專利名稱：雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及超短激光脈沖測量技術(shù)領(lǐng)域。
飛秒激光是近年來發(fā)展極為迅速的技術(shù)科學(xué)之一，由于其獨(dú)一無二的超短時(shí)間特性，因此它不僅是人們?cè)跁r(shí)間范疇取得發(fā)現(xiàn)的重要工具，而且有著極強(qiáng)的應(yīng)用擴(kuò)展性和學(xué)科開創(chuàng)性。
目前，人們借助于脈沖壓縮技術(shù)在實(shí)驗(yàn)室所能獲得的最短脈沖寬度已接近4fs(1fs＝10-15秒)，在光學(xué)波段對(duì)應(yīng)著僅約兩個(gè)光周期的時(shí)間寬度，這一革命性的進(jìn)展除了為人們提供最尖端的技術(shù)手段外，同時(shí)也對(duì)光及物質(zhì)結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步認(rèn)識(shí)提出了挑戰(zhàn)，成為世紀(jì)之交最具有突破性的重要進(jìn)展之一。
實(shí)際上飛秒激光研究和應(yīng)用的突飛猛進(jìn)主要得益于飛秒技術(shù)最主要的兩個(gè)方面——即飛秒激光的產(chǎn)生技術(shù)和飛秒診斷技術(shù)。從某種意義上講，飛秒診斷技術(shù)對(duì)于飛秒激光產(chǎn)生技術(shù)的進(jìn)展具有一定的先導(dǎo)作用，如目前飛秒激光的最短結(jié)果正是在最新的FROG技術(shù)對(duì)脈沖各種信息的準(zhǔn)確診斷的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)的(文獻(xiàn)1，OptLett.，Vol.25，NO.19，2000，1478)?？梢哉f，沒有完善先進(jìn)的診斷技術(shù)作基礎(chǔ)，產(chǎn)生技術(shù)是難以向前邁進(jìn)的。在飛秒激光產(chǎn)生的高次諧波研究中，盡管很多人相信存在著阿秒脈沖，但由于迄今尚未有可行并令人信服的測量方法，由此無法進(jìn)行實(shí)質(zhì)性的認(rèn)識(shí)，從而仍徘徊在阿秒世界的大門之外。
由于飛秒激光診斷技術(shù)的重要性，早在激光問世不久，人們即開始了各種測量技術(shù)的探索研究，并提出了許多直接或間接的測量方案(文獻(xiàn)2，IEEE Journal of Quantum Electronics，Vol.35，NO.4，1999，501)。在傳統(tǒng)的各種方法中，二次相關(guān)法由于簡單實(shí)用及極高的測量分辨率，一直是人們用以測量超短激光脈寬的最主要手段，并先后衍生發(fā)展了共線強(qiáng)度相關(guān)法(文獻(xiàn)3，Applied Optics，Vol.36，NO.12，1997，2523)、非共線強(qiáng)度相關(guān)法、共線干涉相關(guān)法、非共線單次測量法等各種不同的方案，基于這些原理基礎(chǔ)，許多公司開發(fā)生產(chǎn)了多種不同設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，成為人們進(jìn)一步研究飛秒激光的重要工具。但迄今為止，這些產(chǎn)品基本上均只有上述方法中單一的功能，而通常這些功能往往僅適用于特定的應(yīng)用對(duì)象，如強(qiáng)度相關(guān)法一般僅適用于脈寬大于20fs的對(duì)象，對(duì)于更窄的飛秒光脈沖，必須采用精度更高的干涉相關(guān)法才能提供令人信服的結(jié)果；干涉相關(guān)法只能測量高重復(fù)頻率的振蕩器、腔倒空器件等飛秒光源的輸出脈沖，對(duì)于目前廣泛研究的重復(fù)率10Hz的飛秒放大激光，干涉相關(guān)法就顯得無能為力了，這種情況下就需用非共線強(qiáng)度相關(guān)測量或單次測量。雖然近年來出現(xiàn)的FROG(Frequency-Resolved Optical Gating)、SPIDER(Spectral Phase Interferometry for Direct Electric-field Reconstruction)等新技術(shù)由于能提供飛秒脈沖較全面的信息而成為熱門的測量研究內(nèi)容，但FROG僅能測量放大飛秒脈沖，SPIDER不能直接測得脈寬。故發(fā)展具有多用途、高可靠性、結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用的測量方法仍具有重要的意義。
