專利名稱：超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部所構(gòu)成的超聲波換能器(ultrasonic transducer)收發(fā)的超聲波，使構(gòu)造物或部件內(nèi)的缺陷、 空隙(void)、接合部的剝離等狀態(tài)可視化的超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法。
背景技術(shù)：
在以往的使用了由多個(gè)獨(dú)立并形成為矩陣狀或者一列的壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的超聲波檢查裝置中，一般設(shè)置有當(dāng)需要對一定范圍的檢查對象自動(dòng)進(jìn)行探傷時(shí)，在檢查對象面上驅(qū)動(dòng)超聲波換能器，對檢查對象進(jìn)行掃描的掃描機(jī)構(gòu)。掃描機(jī)構(gòu)采用具備X軸、Y軸、Z軸、或者根據(jù)需要具備A軸(繞X軸的旋轉(zhuǎn)軸)、B 軸(繞Y軸的旋轉(zhuǎn)軸)、C軸(繞Z軸的旋轉(zhuǎn)軸)等軸的正交機(jī)器人，或者基本構(gòu)成了臂機(jī)構(gòu)的工業(yè)用機(jī)器人等形成。由掃描機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)超聲波換能器的路徑需要將超聲波換能器的孔徑寬度作為1次的掃描寬度，基于檢查對象的形狀而預(yù)先生成。該生成的方法有根據(jù)檢查對象的形狀設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，使用計(jì)算機(jī)軟件預(yù)先生成的方法；以及實(shí)際移動(dòng)掃描機(jī)構(gòu)，來一點(diǎn)一點(diǎn)示教、登記路徑信息的方法。另外，還公知一種通過距離傳感器對距離的測定來取得檢查對象的實(shí)際形狀的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在超聲波檢查中，需要使超聲波換能器發(fā)送的超聲波按照與檢查對象面正交的方式入射。另外，還公知一種通過孔徑合成法來進(jìn)行探傷的超聲波檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)幻，在如此通過孔徑合成法進(jìn)行探傷的超聲波檢查裝置中，重要的是將超聲波換能器與檢查對象面的距離保持為一定。此外，還公知一種利用頻率不同的多個(gè)超聲波探頭，能夠降低超聲波的相互干擾，并同時(shí)檢查多個(gè)接合部位的狀態(tài)的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1日本特開昭63-309852號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2004-053360公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開平1H95276號(hào)公報(bào)在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，通過根據(jù)檢查對象的形狀設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，利用計(jì)算機(jī)軟件預(yù)先生成對超聲波換能器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的路徑的方法，能夠比較容易地生成路徑信息，但由于路徑信息基于理想的形狀設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，所以因加工精度會(huì)發(fā)生與實(shí)際的檢查對象形狀不一致。而且，在掃描機(jī)構(gòu)內(nèi)將檢查對象固定來進(jìn)行檢查，但在是復(fù)雜形狀的檢查對象的情況下，不容易以高的精度、高的再現(xiàn)性將其固定。另外，在實(shí)際移動(dòng)掃描機(jī)構(gòu)來一點(diǎn)一點(diǎn)示教、登記路徑信息的方法中，為了一點(diǎn)一點(diǎn)示教、登記路徑信息而需要大量的時(shí)間，尤其是在軸構(gòu)成復(fù)雜的掃描機(jī)構(gòu)的情況下，由于為了示教、登記路徑信息而需要非常復(fù)雜的順序、操作，所以示教、登記精密的路徑信息成為非常困難的作業(yè)。而且，即使在取得了形狀數(shù)據(jù)后，如果在掃描機(jī)構(gòu)內(nèi)不能精度良好地設(shè)置檢查對象，則也會(huì)發(fā)生路徑信息不一致。另外，在通過距離傳感器的距離測定來取得實(shí)際形狀的方法中，如果在取得了形狀數(shù)據(jù)后，不能在掃描機(jī)構(gòu)內(nèi)精度良好地設(shè)置檢查對象，則也會(huì)發(fā)生路徑信息不一致。如上述那樣，以往難以生成與現(xiàn)實(shí)的檢查對象的狀態(tài)完全一致的路徑信息。針對上述的課題，可以考慮下述的方法通過利用對超聲波換能器與檢查對象面的距離、傾斜進(jìn)行檢測(sensing)的功能、和控制超聲波換能器的致動(dòng)器功能，能夠自律地調(diào)整掃描機(jī)構(gòu)的路徑信息與現(xiàn)實(shí)的檢查對象之間存在的誤差因素。這里，在超聲波檢查中，為了從超聲波換能器向檢查對象物入射超聲波，或者利用超聲波換能器接收來自檢查對象物的超聲波回波，需要在超聲波換能器與檢查對象物之間夾設(shè)水等介質(zhì)。鑒于這樣的情況，超聲波檢查大多將超聲波換能器、檢查對象物沉浸到水中來進(jìn)行。對水中的超聲波檢查而言，作為用于使對超聲波換能器與檢查對象面的距離、或者傾斜進(jìn)行檢測的功能和超聲波換能器一體化的一個(gè)方法，可以考慮使用超聲波探頭作為距離或者傾斜檢測用的傳感器。超聲波探頭能夠在水中使用，易于選擇尺寸條件等適當(dāng)?shù)奶筋^。