專(zhuān)利名稱(chēng)：Mems模擬檢波器機(jī)芯的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬地質(zhì)勘探領(lǐng)域，涉及一種地震勘探用檢波器，尤其涉及一種MEMS模擬加速度檢波器的機(jī)芯。
背景技術(shù)：
地質(zhì)勘探地震波信號(hào)中含高低頻分量，其中低頻分量較豐富。信號(hào)在地層內(nèi)傳播的過(guò)程中，高頻分量的能量損失較快，傳播愈遠(yuǎn)，損失比例愈大。高頻信號(hào)越弱，對(duì)勘探地層分辨率越不利。目前，地質(zhì)物探技術(shù)已發(fā)展至高分辨勘探，高分辨勘探的瓶頸主要是對(duì)于深層、薄層高頻弱信號(hào)的采集，采集的源頭即是檢波器。物探行業(yè)使用的檢波器主要分為速度型檢波器和加速度型檢波器兩類(lèi)。速度型檢波器對(duì)高低頻分量的接受能力相同，對(duì)衰減嚴(yán)重的高頻分量不易接受。加速度型檢波器對(duì)高低頻信號(hào)均有良好的接受能力，尤其對(duì)衰減嚴(yán)重的高頻信號(hào)的接受更具優(yōu)勢(shì)。加速度型檢波器，能提高高分辨率勘探效果，能更快、更準(zhǔn)確地反映探測(cè)層的地層結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)地下深層、淺層、薄層的高分辨率勘測(cè)。現(xiàn)有的加速度型檢波器主要有下列兩類(lèi)一類(lèi)是電磁感應(yīng)式渦流加速度檢波器。如，專(zhuān)利號(hào)是8710 以及95M5142. 5 等，該類(lèi)加速度檢波器是通過(guò)磁電渦流的二次感應(yīng)形成加速度信號(hào)輸出，結(jié)構(gòu)受彈性元件和質(zhì)量塊尺寸、重量等因素的限制，使自然頻率不能太小，工作頻率范圍受限，無(wú)法消除諧波失真，因此，加速度靈敏度難以提高。另一類(lèi)是采用慣性式加速度傳感器響應(yīng)原理的加速度檢波器。該類(lèi)加速度檢波器有采用微機(jī)械加速度傳感器MEMS (Microelectro-mechanical Systems)的電容式微機(jī)械加速度傳感器，如，美國(guó)I/O公司的MEMS的微機(jī)械加速度傳感器(VectorSeis SVSM Module Digital Sensor)和中國(guó)專(zhuān)利03216512. 9等；有采用光電及光纖的加速度檢波器，如，專(zhuān)利號(hào)03100433. 4,03200396. X以及03236644. 2等；還有壓電式加速度檢波器，如，西安石油大學(xué)研制的YD2000型陸用壓電地震加速度檢波器；專(zhuān)利號(hào)93232320. 0以及002^749. 7等。 這類(lèi)加速度檢波器的質(zhì)量塊的相對(duì)位移與被測(cè)振動(dòng)的加速度成正比，因而可用質(zhì)量塊的位移來(lái)反映被測(cè)振動(dòng)的加速度大小；其最大優(yōu)點(diǎn)是它具有零頻率持性，即理論上它的下限測(cè)量頻率為零，實(shí)際下限測(cè)量頻率也極低。此外，為使諧振頻率遠(yuǎn)大于被測(cè)振動(dòng)頻率，加速度檢波器的尺寸、慣性體質(zhì)量可設(shè)計(jì)的很小，一般可小于lg，故對(duì)被測(cè)對(duì)象的附加影響非常小。但該類(lèi)加速度檢波器采用的是傳統(tǒng)的無(wú)阻尼元件的機(jī)械結(jié)構(gòu)，元件內(nèi)部的阻尼很小，一般ξ <0.04，加速度傳感器幅頻特性的表達(dá)式如下
其中Α(ω)-加速度振幅；Zm-輸出位移；Xm-被測(cè)振動(dòng)的位移量；ω-頻率；ωη_自然頻率(壓電傳感器ωη> ω) ； ξ-阻尼。依據(jù)上述慣性式加速度傳感器幅頻特性的數(shù)學(xué)模型可視為無(wú)阻尼系統(tǒng)。在實(shí)際的地質(zhì)地震物探施工中，檢波器置于地表與大地耦合，使阻尼很小或無(wú)阻尼。高振幅輸出信號(hào)的加速度檢波器，會(huì)采集到大量的俗稱(chēng)“尾巴”的初始余震干擾信號(hào)。實(shí)踐中，要彌補(bǔ)這種阻尼的不足，要求施工使用的檢波器必須提供一定的阻尼，使檢波器輸出的初始波形的余震即“尾巴”盡可能小，以確保有效信號(hào)的真實(shí)采集。