專利名稱：探針卡檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種探針卡檢測裝置，尤指一種自動檢測探針卡的接腳位置是否正確的裝置。
背景技術(shù)：
圖6所示為習(xí)用的探針卡檢測裝置，在檢測時可利用治具將探針卡定位在平臺90 上，此平臺90上具有模擬晶圓各個接腳墊的位置標(biāo)示，藉由平臺90上方的顯微鏡觀測器91 觀測探針卡的接腳位置是否符合各個接腳墊的位置，此時顯微鏡觀測器91所觀測到的影像傳輸至電腦裝置92，并由顯示器93顯示所觀測到的影像，檢測者若由顯示器93觀測出探針卡的接腳位置與接腳墊的標(biāo)示有誤，便將探針卡由平臺90取出至校正裝置調(diào)校接腳至正確位置。然而，以此探針卡檢測裝置觀測探針卡的接腳位置時，必須將整個探針卡的所有接腳區(qū)分為多個待測區(qū)塊再一一檢視，而探針卡在觀測與調(diào)校時必須由不同裝置進行，故須在不同裝置間拆裝探針卡，故除了調(diào)校動作繁雜之外，檢測者必須在檢測過程中記錄區(qū)塊檢測的順序，若檢測人員在拆裝過程中未謹慎記錄，則可能造成某區(qū)塊被重復(fù)檢測或遺漏檢測，前者造成檢測時間的浪費及檢測效率不佳，后者則造成探針卡的檢測率不穩(wěn)定。因此，如何解決習(xí)用探針卡檢測裝置的問題，即為本實用新型的重點所在。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于解決上述的問題而提供一種探針卡檢測裝置，令探針卡的接腳檢測更準(zhǔn)確，且在校正時可達到快速及方便的功效。為了達到上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案一種探針卡檢測裝置，其特征在于，它包括一機臺，該機臺上具有一平臺，該平臺上設(shè)有一第一滑臺，該第一滑臺上設(shè)有一第二滑臺，該第一滑臺與第二滑臺在該平臺上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺上設(shè)有一供受測的探針卡放置的固定座；一影像擷取單元，該影像擷取單元結(jié)合在一第三滑臺上，該第三滑臺滑動地設(shè)在一佇立在該平臺上的第一支架上，而令該影像擷取單元在該平臺上縱向地滑動；一控制單元，該控制單元用以控制該第一滑臺、第二滑臺及該第三滑臺在平臺上的滑動，且控制該影像擷取單元擷取影像，并該控制單元內(nèi)建有一量測軟件，影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置并以該量測軟件判斷接腳位置是否正確；一觀測裝置，該觀測裝置在校正探針卡的錯位接腳時觀測，該觀測裝置包括一移動結(jié)構(gòu)及一顯微鏡觀測單元，該移動結(jié)構(gòu)架設(shè)在一佇立于該平臺上的第二支架上，且該顯微鏡觀測單元隨該移動結(jié)構(gòu)在該平臺上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移。本實用新型的優(yōu)點是1、利用控制單元控制第一滑臺、第二滑臺及第三滑臺的位移，并控制影像擷取單元擷取探針卡的接腳影像，并由控制單元內(nèi)建的正確位置資料判斷受測探針卡的接腳位置是否正確，通過控制單元自動化程序判斷探針卡的接腳位置，而避免人為檢測的錯誤發(fā)生， 檢測正確性相對更為準(zhǔn)確。2、若探針卡的接腳位置錯誤時，檢測者可通過控制單元控制該第一滑臺平移，而直接將探針卡平移至顯微鏡觀測單元下方，便可由顯微鏡觀測單元觀測位置錯誤的接腳， 并將接腳校正回正確位置，而非習(xí)用的檢測裝置那樣必須將探針卡拆下，再在校正設(shè)備上安裝調(diào)校，故本實用新型的探針卡檢測裝置在對探針卡的接腳校正時，可達到快速、方便的功效。

圖1是本實用新型實施例的立體外觀構(gòu)造圖。圖2是本實用新型實施例的探針卡以部分接腳為檢測區(qū)塊的示意圖。圖3是圖2中區(qū)塊A的放大示意圖。圖4是本實用新型實施例的探針卡隨第一滑臺平移至顯微鏡觀測單元下方后定位的示意圖。圖5是本實用新型實施例的探針卡的接腳調(diào)校示意圖。圖6是習(xí)用探針卡檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
請參閱圖1至圖5，圖中所示為本實用新型所選用的實施例結(jié)構(gòu)，此僅供說明之用，在專利申請上并不受此種結(jié)構(gòu)限制。本實施例提供一種探針卡檢測裝置，如圖1所示，此探針卡檢測裝置包括一機臺 1、一影像擷取單元2、一控制單元3及一觀測裝置4，其中如圖1所示，該機臺1上具有一平臺10，此平臺10上設(shè)有一第一滑臺11，此第一滑臺11上設(shè)有一第二滑臺12，該第一滑臺11與第二滑臺12可在該平臺10上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺12上設(shè)有一供受測的探針卡放置的固定座13。如圖1所示，該平臺10上設(shè)有兩個X軸導(dǎo)軌100，且平臺10在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿101，該第一滑臺11底部設(shè)有兩個滑座110，可滑動地設(shè)于該兩個X軸導(dǎo)軌100上，且第一滑臺11在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座111，此導(dǎo)引座111穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿101上，且該導(dǎo)螺桿101 的一端設(shè)有一伺服馬達102，以此伺服馬達102驅(qū)動該導(dǎo)螺桿101轉(zhuǎn)動，而使導(dǎo)引座111隨導(dǎo)螺桿101轉(zhuǎn)動而在導(dǎo)螺桿101上滑移，且第一滑臺11經(jīng)該導(dǎo)引座111帶動而在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸平移。