一種微機(jī)電六軸慣性傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種微機(jī)電六軸慣性傳感器，由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨立的三軸加速度傳感器組成。由于慣性質(zhì)量中心重合，從而提高了微機(jī)電六軸慣性傳感器的組合解析精度；本發(fā)明外圍的三軸微機(jī)電角速度傳感器為對稱結(jié)構(gòu)，且與驅(qū)動質(zhì)量塊連接的錨點形成三點支撐結(jié)構(gòu)，提高了本發(fā)明的可靠性及穩(wěn)定性；本發(fā)明采用兩對第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別或同時檢測所述傳感器所在平面內(nèi)相互垂直的兩個方向外部角速度，有效減少了檢測信號之間的耦合，提高了信噪比，提高了被檢測方向的外部角速度檢測精度；本發(fā)明利用斜驅(qū)動梁實現(xiàn)平動驅(qū)動向轉(zhuǎn)動驅(qū)動的變換，使本發(fā)明具有集成密度高、占用面積小、成本低等優(yōu)勢。
【專利說明】一種微機(jī)電六軸慣性傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域，涉及一種用于檢測三軸角速度和三軸加速度的微機(jī)電六軸慣性傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]三維空間中，把一個幾何物體作旋轉(zhuǎn)、平移的運動稱之為剛體運動，剛體運動有六個自由度，即沿著三個彼此正交方向的平動和繞著這三個方向的轉(zhuǎn)動。也就是說，六個自由度的信息能夠完整地反映剛體的運動狀態(tài)。
[0003]生活中，車輛、船舶等運動物體的導(dǎo)航需要運動物體的位移、方向、速度、姿態(tài)等信息，這些信息依靠運動物體上的慣性測量單元(IMU, Inertial Measurement Unit)獲得。慣性測量單元包括加速度計和陀螺儀，加速度計用來測量運動物體的線加速度，陀螺儀用來測量運動物體的角加速度或角速度，根據(jù)加速度和角加速度信息，通過數(shù)據(jù)處理可以得到運動物體的位移、方向、速度、姿態(tài)等信息。
[0004]微機(jī)電慣性傳感器是指利用微機(jī)電制造技術(shù)(Micro-Electro-MechanicalTechnology)加工而成的，用來測量運動物體加速度、角加速度等慣性參數(shù)的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Microelectro-mechanical System),主要包括在娃片上制作微機(jī)械加速度計(微機(jī)械加速度傳感器)、微機(jī)械角速度計(微機(jī)械陀螺)，在汽車導(dǎo)航和控制系統(tǒng)、攝像機(jī)消振系統(tǒng)等領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。微機(jī)電慣性傳感器的研究始于20世紀(jì)70年代，由于微機(jī)電慣性傳感器具有體積小、功耗低、可靠性高、穩(wěn)定性好、成本低和易于批量化生產(chǎn)的優(yōu)點，因此，微機(jī)電慣性傳感器是慣性傳感器領(lǐng)域的研究熱點。
[0005]微機(jī)械加速度傳感器是發(fā)展比較早、比較成熟的慣性傳感器，主要采用質(zhì)量塊產(chǎn)生的慣性力測量加速度，采用壓阻式、壓電式、電容式和諧振式等原理進(jìn)行檢測。目前，市場上的微機(jī)械加速度傳感器主要是單軸和三軸的，代表性的產(chǎn)品有美國模擬器件(ADI)公司的ADXL系列微機(jī)械電容式加速度傳感器。
[0006]微機(jī)械陀螺儀的研究始于20世紀(jì)80年代末期，目前微機(jī)械陀螺儀主要采用振動式原理工作，借助科氏(Coriolis)加速度效應(yīng)測量角加速度或角速度。微機(jī)械陀螺儀主要采用靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、壓電驅(qū)動等驅(qū)動方式實現(xiàn)振子的振動。采用電容檢測、壓阻檢測、壓電檢測等方式檢測哥氏加速度效應(yīng)。目前，市場上的微機(jī)械加速度計主要是單軸，代表性的產(chǎn)品有美國模擬器件(ADI)公司的IMEMS系列陀螺儀。
[0007]微機(jī)械陀螺、微機(jī)械加速度傳感器均可以劃分為單軸、雙軸、三軸，但隨著消費類電子功能的日益擴(kuò)展，傳感器應(yīng)用的逐步普及，在消費電子等領(lǐng)域應(yīng)用中，為了全面提升應(yīng)用水平，往往需要六軸微型慣性測量組合(Miniature Inertial Measurement Unit, MIMU)來進(jìn)行慣性測量，因此，加速度計、陀螺儀的六軸集成是慣性傳感器的重要發(fā)展方向之一。
[0008]目前的微型慣性測量組合產(chǎn)品是以分立元件的組裝集成為主，即將分立的三軸加速度和三軸微陀螺器件通過堆疊封裝等方式集成，包括美國INvensense公司最新推出的MPU-6500型、意法半導(dǎo)體的LSM330DLC、Bosch的BM1055等六軸MMU產(chǎn)品。通過封裝、組裝集成方式，增加了產(chǎn)品的制造難度和成本。
[0009]近來，意法半導(dǎo)體實現(xiàn)了一種單片集成微機(jī)電六軸慣性傳感器，如圖1所示，是將三軸微機(jī)械加速度傳感器和三軸微陀螺制作在同一娃襯底上，但三軸微機(jī)械加速度傳感器(包括X軸微機(jī)械加速度傳感器21’、Y軸微機(jī)械加速度傳感器22’和Z軸微機(jī)械加速度傳感器23’、)和三軸微陀螺I’是采取并排放置的分離式結(jié)構(gòu)(如圖1中雙向箭頭所示):微陀螺和微機(jī)械加速度傳感器的兩類傳感器的慣性質(zhì)量中心互相偏離，根據(jù)檢測得到的角速度數(shù)據(jù)和加速度數(shù)據(jù)確定物體的運動狀態(tài)時會帶來相對較大的誤差，一定程度上限制了微機(jī)電六軸慣性組合解析精度；同時，分離式結(jié)構(gòu)通常為非對稱式結(jié)構(gòu)，在抑制封裝應(yīng)力、溫度效應(yīng)及抗沖擊性等可靠性特性方面比較不利。另一方面，在有效利用基板面積、減小器件尺寸方面該分離式結(jié)構(gòu)還有進(jìn)一步提高的空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種微機(jī)電六軸慣性傳感器，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中單片集成微機(jī)電六軸慣性傳感器的解析精度、可靠性及基板面積利用率亟需提高的問題。
[0011]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種微機(jī)電六軸慣性傳感器由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨立的三軸加速度傳感器組成，其中，所述三軸角速度傳感器包括:形成在第一基板上表面的第一檢測電極和形成于第二基板的兩個驅(qū)動質(zhì)量塊、兩個第一平動質(zhì)量塊、四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊、驅(qū)動梳齒、反饋梳齒、八組第一檢測極板和與三軸角速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁；所述三軸加速度傳感器包括:形成在第一基板上表面的第二檢測電極和形成于第二基板的一個第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊、兩個第二平動質(zhì)量塊、四組第二檢測極板和與三軸加速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁；
[0012]所述微機(jī)電六軸慣性傳感器至少包括:
[0013]第一基板，包括位于其上表面的第一檢測電極及第二檢測電極；
[0014]第二基板，位于所述第一基板上表面，包括:
[0015]兩個驅(qū)動質(zhì)量塊，懸于第一基板上，對稱分布在第二方向兩側(cè)且可沿第一方向運動；
[0016]兩個第一平動質(zhì)量塊，設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊中且懸于第一基板上，對稱分布在第二方向兩側(cè)，可沿第一方向或第二方向運動，用以檢測第五方向外部角速度；
[0017]四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊，設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的一側(cè)且位于所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域中，懸于第一基板上，與所述第一基板上的第一檢測電極相對應(yīng)，兩兩對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，同時，一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊均以第三方向為自身的對稱軸用以檢測位于第四方向的外部角速度，另一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊均以第四方向為自身的對稱軸用以檢測位于第三方向的外部角速度，各該第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊在所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在平面內(nèi)以第五方向為中心軸振動或繞自身的對稱軸振動；
[0018]驅(qū)動梳齒和反饋梳齒，位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)且均懸于第一基板之上，每組驅(qū)動梳齒或反饋梳齒對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)；
[0019]八組第一檢測極板，設(shè)置在與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊中且均懸于第一基板之上，對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，用于與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊相配合以檢測第五方向外部角速度；