中國(guó)專(zhuān)利03250863. 8公開(kāi)了一種非磁感應(yīng)式地震檢波器，其是采用磁感應(yīng)渦流阻尼的“光學(xué)地震檢波器”，其磁場(chǎng)為可調(diào)式固定磁場(chǎng)，慣性體元件及彈性元件置于固定磁場(chǎng)之中。采用這種設(shè)計(jì)方案，信號(hào)采集與輸出采用的是光學(xué)器件；阻尼源與慣性體相分離， 不能融為一體。實(shí)際規(guī)模化生產(chǎn)時(shí)，產(chǎn)品工藝精度及產(chǎn)品性能的一致性不易確保。光學(xué)信號(hào)遠(yuǎn)距離傳輸?shù)某杀鞠鄬?duì)較高?？傊瑵M(mǎn)足高分辨率采集求時(shí)，為彌補(bǔ)系統(tǒng)阻尼的不足，加速度檢波器的慣性體質(zhì)量和阻尼是一對(duì)矛盾體?，F(xiàn)有技術(shù)中，自身慣性體質(zhì)量很小的壓電檢波器，由于其產(chǎn)生的彈性振動(dòng)幅度相應(yīng)較小，故一般采用空氣阻尼；而采用較大慣性體質(zhì)量的壓電檢波器，由于其產(chǎn)生的彈性振動(dòng)幅度相應(yīng)較大，一些對(duì)系統(tǒng)阻尼要求不高的產(chǎn)品，若允許對(duì)信號(hào)的分辨率要求不太高，采用空氣阻尼時(shí)，即可允許子波的余波長(zhǎng)些。要使波形的振幅大，慣性體的質(zhì)量就必須增大；要使波形的余震即“尾巴”小，阻尼就必須足夠大?，F(xiàn)有技術(shù)無(wú)法使慣性體的質(zhì)量和阻尼同時(shí)具有較好的一致性，因而無(wú)法保證傳感器所采集到的波形的一致性。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決背景技術(shù)中存在的上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種MEMS模擬檢波器機(jī)芯，解決了阻尼源與慣性體相分離，無(wú)法使慣性體的質(zhì)量和阻尼同時(shí)具有較好的一致性， 因而無(wú)法保證傳感器所采集到的波形的一致性，以及產(chǎn)品工藝精度及產(chǎn)品性能的一致性不易確保的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是本發(fā)明提供了一種MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特殊之處在于所述MEMS模擬檢波器機(jī)芯包括信號(hào)轉(zhuǎn)換器、阻抗轉(zhuǎn)換器以及微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)；所述信號(hào)轉(zhuǎn)換器通過(guò)阻抗轉(zhuǎn)換器接入微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)。上述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)包括電容轉(zhuǎn)換單元以及微機(jī)械震動(dòng)單元；所述電容轉(zhuǎn)換單元套接在微機(jī)械震動(dòng)單元上；所述阻抗轉(zhuǎn)換器電性接入電容轉(zhuǎn)換單元。上述微機(jī)械震動(dòng)單元包括上固定體、下固定體以及彈性振體；所述上固定體開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向下的下凹槽，所述下固定體開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向上的上凹槽，所述上固定體、彈性振體以及下固定體自上而下依次固定在一起；所述電容轉(zhuǎn)換單元套接在彈性振體上并置于上固定體的下凹槽與下固定體的上凹槽所形成的空腔中。上述電容轉(zhuǎn)換單元包括慣性體以及與慣性體相連的電容極板；所述慣性體套接在彈性振體上；所述慣性體以及電容極板共同設(shè)置于上固定體的下凹槽與下固定體的上凹槽所形成的空腔中。