但是，在使用了超聲波探頭作為距離或者傾斜檢測用的傳感器時(shí)，由于使用與超聲波檢查時(shí)所使用的超聲波換能器相同的超聲波，所以在檢查用超聲波換能器與距離或者傾斜檢測用的超聲波探頭之間，有可能發(fā)生超聲波彼此的干擾。如果發(fā)生超聲波的干擾，則通過超聲波換能器而取得的檢查用數(shù)據(jù)、檢查用圖像會(huì)劣化，或者由超聲波探頭測定的檢查對象物與超聲波換能器之間的距離、傾斜的測定不能正確進(jìn)行。另外，在使用了多個(gè)超聲波探頭作為距離或者傾斜檢測用的情況下，有可能在該多個(gè)超聲波探頭間發(fā)生超聲波的干擾。如果發(fā)生這樣的超聲波干擾，則由超聲波探頭測定的檢查對象物與超聲波換能器之間的距離、傾斜的測定不能正確進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述的現(xiàn)有情況而提出，其目的在于，提供一種能夠高精度計(jì)測超聲波換能器與檢查對象面的距離、傾斜，可以進(jìn)行高品質(zhì)的檢查用數(shù)據(jù)、檢查用圖像的取得的超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法。本發(fā)明的一個(gè)方式涉及的超聲波檢查裝置，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，該超聲波檢查裝置中設(shè)置有基于距離計(jì)測用超聲波傳感器的檢測信號(hào)計(jì)算出上述超聲波換能器離上述檢測對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查裝置構(gòu)成為基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜，并且，在上述超聲波換能器不進(jìn)行超聲波收發(fā)的上述孔徑合成處理的執(zhí)行中，進(jìn)行上述距離計(jì)測用超聲波傳感器的超聲波收發(fā)中的至少一部分。本發(fā)明的另一方式涉及的超聲波檢查裝置，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備根據(jù)上述超聲波換能器的電信號(hào)計(jì)算出該超聲波換能器離上述檢查對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查裝置基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜。本發(fā)明的一個(gè)方式涉及的超聲波檢查方法，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，設(shè)置有基于距離計(jì)測用超聲波傳感器的檢測信號(hào)計(jì)算出上述超聲波換能器離上述檢測對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查方法基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜，并且，在上述超聲波換能器不進(jìn)行超聲波收發(fā)的上述孔徑合成處理的執(zhí)行中， 進(jìn)行上述距離計(jì)測用超聲波傳感器的超聲波收發(fā)中的至少一部分。本發(fā)明的另一方式涉及的超聲波檢查方法，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，根據(jù)上述超聲波換能器的電信號(hào)，計(jì)算出該超聲波換能器離上述檢查對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象面的傾斜，基于該計(jì)算結(jié)果來控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜。根據(jù)本發(fā)明，能夠高精度計(jì)測超聲波換能器與檢查對象面的距離、傾斜，可以進(jìn)行高品質(zhì)的檢查用數(shù)據(jù)、檢查用圖像的取得。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的整體概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的主要部分概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的超聲波發(fā)送定時(shí)的例子的圖。圖4是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的超聲波發(fā)送定時(shí)的例子的圖。圖5是表示第2實(shí)施方式中使用的超聲波的頻帶的例子的圖。圖6是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的主要部分概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖7是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的探傷裝置與距離計(jì)測裝置的構(gòu)成的框圖。圖8是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的主要部分概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖9是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的探傷裝置與距離計(jì)測裝置的構(gòu)成的框圖。圖中1…檢查對象，2…水槽，3…掃描機(jī)構(gòu)，3a···掃描機(jī)構(gòu)的X軸，3b···掃描機(jī)構(gòu)的Y軸，3c···掃描機(jī)構(gòu)的Z軸，4…帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器，5…超聲波換能器，5a···壓電變換部，6…探傷裝置，7a、7b…距離計(jì)測用超聲波傳感器，8a···傾斜控制用致動(dòng)器，8b···距離控制用致動(dòng)器，9…與掃描機(jī)構(gòu)的結(jié)合部，10···探傷信號(hào)，11···距離測定裝置，12…控制裝置，13…缺陷，14…超聲波換能器的探傷用超聲波信號(hào)，15a、15b···距離計(jì)測用超聲波信號(hào)，16...