一種v形塊位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測(cè)樣品的載物臺(tái)和定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，所述載物臺(tái)在水平面上的X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在水平面上且垂直于X方向的Y方向上能夠自由移動(dòng)；所述定位槽件固定連接于所述載物臺(tái)，并且具有一個(gè)內(nèi)凹的定位槽，所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動(dòng)，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。本發(fā)明還提出了具有多層定位功能的承載機(jī)構(gòu)和包括承載機(jī)構(gòu)的檢測(cè)樣品平臺(tái)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，能通過簡(jiǎn)便地操作實(shí)現(xiàn)檢測(cè)樣品的定位和換位。
【專利說明】一種V形塊位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)記錄、激光系統(tǒng)等【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及用于光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)的檢測(cè)樣品承載機(jī)構(gòu)，特別是一種V型塊位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。本發(fā)明能夠應(yīng)用于光學(xué)零件面形檢測(cè)、光學(xué)系統(tǒng)像差測(cè)量、激光輸出波前實(shí)時(shí)測(cè)試等，尤其適用于光刻設(shè)備中的光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)器件的檢測(cè)。
【背景技術(shù)】
[0002]在光學(xué)系統(tǒng)或設(shè)備中，能經(jīng)常需要對(duì)光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)設(shè)備或其所包括的光學(xué)器件進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，例如像差檢測(cè)等。以光刻機(jī)為例，其核心是一套高精度的投影成像系統(tǒng)。而由于波像差的存在會(huì)影響投影成像的精確度，從而影響光刻加工的質(zhì)量。目前，光刻機(jī)的像差檢測(cè)的基本原理是利用待測(cè)光刻機(jī)投影物鏡系統(tǒng)對(duì)某種特殊設(shè)計(jì)的專用掩模標(biāo)記(其作為光學(xué)檢測(cè)樣品)進(jìn)行曝光，將待測(cè)系統(tǒng)波像差包含到掩模標(biāo)記的成像信息中；再通過某種方法從包含了系統(tǒng)像差的成像信息中反推出系統(tǒng)像差的大小。通常，需要一組(若干個(gè))掩模光柵標(biāo)記的成像信息才能檢測(cè)和反算出像差。因此就需要專門的機(jī)構(gòu)對(duì)不同的掩膜光柵標(biāo)記進(jìn)行切換，從而得到不同的成像信息。圖1所示為用于雙模式像差檢測(cè)的掩模光柵標(biāo)記的示意圖。如圖1所示，在該雙模式像差檢測(cè)過程中需要四個(gè)掩膜光柵標(biāo)記，可分為兩組，圖1中的a圖和b圖示意地表示了快速檢測(cè)模式所用標(biāo)記，a圖為橫向光柵標(biāo)記，b圖為縱向光柵標(biāo)記,需聯(lián)立二者的成像信息才能反算出像差。c圖和d圖示意地表示了精確檢測(cè)模式下的橫向光柵和縱向光柵，二者與前兩者的區(qū)別在于光柵較密，其檢測(cè)精度較高。所述四個(gè)掩模光柵標(biāo)記統(tǒng)一集成在一塊掩模板上。針對(duì)四個(gè)不同的檢測(cè)標(biāo)記，檢測(cè)系統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)應(yīng)能實(shí)現(xiàn)4個(gè)位置的精確定位，對(duì)于光刻機(jī)的投影物鏡的檢測(cè)系統(tǒng)中多米用一維宏動(dòng)直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)多個(gè)掩模標(biāo)記之間的切換，實(shí)際上一維宏動(dòng)直線電機(jī)主要功能是驅(qū)動(dòng)掩模上光刻圖案的移動(dòng)調(diào)整。且掩模臺(tái)子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相當(dāng)復(fù)雜，零部件相當(dāng)繁多，所占體積空間也較大，不宜專門用于投影系統(tǒng)像差等參數(shù)的檢測(cè)，而對(duì)于投影物鏡的專用檢測(cè)系統(tǒng)尚無精簡(jiǎn)的機(jī)構(gòu)。