上述電容極板包括第一電容極板以及第二電容極板；所述第一電容極板包括第一電容上極板以及第一電容下極板；所述第一電容上極板設(shè)置于上固定體所開(kāi)設(shè)的下凹槽中，所述第一電容下極板設(shè)置于與下凹槽相對(duì)的彈性振體上；所述第二電容極板包括第二電容上極板以及第二電容下極板，所述第二電容下極板設(shè)置于下固定體所開(kāi)設(shè)的上凹槽中，所述第二電容上極板設(shè)置于與上凹槽相對(duì)的彈性振體上。上述微機(jī)械震動(dòng)單元還包括慣性體限位柱、彈性振體固定體以及極板附著體；所述慣性體限位柱設(shè)置于下凹槽中以及上凹槽中并用于對(duì)慣性體進(jìn)行位置限定；所述彈性振體固定體設(shè)置于上固定體和下固定體之間，所述彈性振體伸入彈性振體固定體中，所述上固定體、彈性振體固定體以及下固定體自上而下固定連接；所述極板附著體分別設(shè)置于下凹槽以及上凹槽中；所述第一電容上極板以及第二電容下極板分別設(shè)置在極板附著體上。上述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)是一組或多組。上述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)是兩組。上述電容極板是pF級(jí)的。本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明提供了一種MEMS加速度檢波器的機(jī)芯，基本結(jié)構(gòu)包括慣性體、彈性振體、 控制電路等，慣性體為整個(gè)震動(dòng)系統(tǒng)的核心，是以慣性體為傳媒介質(zhì)，以介質(zhì)位移變化(電容變化)為反饋，再以控制介質(zhì)恒定位移的電壓變化為輸出。當(dāng)外部振動(dòng)迫使慣性體位移時(shí)，通過(guò)反饋位移變化量而調(diào)整的控制電壓就迫使慣性體保持原位不動(dòng)。由于位移變化量線性取決于外力變化量，而控制電壓變化量線性取決于位移變化量，因此控制電壓的變化曲線就實(shí)時(shí)跟蹤外力變化曲線。由本發(fā)明構(gòu)成的MEMS模擬檢波器輸出振幅高，抗初始波形的余震即“尾巴”的能力強(qiáng)，頻帶寬，動(dòng)態(tài)范圍大，幾乎無(wú)失真，抗電磁、機(jī)械噪聲能力強(qiáng)，并且能像常規(guī)檢波器一樣進(jìn)行組串。具體而言，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)1、本發(fā)明對(duì)深層、薄層的高頻弱信號(hào)具有很好的采集能力，同時(shí)又能兼顧低頻信號(hào)，且具有足夠的帶寬，帶寬為0 1500Hz。2、慣性體的質(zhì)量和阻尼的一致性好，故傳感器采集到的波形一致性即同相軸好；慣性體的質(zhì)量穩(wěn)定，采集到波形的一致性好；阻尼合理， 波形的余震即“尾巴”符合勘探的要求。3、采用半導(dǎo)體腐蝕工藝技術(shù)，有利于輸出高振幅信號(hào)；其形成的幅頻、相頻特性曲線良好，可近似達(dá)到零頻率特性，自身靈敏度具有1.2V/g。 4、半導(dǎo)體腐蝕工藝技術(shù)，可確保產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和一致性，可滿(mǎn)足批量化生產(chǎn)的要求。5、 抗電磁場(chǎng)干擾能力強(qiáng)。將多個(gè)機(jī)芯同時(shí)置于一個(gè)封閉的金屬殼內(nèi)，使機(jī)芯能較好地防護(hù)外部的各種電磁場(chǎng)干擾，使采集信號(hào)的品質(zhì)大大提高。6、抗機(jī)械干擾能力強(qiáng)。金屬殼與護(hù)殼之間設(shè)置的減震材料，使機(jī)芯具有良好的抗機(jī)械干擾能力和較好的抗沖擊能力，進(jìn)一步提高了采集信號(hào)的品質(zhì)。7、在本發(fā)明的輸出端連接有阻抗轉(zhuǎn)換器，可實(shí)現(xiàn)有效信號(hào)的遠(yuǎn)距離傳輸。8、本發(fā)明構(gòu)成的MEMS模擬檢波器具有和常規(guī)動(dòng)圈式檢波器一樣的組串功能，解決了國(guó)外數(shù)字MEMS檢波器只能單點(diǎn)采集、不能組串的缺點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1-阻抗轉(zhuǎn)換器，2-引線，3-第一極間電容C，4_上固定體，5-彈性振體，6-下固定體，7-第二極間電容C，8-第三極間電容C，9-第四極間電容C，10-外殼體，11-尾錐， 12-彈性振體固定體，13-慣性體限位柱，14-上極板附著體，15-下極板附著體，16-慣性體， 17-電容下極板，18-電容上極板，19-電源，20-信號(hào)轉(zhuǎn)換器，21-殼體上蓋。
