專利名稱：壓電式加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及為了振動檢測等目的使用的壓電式加速度傳感器。特別是涉及在壓電式加速度傳感器中所使用的壓電振動器的優(yōu)選支承結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
近幾年，越來越多的電子設(shè)備被搭載于DVD/BD記錄器、電視機、便攜設(shè)備等中。所搭載的電子設(shè)備的精度也在提高。對電子設(shè)備的可靠性的要求也越來越高。為了檢測對電子設(shè)備的碰撞或電子設(shè)備自身所產(chǎn)生的振動，謀求具備100mV/G以上的高輸出靈敏度、小型且價格低的加速度傳感器。對于檢測加速度的方法從以往開始就提出了各種方式的提案并已被實用化。特別是，由于利用了壓電陶瓷的撓性的彎曲型壓電加速度傳感器(以下，僅稱作“壓電式加速度傳感器”)其結(jié)構(gòu)簡單且容易以低價格構(gòu)成，因此被廣泛利用?；趬弘娞沾傻膿闲缘妮敵鲮`敏度在其原理上即使是最大也被限制在數(shù)mV/G左右。因此，為了獲得100mV/G以上的輸出靈敏度，需要最終放大來自壓電陶瓷的輸出。但是，重要的是在保持小型的壓電陶瓷的狀態(tài)下增加輸出靈敏度。因此，提出了壓電陶瓷的各種支承結(jié)構(gòu)。例如，專利文獻1的壓電陶瓷通過收納外殼的側(cè)面部被懸臂結(jié)構(gòu)支承。專利文獻2的壓電陶瓷通過收納外殼的底面部被雙支承梁結(jié)構(gòu)支承。在專利文獻3中，公開了如下技術(shù)使壓電振動器的兩端部附近極化為中央部分和相反方向，通過利用雙支承梁結(jié)構(gòu)支承壓電振動器，從而提高輸出靈敏度。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1JP特表平5-505236號公報專利文獻2JP特開平916431號公報專利文獻3JP特開2000-121661號公報

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明想要解決的課題)但是，即使根據(jù)到目前為止提出的所有方法，都不能得到足夠的輸出靈敏度。并且，在采用專利文獻1和專利文獻2公開的支承結(jié)構(gòu)的情況下，直到在收納外殼中容納壓電陶瓷為止(即，壓電式加速度傳感器的制造大致結(jié)束為止)，不能進行動作確認檢查。此外，在采用專利文獻3的技術(shù)的情況下，為了使壓電振動器極化，需要進行復(fù)雜的工序。本發(fā)明的目的在于提供一種小型的同時具有高的輸出靈敏度且量產(chǎn)方面出色的壓電式加速度傳感器。(用于解決課題的手段)本發(fā)明的一個方面是提供壓電式加速度傳感器，該壓電式加速度傳感器由壓電元件、金屬板和基板構(gòu)成，其中，
所述壓電元件在規(guī)定方向被進行極化處理，所述基板具備基板電路部、和從所述基板電路部的端部突出的大致平面狀的基板襯底部，所述金屬板的一個板面被所述基板襯底部的一個面支承固定，在所述金屬板的另一個板面按照在所述規(guī)定方向上所述壓電元件和所述基板襯底部不會重疊的方式支承固定所述壓電元件。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明，通過利用不同于現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)支承壓電陶瓷，從而能夠得到小型且具有高的輸出靈敏度的壓電式加速度傳感器。此外，本發(fā)明的壓電式加速度傳感器在量產(chǎn)方面也很出色。


圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的壓電式加速度傳感器的俯視圖。圖2是圖1的壓電式加速度傳感器的主視圖。圖3是在因加速度而被彎曲的狀態(tài)下表示圖1的壓電式加速度傳感器的主視圖。圖4是在移除了蓋罩的狀態(tài)下表示本發(fā)明的第2實施方式的壓電式加速度傳感器的俯視圖。圖5是圖4的壓電式加速度傳感器的V-V剖視圖。圖6是表示直接由基板支承壓電元件的壓電式加速度傳感器的俯視圖。圖7是圖6的壓電式加速度傳感器的主視圖。圖8是表示壓電式加速度傳感器的基板的變形例的俯視圖。圖9是在移除了蓋罩的狀態(tài)下表示現(xiàn)有技術(shù)的壓電式加速度傳感器的一例的俯視圖。圖10是圖9的壓電式加速度傳感器的X-X剖視圖。