[0020]一個第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊，偏心設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域內(nèi)且懸于第一基板上，與所述第一基板上的第二檢測電極相對應(yīng)，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊以第三方向或第四方向為軸振動，用于檢測第五方向的外部加速度；
[0021]兩個第二平動質(zhì)量塊，設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊中且懸于第一基板上，一個第二平動質(zhì)量塊以第三方向為自身的對稱軸且可沿第三方向運動用以檢測第三方向的外部加速度；另一個第二平動質(zhì)量塊以第四方向為自身的對稱軸且可沿第四方向運動用以檢測第四方向的外部加速度；
[0022]四組第二檢測極板，設(shè)置在與其對應(yīng)的第二平動質(zhì)量塊中，均懸于第一基板之上，其中，兩組第二檢測極板對稱分布在第三方向兩側(cè)，與以第三方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊相配合以檢測第三方向的外部加速度，兩組第二檢測極板對稱分布在第四方向兩側(cè)，與以第四方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊相配合以檢測第四方向的外部加速度；
[0023]其中，第一方向、第二方向、第三方向、第四方向均位于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面，第五方向垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面，第三方向與第一方向夾角為45°，第四方向與第一方向夾角為135° ,且第三方向、第四方向、第五方向彼此正交，第一方向、第二方向、第五方向彼此正交；
[0024]所述的兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、驅(qū)動質(zhì)量塊和第一平動質(zhì)量塊之間、驅(qū)動質(zhì)量塊和第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊之間以彈性梁進(jìn)行連接，各該驅(qū)動質(zhì)量塊、第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別通過彈性梁連接與其對應(yīng)的錨點，各該第一平動質(zhì)量塊通過所述第一檢測極板與其對應(yīng)的錨點進(jìn)行結(jié)合，各該第二平動質(zhì)量塊與其對應(yīng)的錨點通過彈性梁及第二檢測極板進(jìn)行結(jié)合，其中，所述彈性梁懸于第一基板之上，所述錨點固定在所述第一基板上。
[0025]可選地，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器還包括位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)、懸于第一基板之上、對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)的糾偏梳齒。
[0026]可選地，所述驅(qū)動梳齒或所述反饋梳齒的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，另一種為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)；或者所述驅(qū)動梳齒和所述反饋梳齒均為兩對且每對均對稱分布在第一方向兩側(cè)。
[0027]可選地，所述驅(qū)動梳齒、所述反饋梳齒、或所述糾偏梳齒中的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，其余兩種分別為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)。
[0028]可選地，所述驅(qū)動質(zhì)量塊通過第一驅(qū)動梁與第一錨點相連接、通過第二驅(qū)動梁與第二錨點相連接、通過驅(qū)動梳齒與第三錨點相結(jié)合、通過反饋梳齒與第四錨點相結(jié)合；所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間通過耦合梁連接，其中，所述的第一驅(qū)動梁、第二驅(qū)動梁和耦合梁均為所述彈性梁的一種。
[0029]可選地，所述驅(qū)動質(zhì)量塊通過第一驅(qū)動梁與第一錨點相連接、通過第二驅(qū)動梁與第二錨點相連接、通過驅(qū)動梳齒與第三錨點相結(jié)合、通過反饋梳齒與第四錨點相結(jié)合、通過糾偏梳齒與第五錨點相結(jié)合；所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間通過耦合梁連接，其中，所述的第一驅(qū)動梁、第二驅(qū)動梁和耦合梁均為所述彈性梁的一種。
[0030]可選地,兩個第一錨點和一個第二錨點對應(yīng)同一個驅(qū)動質(zhì)量塊，且分布于與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)形成三點支撐結(jié)構(gòu)。
[0031]可選地，所述的一個第一平動質(zhì)量塊與一個驅(qū)動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且所述第一平動質(zhì)量塊通過第一檢測梁與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊相連接，并通過第一檢測極板與第六錨點相結(jié)合，其中，所述第一檢測梁為所述彈性梁的一種。
[0032]可選地，四組所述第一檢測極板和兩個第六錨點與一個第一平動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且設(shè)置在與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊中，所述第一檢測極板包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第一檢測極板和固定第一檢測極板，其中，所述的可動第一檢測極板與第一平動質(zhì)量塊相連接，所述的固定第一檢測極板與第六錨點相連接，四組所述第一檢測極板對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，兩個第六錨點對稱分布在第一方向兩側(cè)。
[0033]可選地，在同一個第一平動質(zhì)量塊中，與一個所述第六錨點相連接的兩組固定第一檢測極板于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板的一側(cè)，與另一個所述第六錨點相連接的另兩組固定第一檢測極板位于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板的另一側(cè)。
[0034]可選地,兩個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與一個驅(qū)動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且每個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與一個斜驅(qū)動梁、一個第一斜檢測梁、及第七錨點相對應(yīng)，其中，所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊通過斜驅(qū)動梁與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊相連接，并通過第一斜檢測梁與第七錨點相連接，同時，所述斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁的端點均位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊自身的對稱軸上，且所述斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁均位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊的兩側(cè)，其中，所述的斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁均為所述彈性梁的一種。
[0035]可選地，所述第七錨點設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域內(nèi)；所述第七錨點為一封閉的框且所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二平動質(zhì)量塊均設(shè)置在其框內(nèi)，或者所述第七錨點為與四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別對應(yīng)的四個錨點且所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二平動質(zhì)量塊均設(shè)置在該四個錨點圍成的區(qū)域內(nèi)。
[0036]可選地，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊通過第二斜檢測梁與設(shè)置在其中的第八錨點相連接，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與分別對稱分布在第二斜檢測梁兩側(cè)的第二檢測電極相對應(yīng)，其中，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊為偏心結(jié)構(gòu)，其慣性質(zhì)量中心不在第二斜檢測梁所在的直線上。
[0037]可選地，各該第二平動質(zhì)量塊通過第二檢測梁與第九錨點連接，且通過第二檢測極板與第十錨點進(jìn)行結(jié)合。