具體實(shí)施例方式理想的檢波器既對(duì)深層、薄層的高頻弱信號(hào)有很好的采集能力，又能兼顧低頻信號(hào)，且具有足夠的帶寬，一般為3 1500Hz。本發(fā)明即依此設(shè)計(jì)慣性體的質(zhì)量和阻尼的一致性好，可保證傳感器所采集到波形的一致性即同相軸；慣性體的質(zhì)量大，所采集波形的振幅大；阻尼足夠大，所采集波形的余震即“尾巴”小。本發(fā)明簡(jiǎn)化的基本結(jié)構(gòu)包括慣性體16、彈性振體5、電路部分等，而且慣性體16是整個(gè)裝置的核心。其檢測(cè)地震加速度信號(hào)的基本原理是以慣性體為傳媒介質(zhì)，以介質(zhì)位移變化(電容變化)為反饋，再以控制介質(zhì)恒定位移的電壓變化為輸出。當(dāng)外部振動(dòng)迫使慣性體位移時(shí)，通過(guò)反饋位移變化量而調(diào)整的控制電壓就迫使慣性體保持原位不動(dòng)。由于位移變化量線性取決于外力變化量，而控制電壓變化量線性取決于位移變化量，因此控制電壓的變化曲線就實(shí)時(shí)跟蹤外力變化曲線。慣性體16的上表層和下表層鍍有金屬導(dǎo)電物，在慣性體16相對(duì)的面上，也就是上極板附著體14，下極板附著體15上也鍍有金屬，這樣就構(gòu)成了四個(gè)可變電容器，組成了一套完整的微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)，加上相應(yīng)的電路就可以成為電容式加速度傳感器。當(dāng)接收到沿工作軸向的地震信號(hào)時(shí)，可變電容的值被持續(xù)不停地采樣測(cè)量，它們的比值隨著慣性體試圖移動(dòng)而不停變化，同時(shí)負(fù)反饋循環(huán)回路改變控制電壓的大小以產(chǎn)生使慣性體16位于中心不變所需的校正電壓從而得到傳感器的輸出。參見(jiàn)圖1，本發(fā)明提供了一種MEMS模擬檢波器機(jī)芯，該MEMS模擬檢波器機(jī)芯包括信號(hào)轉(zhuǎn)換器20、阻抗轉(zhuǎn)換器1以及微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)；信號(hào)轉(zhuǎn)換器20通過(guò)阻抗轉(zhuǎn)換器1接入微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)。微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)包括電容轉(zhuǎn)換單元以及微機(jī)械震動(dòng)單元；電容轉(zhuǎn)換單元套接在微機(jī)械震動(dòng)單元上；阻抗轉(zhuǎn)換器1電性接入電容轉(zhuǎn)換單元；微機(jī)械震動(dòng)單元包括上固定體4、 下固定體6以及彈性振體5 ；上固定體4開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向下的下凹槽，下固定體6開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向上的上凹槽，上固定體4、彈性振體5以及下固定體6自上而下依次固定在一起；電容轉(zhuǎn)換單元套接在彈性振體5上并置于上固定體4的下凹槽與下固定體6的上凹槽所形成的空腔中。當(dāng)然，為了使得固定效果更好，本發(fā)明還在此基礎(chǔ)上增加了彈性振體固定體12，其設(shè)置于上固定體4和下固定體6之間，彈性振體5伸入彈性振體固定體12中，上固定體4、彈性振體固定體12以及下固定體16自上而下固定連接；電容轉(zhuǎn)換單元包括慣性體16以及與慣性體16相連的電容極板；慣性體16套接在彈性振體5上；慣性體16以及電容極板共同設(shè)置于上固定體4的下凹槽與下固定體6的上凹槽所形成的空腔中。