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有飛秒激光相關(guān)測量儀功能單一、應(yīng)用范圍有限的不足，提供一種具有干涉及強(qiáng)度雙測量功能的超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，它不僅可以滿足不同情況下的測量要求，而且能夠通過比較兩種方法的結(jié)果及相互校正，實(shí)現(xiàn)飛秒脈沖、特別是極短飛秒脈沖的精確測量。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型是在Mach-Zehnder型邁克爾遜干涉儀(見

圖1)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，通過線性平移一臂或線性振動(dòng)另一臂來實(shí)現(xiàn)。
圖1中M1和M2為全反鏡，SP為半透半反分束鏡，G為補(bǔ)償玻璃板，L為聚焦透鏡，P為觀察板。入射光被分束鏡SP分成互相垂直的兩束光波，它們分別被M1和M2反射后再回到分束鏡。從M1返回并透過SP的光和從M2返回又被SP反射的光重合在一起射向透鏡L，在透鏡的焦平面上迭加，形成干涉條紋。分束鏡SP是由一定厚度的玻璃板在其一面上鍍以薄薄的一層膜構(gòu)成，射向M2的光束向后三次通過玻璃板才到達(dá)L，而射向M1的光束反射的L前只通過玻璃板一次，當(dāng)光通過玻璃板時(shí)引進(jìn)較大的光程差，所以，在射向M1的光路中加上一片和SP的材料及厚度完全相同的玻璃板G，它與SP平行放置。這樣，兩路光都三次通過厚度完全相同的玻璃板。
本實(shí)用新型的相關(guān)干涉儀的各元件特征為(見圖2)01、0245°角入射的石英寬帶超薄半透半反分束鏡，典型條件為口徑25mm、厚度1～2mm、材料熔石英，鍍有對(duì)700～900nm波段半透半反的介質(zhì)膜或金屬Cr膜；03、06直角反射角錐，由兩片呈直角放置的平面鍍膜反射鏡組成，典型尺寸為25×5mm，其中03置于步進(jìn)電機(jī)15上，06置于位移振動(dòng)器16上，位移振動(dòng)器典型的為喇叭或壓電陶瓷(PZT)，步進(jìn)電機(jī)采用細(xì)分電路，提高了測量的精度和分辨率，該電機(jī)每步的轉(zhuǎn)角為0.18°，移動(dòng)桿的螺紋間距為0.5mm，因此每步的位移量為0.25μm，對(duì)應(yīng)著1.2fs的分辨率；04、0545°角入射的平面鍍膜反射鏡，典型尺寸為25×5mm；07、08平凹鍍膜反射鏡，典型的曲率半徑為10cm、尺寸25×5mm；09非線性倍頻晶體，典型如BBO，典型尺寸為4×4×0.02mm，29°切割；10光欄，典型的通光口徑為2mm；
11低通濾光片，典型的通光中心波長為400nm；12相關(guān)信號(hào)探測器，典型的為光電倍增管(如日本濱松公司1P-21)或光電二極管(如日本濱松公司G-1115)；13電腦監(jiān)視器，典型的帶有DS2116采集卡，可讀取探測器產(chǎn)生的信號(hào)，測量程序用VB編寫；14驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)。