控制/圖像合成部，17…驅(qū)動(dòng)信號(hào)線，18…發(fā)送電路，19…回波信號(hào)線，20···接收電路，21…結(jié)合部，22…距離測定控制部，23…距離計(jì)測部，對…驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入部，25···距離計(jì)測用換能器驅(qū)動(dòng)信號(hào)線。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法的詳細(xì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是示意表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的機(jī)構(gòu)部的概略構(gòu)成的立體圖。如該圖所示，該超聲波檢查裝置的機(jī)構(gòu)部由設(shè)置有檢查對象1的水槽2、掃描機(jī)構(gòu)3、和被固定于構(gòu)成掃描機(jī)構(gòu)3的X軸3a、Y軸3b、Z軸3c中的Z軸3c的帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4。檢查對象1被淹沒在水槽2之中，帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4也局部沒于水中。(第1實(shí)施方式)圖2是示意表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的主要部分構(gòu)成、即圖1所示的帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4的概略的框圖。在該圖中，1是檢查對象，13是檢查對象1 的內(nèi)部的缺陷。超聲波檢查裝置用于檢查這樣的檢查對象1內(nèi)部的缺陷13等。如圖2所示，帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4具備由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部fe構(gòu)成的超聲波換能器5。該超聲波換能器5與探傷裝置6電連接。探傷裝置6驅(qū)動(dòng)超聲波換能器5使其發(fā)送超聲波，并通過超聲波換能器 5接收來自檢查對象物1內(nèi)部的缺陷的反射回波，基于孔徑合成處理進(jìn)行圖像化。而且，在超聲波換能器5的兩側(cè)端部設(shè)置有距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b。超聲波換能器5的上部連接著傾斜控制用致動(dòng)器8a。該傾斜控制用致動(dòng)器8a具有使超聲波換能器5以及距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b如圖中箭頭所示那樣，圍繞圖2中垂直的軸旋轉(zhuǎn)的功能。傾斜控制用致動(dòng)器8a的上部連接著距離控制用致動(dòng)器Sb。該距離控制用致動(dòng)器8b具有使超聲波換能器5、距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b與傾斜控制用致動(dòng)器8a如圖2中箭頭所示那樣沿上下方向移動(dòng)的功能，經(jīng)由與掃描機(jī)構(gòu)之間的結(jié)合部9而與圖1所示的掃描機(jī)構(gòu)3連接。另外，在本第1實(shí)施方式中，帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4具備距離測定裝置11、和控制裝置12。距離測定裝置11與來自探傷裝置6的探傷信號(hào)10同步地驅(qū)動(dòng)距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b，使其發(fā)送超聲波，并通過距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b 接收來自檢查對象1的表面的反射回波，來計(jì)測距離?？刂蒲b置12取入距離測定裝置11 的輸出，利用距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b獲得的2個(gè)距離測定結(jié)果，控制傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b，以使超聲波與檢查對象1的面正交，并且檢查對象1與超聲波換能器5的距離一定。此外，雖然在圖2中沒有圖示，但在結(jié)合部9之上設(shè)置有如前所述具有對超聲波換能器5、距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b、傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b —體驅(qū)動(dòng)并在檢查對象1上進(jìn)行掃描的功能的圖1所示的掃描機(jī)構(gòu)3。如圖1所示，在進(jìn)行檢查對象1的超聲波檢查的情況下，需要預(yù)先生成檢查用的路徑信息。根據(jù)該路徑信息，掃描機(jī)構(gòu)3沿著檢查對象的表面來驅(qū)動(dòng)帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4。在帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4中，如圖2所示，與由多個(gè)壓電變換部 5a構(gòu)成的探傷用超聲波換能器5鄰接設(shè)置有距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b。