[0003]可見，在現(xiàn)有技術(shù)中，掩模光柵標(biāo)記的換位常常被復(fù)合在調(diào)整掩模板的一維宏動(dòng)直線電機(jī)上，實(shí)際上屬于掩模臺(tái)直線電機(jī)的一個(gè)附加功能，而并未有針對(duì)光學(xué)投影元件檢測(cè)的專用機(jī)構(gòu)，此外還需要配備有一套測(cè)量系統(tǒng)，整個(gè)機(jī)構(gòu)相復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提出一種專用于光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有的光學(xué)檢測(cè)樣品承載機(jī)構(gòu)不具備獨(dú)立的換位定位機(jī)構(gòu)，而使換位機(jī)構(gòu)附加于驅(qū)動(dòng)電機(jī)時(shí)機(jī)構(gòu)復(fù)雜的缺點(diǎn)。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測(cè)樣品的載物臺(tái)和定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中，所述載物臺(tái)在X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在Y方向上能夠自由移動(dòng)，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)；所述定位槽件固定連接于所述載物臺(tái)，并且具有一個(gè)內(nèi)凹的定位槽；所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動(dòng)，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述定位塊的定位部呈圓臺(tái)體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺(tái)孔形。
[0011 ] 根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)定位塊在X方向上水平移動(dòng)。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動(dòng)電機(jī)均具有多個(gè)，且每個(gè)定位槽件對(duì)應(yīng)一個(gè)定位塊，其中所述每個(gè)定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個(gè)定位槽件在Y方向上相互錯(cuò)開特定的距離，所述多個(gè)定位塊在Y方向上位于同
一位置。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，所述多個(gè)定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺(tái)固定連接。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，與所述多個(gè)定位塊連接的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在電機(jī)框架上，該電機(jī)框架被固定以至在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制。
[0015]本發(fā)明還提出一種光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)，其包括上述位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，并且，所述光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)還包括基架，所述基架上安裝所述電機(jī)框架；所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺(tái)包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對(duì)滑動(dòng)，所述載物臺(tái)能夠相對(duì)于基架在Y方向上進(jìn)行平行滑動(dòng)。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，在所述載物臺(tái)上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測(cè)樣品的支承臺(tái)。
[0017](三)有益效果
[0018]本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)能過定位槽件和定位塊的配合,結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)，成本低廉，不僅能實(shí)現(xiàn)光學(xué)樣品承載機(jī)構(gòu)的定位和換位功能，而且操作簡(jiǎn)便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于雙模式像差檢測(cè)的掩模光柵標(biāo)記的示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的單層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本發(fā)明的第二實(shí)施例的單層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明的第三實(shí)施例的單層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本發(fā)明的第四實(shí)施例的多層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的示意圖；