電容極板包括第一電容極板(也可是通過(guò)鍍金屬膜所形成的第一極間電極C3)以及第二電容極板(也可是通過(guò)鍍金屬膜所形成的第二極間電極C7)；第一電容極板包括第一電容上極板以及第一電容下極板；所述第一電容上極板設(shè)置于上固定體4所開(kāi)設(shè)的下凹槽中，第一電容下極板設(shè)置于與下凹槽相對(duì)的彈性振體5上；第二電容極板包括第二電容上極板以及第二電容下極板，第二電容下極板設(shè)置于下固定體6所開(kāi)設(shè)的上凹槽中，第二電容上極板設(shè)置于與上凹槽相對(duì)的彈性振體5上。微機(jī)械震動(dòng)單元還包括慣性體限位柱13以及極板附著體14、15 ；慣性體限位柱 13設(shè)置于下凹槽中以及上凹槽中并用于對(duì)慣性體5進(jìn)行位置限定；極板附著體14、15分別設(shè)置于下凹槽以及上凹槽中；第一電容上極板以及第二電容下極板分別設(shè)置在極板附著體 14,15 上。本發(fā)明所提供的機(jī)芯可以采用一組或多組微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)，當(dāng)然采用兩組的效果是最好的。本發(fā)明所提供的MEMS加速度檢波器的機(jī)芯，采用慣性體構(gòu)成微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)，加上相應(yīng)的電路就可以成為電容式加速度傳感器，直接輸出模擬信號(hào)，用于構(gòu)成可任意組串的MEMS模擬地震檢波器。本發(fā)明包含微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)和內(nèi)部電路兩部分，微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)主要由慣性體16組成，電路部分位于上固定體4外側(cè)，主要由阻抗轉(zhuǎn)換器1、信號(hào)轉(zhuǎn)換器 20、電源19組成。慣性體16組件上表層和下表層鍍有金屬導(dǎo)電物或者直接就是電容極板。如果采用金屬導(dǎo)電物，則在慣性體16相對(duì)面上，也就是上極板附著體14，下極板附著體15上也鍍有金屬導(dǎo)電物，這樣就構(gòu)成了四個(gè)可變電容器，即C1/C2、C3/C4的電容比式輸出模式，解決了由于材料的溫漂而帶來(lái)的電容值的變化。彈性振體5與上固定體4，下固定體6三者固定連接為一體。慣性體限位柱13處于形成電容結(jié)構(gòu)的上下金屬極板之間，在外界強(qiáng)沖擊下起到對(duì)微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)的保護(hù)作用。阻抗轉(zhuǎn)換器1處于上固定體4上方與殼體上蓋21之間，作用是為了野外接收提供功率輸出。信號(hào)轉(zhuǎn)換器20處于上固定體4上方與殼體上蓋21之間， 是將電容的變換量轉(zhuǎn)化成電壓信號(hào)。電源19選用高能鋰電池，確保連續(xù)工作180天。電容轉(zhuǎn)換單元由彈性振體5和分別固定于彈性振體5兩面的鍍金金屬板極17、18 構(gòu)成或者直接就是兩個(gè)金屬電容極板，使用起來(lái)也更加方便。極間電容第一電容C3、第二電容C7、第三電容C8、第四電容C9，是pF級(jí)，靜態(tài)下絕對(duì)相等，經(jīng)過(guò)半導(dǎo)體腐蝕工藝制成，電容上、下極板18、17也是通過(guò)半導(dǎo)體腐蝕工藝制成， 保證其一致性。慣性體16和彈性振體5依據(jù)阻尼和慣性體計(jì)算公式制作，通過(guò)半導(dǎo)體腐蝕工藝制成。C1/C2、C3/C4的輸出模式，解決了由于材料的溫漂而帶來(lái)得電容值的變化，滿(mǎn)足寬溫(_40°C +85°C )使用要求。
權(quán)利要求