距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b基于與來自探傷裝置6的探傷信號(hào)10同步的距離測定裝置11的指令， 發(fā)送超聲波。然后，距離測定裝置11經(jīng)由距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b接收來自檢查對象1面的反射回波，計(jì)測從超聲波發(fā)送到接收的時(shí)間，從而計(jì)算出與檢查對象1面的距離。由距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b分別測定出的與超聲波換能器5的兩端部處的檢查對象1的2個(gè)距離數(shù)據(jù)，被從距離測定裝置11發(fā)送給控制裝置12?？刂蒲b置12根據(jù)由距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b測定出的超聲波換能器5的兩端部與檢查對象1之間的距離數(shù)據(jù)，計(jì)算出超聲波換能器5中心部與檢查對象1的距離1。、超聲波換能器5的傾斜
θ ο這里，如圖2所示，若將距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b各自的測定距離設(shè)為la、 lb，并將距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b間的距離設(shè)為Is，則超聲波換能器5中心部與檢查對象1的距離1。、超聲波換能器5的傾斜θ例如可以通過以下的式子求出。Ic= (la+lb)/2θ = tan^( (Ia-Ib)/ls)根據(jù)如此求出的距離、傾斜數(shù)據(jù)，控制裝置12控制傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b，將超聲波換能器5與檢查對象1的表面的距離控制為一定，并且，控制超聲波換能器5的傾斜，控制成超聲波與檢查對象1正交入射。由此，即便使掃描機(jī)構(gòu)3動(dòng)作的路徑信息存在誤差，也能夠進(jìn)行高精度的超聲波檢查。圖3是表示上述第1實(shí)施方式中的超聲波換能器5與距離計(jì)測用超聲波傳感器 7a、7b的超聲波發(fā)送定時(shí)的圖。在圖3中，橫軸是共用的時(shí)間軸，上段、中段、下段所表示的各波形沿著該時(shí)間軸同步。在第1實(shí)施方式中，利用孔徑合成法在檢查對象的內(nèi)部進(jìn)行三維圖像合成。在孔徑合成法中，由超聲波換能器5的多個(gè)壓電變換部fe依次產(chǎn)生超聲波，由多個(gè)壓電變換部 5a接收其回波波形，取得發(fā)送壓電變換部與接收壓電變換部的組合數(shù)量的回波波形(例如在壓電變換部如為64個(gè)的情況下，取得64X64 = 4096個(gè)回波波形)，通過使用其進(jìn)行孔徑合成運(yùn)算(孔徑合成處理)，來合成、取得檢查對象內(nèi)部的圖像。其中，在孔徑合成處理中如上述的專利文獻(xiàn)2所述那樣，將要進(jìn)行圖像化的區(qū)域網(wǎng)目化，針對這些網(wǎng)目化后的各區(qū)域分別預(yù)先計(jì)算反射回波的到達(dá)時(shí)間，并將這些網(wǎng)目化后的各區(qū)域的各反射回波的強(qiáng)度相加，合成三維圖像。圖3的上段所示的超聲波換能器的探傷用超聲波信號(hào)14，表示由多個(gè)壓電變換部 fe依次發(fā)送的超聲波，由發(fā)送壓電變換部與接收壓電變換部的組合數(shù)量的波形構(gòu)成。通過反復(fù)實(shí)施在該發(fā)送之后進(jìn)行孔徑合成運(yùn)算這一程序，來進(jìn)行檢查。在孔徑合成處理中，不進(jìn)行基于超聲波換能器5的超聲波收發(fā)。
圖3的中段所示的波形表示了從探傷裝置6向距離測定裝置11輸出的探傷信號(hào) 10的一個(gè)例子。在該例子中，設(shè)超聲波換能器5的超聲波發(fā)送中為“1”，非發(fā)送狀態(tài)下為 “0”。超聲波換能器5的由超聲波發(fā)送與孔徑合成構(gòu)成的1個(gè)單位的處理周期時(shí)間為Tl。圖3的下段所示的波形表示了距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b的超聲波發(fā)送定時(shí)的一個(gè)例子，與探傷信號(hào)10的下降同步，在孔徑合成時(shí)間中從距離計(jì)測用超聲波傳感器7a 發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a，從距離計(jì)測用超聲波傳感器7b發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)1 這兩個(gè)超聲波。距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b的發(fā)送周期T2為Tl的1/2，與探傷信號(hào)10的下降同步以一定時(shí)間的延遲Td發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a，在經(jīng)過T2后，發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15b。由此，可以使距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、Mb與超聲波換能器5的超聲波發(fā)送不干擾，能夠不產(chǎn)生基于超聲波換能器5的孔徑合成圖像的劣化地使用距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b。而且，由于在距離計(jì)測用超聲波傳感器7a與距離計(jì)測用超聲波傳感器7b之間、以及它們與超聲波換能器5之間不存在超聲波干擾，所以能夠總是進(jìn)行高精度的距離計(jì)測。 另外，能夠總是以一定的周期T2(同一信號(hào)的發(fā)送周期Tl = 2ΧΤ2)發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、15b，可以使傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b的被控制裝置12實(shí)施的控制穩(wěn)定且精度高。