[0038]可選地，兩組所述第二檢測極板、兩個第十錨點和兩個第九錨點與一個第二平動質(zhì)量塊相對應(yīng)；所述第二檢測極板均包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第二檢測極板和固定第二檢測極板，其中，所述的可動第二檢測極板與第二平動質(zhì)量塊相連接，所述的固定第二檢測極板與第十錨點相連接。
[0039]如上所述，本發(fā)明的微機(jī)電六軸慣性傳感器，具有以下有益效果:
[0040]本發(fā)明提出一種在三軸微機(jī)電角速度傳感器(微陀螺)中心集成三軸微機(jī)電加速度傳感器的新型單片集成的微機(jī)電六軸慣性傳感器，與現(xiàn)有的分離式設(shè)計相比:
[0041]I)本發(fā)明的三軸微機(jī)電角速度傳感器和三軸微機(jī)電加速度傳感器的慣性質(zhì)量中心重合，從而提高了傳感器的組合解析精度；
[0042]2)本發(fā)明外圍的三軸微機(jī)電角速度傳感器為對稱結(jié)構(gòu)(慣性質(zhì)量塊幾何對稱配置)，且與驅(qū)動質(zhì)量塊連接的錨點形成三點支撐結(jié)構(gòu)，提高了傳感器的抗沖擊性，從而其可靠性更高、穩(wěn)定性能更好；[0043]3)本發(fā)明采用兩對第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別或同時檢測所述傳感器所在平面內(nèi)相互垂直的兩個方向外部角速度，從而有效減少了檢測信號之間的耦合，提高了信噪比，提高了被檢測方向的外部角速度檢測精度；
[0044]4)本發(fā)明利用斜驅(qū)動梁實現(xiàn)平動驅(qū)動向轉(zhuǎn)動驅(qū)動的變換，減小了傳感器尺寸，提高了傳感器的集成度和基板面積利用效率，使本發(fā)明具有集成密度高、占用面積小、成本低等優(yōu)勢。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0045]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中分離式結(jié)構(gòu)的單片集成微機(jī)電六軸慣性傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0046]圖2顯示為本發(fā)明的包含驅(qū)動梳齒和反饋梳齒的微機(jī)電六軸慣性傳感器俯視圖。
[0047]圖3顯示為本發(fā)明實施例中包含驅(qū)動梳齒、反饋梳齒和糾偏梳齒的微機(jī)電六軸慣性傳感器俯視圖。
[0048]圖4a顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器的俯視圖。
[0049]圖4b顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器的驅(qū)動質(zhì)量塊及其對應(yīng)錨點的俯視圖。
[0050]圖4c顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器的第一平動質(zhì)量塊及其對應(yīng)的第一檢測極板、第一檢測梁和第六錨點的俯視圖。
[0051]圖4d顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊及其對應(yīng)的第一檢測電極、斜驅(qū)動梁、第一斜檢測梁和第七錨點的俯視圖。
[0052]圖5a顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸加速度傳感器的俯視圖。
[0053]圖5b顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸加速度傳感器的第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊及其對應(yīng)的第二檢測電極、第八錨點和第二斜檢測梁的俯視圖。
[0054]圖5c顯示為本發(fā)明微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸加速度傳感器的第二平動質(zhì)量塊及其對應(yīng)的第九錨點、第十錨點、第二檢測極板和第二檢測梁的俯視圖。
[0055]元件標(biāo)號說明
[0056]113 第一檢測電極
[0057]121 第二檢測電極
[0058]211 驅(qū)動質(zhì)量塊
[0059]212 第一平動質(zhì)量塊
[0060]213 第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊
[0061]214 驅(qū)動梳齒
[0062]2141 可動驅(qū)動梳齒
[0063]2142 固定驅(qū)動梳齒
[0064]215 反饋梳齒
[0065]2151 可動反饋梳齒
[0066]2152 固定反饋梳齒
[0067]216 糾偏梳齒
[0068]2161 可動糾偏梳齒[0069]2162 固定糾偏梳齒
[0070]217 第一檢測極板
[0071]2171 可動第一檢測極板
[0072]2172 固定第一檢測極板
[0073]221 第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊
[0074]222 第二平動質(zhì)量塊
[0075]223 第二檢測極板
[0076]2231 可動第二檢測極板
[0077]2232 固定第二檢測極板
[0078]21801 第一錨點
[0079]21802 第二錨點
[0080]21803第三錨點
[0081]21804第四錨點
[0082]21805第五錨點
[0083]21806第六錨點
[0084]21807第七錨點
[0085]22808第八錨點
[0086]22809第九錨點
[0087]22810第十錨點
[0088]2191 第一驅(qū)動梁
[0089]2192 第二驅(qū)動梁
[0090]2193 耦合梁
[0091]2194 第一檢測梁
[0092]2195 斜驅(qū)動梁
[0093]2196 第一斜檢測梁
[0094]2297 第二斜檢測梁
[0095]2298 第二檢測梁
[0096]21’ X軸微機(jī)械加速度傳感器
[0097]22’ Y軸微機(jī)械加速度傳感器
[0098]23’ Z軸微機(jī)械加速度傳感器
[0099]I’ 三軸微陀螺
【具體實施方式】
[0100]以下由特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點及功效。
[0101]請參閱圖2至圖5c，其中，所述各圖中的F1、F2、F3、及F4用以表示所述圖中的第一方向、第二方向、第三方向、及第四方向，另外，實施例中涉及的第五方向由F5表不。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實施的范疇。
[0102]如圖3至圖5c所示，本發(fā)明提供一種微機(jī)電六軸慣性傳感器，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨立的三軸加速度傳感器組成，其中，所述三軸角速度傳感器包括:形成在第一基板(未圖示)上表面的第一檢測電極113和形成于第二基板的兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211、兩個第一平動質(zhì)量塊212、四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213、驅(qū)動梳齒214、反饋梳齒215、八組第一檢測極板217和與三軸角速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁；所述三軸加速度傳感器包括:形成在第一基板上表面的第二檢測電極121和形成于第二基板的一個第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221、兩個第二平動質(zhì)量塊222、四組第二檢測極板223和與三軸加速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁。在本實施例中，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器還包括位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211的外側(cè)、懸于第一基板之上、對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)的糾偏梳齒216。
[0103]需要說明的是，本發(fā)明的三軸微機(jī)電角速度傳感器和三軸微機(jī)電加速度傳感器的慣性質(zhì)量中心重合，從而提高了傳感器的組合解析精度。
[0104]需要指出的是，本發(fā)明實施例的圖中涉及五個方向，具體為:第一方向F1、第二方向F2、第三方向F3、第四方向F4均位于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面,第五方向F5垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面,第三方向與第一方向夾角為45° ,第四方向與第一方向夾角為135° ,且第三方向、第四方向、第五方向彼此正交,第一方向、第二方向、第五方向彼此正交。
[0105]所述微機(jī)電六軸慣性傳感器至少包括第一基板和位于所述第一基板上表面的第二基板，其中，所述第一檢測電極113及第二檢測電極121位于所述第一基板上表面。如圖
3、圖4a和圖5a所示，所述第一檢測電極113及第二檢測電極121均以虛線框表示其位于第二基板下方且不與第二基板相接觸，所述第一檢測電極113與懸于其上的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213相對應(yīng)，所述第二檢測電極121與懸于其上的第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221相對應(yīng)。所述第一基板為玻璃或帶有絕緣層的硅，以保證所述第一基板表面具有絕緣性；所述第一檢測電極113及第二檢測電極121為鋁或多晶硅。在本實施例中，所述第一基板為玻璃，所述第一檢測電極113及第二檢測電極121均為鋁。
