專利名稱：痕量水份速測(cè)儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)工業(yè)氣體中痕量水份的快速檢測(cè)儀器。專門(mén)用于眾多的工業(yè)氣體生產(chǎn)廠家和氣體用戶，快速檢測(cè)瓶裝高純氣以及其它多種氣體中的痕量水份。
背景技術(shù)：
痕量水份檢測(cè)，是工業(yè)氣體質(zhì)量主要的、必須的檢測(cè)項(xiàng)目，最常用的儀器有露點(diǎn)檢測(cè)儀、電解檢測(cè)儀以及現(xiàn)行的激光式水份檢測(cè)儀，一般是常壓檢測(cè)。痕量水份檢測(cè)，由于受空氣中的水份污染的影響，不僅需要長(zhǎng)時(shí)間排洗進(jìn)樣管路，而且很難測(cè)準(zhǔn)。檢測(cè)一瓶含水份< 3ppmv的瓶裝工業(yè)氣體，其過(guò)程既費(fèi)時(shí)又費(fèi)事，而且還經(jīng)常測(cè)不準(zhǔn)。痕量水份的檢測(cè)，多年來(lái)一直是國(guó)內(nèi)外公認(rèn)的難題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)工業(yè)氣體中痕量水份檢測(cè)現(xiàn)存的問(wèn)題，提供了一種工業(yè)氣體中痕量水份快速檢測(cè)儀。檢測(cè)一般只需4分鐘時(shí)間，檢測(cè)速度提高了十倍以上，大大提高了檢測(cè)效率。一種痕量水份速測(cè)儀，其檢測(cè)氣路在瓶裝氣體自身具有的高壓下檢測(cè)瓶裝工業(yè)高純氣體中的痕量水份，檢測(cè)后經(jīng)儀器智能化電路換算成常壓下的水份含量。其氣路中采用傳輸數(shù)字信號(hào)的電阻式露點(diǎn)傳感器，檢測(cè)瓶裝工業(yè)高純氣體中的痕量水份含量。其檢測(cè)氣路入口由并行的兩套具有采樣排洗和高壓輸送的氣路構(gòu)成；兩套氣路在儀器的入口處分別由各自的開(kāi)關(guān)閥控制，輪換向露點(diǎn)檢測(cè)器輸送高壓氣樣；一路檢測(cè)時(shí)，另一路排洗，確保兩路氣樣不相互串滲。氣路的檢測(cè)流量開(kāi)關(guān)安裝在流量調(diào)節(jié)閥之后，以確保檢測(cè)器處在高壓氣樣中；確保待測(cè)氣更換時(shí)，檢測(cè)器及其輸入管道中的氣樣一直處于高壓下，以使檢測(cè)器的數(shù)據(jù)在很短時(shí)間內(nèi)達(dá)到平衡，迅速檢測(cè)。在檢測(cè)器與流量調(diào)節(jié)閥之間，安裝有雙錐度的開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)閥輸出氣路，氣路出口在儀器后板上，以便在需要時(shí)，將已消除了空氣污染的氣樣，直接用于除水份之外的其它氣體成份檢測(cè)。壓力傳感器安裝在檢測(cè)器之后，使樣氣輸入管道上沒(méi)有死區(qū)，不會(huì)影響檢測(cè)器的響應(yīng)平衡時(shí)間，從每一個(gè)氣路環(huán)節(jié)上消除了影響響應(yīng)時(shí)間的因素，確保整機(jī)準(zhǔn)確、快速。該儀器的原理是利用每單位體積氣體中水份的含量正比于氣體壓力的關(guān)系，利用瓶裝氣體自身具有的高壓(13-15MPa)，在該高壓下對(duì)瓶裝工業(yè)高純氣體，如氮、氬、氫、氦等永久性氣體進(jìn)行快速檢測(cè)。同理，本方法也適用于非永久性氣體。所不同的是數(shù)據(jù)處理，需引入該被測(cè)氣的壓縮系數(shù)。本發(fā)明采用進(jìn)口電阻式露點(diǎn)傳感器，檢測(cè)后檢測(cè)后經(jīng)儀器智能化電路換算成常壓下的水份含量。