[0024]圖6為圖5所示的第四實(shí)施例的多層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的頂視圖；[0025]圖7為本發(fā)明的第五實(shí)施例的光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)的分解結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8為本發(fā)明的第五實(shí)施例的光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)的頂部側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0028]本發(fā)明根據(jù)斜面分力產(chǎn)生動(dòng)力的原理，結(jié)合投影物鏡的專用檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)際功能需求，設(shè)計(jì)一種位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，以對(duì)于所承載的光學(xué)檢測(cè)樣品在水平一維方向上進(jìn)行精確定位。
[0029]本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)包括一個(gè)載物臺(tái)，該載物臺(tái)呈平板狀，且其主平面與水平面平行。該載物臺(tái)用于承載光學(xué)檢測(cè)樣品，為了配合檢測(cè)樣品在水平一維方向上的定位，該載物臺(tái)在水平面的一個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，而在垂直于該方向上能夠自由移動(dòng)。
[0030]為了描述方便，我們以直角維坐標(biāo)系來表示上述運(yùn)動(dòng)方向。我們以X、Y方向?yàn)樗矫嫔系膬蓚€(gè)相互垂直的方向，Z方向?yàn)榇怪庇谒矫娴姆较颍⒓僭O(shè)載物臺(tái)的X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，則該載物臺(tái)能夠在Y方向上自由移動(dòng)。
[0031 ] 為了使載物臺(tái)能夠在Y方向上被精確定位，本發(fā)明的承載機(jī)構(gòu)中包括有定位機(jī)構(gòu)，該定位機(jī)構(gòu)由一個(gè)定位槽件和定位塊構(gòu)成。其中，定位槽件固定連接于載物臺(tái)的一個(gè)側(cè)邊，并且具有一個(gè)內(nèi)凹的定位槽；定位塊是與定位槽件相配合的一個(gè)部件，其具有外凸的定位部，該定位部與定位槽的形狀完全吻合，以至于其能夠緊密地嵌合于所述定位槽中。
[0032]必須注意的是，為了實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)在Y方向上的定位，定位塊在X方向上能夠自由運(yùn)動(dòng)，但在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，并且，當(dāng)該定位塊在X方向上靠近所述定位槽件運(yùn)動(dòng)時(shí)，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。由于定位槽件固接于載物臺(tái)，而載物臺(tái)在X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，因此定位塊成X方向上的運(yùn)動(dòng)通過定位部與定位槽的相互作用而轉(zhuǎn)化為定位槽件在Y方向上的運(yùn)動(dòng)，從而定位槽件帶動(dòng)載物臺(tái)在Y方向上運(yùn)動(dòng)。當(dāng)定位部完全嵌合于定位槽中時(shí)，完成載物臺(tái)在Y方向上的精確定位。
[0033]圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施例的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)包括載物臺(tái)1、定位槽件2和定位塊3。
[0034]該實(shí)施例中，載物臺(tái)I呈矩形的平板狀，具有四條側(cè)邊，且其主平面平行于水平面，其中相對(duì)的兩條側(cè)邊平行于水平面上的X方向，另兩條側(cè)邊平行于水平面上的Y方向(與X方向垂直)。該載物臺(tái)I用于承載光學(xué)檢測(cè)樣品，并且其在X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，而在Y方向上能夠自由地滑動(dòng)。由此，當(dāng)光學(xué)檢測(cè)樣品被放置并固定于該載物臺(tái)I上時(shí)，其能夠在水平面上的Y方向運(yùn)動(dòng)。
[0035]在該載物臺(tái)I的平行于X方向的一條側(cè)邊上固定連接有一個(gè)定位槽件2。在該實(shí)施例中，定位槽件2也呈矩形的平板狀，其主平面也平行于水平面，其通過一條側(cè)邊與載物臺(tái)I的相應(yīng)側(cè)邊緊密連接。該定位槽件2的平行于Y方向的一側(cè)開有一個(gè)定位槽，該定位槽是一個(gè)內(nèi)凹的槽形。
[0036]所述定位塊3是一個(gè)與定位槽件2相配合以使定位槽件2在Y方向上精確定位的部件。定位塊3包括一個(gè)外凸的定位部，該定位部朝向與所述定位槽件2的定位槽。定位塊3在X方向上能夠朝向或背離定位槽件而自由運(yùn)動(dòng)，但在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制。并且，當(dāng)該定位塊3在X方向上靠近所述定位槽件2運(yùn)動(dòng)時(shí)，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。