[0106]如圖3所示，所述第二基板包括懸于所述第一基板上的驅(qū)動質(zhì)量塊211、第一平動質(zhì)量塊212、第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213、驅(qū)動梳齒214、反饋梳齒215、第一檢測極板217、第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221、第二平動質(zhì)量塊222、第二檢測極板223和彈性梁，以及固定于所述第一基板上的錨點。所述第二基板為硅、鍺或鍺硅，在本實施例中，所述第二基板2為硅。其中，優(yōu)選的，所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211、第一平動質(zhì)量塊212、第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213、驅(qū)動梳齒214、反饋梳齒215、第一檢測極板217、第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221、第二平動質(zhì)量塊222、第二檢測極板223和彈性梁的厚度相同，且均小于所述錨點的厚度。
[0107]如圖4a及圖5a所示，在本實施例中，固定在第一基板上的錨點包括:四個對稱分布在第一方向和第二方向的第一錨點21801，兩個對稱分布在第二方向的第二錨點21802，兩個對稱分布在第二方向兩側(cè)并與所述驅(qū)動梳齒214相對應(yīng)的第三錨點21803，四個對稱分布在第一方向兩側(cè)并與所述反饋梳齒215相對應(yīng)的第四錨點21804,四個對稱分布在第一方向兩側(cè)并與所述糾偏梳齒216相對應(yīng)的第五錨點21805,四個對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)并設(shè)置于所述第一平動質(zhì)量塊212中的第六錨點21806，一個設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213圍成的區(qū)域內(nèi)的、為一封閉框的第七錨點21807，一個設(shè)置于所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221中的第八錨點22808，四個對應(yīng)二個所述第二平動質(zhì)量塊且兩個對稱分布于第三方向兩側(cè)、另兩個對稱分布于第四方向兩側(cè)的第九錨點22809，以及四個對應(yīng)所述第二檢測極板223且兩個對稱分布于第三方向兩側(cè)、另兩個對稱分布于第四方向兩側(cè)的第十錨點22810。
[0108]需要指出的是，兩個第一錨點21801和一個第二錨點21802對應(yīng)同一個驅(qū)動質(zhì)量塊211，且分布于與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211的外側(cè)形成三點支撐結(jié)構(gòu)，從而在節(jié)省錨點面積的同時達(dá)到穩(wěn)定驅(qū)動的目的，提高了傳感器的抗沖擊性，使傳感器可靠性更高、穩(wěn)定性能更好；在另一實施例中，設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域內(nèi)第七錨點，還可以為與四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別對應(yīng)的四個錨點(未圖示)，且所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二平動質(zhì)量塊均設(shè)置在該四個錨點圍成的區(qū)域內(nèi)。
[0109]如圖4a及圖5a所示，在本實施例中，懸于第一基板上的所述彈性梁包括:第一驅(qū)動梁2191、第二驅(qū)動梁2192、耦合梁2193、第一檢測梁2194、斜驅(qū)動梁2195、第一斜檢測梁2196、第二斜檢測梁2297及第二檢測梁2298，以供所述驅(qū)動質(zhì)量塊211、第一平動質(zhì)量塊212、第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213、第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221及第二平動質(zhì)量塊222懸于第一基板上，其中，連接所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一錨點21801的彈性梁為第一驅(qū)動梁2191，連接所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第二錨點21802的彈性梁為第二驅(qū)動梁2192，連接所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211的彈性梁為耦合梁2193，連接所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一平動質(zhì)量塊212的彈性梁為第一檢測梁2194，連接所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213的彈性梁為斜驅(qū)動梁2195，連接所述的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213和第七錨點21807的彈性梁為第一斜檢測梁2196，連接所述的第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221和第八錨點22808的彈性梁為第二斜檢測梁2297，以及連接所述的第二平動質(zhì)量塊222和第九錨點22809的彈性梁為第二檢測梁2298。
[0110]所述驅(qū)動質(zhì)量塊211為兩個，如圖3、圖4a及圖4b所示，通過耦合梁2193使兩個所述驅(qū)動質(zhì)量塊211連接在一起并懸于第一基板上，所述二驅(qū)動質(zhì)量塊211對稱分布在第二方向兩側(cè)且可沿第一方向運動反相振動(如圖4a粗箭頭所示)，為各該第一平動質(zhì)量塊212提供反相的驅(qū)動。
[0111]所述第一平動質(zhì)量212塊為兩個，如圖3及圖4a所示，其設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211中且懸于第一基板上,兩個所述第一平動質(zhì)量塊212對稱分布在第二方向兩側(cè)，可沿第一方向或第二方向運動，其中，一個驅(qū)動質(zhì)量塊211對應(yīng)一個第一平動質(zhì)量塊212，各該第一平動質(zhì)量塊212與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211、第一檢測極板217和第六錨點21806相配合，用以檢測第五方向的外部角速度。需要說明的是，各該第一平動質(zhì)量塊212，如圖4a粗箭頭所示，可以隨其對應(yīng)的各該驅(qū)動質(zhì)量塊211 —起進(jìn)行無相對位移的沿第一方向的反相振動，也可以沿與第一方向垂直的第二方向進(jìn)行反相振動(請參閱圖4a細(xì)箭頭方向)。
[0112]需要進(jìn)一步說明的是，所述驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一平動質(zhì)量塊212均為兩個，目的是為了避免另有外加的沿第二方向的加速度對檢測第五方向的外部角速度造成的干擾。具體內(nèi)容請詳見工作原理說明部分。
[0113]所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213為四個，如圖3、圖4a及圖4d所示，設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211的一側(cè)且位于所述兩個驅(qū)動質(zhì)量211塊圍成的區(qū)域中，懸于第一基板上，其中，一個所述的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213與兩個第一基板上表面的第一檢測電極113相對應(yīng),如圖4a及圖4d所不,所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213兩兩對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，且一個驅(qū)動質(zhì)量塊211與形成在第二方向一側(cè)的兩個所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213相對應(yīng)，同時，一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213均以第三方向為自身的對稱軸，且該對第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213與其分別對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一檢測電極113相配合，用以檢測第四方向的外部角速度，另一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213均以第四方向為自身的對稱軸，且該另一對第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213與其分別對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一檢測電極113相配合，用以檢測位于第三方向的外部角速度，換言之，形成在第二方向一側(cè)的、與一個驅(qū)動質(zhì)量塊211相對應(yīng)的所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213中，一個以第三方向為自身的對稱軸的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213用以檢測第四方向的外部角速度，另一個以第四方向為自身的對稱軸的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213用以檢測第三方向的外部角速度。需要說明的是，各該第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213可以在所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在平面內(nèi)以第五方向為中心軸角振動，且為反相的角振動；也可以繞自身的對稱軸進(jìn)行離開所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在平面地扭轉(zhuǎn)角振動。