并聯(lián)兩套采樣排洗以及高壓檢測(cè)氣路，在同一臺(tái)速測(cè)儀上，進(jìn)行采樣排洗和檢測(cè)的輪換操作，一路檢測(cè)時(shí)，另一路排洗，確保兩路氣樣不相互串滲。使痕量水份的檢測(cè)時(shí)效整整提高了十倍以上。從而可以完全滿足眾多的高純氣生產(chǎn)廠家和用戶，對(duì)瓶裝高純氣中的痕量水份，能既準(zhǔn)確又快速的檢測(cè)。解決了瓶裝氣體數(shù)十年來(lái)痕量水份的檢測(cè)難題。由于本發(fā)明利用瓶裝氣體所具有的高壓潛能和輪換采樣排洗操作，使常壓下痕量水份的濃度提高了一百多倍。在檢測(cè)< 3ppmv瓶裝氣體時(shí)，同一種進(jìn)口露點(diǎn)傳感器常壓檢測(cè)需要1-2小時(shí)，而高壓檢測(cè)只需4分鐘，時(shí)效整整提高了 15倍以上。與目前通用的其它痕量水份檢測(cè)方法相比，其檢測(cè)速度平均縮短了十倍以上。下面結(jié)合附圖，通過(guò)實(shí)施例的具體實(shí)施方式
再對(duì)本發(fā)明的上述內(nèi)容作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下實(shí)施例。在不脫離本發(fā)明上述技術(shù)思想的情況下，根據(jù)本領(lǐng)域普通技術(shù)知識(shí)和慣用手段做出的各種替換或變更，均應(yīng)包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。


圖1為痕量水份速測(cè)儀的采樣檢測(cè)氣路流程圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例圖中氣瓶I和氣瓶2為在檢和待檢高壓瓶裝氣體。在檢測(cè)氣瓶I經(jīng)采樣器排洗閥1-1提洗后，從開(kāi)關(guān)閥1-2經(jīng)輸氣管道進(jìn)入儀器入口開(kāi)關(guān)閥3，打開(kāi)閥3，氣樣便經(jīng)三通5和儀器入口接頭6進(jìn)入檢測(cè)器7進(jìn)行水份檢測(cè)。檢測(cè)后的氣樣，經(jīng)流量調(diào)節(jié)閥8進(jìn)入開(kāi)關(guān)閥9的入口，打開(kāi)閥9，已減至常壓的氣樣便按調(diào)節(jié)閥的設(shè)定流量，進(jìn)入測(cè)量流量計(jì)10計(jì)量，然后從接口 11放空。氣瓶I檢測(cè)時(shí)，氣瓶2的氣樣則經(jīng)采樣器的排洗閥2-1進(jìn)行提洗，此時(shí)，采樣器開(kāi)關(guān)閥2-2和儀器入口開(kāi)關(guān)4均處于關(guān)閉狀態(tài)。當(dāng)氣瓶I檢測(cè)完畢后，首先關(guān)閉閥9，再順次關(guān)閉閥3和閥1-2。然后順次打開(kāi)氣瓶2采樣器的輸出閥2-2，和儀器入口開(kāi)關(guān)閥4，于是氣瓶2的氣樣便經(jīng)三通5和儀器入口接頭6進(jìn)入儀器檢測(cè)器，打開(kāi)閥9，儀器便開(kāi)始檢測(cè)瓶2的氣樣。此時(shí)，應(yīng)立即從氣瓶I上取下采樣器，改接待測(cè)氣瓶3，并按瓶2的提洗方式進(jìn)行瓶3的氣樣提洗。當(dāng)待檢氣瓶量大的時(shí)候，采用上述輪換提洗和檢測(cè)的操作方式，可以將氣瓶氣樣中痕量水份的檢測(cè)時(shí)效再提高一倍左右，檢測(cè)效率的提升十分突出。本儀器采用了本發(fā)明人自己研制的采樣器，接在氣瓶出口，能快速排洗，去除空氣中的水份污染，節(jié)約了排洗等待時(shí)間。本發(fā)明利用瓶裝氣體所具有的高壓潛能和輪換采樣排洗操作，使常壓下痕量水份的濃度提高了一百多倍。在檢測(cè)< 3ppmv瓶裝氣體時(shí)，同一種進(jìn)口露點(diǎn)傳感器常壓檢測(cè)需要1-2小時(shí)，而高壓檢測(cè)只需4分鐘，時(shí)效整整提高了 15倍以上。與目前通用的其它痕量水份檢測(cè)方法相比，其檢測(cè)速度平均縮短了十倍以上。