由此，對超聲波換能器5的多個(gè)壓電變換部fe進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波，通過由液體構(gòu)成的聲音傳播介質(zhì)，以高的精度傳播到由具有平面或者曲面邊界的一個(gè)或者多個(gè)具有不同聲音特性的層構(gòu)成的檢查對象1內(nèi)，而且，通過使多個(gè)壓電變換部如以高的位置精度接收來自缺陷13等的反射回波并能夠?qū)ζ溥M(jìn)行壓電變換，可提高檢查對象1內(nèi)部的基于孔徑合成而進(jìn)行的三維圖像合成的精度、可提高缺陷13的圖像化精度。(第2實(shí)施方式)圖4是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式涉及的超聲波換能器5與距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b的超聲波發(fā)送定時(shí)的圖。在圖4中，橫軸是共用的時(shí)間軸，上段、中段、下段所示的各波形沿著該時(shí)間軸同步。在該第2實(shí)施方式中，距離計(jì)測用超聲波傳感器7a所使用的超聲波的頻帶與第1 實(shí)施方式的情況不同。其他的裝置構(gòu)成與第1實(shí)施方式的情況相同。該第2實(shí)施方式主要對應(yīng)于在由超聲波換能器5的超聲波發(fā)送與孔徑合成處理構(gòu)成的1個(gè)單位的處理中孔徑合成處理所占據(jù)的的時(shí)間短的情況。在這樣的情況下，不能如第1實(shí)施方式那樣在孔徑合成處理時(shí)間內(nèi)發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、15b這2個(gè)信號(hào)，或者即使能夠發(fā)送周期也不一定，而且整體上冗長，造成距離計(jì)測精度、控制精度降低。為了應(yīng)對該情況，將距離計(jì)測用超聲波傳感器7a所使用的超聲波的頻帶，作為與超聲波換能器5所使用的超聲波的頻帶不同的頻帶，即使在超聲波換能器5的超聲波發(fā)送時(shí)，距離計(jì)測用超聲波傳感器7a也能夠發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào) 15a。圖4的上段所示的超聲波換能器的探傷用超聲波信號(hào)14，表示了從多個(gè)壓電變換部如依次發(fā)送的超聲波，由發(fā)送壓電變換部和接收壓電變換部的組合數(shù)量的波形構(gòu)成。通過反復(fù)實(shí)施在該發(fā)送之后進(jìn)行孔徑合成運(yùn)算這一程序，來進(jìn)行檢查。在孔徑合成處理中，不進(jìn)行基于超聲波換能器5的超聲波收發(fā)。在本實(shí)施方式中，孔徑合成處理時(shí)間與探傷用超聲波信號(hào)14的發(fā)送時(shí)間相比相對短。圖4的中段所示的波形表示了從探傷裝置6向距離測定裝置11輸出的探傷信號(hào) 10的一個(gè)例子。在該例子中，設(shè)超聲波換能器5的超聲波發(fā)送中為“1”，非發(fā)送狀態(tài)下為 “0”。超聲波換能器5的由超聲波發(fā)送與孔徑合成處理構(gòu)成的1個(gè)單位的處理周期時(shí)間為 Tl。圖4的下段所示的波形表示了距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b的超聲波發(fā)送定時(shí)的一個(gè)例子，與探傷信號(hào)10的上升同步，發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、15b。距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b的發(fā)送周期T2為Tl的1/2，與探傷信號(hào)10的上升同步以一定時(shí)間的延Td發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a，在該T2時(shí)間之后，發(fā)送距離計(jì)測用超聲波15b。距離計(jì)測用超聲波信號(hào)1 在與超聲波換能器5的超聲波發(fā)送相同的定時(shí)內(nèi)被發(fā)送，但由于各個(gè)超聲波的頻帶不同，所以不產(chǎn)生干擾。距離計(jì)測用超聲波傳感器7b的頻帶可以與超聲波換能器5、或者距離計(jì)測用超聲波7a相同，也可以不同。由此，在孔徑合成處理時(shí)間相對短的情況下，也能夠以不使計(jì)測精度降低的足夠的周期T2(同一信號(hào)的發(fā)送周期打=2ΧΤ2)發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、15b。圖5是第2實(shí)施方式涉及的超聲波信號(hào)的頻帶例的說明圖。在圖5中表示一個(gè)例子的超聲波信號(hào)的頻帶例中，如(1)所示，將距離計(jì)測用超聲波信號(hào)1 的頻帶設(shè)為比距離計(jì)測用超聲波信號(hào)1 低的頻帶，并且兩者的頻率成分不重合。超聲波換能器5的頻帶雖未圖示，但與距離測定用超聲波信號(hào)15b的頻帶相同。另外，如圖5( 所示，將距離測定裝置 11的接收頻帶改變成在距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a的輸入側(cè)、距離計(jì)測用超聲波信號(hào)1 的輸入側(cè)與各自的頻帶對應(yīng)。由此，在距離測定裝置11的距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a的輸入側(cè)，無法接收超聲波換能器5所發(fā)出的超聲波信號(hào)。并且，如圖5C3)所示，探傷裝置6的接收頻帶與超聲波換能器5對應(yīng)，無法接收距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a。