[0037]在該實(shí)施例中，定位塊3也呈平板狀，其主平面也平行于水平面，且其定位部位于定位塊3的朝向定位槽件2的一側(cè)。并且，該定位部呈一個(gè)等腰三角形，其頂角正對(duì)所述定位槽件2。由此，整個(gè)定位塊3呈現(xiàn)一個(gè)前尖后平的形狀，如圖2所示。與之相對(duì)應(yīng)的，定位槽件2的定位槽具有與所述定位部完全吻合的形狀，即定位槽呈現(xiàn)一個(gè)類似于定母V的內(nèi)凹形，(或稱內(nèi)凹的V形)，使得定位塊3的定位部能夠無阻礙地、緊密嵌合于所述定位槽中。由此，由于定位塊3在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，當(dāng)定位塊3在X方向上朝向定位槽件2移動(dòng)時(shí)，定位塊2的定位部能夠滑入定位槽中，并且，當(dāng)定位槽件沒有處于其定位的位置時(shí)，定位部的側(cè)邊與定位槽的V形的側(cè)邊相互產(chǎn)生力的作用，迫使定位槽件在Y方向上移動(dòng)，使得定位部完全嵌合于定位槽中，此時(shí)，與定位槽件相固接的載物臺(tái)I達(dá)到其所需的Y方向上的定位位置。
[0038]在該實(shí)施例中，定位塊3與一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)4相連，在驅(qū)動(dòng)電機(jī)4能夠驅(qū)動(dòng)定位塊3在X方向上水平移動(dòng)。由此，在該驅(qū)動(dòng)電機(jī)4的驅(qū)動(dòng)下，定位塊3的定位部能夠滑進(jìn)或移出定位槽件2的定位槽。
[0039]由于定位塊3的定位部是一個(gè)三角形的板狀，因此，當(dāng)定位塊的定位部完全嵌合于定位槽件的定位槽中時(shí)，定位塊能夠約束定位槽件2在Y方向上的平移、X方向上的旋轉(zhuǎn)和Z方向上的旋轉(zhuǎn)三個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度，從而能夠滿足光學(xué)檢測(cè)樣品在一維方向上(Y方向上)的定位要求。
[0040]然而，對(duì)于要求更多自由度約束的光學(xué)檢測(cè)樣品的定位時(shí),也可能改變定位槽件與定位塊的形狀和結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。
[0041]圖3和圖4是本發(fā)明的第二、第三實(shí)施例的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，該承載機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)與前面所述實(shí)施例基本相同，所不同的在于定位機(jī)構(gòu)的不同。
[0042]在圖3所示的第二實(shí)施例中，定位塊3’的定位部是一個(gè)圓錐體形，而非三角的平板狀。相應(yīng)的，定位槽件2’的定位槽的形狀也呈一個(gè)內(nèi)凹的圓錐體形，或稱圓錐孔，且其輪廓與定位部的圓錐體形一致。由此，當(dāng)定位塊3’的圓錐體定位部在驅(qū)動(dòng)電機(jī)4的驅(qū)動(dòng)下也能嵌合于定位槽部實(shí)現(xiàn)定位。并且，由于圓錐體形構(gòu)造的定位塊，該承載機(jī)構(gòu)還能夠限制定位槽件2’在Z方向上的移動(dòng)，從而特別適合于對(duì)于Z方向上的移動(dòng)也有自由度限制要求的光學(xué)檢測(cè)樣品的定位。
[0043]在圖4所示的第三實(shí)施例中，定位塊3”大至呈一圓柱體形，其朝向定位槽件的前部的定位部是一個(gè)底面積較大、頂面積較小的圓臺(tái)體形(圖中因角度問題未能顯示)。相應(yīng)的，定位槽件2”的定位槽的形狀也呈一個(gè)內(nèi)凹的圓臺(tái)體形，或稱圓臺(tái)孔。與圖3所示的實(shí)施例相似的，該實(shí)施例也能實(shí)現(xiàn)Z方向上的運(yùn)動(dòng)限位。
[0044]上述實(shí)施例實(shí)現(xiàn)的是一種單層的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，僅能實(shí)現(xiàn)單個(gè)光學(xué)檢測(cè)樣品的定位。下面描述能夠?qū)崿F(xiàn)在多個(gè)光學(xué)檢測(cè)樣品之間的自由切換，且換位過程與定位過程同時(shí)進(jìn)行的多層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。該承載機(jī)構(gòu)能夠快捷地進(jìn)行快速檢測(cè)模式與精確檢測(cè)模式切換，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行快速檢測(cè)與精確檢測(cè)。
[0045]圖5是本發(fā)明的第四實(shí)施例的四層位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)的示意圖。與前面描述的實(shí)施例不同的是，該承載機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)包括四個(gè)定位槽件21、22、23、24和四個(gè)定位塊31、32、33、34，四個(gè)定位塊分別與驅(qū)動(dòng)電機(jī)41、42、43、44相連接。同樣的，四個(gè)定位槽件在X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，而四個(gè)定位塊在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制。每個(gè)定位槽件、定位塊和驅(qū)動(dòng)電機(jī)的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中所描述的相同，在此不再贅述。所不同的是，四個(gè)定位槽件不直接與載物臺(tái)(圖5中未顯示)相連接，而是共同固定于一個(gè)定位槽件框架5上，該定位槽件框架5是一個(gè)具有穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的框體部件，在其的一側(cè)固定該四個(gè)定位槽件，另一側(cè)則與載物臺(tái)I固定連接。