具體實施例方式以下，詳細說明本發(fā)明的實施方式。另外，在以下的說明中表示上下左右等方向時，該方向并不表示部件等的絕對位置，而是僅僅表示在各附圖中的相對的位置。(第1實施方式)如圖1和圖2所示，本發(fā)明的第1實施方式的壓電式加速度傳感器50由基板56、導(dǎo)線59、輸出電纜60、壓電陶瓷板(壓電元件)53和金屬板55構(gòu)成?；?6具備基板電路部56a和基板襯底部56b?；咫娐凡?6a形成為矩形平面形狀?；逡r底部56b形成為矩形平面形狀，且從基板電路部56a的端部突出。在本實施方式中，兩個基板襯底部56b在同一平面上相互平行地從基板電路部56a的一邊的兩端部附近突出。換言之，基板56切出了四角形基板的一邊的中央部分而形成為U字型。在基板電路部56a上搭載放大電路等，導(dǎo)線59和輸出電纜60通過焊料等與放大電路等連接。兩個基板襯底部56b在上表面56c的至少一部分內(nèi)具有導(dǎo)電性部分，該導(dǎo)電性部分與基板電路部56a的放大電路等電連接。壓電陶瓷板53以鋯酸鈦酸鉛(PZT)等壓電體作為材料，形成為矩形板狀。壓電陶瓷板53在圖2的黑色箭頭方向(上下方向)上以同樣的方式被進行極化處理。壓電陶瓷板53具備與極化方向(規(guī)定方向)對置的兩個主面(53c和53d)。在壓電陶瓷板53的一個主面53c上，通過涂布銀膏劑等而形成上電極53a。上電極53a通過焊料等與導(dǎo)線59連接。金屬板55具備兩個板面(上表面5 和下表面55b)。壓電陶瓷板53的主面53d經(jīng)由導(dǎo)電粘結(jié)劑等與上表面5 粘結(jié)而被固定。即，上表面5 支承并固定壓電陶瓷板53。通過具備上電極53a的壓電陶瓷板53和金屬板55，構(gòu)成作為加速度檢測元件的單壓電晶片型壓電振動器(電機械變換元件)52。金屬板55的長度方向(在圖1和圖2中是左右方向)的兩端部從壓電陶瓷板53的長度方向的兩端部向長度方向的外側(cè)突出。該兩個突出部分(被支承部^c)分別是通過導(dǎo)電粘結(jié)劑等與基板襯底部56b的上表面56c粘結(jié)并被固定。即，由基板襯底部56b的一個面、即上表面56c支承并固定被支承部55c的一個板面、即下表面55b。金屬板55經(jīng)由基板襯底部56b與基板電路部56a的放大電路等電連接。如以上說明，通過兩個基板襯底部56b以雙支承梁結(jié)構(gòu)支承壓電振動器52。如圖1和圖2所示，壓電陶瓷板53和基板襯底部56b在極化方向上不會互相重疊。因此，能夠在上下方向(極化方向)上使壓電陶瓷板53整體彎曲。若壓電式加速度傳感器50受到加速度，則壓電振動器52受到與加速度成比例的慣性力。例如，若向壓電式加速度傳感器50施加極化方向(在圖2中是垂直方向)的加速度，則如圖3所示，壓電振動器52的長度方向的中心部向上方向(極化方向)彎曲。其結(jié)果，在壓電振動器52的上電極53a和金屬板55中分別產(chǎn)生相反符號的電荷。S卩，在上電極53a與金屬板55之間產(chǎn)生與加速度成比例的電壓。產(chǎn)生的電壓經(jīng)由導(dǎo)線59和基板襯底部56b被輸入到基板電路部56a上的放大電路中。由放大電路放大之后的電壓(輸出信號)經(jīng)由輸出電纜60而被輸出到壓電式加速度傳感器50的外部。通過測量輸出到外部的電壓，從而能夠求出壓電式加速度傳感器50所受到的加速度。如圖10所示，在現(xiàn)有技術(shù)的壓電式加速度傳感器91中，壓電陶瓷板93的一部分被支承固定。因此，若壓電陶瓷板93的中央部分彎曲，則壓電陶瓷板93的被支承固定的部分附近向與中央部分相反的方向彎曲。即，在壓電陶瓷板93中產(chǎn)生轉(zhuǎn)折點。其結(jié)果，認為在中央部分和轉(zhuǎn)折點部分產(chǎn)生相反符號的電荷，且電荷相抵消，因此會降低輸出靈敏度。另一方面，本實施方式的壓電式加速度傳感器50的壓電陶瓷板53沒有直接被固定在基板襯底部56b上。