1.一種MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述MEMS模擬檢波器機(jī)芯包括信號(hào)轉(zhuǎn)換器、阻抗轉(zhuǎn)換器以及微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)；所述信號(hào)轉(zhuǎn)換器通過(guò)阻抗轉(zhuǎn)換器接入微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)包括電容轉(zhuǎn)換單元以及微機(jī)械震動(dòng)單元；所述電容轉(zhuǎn)換單元套接在微機(jī)械震動(dòng)單元上；所述阻抗轉(zhuǎn)換器電性接入電容轉(zhuǎn)換單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述微機(jī)械震動(dòng)單元包括上固定體、下固定體以及彈性振體；所述上固定體開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向下的下凹槽，所述下固定體開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向上的上凹槽，所述上固定體、彈性振體以及下固定體自上而下依次固定在一起；所述電容轉(zhuǎn)換單元套接在彈性振體上并置于上固定體的下凹槽與下固定體的上凹槽所形成的空腔中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述電容轉(zhuǎn)換單元包括慣性體以及與慣性體相連的電容極板；所述慣性體套接在彈性振體上；所述慣性體以及電容極板共同設(shè)置于上固定體的下凹槽與下固定體的上凹槽所形成的空腔中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述電容極板包括第一電容極板以及第二電容極板；所述第一電容極板包括第一電容上極板以及第一電容下極板；所述第一電容上極板設(shè)置于上固定體所開(kāi)設(shè)的下凹槽中，所述第一電容下極板設(shè)置于與下凹槽相對(duì)的彈性振體上；所述第二電容極板包括第二電容上極板以及第二電容下極板，所述第二電容下極板設(shè)置于下固定體所開(kāi)設(shè)的上凹槽中，所述第二電容上極板設(shè)置于與上凹槽相對(duì)的彈性振體上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述微機(jī)械震動(dòng)單元還包括慣性體限位柱、彈性振體固定體以及極板附著體；所述慣性體限位柱設(shè)置于下凹槽中以及上凹槽中并用于對(duì)慣性體進(jìn)行位置限定；所述彈性振體固定體設(shè)置于上固定體和下固定體之間，所述彈性振體伸入彈性振體固定體中，所述上固定體、彈性振體固定體以及下固定體自上而下固定連接；所述極板附著體分別設(shè)置于下凹槽以及上凹槽中；所述第一電容上極板以及第二電容下極板分別設(shè)置在極板附著體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一權(quán)利要求所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)是一組或多組。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)是兩組。
9.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的MEMS模擬檢波器機(jī)芯，其特征在于所述電容極板是pF 級(jí)的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種MEMS模擬加速度檢波器的機(jī)芯，該MEMS模擬檢波器機(jī)芯包括信號(hào)轉(zhuǎn)換器、阻抗轉(zhuǎn)換器以及微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)；信號(hào)轉(zhuǎn)換器通過(guò)阻抗轉(zhuǎn)換器接入微機(jī)械震動(dòng)系統(tǒng)。本發(fā)明提供了一種MEMS模擬檢波器機(jī)芯，解決了阻尼源與慣性體相分離，無(wú)法使慣性體的質(zhì)量和阻尼同時(shí)具有較好的一致性，因而無(wú)法保證傳感器所采集到的波形的一致性，以及產(chǎn)品工藝精度及產(chǎn)品性能的一致性不易確保的技術(shù)問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01V1/18GK102279414SQ20111018581
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月5日
發(fā)明者強(qiáng)明明, 蔡瀟 申請(qǐng)人:西安思坦儀器股份有限公司