[0046]相應(yīng)的，四個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)則固定在一個(gè)電機(jī)框架6上,該電機(jī)框架6被固定以至在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制。
[0047]所述四個(gè)定位槽件和四個(gè)電機(jī)被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個(gè)電機(jī)能夠分別驅(qū)動(dòng)四個(gè)定位塊與定位槽件相嵌合。然而，在水平面的Y方向上，所述四個(gè)定位槽件21、22、23、24相互錯(cuò)開一個(gè)距離，而所述四個(gè)電機(jī)41、42、43、44則在水平Y(jié)方向上位于同一位置，由此，當(dāng)四個(gè)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)不同的定位塊嵌合于定位槽件時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺(tái)在Y方向上的四個(gè)不同位置的定位。
[0048]圖6顯示了本發(fā)明的該第四實(shí)施例的承載機(jī)構(gòu)的定位機(jī)構(gòu)在頂視圖。如圖6所示，在該實(shí)施例中，四個(gè)定位槽件在Y方向上從下至上依次錯(cuò)開距離Λ d，而四個(gè)定位塊在Y方
向上完全重合。
[0049]圖7和圖8顯不了本發(fā)明的第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖，基中圖7是分解不意圖，圖8是頂部側(cè)視圖。該第五實(shí)施例是一個(gè)光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)，其包括了上述位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)。
[0050]如圖7所示，該實(shí)施例的光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)由固定部和運(yùn)動(dòng)部組成，固定部包括水平放置的基架7和在基架7上固定安裝的部件?；?呈大致的矩形，具有四條側(cè)邊。在基架7上兩條相對(duì)的側(cè)邊上安裝有相互平行的導(dǎo)軌71、72，兩個(gè)導(dǎo)軌均平行于位于水平面上Y方向。在基架7的平行于X方向上的一條側(cè)邊上固定有電機(jī)框架6,所述電機(jī)框架6垂直于水平面安裝，用于固定多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)。在該實(shí)施例中，采用四個(gè)電機(jī)，其結(jié)構(gòu)和安裝方式與第四實(shí)施例相同，在此不再贅述。
[0051]在基架7的上部安裝有運(yùn)動(dòng)部，運(yùn)動(dòng)部包括載物臺(tái)I和在載物臺(tái)I上固定的其他部件。在載物臺(tái)I的下部具有與所述導(dǎo)軌71、72相配合的兩條平行的導(dǎo)槽11、12。通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對(duì)滑動(dòng)，載物臺(tái)I能夠相對(duì)于基架I在Y方向上進(jìn)行平行滑動(dòng)。
[0052]在載物臺(tái)的靠近電機(jī)框架6的一側(cè)固定有定位槽件框架5,其用于固定多個(gè)定位槽件。在該實(shí)施例中，定位槽件與定位槽件框架5的結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系與第四實(shí)施例相同，在此也不再贅述。同樣的，所述四個(gè)定位槽件和四個(gè)電機(jī)被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個(gè)電機(jī)能夠分別驅(qū)動(dòng)四個(gè)定位塊與定位槽件相嵌合。由此，當(dāng)四個(gè)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)不同的定位塊嵌合于定位槽件時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺(tái)在Y方向上的四個(gè)不同位置的定位。
[0053]在圖7和圖8中，還顯示了當(dāng)該光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)上固定有光學(xué)檢測(cè)樣品時(shí)的結(jié)構(gòu)，在該實(shí)施例中，光學(xué)檢測(cè)樣品為掩膜板9，掩膜板9由一掩膜支承臺(tái)8支承，該掩膜支承臺(tái)8固定于載物臺(tái)I上。但本發(fā)明并不限于此，本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)和相應(yīng)的平臺(tái)也可以用于承載和精確定位其他光學(xué)樣品。
[0054]圖1所示的四種圖案a、b、c、d沿Y方向依次排列，并且放置在載物臺(tái)上，它們之間的距離為Λ d，這與四層V型塊在Y方向的距離保持一致，當(dāng)?shù)谝粚覸型槽21與V型塊31相嚙合時(shí)，掩模板位于Y軸的近端，圖案d正位于工作區(qū)域，當(dāng)?shù)诙覸型槽22與V型塊32相嚙合時(shí)，載物臺(tái)會(huì)向Y軸遠(yuǎn)端方向移動(dòng)Λ d，此時(shí)圖案c便進(jìn)入了工作區(qū)域，依次類推，每移動(dòng)一個(gè)Λ d，圖案便切換一次。