本實(shí)用新型的構(gòu)造及工作過程以共線干涉為例來說明(見圖2)首先，待測的飛秒激光脈沖以45°角入射到半透半反的石英分束鏡01后，被分為強(qiáng)度相等而方向互相垂直的兩束光(反射光及透射光)；該兩束光再分別以45°角入射到直角角錐型平面反射鏡03和06，其中直角反射角錐03置于步進(jìn)電機(jī)15上，06置于位移振動(dòng)器16上；經(jīng)反射后的兩束光以45°角入射到與分束鏡01完全相同但鍍膜面相反放置(以補(bǔ)償兩束光之間的光程差)的石英分束鏡02上，沿與入射光垂直的方向調(diào)節(jié)位移振動(dòng)器使兩束光在分束鏡02上完全重合于同一點(diǎn)，進(jìn)而調(diào)節(jié)01和02使兩束經(jīng)兩次半反半透后的光在空間處處重合成為共線光；經(jīng)過分束鏡02后重合的光再分別以45°角入射到平面反射鏡04及05上；而后反射光以小角度入射到平凹鍍膜反射鏡08上進(jìn)行反射聚焦；在平凹鏡08的焦點(diǎn)上放置非線性倍頻晶體09，以保證高倍頻效率的獲得，調(diào)節(jié)倍頻晶體09的方位，實(shí)現(xiàn)相位匹配；使倍頻后的相關(guān)信號(hào)經(jīng)過另一平凹反射鏡07準(zhǔn)直，安置07以使倍頻晶體09在其焦點(diǎn)位置；經(jīng)平凹反射鏡07的光通過光欄10及低通濾波片11，進(jìn)入信號(hào)探測器12進(jìn)行測量，光欄10、低通濾波片11分別用于截止兩自倍頻光及濾除余留的基頻光，探測器12的放置為使其接收窗口對(duì)準(zhǔn)倍頻光信號(hào)為準(zhǔn)；測量時(shí)，需沿入射光方向移動(dòng)載有直角角錐03的步進(jìn)電機(jī)15或載有直角角錐06的位移振動(dòng)器16來實(shí)現(xiàn)兩束光的相對(duì)時(shí)間延時(shí)為零(即使兩個(gè)光脈沖在時(shí)間及空間上完全重合)，這可以通過在探測器中是否觀察到除兩束光各自的倍頻光之外的第三個(gè)更亮的倍頻光來證明，該第三束倍頻光即為相關(guān)信號(hào)；進(jìn)一步調(diào)節(jié)步進(jìn)電機(jī)或位移振動(dòng)器，以及08、09，優(yōu)化延時(shí)及兩束光在晶體09中的重合，直到該倍頻光最強(qiáng)為止；然后由電腦監(jiān)視器13接收探測器的輸出信號(hào)，并接通驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)14，均勻改變兩束光之間的光學(xué)延時(shí)，即可在電腦監(jiān)視器上觀察并紀(jì)錄光線隨時(shí)間變化的相關(guān)曲線，驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)14分別與電腦監(jiān)視器13、步進(jìn)電機(jī)15及位移振動(dòng)器16相連。
本實(shí)用新型還可以用于非共線干涉測量，此時(shí)需沿與入射方向垂直的方向移動(dòng)位移振動(dòng)器16，使經(jīng)過兩個(gè)直角角錐的光在通過分束鏡02及以后的各元件時(shí)在空間上處處分開。
本實(shí)用新型還可以在非線性倍頻晶體09處，采用具有雙光子效應(yīng)的光電二極管(如日本濱松公司的G1115、G1116)作為探測元件，從而省略倍頻晶體09、平凹鏡07、光欄10、低通濾波片11及相關(guān)信號(hào)探測器12，直接將光電二極管的輸出端接到電腦監(jiān)視器13上。調(diào)節(jié)時(shí)間延時(shí)為零并觀察到敏感的干涉條紋后，啟動(dòng)載有角錐06的位移振動(dòng)器16，使其以10Hz左右的重復(fù)頻率往復(fù)振動(dòng)，則可在電腦監(jiān)視器上觀察并紀(jì)錄到反映脈沖實(shí)際寬度的相關(guān)干涉條紋。
由于兩臂光路分別采用了步進(jìn)電機(jī)及位移振動(dòng)器，所以既可以通過控制步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行強(qiáng)度自相關(guān)測量，也可以通過位移振動(dòng)器實(shí)現(xiàn)干涉自相關(guān)測量。兩者轉(zhuǎn)化僅需通過與振動(dòng)方向(圖中箭頭方向)垂直移動(dòng)位移振動(dòng)器即可。
由于采用了獨(dú)特的光路折疊設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型為目前飛秒測量器件中體積較小的實(shí)用產(chǎn)品之一，整體尺寸僅350×250×160mm。