[0114]所述驅(qū)動梳齒214和反饋梳齒215位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211的外側(cè)且均懸于第一基板之上，每組驅(qū)動梳齒214或反饋梳齒215對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)，驅(qū)動梳齒214和反饋梳齒215與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211相互配合，為第一平動質(zhì)量塊212和第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213提供沿第一方向的反相驅(qū)動。在本實施例中，如圖3、圖4a及圖4b所不，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器還包括位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211的外側(cè)、懸于第一基板之上、對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)的糾偏梳齒216，從而糾正正交誤差。所述驅(qū)動梳齒214、反饋梳齒215和糾偏梳齒216均包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動梳齒和固定梳齒，即驅(qū)動梳齒214包括可動驅(qū)動梳齒2141和固定驅(qū)動梳齒2142，反饋梳齒215包括可動反饋梳齒2151和固定反饋梳齒2152，糾偏梳齒216包括可動糾偏梳齒2161和固定糾偏梳齒2162。
[0115]需要說明的是，采用糾偏梳齒的目的在于糾正正交誤差。由于MEMS工藝的不完美性等原因，加工后的器件結(jié)構(gòu)中會有一定程度的傾斜，因此，微機(jī)電六軸慣性傳感器在驅(qū)動時，質(zhì)量塊不是嚴(yán)格地沿著驅(qū)動方向運動，也會有一定程度的傾斜，換言之，質(zhì)量塊理想狀況下的運動方向與實際的運動方向存在一個夾角，從而在沒有外部角速度的情況下，也會輸出檢測信號而產(chǎn)生正交誤差。采用糾偏梳齒相當(dāng)于施加了一個力使質(zhì)量塊的運動方向回到理想的運動方向上來，從而糾正正交誤差。
[0116]需要進(jìn)一步說明的是，所述驅(qū)動梳齒214、所述反饋梳齒215、或所述糾偏梳齒216中的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，其余兩種分別為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)，具體在本實施例中，如圖3及圖4a所不,所述驅(qū)動梳齒214為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，所述反饋梳齒215和所述糾偏梳齒216為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)，此時，一個驅(qū)動質(zhì)量塊211對應(yīng)一組驅(qū)動梳齒214、一對反饋梳齒215和一對糾偏梳齒216。但并不局限于于此，在另一實施例中，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器不包括糾偏梳齒而只包含驅(qū)動梳齒和反饋梳齒時，所述驅(qū)動梳齒或所述反饋梳齒的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，另一種為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)，此時，一個驅(qū)動質(zhì)量塊對應(yīng)一組驅(qū)動梳齒和一對反饋梳齒或者一個驅(qū)動質(zhì)量塊對應(yīng)一對驅(qū)動梳齒和一組反饋梳齒；或者，如圖2所示，所述驅(qū)動梳齒和所述反饋梳齒均為兩對且每對均對稱分布在第一方向兩側(cè)，此時，一個驅(qū)動質(zhì)量塊211對應(yīng)一對驅(qū)動梳齒214和一對反饋梳齒215。
[0117]所述第一檢測極板217為八組，如圖3、圖4a及圖4c所示，設(shè)置在與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊212中且均懸于第一基板之上,對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，用于與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊212相配合以檢測第五方向外部角速度；每組第一檢測極板217均包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第一檢測極板2171和固定第一檢測基板2172。所述的一個第一平動質(zhì)量塊212與四組第一檢測極板217和兩個第六錨點21806相對應(yīng)，其中，四組所述第一檢測極板217對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，兩個第六錨點21806對稱分布在第一方向兩側(cè)，對稱分布在第二方向兩側(cè)的兩組第一檢測極板217同時對稱分布在與其對應(yīng)的一個第六錨點21806的兩側(cè),所述的可動第一檢測極板2171與第一平動質(zhì)量塊212相連接，所述的固定第一檢測極板2172與第六錨點21806相連接。
[0118]需要說明的是，在本實施例中，如圖4a所示，在同一個第一平動質(zhì)量塊212中，與一個所述第六錨點21806相連接的兩組固定第一檢測極板2172于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板2171的一側(cè)，與另一個所述第六錨點21806相連接的另兩組固定第一檢測極板2172位于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板2171的另一側(cè)，以確保進(jìn)行差分電容的檢測。
[0119]所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221為一個，如圖5a及圖5b所示，偏心設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213圍成的區(qū)域內(nèi)且設(shè)置在所述第七錨點21807圍成的區(qū)域內(nèi)，懸于第一基板上，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221與其相對應(yīng)的所述第一基板上的第二檢測電極121相配合，用于檢測第五方向的外部加速度，其中，所述第二檢測電極121為兩對且分別對稱分布在第二斜檢測梁2297兩側(cè)；所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221以第三方向或第四方向為軸進(jìn)行離開所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在平面地扭轉(zhuǎn)振動。
[0120]需要說明的是，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221設(shè)置在所述第七錨點21807圍成的區(qū)域內(nèi)，但其并不與所述第七錨點21807存在連接關(guān)系，即包含所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221和第二平動質(zhì)量塊222的所述三軸加速度傳感器和三軸角速度傳感器相互獨立。
[0121]需要進(jìn)一步說明的是，如圖5b所示，一個所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221與設(shè)置在其中的第八錨點22808相對應(yīng)，且通過第二斜檢測梁2297與所述第八錨點22808相連接；同時，所述的偏心設(shè)置是指所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221為偏心結(jié)構(gòu)，其慣性質(zhì)量中心不在第二斜檢測梁2297所在的直線上，換言之，第二斜檢測梁2297與所述第八錨點22808所在直線不為所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221的對稱軸。
[0122]所述第二平動質(zhì)量塊222為兩個,如圖5a所示,其設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221中且懸于第一基板上，一個第二平動質(zhì)量塊222以第三方向為自身的對稱軸且可沿第三方向進(jìn)行運動，用以檢測第三方向的外部加速度；另一個第二平動質(zhì)量塊222以第四方向為自身的對稱軸且可沿第四方向進(jìn)行運動，用以檢測第四方向的外部加速度。一個所述的第二平動質(zhì)量塊222與兩組第二檢測極板223、兩個第十錨點22810和兩個第九錨點22809相對應(yīng)，其中，以第三方向為自身的對稱軸且可沿第三方向運動的第二平動質(zhì)量塊222，與對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223、對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩個第十錨點22810和對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩個第九錨點22809相對應(yīng)；以第四方向為自身的對稱軸且可沿第四方向運動的第二平動質(zhì)量塊222，與對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223、對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩個第十錨點22810和對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩個第九錨點22809相對應(yīng)。
[0123]需要指出的是，所述第二平動質(zhì)量塊222與第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221之間不存在連接關(guān)系。