權(quán)利要求
1.一種痕量水份速測(cè)儀，其特征是其檢測(cè)氣路在瓶裝氣體自身具有的高壓下檢測(cè)瓶裝工業(yè)高純氣體中的痕量水份，檢測(cè)后經(jīng)儀器智能化電路換算成常壓下的水份含量。
2.如權(quán)利要求1所述的痕量水份速測(cè)儀，其特征是氣路中采用傳輸數(shù)字信號(hào)的電阻式露點(diǎn)傳感器，檢測(cè)瓶裝工業(yè)高純氣體中的痕量水份含量。
3.如權(quán)利要求1所述的痕量水份速測(cè)儀，其特征是檢測(cè)氣路入口由并行的兩套具有采樣排洗和高壓輸送的氣路構(gòu)成；兩套氣路在儀器的入口處分別由各自的開(kāi)關(guān)閥控制，輪換向露點(diǎn)檢測(cè)器輸送高壓氣樣；一路檢測(cè)時(shí)，另一路排洗，確保兩路氣樣不相互串滲。
4.如權(quán)利要求1所述的痕量水份速測(cè)儀，其特征是氣路的檢測(cè)流量開(kāi)關(guān)安裝在流量調(diào)節(jié)閥之后，以確保檢測(cè)器處在高壓氣樣中；確保待測(cè)氣更換時(shí)，檢測(cè)器及其輸入管道中的氣樣一直處于高壓下，以使檢測(cè)器的數(shù)據(jù)在很短時(shí)間內(nèi)達(dá)到平衡，迅速檢測(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的痕量水份速測(cè)儀，其特征是在檢測(cè)器與流量調(diào)節(jié)閥之間，安裝有開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)閥輸出氣路，氣路出口在儀器后板上，以便在需要時(shí)，將已消除了空氣污染的氣樣，直接用于除水份之外的其它氣體成份檢測(cè)。
6.如權(quán)利要求1所述的痕量水份速測(cè)儀，其特征是傳輸數(shù)字信號(hào)的壓力傳感器安裝在檢測(cè)器之后，使樣氣輸入管道上沒(méi)有死區(qū)，不會(huì)影響檢測(cè)器的響應(yīng)平衡時(shí)間，從每一個(gè)氣路環(huán)節(jié)上消除了影響響應(yīng)時(shí)間的因素，確保整機(jī)準(zhǔn)確、快速。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種工業(yè)氣體中痕量水份的快速檢測(cè)儀。其檢測(cè)氣路在瓶裝氣體自身具有的高壓下檢測(cè)瓶裝工業(yè)高純氣體中的痕量水份，氣路中采用傳輸數(shù)字信號(hào)的電阻式露點(diǎn)傳感器，檢測(cè)后經(jīng)儀器智能化電路換算成常壓下的水份含量。檢測(cè)氣路入口由并行的兩套具有采樣排洗和高壓輸送的氣路構(gòu)成；兩套氣路在儀器的入口處分別由各自的開(kāi)關(guān)閥控制，輪換向露點(diǎn)檢測(cè)器輸送高壓氣樣；一路檢測(cè)時(shí)，另一路排洗，確保兩路氣樣不相互串滲。氣路的檢測(cè)流量開(kāi)關(guān)安裝在流量調(diào)節(jié)閥之后，以確保檢測(cè)器處在高壓氣樣中；確保待測(cè)氣更換時(shí)，檢測(cè)器及其輸入管道中的氣樣一直處于高壓下，以使檢測(cè)器的數(shù)據(jù)在很短時(shí)間內(nèi)達(dá)到平衡，迅速檢測(cè)。檢測(cè)既準(zhǔn)確又快速檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01N27/04GK103018286SQ20121052981
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月11日
發(fā)明者袁萬(wàn)德 申請(qǐng)人:袁萬(wàn)德