在該第2實(shí)施方式中，與第1實(shí)施方式同樣，能夠使距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、 15b與超聲波換能器5的超聲波發(fā)送不干擾，可以不產(chǎn)生基于超聲波換能器5的孔徑合成圖像的劣化地使用距離計(jì)測用超聲波傳感器7a、7b，而且由于在距離計(jì)測用超聲波傳感器7a 與距離計(jì)測用超聲波傳感器7b之間、以及它們與超聲波換能器5之間不存在超聲波干擾， 所以能夠總是進(jìn)行高精度的距離計(jì)測。另外，能夠總是以一定的周期T2(同一信號(hào)的發(fā)送周期T1 = 2ΧΤ2)發(fā)送距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15a、15b，可以使傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b被控制裝置12實(shí)施的控制穩(wěn)定并且精度高。由此，與第1實(shí)施方式同樣，對超聲波換能器5的多個(gè)壓電變換部fe進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波，通過由液體構(gòu)成的聲音傳播介質(zhì)，以高的精度傳播到由具有平面或者曲面邊界的一個(gè)或者多個(gè)具有不同聲音特性的層構(gòu)成的檢查對象1內(nèi)，而且，通過使多個(gè)壓電變換部fe以高的位置精度接收來自缺陷13等的反射回波并能夠?qū)ζ溥M(jìn)行壓電變換，可提高檢查對象1內(nèi)部的基于孔徑合成而進(jìn)行的三維圖像合成的精度、可提高缺陷13的圖像化精度。不過，在第2實(shí)施方式中，能夠作為距離計(jì)測用超聲波傳感器7a而使用的超聲波傳感器受其使用的超聲波頻帶限制，而且，在距離測定裝置11、探傷裝置6中，需要設(shè)置用于只接收特定頻帶的超聲波信號(hào)的帶通濾波器等。(第3實(shí)施方式)圖6是示意表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的主要部分、即圖1所示的帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4的概略的圖。在該圖中，1是檢查對象， 13是檢查對象1的內(nèi)部的缺陷。超聲波檢查裝置用于檢查這樣的檢查對象1的內(nèi)部的缺陷 13。如圖6所示，帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4具備超聲波換能器5，該超聲波換能器5由多個(gè)獨(dú)立且形成為矩陣狀或者一列的壓電變換部如構(gòu)成。該超聲波換能器5與探傷裝置6電連接。探傷裝置6驅(qū)動(dòng)超聲波換能器5使其發(fā)送超聲波，并通過超聲波換能器5接收來自檢查對象物1內(nèi)部的缺陷等的反射回波，基于孔徑合成處理進(jìn)行圖像化。在本第3實(shí)施方式中，沒有在超聲波換能器5的兩側(cè)端部設(shè)置距離計(jì)測用超聲波傳感器。超聲波換能器5的上部連接有傾斜控制用致動(dòng)器8a。該傾斜控制用致動(dòng)器8a具有使超聲波換能器5如圖中箭頭所示那樣圍繞圖6中垂直的軸旋轉(zhuǎn)的功能。傾斜控制用致動(dòng)器8a的上部連接有距離控制用致動(dòng)器Sb。該距離控制用致動(dòng)器8b具有使超聲波換能器5和傾斜控制用致動(dòng)器8a如圖6中箭頭所示那樣，沿上下方向移動(dòng)的功能，通過與掃描機(jī)構(gòu)的結(jié)合部9，和圖1所示的掃描機(jī)構(gòu)3連接。另外，在本實(shí)施方式中，帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4具備距離測定裝置11、控制裝置12。距離測定裝置11與探傷裝置6電連接，來自探傷裝置6的探傷信號(hào) 10、和超聲波探傷器6使用超聲波換能器5收發(fā)的超聲波信號(hào)(驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17、回波信號(hào)線19)被取入到距離測定裝置11。由此，在距離計(jì)測用中也能使用超聲波換能器5?？刂蒲b置12取入距離測定裝置11的輸出，使用距離測定結(jié)果，控制傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b，以使超聲波與檢查對象1的表面正交，并且檢查對象1與超聲波換能器3 的距離一定。此外，雖然在圖6中沒有圖示，但在結(jié)合部9之上設(shè)置有如上述那樣對超聲波換能器5、傾斜控制用致動(dòng)器8a、距離控制用致動(dòng)器8b —體驅(qū)動(dòng)，具有在檢查對象1上進(jìn)行掃描的功能的圖1所示的掃描機(jī)構(gòu)3。圖7是表示本實(shí)施方式中的探傷裝置6、距離測定裝置11的功能構(gòu)成的框圖。如圖7所示，探傷裝置6由控制/圖像合成部16、驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17、發(fā)送電路18、回波信號(hào)線19、 接收電路20和結(jié)合部21構(gòu)成?？刂?圖像合成部16控制探傷裝置6整體，進(jìn)行超聲波的發(fā)送處理，接收處理，根據(jù)來自超聲波換能器5的回波信號(hào)，基于孔徑合成處理將檢查對象1內(nèi)圖像化。驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17由與超聲波換能器5的壓電變換部fe的數(shù)量相當(dāng)?shù)母鶖?shù)構(gòu)成，將控制/圖像合成部 16與發(fā)送電路18連接。發(fā)送電路18由與超聲波換能器5的壓電變換部fe的數(shù)量相當(dāng)?shù)碾娐窋?shù)構(gòu)成，生成超聲波換能器5的驅(qū)動(dòng)信號(hào)?；夭ㄐ盘?hào)線19由與超聲波換能器5的壓電變換部fe的數(shù)量相當(dāng)?shù)母鶖?shù)構(gòu)成，將控制/圖像合成部16與接收電路20連接。