[0124]所述第二檢測極板223為四組，如圖5a所示，設(shè)置在與其對應(yīng)的第二平動質(zhì)量塊222中，均懸于第一基板之上，其中，兩組第二檢測極板223、兩個第十錨點22810和兩個第九錨點22809對應(yīng)一個第二平動質(zhì)量塊222。具體地，如圖5c所示，對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223設(shè)置在以第三方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊222中，且二者相配合以檢測第三方向的外部加速度；對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223設(shè)置在以第四方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊222中，且二者相配合以檢測第四方向的外部加速度。同時，對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223與對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩個第十錨點22810和相對應(yīng),對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223與對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩個第十錨點22810相對應(yīng)。
[0125]需要說明的是，在本實施例中，請參閱圖5c，每組所述第二檢測極板223均包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第二檢測極板2231和固定第二檢測極板2232，同時，所述的可動第二檢測極板2231與第二平動質(zhì)量塊222相連接，所述的固定第二檢測極板2232與第十錨點22810相連接。
[0126]本實施例中，如圖3至圖4d所示，所述三軸角速度傳感器具體連接方式如下:
[0127]一個所述驅(qū)動質(zhì)量塊211，與位于其外側(cè)的所述的兩個第一錨點21801、一個第二錨點21802、一組驅(qū)動梳齒214、一對反饋梳齒215和一對糾偏梳齒216相對應(yīng)，且與設(shè)置在其內(nèi)的所述的一個第一平動質(zhì)量塊212和設(shè)置在其一側(cè)且形成在第二方向一側(cè)的兩個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213相對應(yīng)，其中，兩個第一錨點21801和一個第二錨點21802形成三點支撐結(jié)構(gòu)。具體地，兩個所述驅(qū)動質(zhì)量塊211通過所述耦合梁2193相連接；一個所述驅(qū)動質(zhì)量塊211，通過位于其外側(cè)角部的所述的第一驅(qū)動梁2191與第一錨點21801相連接，通過位于兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211圍成區(qū)域中的所述第二驅(qū)動梁2192與第二錨點21802相連接，通過位于所述第一平動質(zhì)量塊212兩側(cè)(平行于第一方向的兩邊)的第一檢測梁2194與第一平動質(zhì)量塊212相連接，通過端點形成在所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213自身對稱軸上的斜驅(qū)動梁2195與第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213相連接，通過一組驅(qū)動梳齒214與第三錨點21803相結(jié)合，通過一對反饋梳齒215與第四錨點21804相結(jié)合，通過一對糾偏梳齒216與第五錨點21805相結(jié)合，其中，所述的可動驅(qū)動梳齒2141、可動反饋梳齒2151和可動糾偏梳齒2161分別與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211相連接，所述的固定驅(qū)動梳齒2142與第三錨點21803相連接，所述的固定反饋梳齒2152與第四錨點21804相連接，所述的固定糾偏梳齒2162與第五錨點21805相連接。
[0128]一個所述平動質(zhì)量塊212，與設(shè)置在其中的所述的對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)的四組第一檢測極板217和對稱分布在第一方向兩側(cè)的兩個第六錨點21806相對應(yīng)，其中，對稱分布在第二方向兩側(cè)的兩組固定第一檢測極板2172與位于其中間的一個第六錨點21806的相連接，對稱分布在第二方向兩側(cè)的兩組可動第一檢測極板2171與所述第一平動質(zhì)量塊212相連接。[0129]需要特別說明的是，如圖4c所示，一個第六錨點21806al與另一個第六錨點21806a2對稱分布于第一方向兩側(cè)，與所述的一個第六錨點21806al相連接的兩組固定第一檢測極板2172al位于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板2171al —側(cè),與另一個所述第六錨點21806a2相連接的另兩組固定第一檢測極板2172a2位于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板2171a2的另一側(cè)，以確保進(jìn)行差分電容的檢測。
[0130]—個所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213與一個斜驅(qū)動梁2195、第一斜檢測梁2196和第七錨點21807相對應(yīng)，其中，所述斜驅(qū)動梁2195、第一斜檢測梁2196各自的端點均形成在所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213自身對稱軸上，而且所述斜驅(qū)動梁2195和第一斜檢測梁2196分別位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213的兩側(cè)，所述第七錨點21807設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊211之間且位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213圍成的區(qū)域內(nèi)；同時，一個所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213與兩個形成在第一基板上表面的第一檢測電極113相對應(yīng)。具體地，一個所述的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213，通過斜驅(qū)動梁2195同與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211相連接，通過第一斜檢測梁2196與第七錨點21807相連接，即所述的斜驅(qū)動梁2195與驅(qū)動質(zhì)量塊211和第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213的連接點、第一斜檢測梁2196與第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213和第七錨點21807的連接點均位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213自身的對稱軸上。
[0131]本實施例中，如圖3、圖5a至圖5c所示，所述三軸加速度傳感器具體連接方式如下:
[0132]一個所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221與設(shè)置在其中的第八錨點22808、及兩對形成于第一基板上表面的分別對稱分布在第二斜檢測梁2297兩側(cè)的第二檢測電極121相對應(yīng)，其中，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221為偏心結(jié)構(gòu)，其慣性質(zhì)量中心不在第二斜檢測梁2297所在的直線上。具體地，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221通過第二斜檢測梁2297與設(shè)置在其中的第八錨點22808相連接，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊221與兩對第二檢測電極121相配合用于檢測第五方向的外部加速度。
[0133]一個第二平動質(zhì)量塊222對應(yīng)兩個第九錨點22809、兩個第十錨點22810及兩組第二檢測極板223，所述第二平動質(zhì)量塊222通過第二檢測梁2298與第九錨點22809連接，且通過第二檢測極板223與第十錨點22810進(jìn)行結(jié)合。具體地，以第三方向為自身對稱軸的第二平動質(zhì)量塊222通過第二檢測梁2298與對稱分布在第四方向兩側(cè)的兩個第九錨點22809相連接，且該第二平動質(zhì)量塊222通過對稱分布在第三方向兩側(cè)的兩組第二檢測極板223與對稱分布在第三方向兩側(cè)的第十錨點22810進(jìn)行結(jié)合，其中，所述的可動第二檢測極板2231與其對應(yīng)的第二平動質(zhì)量塊222相連接，所述的固定第二檢測極板2232與第十錨點22810相連接；另一個以第四方向為自身對稱軸的第二平動質(zhì)量塊222相應(yīng)的連接關(guān)系與上述類似，只是第三方向和第四方向的相應(yīng)區(qū)別，在此不再一一贅述。
[0134]為了更好的理解所述微機(jī)電六軸慣性傳感器各組件的結(jié)構(gòu)及其連接方式和作用，結(jié)合圖3、圖4a、圖5a,對所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器和三軸加速度傳感器的工作原理進(jìn)行說明。
[0135]如圖3及圖4a所示，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器可同時檢測相互正交的三個方向的外部角速度，即相互正交第三方向、第四方向和第五方向的外部角速度(其中所述兩個方向位于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器所在的平面內(nèi)，另一個所述方向垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中三軸角速度傳感器所在的平面)，也可只檢測一個方向的外部角速度(即所述的第三方向、第四方向或第五方向的外部角速度)或只檢測相互垂直的兩個方向的外部角速度(即第三方向和第四方向的外部角速度、第三方向和第五方向的外部角速度、或第四方向和第五方向的外部角速度)。