[0055]在上述各實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)4優(yōu)選為直線電機(jī)。直線電機(jī)可直接輸出一維的直線運(yùn)動(dòng)，無需另外的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，如果采用通常的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，則需加裝把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)，會(huì)使整機(jī)結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，也降低了系統(tǒng)的可靠性。
[0056]此外，所述定位機(jī)構(gòu)的定位槽件和定位塊的數(shù)量、形狀、錯(cuò)開距離等都可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需要進(jìn)行變化，并且這種變化均應(yīng)視為涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0057]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測(cè)樣品的載物臺(tái)，其特征在于，還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中， 所述載物臺(tái)在X方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在Y方向上能夠自由移動(dòng)，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)； 所述定位槽件固定連接于所述載物臺(tái)，并且具有一個(gè)內(nèi)凹的定位槽； 所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制，在X方向上能夠朝向或遠(yuǎn)離所述定位槽件移動(dòng)，以使所述定位部移進(jìn)或移出所述定位槽。
2.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。
3.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。
4.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓臺(tái)體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺(tái)孔形。
5.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)定位塊在X方向上水平移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求5所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動(dòng)電機(jī)均具有多個(gè)，且每個(gè)定位槽件對(duì)應(yīng)一個(gè)定位塊，其中 所述每個(gè)定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個(gè)定位槽件在Y方向上相互錯(cuò)開特定的距離，所述多個(gè)定位塊在Y方向上位于同一位置。
7.如權(quán)利要求6所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺(tái)固定連接。
8.如權(quán)利要求7所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其特征在于，與所述多個(gè)定位塊連接的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定在電機(jī)框架上，該電機(jī)框架被固定以至在Y方向上的運(yùn)動(dòng)被限制。
9.一種光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)，其特征在于，包括如權(quán)利要求8所述的位置轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，并且， 所述光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)還包括基架，所述基架上安裝所述電機(jī)框架； 所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺(tái)包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對(duì)滑動(dòng)，所述載物臺(tái)能夠相對(duì)于基架在Y方向上進(jìn)行平行滑動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的光學(xué)檢測(cè)樣品平臺(tái)，其特征在于，在所述載物臺(tái)上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測(cè)樣品的支承臺(tái)。
【文檔編號(hào)】G01M11/00GK103852241SQ201210505997
【公開日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月30日
【發(fā)明者】齊威, 齊月靜, 劉廣義, 韓曉泉 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電研究院