗調(diào)傳動齒輪(22)、粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)、粗調(diào)連動彈簧環(huán)(47)、粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)、粗調(diào)連動外環(huán)(9)組成；細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)由中心轉(zhuǎn)軸(3)、細(xì)調(diào)連動彈簧(46)、細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)、細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)、后蓋(6)、滾珠(50)組成；粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)由粗調(diào)連動外環(huán)(9)、通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔(34)中的螺釘安裝于后蓋(6)上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)、通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸(32)連接于后蓋(6)上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)、通過粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器固定孔(34)中的螺釘固定于后蓋(6)上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(32)、粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(32)組成；細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)由細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)、后蓋(6)、U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片(24)、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片轉(zhuǎn)軸(31)、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(23)、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測激光束(48)組成。
2.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是測桿傳動機構(gòu)上的測桿⑵右部有與測微器外殼⑴上測微器外殼測桿傳動螺紋⑶相配合的外螺紋，測微器外殼測桿傳動螺紋(8)的螺距為O. 5毫米，中心轉(zhuǎn)軸(3)與測桿(2)通過中心轉(zhuǎn)軸(3)上的弧形鍵與測桿(2)上的弧形槽連接。
3.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是信號檢測機構(gòu)上的激光計數(shù)器(25)包括激光器(43)與光電感應(yīng)器(41);激光器(43)與光電感應(yīng)器(41)通過在激光計數(shù)器固定孔(29)中的螺釘安裝在光柵盤(4)上光柵孔(40)六個方位上可供布置其他元器件僅剩余的兩側(cè)；光柵盤(4)邊緣有125個均勻分布的光柵孔(40)，所述光柵角度(67)是光柵孔角度(65)的4倍。
4.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是粗調(diào)傳動機構(gòu)上的軸輪(5)與粗調(diào)傳動齒輪(22)通過齒相連接,粗調(diào)傳動齒輪(22)與粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)通過齒輪傳動連接，粗調(diào)內(nèi)環(huán)齒輪(11)在粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)以內(nèi)并通過安裝于由粗調(diào)連動外環(huán)(9)外側(cè)中部的環(huán)形槽與粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)內(nèi)側(cè)中部的環(huán)形槽共同組成的粗調(diào)彈簧安放環(huán)形槽(14)中的粗調(diào)連動彈簧環(huán)(47)互相連接，粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)與粗調(diào)連動外環(huán)(9)通過粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)上的槽與粗調(diào)連動外環(huán)(9)上的鍵相連接；粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)上的槽的弧長是粗調(diào)連動外環(huán)(9)上的鍵的弧度2-3倍。
5.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是細(xì)調(diào)傳動機構(gòu)上的細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)位于細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)的內(nèi)部并通過細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)上的鍵與細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)連接，細(xì)調(diào)連動彈簧環(huán)(46)安放于有中心轉(zhuǎn)軸(30)尾部外側(cè)的環(huán)形槽與細(xì)調(diào)連動內(nèi)環(huán)(13)中心內(nèi)側(cè)的環(huán)形槽共同形成的細(xì)調(diào)彈簧環(huán)安裝槽(19)中，細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)通過安裝于滾珠孔環(huán)槽中的滾珠相連接，中心轉(zhuǎn)軸(3)尾部頂尖與細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)接觸連接。
6.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)上的粗調(diào)連動外環(huán)(11)靠近后蓋一側(cè)的厚度大于靠近測微器外殼處，并在較厚處內(nèi)側(cè)分布有內(nèi)齒，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性桿(58) —端伸入的粗調(diào)連動內(nèi)環(huán)(10)上相鄰齒之間，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(26)上的粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(60)伸入粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)中，粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(27)上還包含有一個激光器(43)與一個光電感應(yīng)器(41)，激光器(43)與光電感應(yīng)器(41)分別安裝于粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板￠0)對應(yīng)粗調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板￠0)面積最大的兩側(cè)。
7.如權(quán)利要求I所述的一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，其特征是細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測機構(gòu)上的細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)靠近后蓋(6) —側(cè)外壁分布有齒，所述U型細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(24)上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片剛性桿(57)伸入的細(xì)調(diào)連動外環(huán)(12)上相鄰齒之間，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測桿片(24)上的細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(55)伸入細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(23)中，細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測器(23)上還具有一個激光器(43)與一個光電感應(yīng)器(41)，所述激光器(43)與光電感應(yīng)器(41)分別安裝于細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(60)對應(yīng)細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測片擋光板(60)面積最大的兩側(cè)。
專利摘要一種高精度數(shù)顯式螺旋測微器，主要由測微器外殼，套內(nèi)伸縮測桿及測桿內(nèi)的轉(zhuǎn)軸，圓形光柵片，激光器，光電計數(shù)器，粗調(diào)裝置，細(xì)調(diào)裝置，粗調(diào)、細(xì)調(diào)正反轉(zhuǎn)檢測裝置等組成。該螺旋測微器具備將測量精度提高至0.001毫米、將測量數(shù)據(jù)數(shù)字顯示的優(yōu)點。使用時在測桿歸零、顯示屏復(fù)位后，信號處理器在正反轉(zhuǎn)信號控制下對激光計數(shù)器傳來的光電信號進行統(tǒng)計，在數(shù)顯屏上進行顯示。
文檔編號G01B3/18GK202582401SQ20122001904
公開日2012年12月5日 申請日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者劉志武, 姜雪松 申請人:東北林業(yè)大學(xué)