因此，通過加速度而使壓電陶瓷板53彎曲時，能夠抑制在壓電陶瓷板53中產(chǎn)生轉(zhuǎn)折點而降低輸出靈敏度的情況。特別如圖1所示，從極化方向觀察時，通過從基板襯底部56b使壓電陶瓷板53的長度方向的兩端部遠離規(guī)定間隔W3，從而能夠通過加速度，使壓電陶瓷板53向同一方向彎曲。反過來講的話，作為規(guī)定間隔W3的值，只要考慮壓電陶瓷板53的厚度等而采用通過加速度使壓電陶瓷板53向同一方向彎曲的值即可。由此，通過使壓電陶瓷板53從基板襯底部56b遠離適當?shù)木嚯x，從而能夠使轉(zhuǎn)折點在金屬板55的被支承部55c中產(chǎn)生，而不是在壓電陶瓷板53中，可進一步提高針對加速度的輸出靈敏度。在本實施方式中，由于規(guī)定間隔W3 > 0，因此壓電陶瓷板53的長度L2在兩個基板襯底部56b的左右兩端的間隔L3和基板襯底部56b的寬度Wl之間的關(guān)系中需要滿足如下的式1。
(式 1) (L3-L2)/2 > Wl但是，若將規(guī)定間隔W3的值設(shè)定得過大，則由加速度引起的振動會被金屬板55吸收。詳細而言，加速度變化時，壓電陶瓷板53的長度方向的端部與基板襯底部56b之間的金屬板陽振動。其結(jié)果，壓電陶瓷板53不會充分彎曲，輸出靈敏度會降低。因此，需要將規(guī)定間隔W3的值設(shè)定為在金屬板55中實質(zhì)上不會產(chǎn)生由加速度引起的無用振動的程度。在本實施方式中，如圖1所示，兩個基板襯底部56b中的每一個與壓電陶瓷板53的長度方向的端部的間隔是相同的(規(guī)定間隔W3)。由此，由兩個基板襯底部56b均勻地支承壓電陶瓷板53，使壓電陶瓷板53以長度方向的中央部分為中心對稱地彎曲。因此，可進一步提高輸出靈敏度。此外，本實施方式的壓電式加速度傳感器50中，金屬板55的被支承部55c在寬度方向上并未從基板襯底部56b突出。換言之，如圖1所示，被支承部55c位于比基板襯底部56b的前端更靠基板電路部56a側(cè)的位置上。通過如上所述的支承結(jié)構(gòu)，降低壓電振動器52的振動引起的基板襯底部56b的無用振動，可以從壓電式加速度傳感器50獲得穩(wěn)定的輸出。另外，采用上述的構(gòu)成時，需要使基板襯底部56b的長度Ll和金屬板55的寬度W2滿足如下的式2。(式 2) Ll > W2例如，在壓電式加速度傳感器50受到圖1的上方向的加速度的情況下，壓電振動器52向基板電路部56a的方向彎曲。這樣，在存在壓電振動器52向基板電路部56a的方向彎曲的可能性的情況下，最好使支承并固定壓電振動器52的金屬板55位于從基板電路部56a遠離因加速度而被彎曲了時不會與基板電路部56a接觸的程度的位置上。即，如圖1所示，最好將壓電振動器52與基板電路部56a之間的距離W4設(shè)定為在假設(shè)的使用狀況下壓電振動器52不會與基板電路部56a接觸的程度。這樣設(shè)定距離W4時，長度Li、寬度W2和離W4需要滿足如下的式3。(式 3) Ll > W2+W4如以上的說明，本實施方式的壓電式加速度傳感器50由于不會使在壓電振動器52內(nèi)產(chǎn)生的電荷相抵消，因此具有小型結(jié)構(gòu)的同時在輸出靈敏度上很出色。 如圖9和圖10所示，在現(xiàn)有技術(shù)的壓電式加速度傳感器91中，為了電連接壓電振動器92的上電極93a和下電極93b、與被搭載于基板96的放大電路，需要兩根導(dǎo)線(99a和99b)。另一方面，在本實施方式的壓電式加速度傳感器50中，直接連接了金屬板55和基板襯底部56b的導(dǎo)電性部分。即，壓電式加速度傳感器50的導(dǎo)線的根數(shù)是1根。因此，能夠削減制造工序，并且能夠降低品質(zhì)的偏差。(第2實施方式)如圖4和圖5所示，本發(fā)明的第2實施方式的壓電式加速度傳感器51是在殼體57的內(nèi)部容納了第1實施方式的壓電式加速度傳感器50的結(jié)構(gòu)。殼體57由具備相對假定的加速度不會引起變形的剛性的材料形成。在殼體57的內(nèi)部形成具有支承面57b的容納空間57a。容納空間57a形成為可以容納支承并固定了壓電振動器52的狀態(tài)下的基板56的尺寸。基板56的基板電路部56a和基板襯底部56b利用熱固性環(huán)氧樹脂等而與支承面57b粘結(jié)在一起，以使支承面57b與極化方向正交。