[0136]具體地，在本實施例中，以分別單獨檢測相互正交的三個方向中的一個方向的外部角速度為例進(jìn)行說明，當(dāng)同時檢測相互正交的三個方向的外部角速度時，則為分別檢單獨測情況的組合。其中，被檢測的相互正交的三個方向是第三方向(X軸方向)、第四方向(Y軸方向)、第五方向(Z軸方向)。
[0137]所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器靜止時如圖4a所示。若在與所述驅(qū)動梳齒214相對應(yīng)的錨點(在本實施例中為第三錨點21803)上表面的焊盤(未圖示)上施加一定頻率的交變驅(qū)動電壓，且此時沒有被檢測的外部角速度，則所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器開始工作并處于最初的驅(qū)動狀態(tài)，所述兩個第一平動質(zhì)量塊212，隨其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊211 —起進(jìn)行無相對位移的沿第一方向的反相振動(請參閱圖4a粗箭頭方向)，為平動形式的驅(qū)動；所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊213，在所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器所在平面內(nèi)以第五方向(Z軸方向，垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器所在平面)為中心軸角振動，為轉(zhuǎn)動形式的驅(qū)動。
[0138]當(dāng)只有垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器所在平面的第五方向(Z軸方向)有外部角速度時，即--為預(yù)檢測的第五方向(Z軸方向)的外部角速
度，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器處于檢測模態(tài)，所述的兩個第一平動質(zhì)量塊212與其對應(yīng)的第一檢測極板217 (即設(shè)置在所述第一平動質(zhì)量塊212中的第一檢測極板)相配合，用以檢測第五方向的被檢測的外部角速度，具體地，即所述的驅(qū)動質(zhì)量塊211、第一平動質(zhì)量塊212、及設(shè)置在第一平動質(zhì)量塊212中的第一檢測極板217和第六錨點21806組合，用以檢測第五方向的被檢測的外部角速度。此時，由于前述驅(qū)動模態(tài)下第一平動質(zhì)量塊212為沿第一方向的反相振動(請參閱圖4a中粗箭頭方向)，則受到的驅(qū)動為平動形式的驅(qū)動，當(dāng)垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器中的三軸角速度傳感器所在平面的第五方向(Z軸方向)有外部角速度Ω時，在垂直于第一方向的第二方向(如圖4a中細(xì)箭頭所示)產(chǎn)生由第五方向的外部角速皮91起Coriolis力,即產(chǎn)生Coriolis加速度,使所述兩個第一平動質(zhì)量塊212沿第二方向(請參閱圖4a中細(xì)箭頭方向)進(jìn)行反相振動，即所述兩個第一平動質(zhì)量塊212受第五方向的外部角速度$影響沿第二方向反相振動，此時，其余各該質(zhì)量塊仍保持驅(qū)動模態(tài)下的狀態(tài)。如圖4c所示，設(shè)置在所述的第一平動質(zhì)量塊212中的并與其相連接的四組可動第一檢測極板2171al和2171a2也沿第二方向進(jìn)行反相振動，而與所述的可動第一檢測極板2171al和2171a2相對應(yīng)的四組固定第一檢測極板2172al和2172a2是與固定在所述第一基板上的第六錨點21806al和21806a2相連，因此，可動第一檢測極板2171al和2171a2和與其相對應(yīng)的固定第一檢測極板2172al和2172a2之間的距離發(fā)生變化，相對于初始距離Cltl存在位移△(!，從而引起一對(兩個)對稱分布在所述的第六錨點21806al兩側(cè)的可動第一檢測極板2171al及其對應(yīng)的固定第一檢測極板2172al之間的電容C1、以及另一對(兩個)對稱分布在所述的第六錨點21806a2兩側(cè)的可動第一檢測極板2171a2及其對應(yīng)的固定第一檢測極板2172a2之間的電容C2發(fā)生變化，具體地，由于固定第一檢測極板2172al位于與可動第一檢測極板2171al —側(cè)且固定第一檢測極板2172a2位于可動第一檢測極板2171a2的另一側(cè)，則當(dāng)固定第一檢測極板2172a1與可動第一檢測極板2171a1之間的距離增加即電容C1減小時，固定第一檢測極板2172a2與可動第一檢測極板2171a2之間的距離減少即電容C2增加。在本實施例中，固定第一檢測極板2172與可動第一檢測極板2171的交叉部分的長度1相等，且對應(yīng)所述的第六錨點21806的固定第一檢測極板2172與可動第一檢測極板2171的個數(shù)相等。在本實施例中，如圖4c所示，定義對稱分布在第六錨點21806a1兩側(cè)的可動第一檢測極板2171a1及其對應(yīng)的固定第一檢測極板2172a1之間的檢測差分電容為Λ C1、以及對稱分布在第六錨點21806a2兩側(cè)的兩個可動第一檢測極板2171a2及其對應(yīng)的固定第一檢測極板2172a2之間的檢測差分電容為AC2,進(jìn)而對應(yīng)二者之和的差分電容AC由下述公式表示:
[0139]
【權(quán)利要求】
1.一種微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于，所述微機(jī)電六軸慣性傳感器由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨立的三軸加速度傳感器組成，其中，所述三軸角速度傳感器包括:形成在第一基板上表面的第一檢測電極和形成于第二基板的兩個驅(qū)動質(zhì)量塊、兩個第一平動質(zhì)量塊、四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊、驅(qū)動梳齒、反饋梳齒、八組第一檢測極板和與三軸角速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁；所述三軸加速度傳感器包括:形成在第一基板上表面的第二檢測電極和形成于第二基板的一個第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊、兩個第二平動質(zhì)量塊、四組第二檢測極板和與三軸加速度傳感器相對應(yīng)的錨點及彈性梁； 所述微機(jī)電六軸慣性傳感器至少包括: 第一基板，包括位于其上表面的第一檢測電極及第二檢測電極； 第二基板，位于所述第一基板上表面，包括: 兩個驅(qū)動質(zhì)量塊，懸于第一基板上，對稱分布在第二方向兩側(cè)且可沿第一方向運動；兩個第一平動質(zhì)量塊，設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊中且懸于第一基板上，對稱分布在第二方向兩側(cè)，可沿第一方向或第二方向運動，用以檢測第五方向外部角速度； 四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊，設(shè)置在與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的一側(cè)且位于所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域中，懸于第一基板上，與所述第一基板上的第一檢測電極相對應(yīng)，兩兩對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，同時，一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊均以第三方向為自身的對稱軸用以檢測位于第四方向的外部角速度，另一對相對的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊均以第四方向為自身的對稱軸用以檢測位于第三方向的外部角速度，各該第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊在所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在平面內(nèi)以第五方向為中心軸振動或繞自身的對稱軸振動； 驅(qū)動梳齒和反饋梳齒，位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)且均懸于第一基板之上，每組驅(qū)動梳齒或反饋梳齒對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)； 八組第一檢測極板，設(shè)置在與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊中且均懸于第一基板之上，對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，用于與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊相配合以檢測第五方向外部角速度； 一個第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊，偏心設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域內(nèi)且懸于第一基板上，與所述第一基板上的第二檢測電極相對應(yīng)，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊以第三方向或第四方向為軸振動，用于檢測第五方向的外部加速度； 兩個第二平動質(zhì)量塊，設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊中且懸于第一基板上，一個第二平動質(zhì)量塊以第三方向為自身的對稱軸且可沿第三方向運動用以檢測第三方向的外部加速度；另一個第二平動質(zhì)量塊以第四方向為自身的對稱軸且可沿第四方向運動用以檢測第四方向的外部加速度； 