由于采用了半透半反的金屬分割鏡后，本實(shí)用新型的適用波長范圍可從400nm覆蓋到近紅外的波段，解決了許多產(chǎn)品只能測量單一類型脈沖的缺點(diǎn)。
本實(shí)用新型功能齊全，測量方便，體積小巧緊湊，便于拆卸，所適用的波長范圍寬。既可進(jìn)行強(qiáng)度自相關(guān)測量，也可實(shí)現(xiàn)條紋分辨的干涉自相關(guān)測量，兩者轉(zhuǎn)化簡易方便。兩種測量方法還可相互校準(zhǔn)，保證了測量的精確性(分辨率為1.2fs)和可靠性?？膳c眾多激光產(chǎn)品配合使用。本實(shí)用新型測量范圍廣，不僅可用于振蕩器的測量，而且也可用于放大脈沖的測量。本實(shí)用新型適用于不同重復(fù)頻率的激光光源(從10Hz到100MHz以上)。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明圖1為邁克爾遜干涉儀示意圖，圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實(shí)用新型的實(shí)物照片，圖4為本實(shí)用新型飛秒放大脈沖的強(qiáng)度自相關(guān)曲線，圖5為本實(shí)用新型飛秒振蕩器激光脈沖的干涉自相關(guān)曲線。
實(shí)施例1非共線強(qiáng)度相關(guān)測量按圖2安裝一個(gè)超短激光脈沖自相關(guān)測量儀。
首先調(diào)節(jié)待測超短激光脈沖的入射方向，使其以45°角入射到50％的分束鏡01上(01的口徑為25mm、厚度為1～2mm、材料熔石英，鍍有對(duì)700～900nm波段半透半反的金屬Cr膜)。從而分為強(qiáng)度相等方向垂直的透射光束及反射光束。該兩束光分別以45°角通過直角角錐06及03的反射后，分別入射到與01完全相同、但鍍膜面相反放置的50％分束鏡02上，經(jīng)02再次反射和透射后，成為各經(jīng)同樣透射和反射的一對(duì)平行光入射到鍍金反射鏡04和05。其中03置于步進(jìn)電機(jī)上，06置于壓電陶瓷上。沿入射光方向移動(dòng)03或06(圖2中箭頭方向)，即可實(shí)現(xiàn)上述兩束光之間的相對(duì)延時(shí)為零。使經(jīng)過04、05的平行反射光以小角度入射到08上，08是曲率半徑為10cm的平凹鍍金反射鏡，用于聚焦上述平行光束，并到達(dá)非線性倍頻晶體09以產(chǎn)生高效率的相關(guān)倍頻信號(hào)。調(diào)節(jié)凹面鏡08的位置，使兩束平行光在倍頻晶體09內(nèi)聚焦重合。調(diào)節(jié)倍頻晶體09的方位，實(shí)現(xiàn)相位匹配。此時(shí)，除了兩束光各自的倍頻信號(hào)外，還將在中間位置出現(xiàn)另一束較強(qiáng)的相關(guān)倍頻信號(hào)。進(jìn)一步優(yōu)化調(diào)節(jié)直角角錐及平凹鏡，使該信號(hào)至最大值，然后使該信號(hào)通過另一與08完全相同的凹面鍍金鏡07(09仍在此07的焦點(diǎn)上)，準(zhǔn)直反射相關(guān)倍頻光至光欄10及低通濾波片11，經(jīng)截至剩余的基頻光及兩邊的自倍頻光后，相關(guān)倍頻信號(hào)即進(jìn)入到光電倍增管12，并轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電信號(hào)輸入到電腦監(jiān)視器13中以被測量觀察。啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)14，均勻改變兩束光之間的光學(xué)延時(shí)，即可在電腦監(jiān)視器上觀察并紀(jì)錄到與激光實(shí)際脈沖成正比的相關(guān)曲線，標(biāo)定后即可直接讀出脈沖的寬度。圖4為測量得到的反映放大脈沖激光脈寬的強(qiáng)度自相關(guān)曲線。