即，由支承面57b支承并固定基板襯底部56b的下表面56d(在極化方向上，位于支承金屬板55的上表面56c的相反側(cè)的面)。如圖5所示，在容納空間57a中容納了基板56和壓電振動器52的狀態(tài)下，通過按壓等，將殼體的蓋罩58固定到殼體57上。如圖所示，輸出電纜60向殼體57的外部延伸。若壓電式加速度傳感器51受到加速度，則與壓電式加速度傳感器50同樣地，因壓電陶瓷板53的彎曲而產(chǎn)生電壓，所產(chǎn)生的電壓被放大電路放大。由輸出電纜60向壓電式加速度傳感器51的外部輸出被放大的電壓。壓電式加速度傳感器51的壓電振動器52不是被殼體57支承，而是被基板襯底部56b支承并固定。因此，在殼體57的容納空間57a中收納基板56和壓電振動器52之前，只要組裝基板56和壓電振動器52就能夠進行動作確認檢查。此外，由于不需要在殼體57設(shè)置用于壓電振動器52彎曲的溝槽，因此能夠以沒有凹凸的平面狀形成殼體57的支承面57b。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠使殼體57的支承面57b的厚度變得更薄，能夠進一步減小殼體57。圖6和圖7表示第1和第2實施方式的變形例。本變形例的壓電振動器5 在與壓電陶瓷板53的極化方向正交的兩個主面上分別形成了由銀膏劑等構(gòu)成的上電極53a和下電極53b。壓電振動器5 不具備金屬板55，分別由基板襯底部56b支承并固定壓電振動器5 的長度方向兩端部分的下電極53b。S卩，壓電振動器52a的下電極5 經(jīng)由基板襯底部56b的導(dǎo)電部分，與基板電路部56a的放大電路等電連接。除了以上的結(jié)構(gòu)之外，壓電式加速度傳感器50a的結(jié)構(gòu)與壓電式加速度傳感器50相同。與壓電式加速度傳感器50同樣地，可以在殼體57中收容壓電式加速度傳感器50a來進行使用。例如，在提高輸出靈敏度并不是很重要，而是使殼體57小型化以及在被容納到殼體57之前進行動作確認檢查很重要的情況下，可以使用壓電式加速度傳感器50a。(變形例)可以對壓電式加速度傳感器50、壓電式加速度傳感器50a及壓電式加速度傳感器51進行各種變形。例如，基板56的形狀可以不是U字型，而是如圖8(a)所示那樣成為切除了四角形的一邊的一端部的L字型，并且以懸臂結(jié)構(gòu)支承壓電振動器(52、52a)。如圖8(b)所示，也可以將基板56的形狀設(shè)為切除了四角形的一邊的兩端部的T字型，并以中央支承結(jié)構(gòu)支承壓電振動器(52、52a)。特別是在使壓電式加速度傳感器50a變形而構(gòu)成為懸臂結(jié)構(gòu)或中央支承結(jié)構(gòu)的情況下，與雙支承梁結(jié)構(gòu)相比，能夠提高輸出靈敏度。除了以上的結(jié)構(gòu)之外，還可以對基板電路部56a和基板襯底部56b的形狀進行各種變形。此外，壓電振動器52并不限于單壓電晶片型，也可以是雙壓電晶片，或者也可以是其他形式。金屬板陽的形狀也不限于矩形狀，可以采用可支承壓電振動器52的各種形狀。壓電振動器52的支承結(jié)構(gòu)、金屬板55的厚度及尺寸等可基于所求出的輸出靈敏度、假定的使用頻帶、耐碰撞力等各種參數(shù)來選擇。(實施例)通過具體的例子說明本發(fā)明所涉及的壓電式加速度傳感器。(實施例1)制作圖6所示的壓電式加速度傳感器50a的一例，并將其收容在殼體57中。具體而言，以PZT為材料，制作了主面的長度L2為6. 0mm、寬度W2為2. 0mm、高度為0. 3mm的壓電陶瓷板53。在壓電陶瓷板53的一對主面上同樣地形成由銀構(gòu)成的上電極53a和下電極53b，由此制造了壓電振動器52a。進而，以氧化鋁為材料制造了厚度為0. 5mm的基板56。基板56的整體形成為U字形狀。詳細而言，在6. OmmX 3. Omm的矩形狀的基板電路部56a的兩端一體設(shè)置2. 5mmX0. 5mm的基板襯底部56b。在基板電路部56a上搭載利用了場效應(yīng)晶體管(FET)的普通電壓放大電路。在基板襯底部56b上設(shè)置連接端子，該連接端子與基板電路部56a的電壓放大電路電連接。