如圖1所示，該第一滑臺11上設(shè)有兩個Y軸導(dǎo)軌112，且第一滑臺11在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿113，該第二滑臺12底部設(shè)有兩個滑座120，可滑動地設(shè)于該兩個Y軸導(dǎo)軌112 上，且第二滑臺12在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座121，且該導(dǎo)螺桿113的一端設(shè)有一伺服馬達114， 以此伺服馬達114驅(qū)動該導(dǎo)螺桿113轉(zhuǎn)動，而使導(dǎo)引座121隨導(dǎo)螺桿113轉(zhuǎn)動而在導(dǎo)螺桿 113上滑移，且經(jīng)該導(dǎo)引座121帶動，第二滑臺12在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的Y軸平移。如圖1所示，在該平臺10上佇立一第一支架14，一第三滑臺15設(shè)于該第一支架 14上，此第三滑臺15呈直立地設(shè)于該第一支架14上，且第三滑臺15可在第一支架14上縱向地滑動，該影像擷取單元2結(jié)合在此第三滑臺15上，故此影像擷取單元2可隨第三滑臺 15在該平臺上縱向位移。在本實施例中，該第一支架14頂端設(shè)有一伺服馬達140，以此伺服馬達140帶動該第三滑臺15縱向滑動。該控制單元3用以控制該第一滑臺11、第二滑臺12及該第三滑臺15在平臺上的滑動，即利用控制單元3操控該伺服馬達102、伺服馬達114及該伺服馬達140的動作，而控制第一滑臺11、第二滑臺12及該第三滑臺15的滑動行程。控制單元3還控制該影像擷取單元2擷取影像，此控制單元3內(nèi)建一量測軟件，影像擷取單元2擷取探針卡所有接腳位置并以該量測軟件判斷接腳位置是否正確。如圖1所示，本實施例的影像擷取單元2所擷取的影像以一顯示器20顯示。如圖1所示，該觀測裝置4包括一移動結(jié)構(gòu)40及一顯微鏡觀測單元41，該移動結(jié)構(gòu)40架設(shè)在一第二支架16上，而此第二支架16佇立于該平臺10上，且顯微鏡觀測單元41 隨移動結(jié)構(gòu)40可在該平臺10上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，藉此觀測裝置4 在校正探針卡的錯位接腳時觀測。如圖1所示，本實施例的移動結(jié)構(gòu)40包括一 X軸滑軌400、一 Y軸滑軌401、一第四滑臺402及一第五滑臺403，該X軸滑軌400設(shè)于該第二支架16頂端，該第四滑臺402設(shè)于 X軸滑軌400上，Y軸滑軌401設(shè)于第四滑臺402上，而第五滑臺403設(shè)于此Y軸滑軌401 上，該顯微鏡觀測單元41裝設(shè)在第五滑臺403的前端，在該第五滑臺403上鄰近該顯微鏡觀測單元41的位置設(shè)有兩個握柄404。本實施例的探針卡檢測裝置在操作時，使用者先將探針卡5以固定座13固定，通過控制單元3控制該伺服馬達102而使第一滑臺11在X軸平移、控制該伺服馬達114而使第二滑臺12在Y軸平移及控制該伺服馬達140而使第三滑臺15縱向地滑移，從而令該探針卡5移動至該影像擷取單元2的下方。當(dāng)探針卡5定位在檢測的預(yù)備位置后，開始將探針卡5的所有接腳50區(qū)分出多個如圖2所示的待測區(qū)塊A，藉由控制單元3記錄被定義出的多個待測區(qū)塊A，并以內(nèi)建正確位置資料開始對待測區(qū)塊A自動檢測探針卡5的接腳50 位置，直至所有的區(qū)塊檢測完成后停止，此時可由該顯示器20顯示出該影像擷取單元2所擷取的影像。當(dāng)探針卡5的接腳50與該正確位置資料比對，而在區(qū)塊A中發(fā)現(xiàn)如圖2 3所示位置錯誤的接腳50’時，便可如圖4所示，通過控制單元3直接控制該第一滑臺11在X軸上平移至該顯微鏡觀測單元41下方，此時檢測者便可手握該兩個握柄404，而藉由第四滑臺402的X軸位移及第五滑臺403的Y軸位移，帶動該顯微鏡觀測單元41觀測該探針卡5 的接腳50位置錯誤之處，使位置錯誤的接腳50’被顯微放大，檢測者便可如圖5所示，利用工具6將該位置錯誤的接腳50’校正至正確位置。故，由上述說明可見本實用新型的優(yōu)點在于1、利用控制單元3控制第一滑臺11、第二滑臺12及第三滑臺15的位移，并控制影像擷取單元2擷取探針卡5的接腳50影像，并由控制單元3內(nèi)建的正確位置資料判斷受測探針卡5的接腳50位置是否正確，通過控制單元3自動化程序判斷探針卡的接腳位置，而避免人為檢測的錯誤發(fā)生，檢測正確性相對更為準(zhǔn)確。2、若探針卡5的接腳50位置錯誤時，檢測者可通過控制單元3控制該第一滑臺11 平移，而直接將探針卡5平移至顯微鏡觀測單元41下方，便可由顯微鏡觀測單元41觀測位置錯誤的接腳50’，并將接腳50’校正回正確位置，而非習(xí)用的檢測裝置那樣必須將探針卡拆下，再在校正設(shè)備上安裝調(diào)校，故本實用新型的探針卡檢測裝置在對探針卡5的接腳50’ 校正時，可達到快速、方便的功效。 