接收電路20由與超聲波換能器5的壓電變換部fe的數(shù)量相當(dāng)?shù)碾娐窋?shù)構(gòu)成，對超聲波換能器5接收到的回波信號(hào)進(jìn)行放大。結(jié)合部21 將發(fā)送電路18的輸出與接收電路20的輸入結(jié)合，與超聲波換能器5連接。距離測定裝置11由距離測定控制部22與距離計(jì)測部23構(gòu)成。距離測定控制部 22接收來自探傷裝置6的探傷信號(hào)10，以同步的狀態(tài)進(jìn)行距離測定裝置11的整體控制。距離計(jì)測部23從探傷裝置6的驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17與回波信號(hào)線19之中，取入對距離計(jì)測有效的例如與超聲波換能器5的兩端部相當(dāng)?shù)膲弘娫e的信號(hào)，并測定回波信號(hào)相對驅(qū)動(dòng)信號(hào)的時(shí)間延遲，來計(jì)測距離。在上述構(gòu)成的本第3實(shí)施方式中，距離測定控制部22根據(jù)探傷信號(hào)10檢測在距離計(jì)測中使用的壓電元件fe的收發(fā)定時(shí)，對距離計(jì)測部23進(jìn)行控制來進(jìn)行距離的測定，并將測定結(jié)果向控制裝置12輸出。由此，能夠?qū)z查對象1內(nèi)的圖像化所使用的超聲波換能器5的驅(qū)動(dòng)信號(hào)、回波信號(hào)自身作為距離計(jì)測用而使用，不需要另外設(shè)置距離計(jì)測專用的傳感器。而且，也不需要考慮使用超聲波探頭作為距離計(jì)測用傳感器的干擾問題。由此，與第1實(shí)施方式同樣，對超聲波換能器5的多個(gè)壓電變換部fe進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波，通過由液體構(gòu)成的聲音傳播介質(zhì)，以高的精度傳播到由具有平面或者曲面邊界的一個(gè)或者多個(gè)具有不同聲音特性的層構(gòu)成的檢查對象1內(nèi)，而且，通過使多個(gè)壓電變換部fe以高的位置精度接收來自缺陷13等的反射回波并能夠?qū)ζ溥M(jìn)行壓電變換，可提高檢查對象1內(nèi)部的基于孔徑合成而進(jìn)行的三維圖像合成的精度、可提高缺陷13的圖像化精度。(第4實(shí)施方式)圖8是示意表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式涉及的超聲波檢查裝置的主要部分、即圖 1所示的帶位置檢測和控制功能的超聲波換能器4的概略的圖。該圖在圖6中的探傷裝置 6與距離測定裝置11之間的超聲波信號(hào)(驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17、回波信號(hào)線19)協(xié)調(diào)的基礎(chǔ)上， 追加了距離測定用換能器驅(qū)動(dòng)信號(hào)線25，在超聲波換能器5不進(jìn)行檢查對象1的圖像化用的超聲波收發(fā)的時(shí)間(孔徑合成處理時(shí)間)，經(jīng)由距離測定用換能器驅(qū)動(dòng)信號(hào)線25驅(qū)動(dòng)超聲波換能器5，來進(jìn)行距離計(jì)測。圖9是表示本第4實(shí)施方式中的超聲波探傷器6、距離測定裝置11的功能構(gòu)成的框圖。在圖9中，探傷裝置6中除了圖7的構(gòu)成之外還設(shè)置有驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入部M，驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入部M被輸入來自距離測定裝置11的距離測定控制部22的距離計(jì)測用換能器驅(qū)動(dòng)信號(hào)線25。驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入部M具有將來自控制/圖像合成部16的驅(qū)動(dòng)信號(hào)線17的驅(qū)動(dòng)指令和來自距離測定裝置11的距離測定控制部22的距離計(jì)測用換能器驅(qū)動(dòng)信號(hào)線25的驅(qū)動(dòng)指令這兩者向發(fā)送電路18傳遞的功能。在上述構(gòu)成的本第4實(shí)施方式中，距離測定裝置11獨(dú)立驅(qū)動(dòng)超聲波換能器5，能夠計(jì)測距離或者傾斜。距離測定裝置11驅(qū)動(dòng)超聲波換能器5來計(jì)測距離的定時(shí)，是超聲波換能器5不進(jìn)行檢查對象1的圖像化用的超聲波收發(fā)的時(shí)間(孔徑合成處理時(shí)間)，與圖4 的說明中的距離計(jì)測用超聲波信號(hào)15b的發(fā)送定時(shí)相同。根據(jù)本第4實(shí)施方式的超聲波檢查裝置，能夠不設(shè)置獨(dú)立的距離計(jì)測用傳感器地利用超聲波換能器5的探傷用超聲波信號(hào)14，進(jìn)行距離計(jì)測、和孔徑合成處理時(shí)間定時(shí)下的距離計(jì)測雙方。而且，也不產(chǎn)生超聲波的干擾的問題。由此，能夠幾乎消除與距離計(jì)測用超聲波發(fā)送相關(guān)的制約。能夠總是以一定周期且不使計(jì)測精度降低的足夠的周期進(jìn)行距離的計(jì)測。由此，對超聲波換能器5的多個(gè)壓電變換部fe進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生的超聲波，通過由液體構(gòu)成的聲音傳播介質(zhì)，以高的精度傳播到由具有平面或者曲面邊界的一個(gè)或者多個(gè)具有不同聲音特性的層構(gòu)成的檢查對象1內(nèi)，而且，通過使多個(gè)壓電變換部如以高的位置精度接收來自缺陷13等的反射回波并能夠?qū)ζ溥M(jìn)行壓電變換，可提高檢查對象1內(nèi)部的基于孔徑合成而進(jìn)行的三維圖像合成的精度、可提高缺陷13的圖像化精度。綜上所述，在各實(shí)施方式中，當(dāng)使用了超聲波探頭作為對超聲波換能器離檢查對象面的距離或者相對檢查對象面的傾斜進(jìn)行檢測的傳感器時(shí)，能夠避免超聲波換能器發(fā)送的超聲波與檢測距離或者傾斜的超聲波的干擾，而且能夠總是以一定周期進(jìn)行距離或者傾斜的計(jì)測。由此，能以高的精度控制超聲波換能器相對檢查對象面的距離、傾斜，從而可以進(jìn)行高精度的超聲波檢查。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法能夠在各種構(gòu)造物或部件的制造領(lǐng)域等中利用。因此，具有工業(yè)上的可利用性。