四組第二檢測極板，設(shè)置在與其對應(yīng)的第二平動質(zhì)量塊中，均懸于第一基板之上，其中，兩組第二檢測極板對稱分布在第三方向兩側(cè)，與以第三方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊相配合以檢測第三方向的外部加速度，兩組第二檢測極板對稱分布在第四方向兩偵牝與以第四方向為自身的對稱軸的第二平動質(zhì)量塊相配合以檢測第四方向的外部加速度； 其中，第一方向、第二方向、第三方向、第四方向均位于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面，第五方向垂直于所述微機(jī)電六軸慣性傳感器所在的平面，第三方向與第一方向夾角為45°，第四方向與第一方向夾角為135° ,且第三方向、第四方向、第五方向彼此正交，第一方向、第二方向、第五方向彼此正交； 所述的兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、驅(qū)動質(zhì)量塊和第一平動質(zhì)量塊之間、驅(qū)動質(zhì)量塊和第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊之間以彈性梁進(jìn)行連接，各該驅(qū)動質(zhì)量塊、第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別通過彈性梁連接與其對應(yīng)的錨點，各該第一平動質(zhì)量塊通過所述第一檢測極板與其對應(yīng)的錨點進(jìn)行結(jié)合，各該第二平動質(zhì)量塊與其對應(yīng)的錨點通過彈性梁及第二檢測極板進(jìn)行結(jié)合，其中，所述彈性梁懸于第一基板之上，所述錨點固定在所述第一基板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述微機(jī)電六軸慣性傳感器還包括位于其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)、懸于第一基板之上、對稱分布在第一方向或第二方向兩側(cè)的糾偏梳齒。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述驅(qū)動梳齒或所述反饋梳齒的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，另一種為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)；或者所述驅(qū)動梳齒和所述反饋梳齒均為兩對且每對均對稱分布在第一方向兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述驅(qū)動梳齒、所述反饋梳齒、或所述糾偏梳齒中的任意一種為一對且對稱分布在第二方向兩側(cè)，其余兩種分別為兩對且每對對稱分布在第一方向兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述驅(qū)動質(zhì)量塊通過第一驅(qū)動梁與第一錨點相連接、通過第二驅(qū)動梁與第二錨點相連接、通過驅(qū)動梳齒與第三錨點相結(jié)合、通過反饋梳齒與第四錨點相結(jié)合；所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間通過耦合梁連接，其中，所述的第一驅(qū)動梁、第二驅(qū)動梁和耦合梁均為所述彈性梁的一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述驅(qū)動質(zhì)量塊通過第一驅(qū)動梁與第一錨點相連接、通過第二驅(qū)動梁與第二錨點相連接、通過驅(qū)動梳齒與第三錨點相結(jié)合、通過反饋梳齒與第四錨點相結(jié)合、通過糾偏梳齒與第五錨點相結(jié)合；所述兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間通過耦合梁連接，其中，所述的第一驅(qū)動梁、第二驅(qū)動梁和耦合梁均為所述彈性梁的一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器,其特征在于:兩個第一錨點和一個第二錨點對應(yīng)同一個驅(qū)動質(zhì)量塊，且分布于與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊的外側(cè)形成三點支撐結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器,其特征在于:所述的一個第一平動質(zhì)量塊與一個驅(qū)動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且所述第一平動質(zhì)量塊通過第一檢測梁與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊相連接，并通過第一檢測極板與第六錨點相結(jié)合，其中，所述第一檢測梁為所述彈性梁的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:四組所述第一檢測極板和兩個第六錨點與一個第一平動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且設(shè)置在與其對應(yīng)的第一平動質(zhì)量塊中，所述第一檢測極板包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第一檢測極板和固定第一檢測極板，其中，所述的可動第一檢測極板與第一平動質(zhì)量塊相連接，所述的固定第一檢測極板與第六錨點相連接，四組所述第一檢測極板對稱分布在第一方向和第二方向兩側(cè)，兩個第六錨點對稱分布在第一方向兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器,其特征在于:在同一個第一平動質(zhì)量塊中，與一個所述第六錨點相連接的兩組固定第一檢測極板于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板的一側(cè)，與另一個所述第六錨點相連接的另兩組固定第一檢測極板位于與其相對應(yīng)的可動第一檢測極板的另一側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:兩個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與一個驅(qū)動質(zhì)量塊相對應(yīng)，且每個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與一個斜驅(qū)動梁、一個第一斜檢測梁、及第七錨點相對應(yīng)，其中，所述第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊通過斜驅(qū)動梁與其對應(yīng)的驅(qū)動質(zhì)量塊相連接，并通過第一斜檢測梁與第七錨點相連接，同時，所述斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁的端點均位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊自身的對稱軸上，且所述斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁均位于其對應(yīng)的第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊的兩側(cè)，其中，所述的斜驅(qū)動梁和第一斜檢測梁均為所述彈性梁的一種。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述第七錨點設(shè)置在兩個驅(qū)動質(zhì)量塊之間、位于所述四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊圍成的區(qū)域內(nèi)；所述第七錨點為一封閉的框且所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二平動質(zhì)量塊均設(shè)置在其框內(nèi)，或者所述第七錨點為與四個第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別對應(yīng)的四個錨點且所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊和第二平動質(zhì)量塊均設(shè)置在該四個錨點圍成的區(qū)域內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊通過第二斜檢測梁與設(shè)置在其中的第八錨點相連接，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊與分別對稱分布在第二斜檢測梁兩側(cè)的第二檢測電極相對應(yīng)，其中，所述第二轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊為偏心結(jié)構(gòu)，其慣性質(zhì)量中心不在第二斜檢測梁所在的直線上。
14.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:各該第二平動質(zhì)量塊通過第二檢測梁與第九錨點連接，且通過第二檢測極板與第十錨點進(jìn)行結(jié)合。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的微機(jī)電六軸慣性傳感器，其特征在于:兩組所述第二檢測極板、兩個第十錨點和兩個第九錨點與一個第二平動質(zhì)量塊相對應(yīng)；所述第二檢測極板均包括沿梳齒長度方向相對交叉對應(yīng)的可動第二檢測極板和固定第二檢測極板，其中，所述的可動第二檢測極板與第二平動質(zhì)量塊相連接，所述的固定第二檢測極板與第十錨點相連接。
【文檔編號】G01C19/5733GK103900546SQ201210585811
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月28日
【發(fā)明者】焦繼偉, 王敏昌, 宓斌瑋, 張穎 申請人:微機(jī)電科技香港有限公司