接著，使用導(dǎo)電性粘結(jié)劑將壓電振動器52a粘接到基板襯底部56b，如圖6所示那樣構(gòu)成雙支承梁結(jié)構(gòu)。通過該粘接，電連接了基板襯底部56b的連接端子和壓電振動器52a的下電極53b。由以上的結(jié)構(gòu)支承的壓電振動器52a的諧振頻率約為65kHz。另外，利用焊料將導(dǎo)線59的一端連接到壓電振動器52a的上電極53a上，將另一端連接到基板電路部56a上，電連接了上電極53a和電壓放大電路。此外，采用焊料將作為一芯同軸電纜的輸出電纜60連接到基板電路部56a上。輸出電纜60是為了向電壓放大電路施加電源電流的同時輸出信號而使用的。最后，以奧氏體(austenite)不銹鋼(SUS304)為材料，制造了具有可容納基板56的尺寸的殼體57和殼體的蓋罩58。利用熱固性環(huán)氧樹脂將粘接固定了壓電振動器52的基板56粘接到殼體57上，向殼體57壓入殼體的蓋罩58而進行固定，從而制造了壓電式加速度傳感器。比較實施例1的壓電式加速度傳感器50a的基板襯底部56b的長度Ll和壓電振動器5 的寬度W2可知，Ll = 2. 5讓，W2 = 2. 0讓，Ll > W2的關(guān)系成立。(實施例2)制造圖1所示的壓電式加速度傳感器50的一例，并將其收容在殼體57中。具體而言，制作了由壓電陶瓷板53和金屬板55構(gòu)成的單壓電晶片型壓電振動器52。壓電陶瓷板53以PZT為材料，主面的長度L2為4. 5mm、寬度W2為2. 0mm、高度為0. 3mm。金屬板55以磷青銅為材料，主面的長度L3為6. 0mm、寬度W2為2. 0mm、高度為0. Imm0基板56的形狀等與實施例1相同。接著，使用導(dǎo)電性粘結(jié)劑將壓電振動器52粘接到基板襯底部56b，如圖1所示那樣構(gòu)成雙支承梁結(jié)構(gòu)。通過該粘接，電連接了基板襯底部56b的連接端子和壓電振動器52的金屬板55。由以上的結(jié)構(gòu)支承的單壓電晶片型壓電振動器52的諧振頻率約為55kHz。另外，與實施例1同樣地，連接了導(dǎo)線59和輸出電纜60。最后，以SUS304為材料，制造了具有可容納基板的尺寸的殼體57和殼體的蓋罩58。利用熱固性環(huán)氧樹脂將粘接固定了壓電振動器52的基板56粘接到殼體57，向殼體57壓入殼體的蓋罩58而進行固定，從而制造了壓電式加速度傳感器。比較實施例2的壓電式加速度傳感器50的基板襯底部56b的長度Ll和壓電振動器52的寬度W2可知，Ll = 2. 5mm、W2 = 2. 0mm, Ll > W2的關(guān)系成立。此外，比較壓電式加速度傳感器50的基板襯底部56b的寬度Wl、壓電振動器52的長度L2和金屬板55的長度L3 可知，Wl = 0. 5mm、L2 = 4. 5mm、L3 = 6. 0mm, (L3-L2) /2 > Wl 的關(guān)系成立。(比較例)
作為比較例，以與圖9所示的現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)的壓電式加速度傳感器91同樣的方式進行了制造。具體而言，與實施例1的壓電振動器52a同樣地制造了壓電振動器92。以氧化鋁為材料，制造了 6. OmmX 2. 5mm且厚度為0. 5mm的矩形基板96。在基板96上搭載利用了場效應(yīng)晶體管(FET)的普通電壓放大電路。另外，制造了殼體97。在殼體97的中央部為了壓電振動器92振動并在中央部彎曲而設(shè)置了殼體溝槽97b。利用粘結(jié)劑將壓電振動器92粘接到殼體97，構(gòu)成雙支承梁結(jié)構(gòu)。由以上的結(jié)構(gòu)支承的壓電振動器92的諧振頻率約為65kHz。另外，利用焊料，在基板96上連接了導(dǎo)線99a、導(dǎo)線99b和作為一芯同軸電纜的輸出電纜100。導(dǎo)線99a使壓電振動器92的上電極93a和電壓放大電路電連接，導(dǎo)線99b使壓電振動器92的下電極9 和電壓放大電路電連接。此外，輸出電纜100是為了向電壓放大電路施加電源電流的同時輸出信號而使用的。最后，以SUS304為材料，制造了具有可收容基板的尺寸的殼體97和殼體的蓋罩98。利用熱固性環(huán)氧樹脂將基板96粘接到殼體97，向殼體97壓入殼體的蓋罩98而進行固定，從而制造了壓電式加速度傳感器91。評價了實施例1、2和比較例的壓電式加速度傳感器的輸出靈敏度特性。具體而言，利用雙面膠，將分別制造的壓電式加速度傳感器固定到加振器上。向加振器輸入來自信號產(chǎn)生器的信號，從而產(chǎn)生規(guī)定的加速度，測量了此時來自各個壓電式加速度傳感器的輸出。另外，將搭載在各個壓電式加速度傳感器的基板上的電壓放大電路的放大率設(shè)定為相同的值。表1表示對實施例1、2和比較例的壓電式加速度傳感器的測量結(jié)果。表1