權(quán)利要求
1.一種超聲波檢查裝置，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，該超聲波檢查裝置中設(shè)置有基于距離計(jì)測用超聲波傳感器的檢測信號(hào)計(jì)算出上述超聲波換能器離上述檢測對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查裝置構(gòu)成為基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜，并且，在上述超聲波換能器不進(jìn)行超聲波收發(fā)的上述孔徑合成處理的執(zhí)行中，進(jìn)行上述距離計(jì)測用超聲波傳感器的超聲波收發(fā)中的至少一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于，在上述超聲波換能器中設(shè)置有多個(gè)上述距離計(jì)測用超聲波傳感器， 并且，多個(gè)上述距離計(jì)測用超聲波傳感器中的至少一個(gè)是收發(fā)與上述超聲波換能器不同頻帶的超聲波的異頻帶的距離計(jì)測用超聲波傳感器，在上述超聲波換能器進(jìn)行超聲波收發(fā)時(shí)進(jìn)行該異頻帶的距離計(jì)測用超聲波傳感器的超聲波收發(fā)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于，使用上述超聲波換能器兩端部的壓電變換部作為上述距離計(jì)測用超聲波傳感器， 在上述孔徑合成處理的執(zhí)行中，上述距離測定裝置驅(qū)動(dòng)上述超聲波換能器，取得表示上述超聲波換能器離上述檢查對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的檢測信號(hào)，根據(jù)該取得的檢測信號(hào)計(jì)算出上述距離以及上述傾斜。
4.一種超聲波檢查裝置，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備根據(jù)上述超聲波換能器的電信號(hào)計(jì)算出該超聲波換能器離上述檢查對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查裝置基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超聲波檢查裝置，其特征在于，在上述超聲波換能器進(jìn)行檢查用的超聲波收發(fā)時(shí)，上述距離測定裝置利用該超聲波換能器的電信號(hào)進(jìn)行上述距離以及上述傾斜的計(jì)算，在上述超聲波換能器不進(jìn)行檢查用的超聲波收發(fā)時(shí)，上述距離測定裝置驅(qū)動(dòng)上述超聲波換能器來取得電信號(hào)，根據(jù)該取得的電信號(hào)計(jì)算出上述距離以及上述傾斜。
6.一種超聲波檢查方法，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，設(shè)置基于距離計(jì)測用超聲波傳感器的檢測信號(hào)計(jì)算出上述超聲波換能器離上述檢測對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象的表面的傾斜的距離測定裝置，該超聲波檢查方法基于上述距離測定裝置的計(jì)算結(jié)果，控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜，并且，在上述超聲波換能器不進(jìn)行超聲波收發(fā)的上述孔徑合成處理的執(zhí)行中，進(jìn)行上述距離計(jì)測用超聲波傳感器的超聲波收發(fā)中的至少一部分。
7.一種超聲波檢查方法，對由排列成矩陣狀或者一列且分別獨(dú)立形成的多個(gè)壓電變換部構(gòu)成的超聲波換能器的上述壓電變換部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過接收從被驅(qū)動(dòng)的上述壓電變換部發(fā)出的超聲波的來自檢查對象的反射回波，對多個(gè)上述壓電變換部所產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)行孔徑合成處理，從而合成上述檢查對象的內(nèi)部的三維圖像，其特征在于，根據(jù)上述超聲波換能器的電信號(hào)，計(jì)算出該超聲波換能器離上述檢查對象的表面的距離以及相對于上述檢查對象面的傾斜，基于該計(jì)算結(jié)果來控制上述超聲波換能器相對于上述檢查對象的距離以及傾斜。
全文摘要
本發(fā)明涉及超聲波檢查裝置以及超聲波檢查方法。對超聲波換能器(5)設(shè)置有用于檢測其離檢查對象(1)的表面的距離以及相對檢查對象(1)的表面的傾斜的距離計(jì)測用超聲波傳感器(7a、7b)，基于距離計(jì)測用超聲波傳感器(7a、7b)檢測出的信息，控制超聲波換能器(5)相對檢查對象(1)的距離以及傾斜，并且，在超聲波換能器(5)不進(jìn)行收發(fā)的孔徑合成處理的執(zhí)行中，進(jìn)行距離計(jì)測用超聲波傳感器(7a、7b)的超聲波收發(fā)中的至少一部分。
文檔編號(hào)G01N29/26GK102369433SQ20108001537
公開日2012年3月7日 申請日期2010年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月2日
發(fā)明者山根憲幸, 新井良一, 池田賢弘, 磯部英夫 申請人:株式會(huì)社東芝