實(shí)施例2共線干涉相關(guān)測量同實(shí)施例1，將待測的超短激光脈沖經(jīng)分束鏡01分為強(qiáng)度相等方向垂直的兩束光(01鍍有對(duì)700～900nm波段半透半反的介質(zhì)膜)，通過直角角錐03和06延時(shí)(將03置于步進(jìn)電機(jī)、06置于喇叭上)入射到與01相同的分束鏡02上。沿與入射光垂直的方向調(diào)節(jié)角錐06，使兩束光在02上完全重合于同一點(diǎn)，進(jìn)而調(diào)節(jié)01和02使兩束經(jīng)兩次半反半透后的光在空間處處重合成為共線光。精密調(diào)節(jié)步進(jìn)電機(jī)或喇叭的位置，使兩束光的相對(duì)延時(shí)為零，此時(shí)即可在探測器的光屏上觀察到敏感的干涉條紋。同實(shí)施例1，經(jīng)凹面鏡08聚焦到BBO倍頻晶體09，并經(jīng)凹面鏡07準(zhǔn)直、經(jīng)光欄10及濾波片11截止基頻光、經(jīng)光電二極管12探測接收后，則可在電腦監(jiān)視器上觀察到倍頻相關(guān)信號(hào)。啟動(dòng)壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)，使壓電陶瓷以10Hz左右的重復(fù)率改變位移伸長量，即可顯示并紀(jì)錄到反映脈沖寬度的相關(guān)干涉條紋。
實(shí)施例3共線干涉相關(guān)測量與實(shí)施例2基本相同，但在倍頻晶體09處采用具有雙光子效應(yīng)的光電二極管(如日本濱松公司的G1115、G1116)作為探測元件，省略倍頻晶體09、凹面鏡07、光欄10、低通濾波片11及相關(guān)信號(hào)探測器12，直接將光電二極管09的輸出端接到電腦監(jiān)視器13上。當(dāng)調(diào)節(jié)延時(shí)為零并觀察到敏感的干涉條紋后，啟動(dòng)壓電陶瓷06，使其以10Hz左右的重復(fù)頻率往復(fù)振動(dòng)，則可在電腦監(jiān)視器上觀察并紀(jì)錄到反映脈沖實(shí)際寬度的相關(guān)干涉條紋。
權(quán)利要求1.一種雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于由以下各元件組成(01)、(02)為45°角入射的石英寬帶超薄半透半反分束鏡，鍍有對(duì)700～900nm波段半透半反的介質(zhì)膜或金屬膜；(03)、(06)為直角反射角錐，由兩片呈直角放置的平面鍍膜反射鏡組成；(04)、(05)為45°角入射的平面鍍膜反射鏡；(07)、(08)為平凹鍍膜反射鏡；(09)為非線性倍頻晶體；(10)為光欄；(11)為低通濾光片；(12)為相關(guān)信號(hào)探測器；(13)為電腦監(jiān)視器；(14)為驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)；步進(jìn)電機(jī)(15)；位移振動(dòng)器(16)；其構(gòu)造及安裝過程如下；(1)待測飛秒激光脈沖以45°角入射到分束鏡(01)后，被分為強(qiáng)度相等而方向互相垂直的反射光及透射光；(2)該兩束光再分別以45°角入射到直角角錐型平面反射鏡(03)和(06)，其中角錐(03)置于步進(jìn)電機(jī)(15)上，角錐(06)置于位移振動(dòng)器(16)上；(3)經(jīng)角錐反射后的兩束光分別以45°角入射到與分束鏡(01)完全相同但鍍膜面相反放置的分束鏡(02)上；(4)沿與入射光垂直的方向調(diào)節(jié)位移振動(dòng)器(16)使兩束光在分束鏡(02)上完全重合于同一點(diǎn)，進(jìn)而調(diào)節(jié)(01)和(02)使兩束經(jīng)兩次半反半透后的光在空間處處重合；(5)經(jīng)過分束鏡(02)后重合的光再分別以45°角入射到平面反射鏡(04)及(05)上；(6)然后，反射光以小角度入射到平凹鍍膜反射鏡(08)上；(7)在平凹鏡(08)的焦點(diǎn)上放置非線性倍頻晶體(09)，并調(diào)節(jié)倍頻晶體(09)的方位實(shí)現(xiàn)相位匹配；(8)倍頻后的相關(guān)信號(hào)經(jīng)過另一平凹反射鏡(07)，同樣，安置(07)以使倍頻晶體(09)在其焦點(diǎn)位置；(9)通過反射鏡(07)的光再穿過光欄(10)及低通濾波片(11)，而進(jìn)入信號(hào)探測器(12)，探測器(12)的放置以使其接收窗口對(duì)準(zhǔn)倍頻光信號(hào)為準(zhǔn)；(10)測量時(shí)，沿入射光方向移動(dòng)載有直角角錐(03)的步進(jìn)電機(jī)(15)或載有直角角錐(06)的位移振動(dòng)器(16)來實(shí)現(xiàn)兩束光的相對(duì)時(shí)間延時(shí)為零，這可以通過在探測器中是否觀察到除兩束光各自的倍頻光之外的第三個(gè)更亮的倍頻光來證明，該第三束倍頻光即為相關(guān)信號(hào)；(11)進(jìn)一步調(diào)節(jié)步進(jìn)電機(jī)(15)或位移振動(dòng)器(16)，以及(08)、(09)，優(yōu)化延時(shí)及兩束光在晶體(09)中的重合，直到該倍頻光最強(qiáng)為止；(12)然后由電腦監(jiān)視器(13)接收探測器的輸出信號(hào)，并接通驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)(14)，均勻改變兩束光之間的光學(xué)延時(shí)，即可在電腦監(jiān)視器上觀察并紀(jì)錄光線隨時(shí)間變化的相關(guān)曲線，其中驅(qū)動(dòng)電源系統(tǒng)(14)分別與電腦監(jiān)視器(13)、步進(jìn)電機(jī)(15)及位移振動(dòng)器(16)相連。
2.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于所述的分束鏡(01)、(02)的厚度為1～2mm、材料熔石英，鍍有對(duì)700～900nm波段半透半反的Cr膜。
3.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于所述的位移振動(dòng)器為喇叭或壓電陶瓷(PZT)。
4.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于所述的非線性倍頻晶體(09)為BBO，尺寸為4×4×0.02mm，29°切割。
5.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于所述的相關(guān)信號(hào)探測器(12)為光電倍增管或光電二極管。
6.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于還可以改變安裝過程(4)為沿與入射方向垂直的方向調(diào)節(jié)位移振動(dòng)器(16)，使經(jīng)過兩個(gè)直角角錐的光在通過分束鏡02及以后的各元件時(shí)在空間上處處分開。
7.按權(quán)利要求1所述的雙功能小型超短激光脈沖自相關(guān)測量儀，其特征在于還可以在非線性倍頻晶體(09)處，以光電二極管替換非線性倍頻晶體，同時(shí)省略平凹鏡(07)、光欄(10)、低通濾波片(11)及相關(guān)信號(hào)探測器(12)，直接將光電二極管的輸出端接到電腦監(jiān)視器(13)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及超短激光脈沖測量技術(shù)領(lǐng)域。提供一種具有干涉及強(qiáng)度雙測量功能的超短激光脈沖自相關(guān)測量儀,本實(shí)用新型的目的是通過在邁克爾遜干涉儀結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,線性平移一臂或線性振動(dòng)另一臂實(shí)現(xiàn)的。本實(shí)用新型功能齊全,測量方便,體積小巧緊湊,便于拆卸,所適用的波長范圍寬,可與眾多激光產(chǎn)品配合使用,適用于不同重復(fù)頻率的激光光源。本實(shí)用新型的干涉與強(qiáng)度兩種測量方法可相互校準(zhǔn),保證了測量的精確性和可靠性。
文檔編號(hào)G01J11/00GK2519256SQ0220259
公開日2002年10月30日 申請(qǐng)日期2002年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月29日
發(fā)明者魏志義, 王兆華, 邱陽, 張 杰 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院物理研究所