權(quán)利要求
1.一種壓電式加速度傳感器，其由壓電元件、金屬板和基板構(gòu)成，其中，所述壓電元件在規(guī)定方向被進行極化處理，所述基板具備基板電路部、和從所述基板電路部的端部突出的大致平面狀的基板襯底部，所述金屬板的一個板面被所述基板襯底部的一個面支承固定，在所述金屬板的另一個板面按照在所述規(guī)定方向上所述壓電元件和所述基板襯底部不會重疊的方式支承固定所述壓電元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式加速度傳感器，其中，沿著所述規(guī)定方向觀察時，所述金屬板按照因加速度而彎曲時不會與所述基板電路部接觸的程度位于與所述基板電路部遠離的位置處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電式加速度傳感器，其中，沿著所述規(guī)定方向觀察時，所述壓電元件按照因加速度而整體向同一方向彎曲的方式位于與所述基板襯底部遠離的位置處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，沿著所述規(guī)定方向觀察時的所述壓電元件與所述基板襯底部之間的間隔被設(shè)定為所述金屬板實質(zhì)上不會產(chǎn)生因加速度引起的無用振動的程度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，所述金屬板位于比所述基板襯底部的前端更靠所述基板電路部的一側(cè)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，兩個所述基板襯底部在同一平面上以相互平行的方式從所述基板電路部的端部突出，所述金屬板的所述一個板面的長度方向的兩端部分別被所述基板襯底部的所述一個面支承固定。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電式加速度傳感器，其中，沿著所述規(guī)定方向觀察時，所述基板襯底部各自與所述壓電元件之間的間隔大致相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，所述壓電元件和所述金屬板構(gòu)成單壓電晶片型壓電振動器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，所述壓電元件是雙壓電晶片型壓電振動器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9的任一項所述的壓電式加速度傳感器，其中，所述壓電式加速度傳感器還具備殼體，在所述殼體的內(nèi)部形成具有支承面的容納空間，所述基板襯底部的與支承所述金屬板的所述一個面在所述規(guī)定方向上相反一側(cè)的面，被所述支承面支承固定。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在電機械變換元件內(nèi)不會引起電荷的抵消且輸出靈敏度出色的壓電式加速度傳感器。由在規(guī)定方向上被進行極化處理的壓電元件、金屬板和基板構(gòu)成壓電式加速度傳感器?；寰邆浠咫娐凡?、和從基板電路部的端部突出的大致平面狀的基板襯底部。此外，在基板襯底部的一個面上支承并固定金屬板的一個板面，金屬板的另一個板面支承并固定壓電元件，以便在規(guī)定方向上不會使壓電元件和基板襯底部重疊。
文檔編號G01P15/09GK102576036SQ20108004509
公開日2012年7月11日 申請日期2010年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月7日
發(fā)明者齋藤益人 申請人:Nec東金株式會社