以上所述是本實用新型的較佳實施例及其所運用的技術(shù)原理，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不背離本實用新型的精神和范圍的情況下，任何基于本實用新型技術(shù)方案基礎(chǔ)上的等效變換、簡單替換等顯而易見的改變，均屬于本實用新型保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種探針卡檢測裝置，其特征在于，它包括一機臺，該機臺上具有一平臺，該平臺上設(shè)有一第一滑臺，該第一滑臺上設(shè)有一第二滑臺，該第一滑臺與第二滑臺在該平臺上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺上設(shè)有一供受測的探針卡放置的固定座；一影像擷取單元，該影像擷取單元結(jié)合在一第三滑臺上，該第三滑臺滑動地設(shè)在一佇立在該平臺上的第一支架上，而令該影像擷取單元在該平臺上縱向地滑動；一控制單元，該控制單元用以控制該第一滑臺、第二滑臺及該第三滑臺在平臺上的滑動，且控制該影像擷取單元擷取影像，并該控制單元內(nèi)建有一量測軟件，影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置并以該量測軟件判斷接腳位置是否正確；一觀測裝置，該觀測裝置在校正探針卡的錯位接腳時觀測，該觀測裝置包括一移動結(jié)構(gòu)及一顯微鏡觀測單元，該移動結(jié)構(gòu)架設(shè)在一佇立于該平臺上的第二支架上，且該顯微鏡觀測單元隨該移動結(jié)構(gòu)在該平臺上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述平臺上設(shè)有兩個X軸導(dǎo)軌， 且所述平臺在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿，所述第一滑臺底部設(shè)有兩個滑座，該兩個滑座滑動地設(shè)于該兩個X軸導(dǎo)軌上，且所述第一滑臺在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座，該導(dǎo)引座被帶動地穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿上，且該導(dǎo)螺桿的一端設(shè)有一伺服馬達，以該伺服馬達驅(qū)動該導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動且經(jīng)該導(dǎo)引座帶動所述第一滑臺在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸平移。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述第一滑臺上設(shè)有兩個Y軸導(dǎo)軌，且所述第一滑臺在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿，所述第二滑臺底部設(shè)有兩個滑座，該兩個滑座滑動地設(shè)于該兩個Y軸導(dǎo)軌上，且所述第二滑臺在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座，該導(dǎo)引座被帶動地穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿上，且該導(dǎo)螺桿的一端設(shè)有一伺服馬達，以該伺服馬達驅(qū)動該導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動且經(jīng)該導(dǎo)引座帶動所述第二滑臺在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的Y軸平移。
4.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述第一支架設(shè)有一伺服馬達， 該伺服馬達帶動所述第三滑臺縱向滑動。
5.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述移動結(jié)構(gòu)在所述第二支架頂端設(shè)有一 X軸滑軌，在該X軸滑軌上設(shè)有一第四滑臺，且該第四滑臺上設(shè)有一 Y軸滑軌， 該Y軸滑軌上設(shè)有一第五滑臺，所述顯微鏡觀測單元裝設(shè)在該第五滑臺的前端而位于所述平臺上。
6.如權(quán)利要求5所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述第五滑臺上鄰近所述顯微鏡觀測單元的位置設(shè)有兩個握柄。
7.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測裝置，其特征在于所述影像擷取單元所擷取的影像以一顯示器顯示。
專利摘要本實用新型公開了一種探針卡檢測裝置，該探針卡檢測裝置以控制單元控制第一滑臺、第二滑臺及第三滑臺在平臺上的滑動，且控制影像擷取單元擷取影像，而令影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置，并以量測軟件自動判斷接腳位置是否正確，若接腳位置錯誤，可由顯微鏡觀測單元觀測錯位的接腳并校正，藉此實現(xiàn)本實用新型更準(zhǔn)確地檢測探針卡以及更快速、方便地校正探針卡接腳的目的。
文檔編號G01R35/00GK202182939SQ20112028750
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月9日
發(fā)明者王金源 申請人:源臺精密科技股份有限公司