一種低溫高速脈沖閥裝置制造方法
【專利摘要】一種低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于：所述的低溫高速脈沖閥裝置，包括前端蓋、閥體、壓電陶瓷片、密封墊片、壓力陶瓷支架、接線柱和進氣管；其中：前端蓋位于閥體前部，可拆卸或固定連接，閥體上部連有壓力陶瓷支架、一個接線柱和一個進氣管，壓力陶瓷支架上固定有1個密封墊片和壓電陶瓷片。本實用新型的有益效果是：本實用新型所述的低溫高速脈沖閥裝置，利用壓電陶瓷高速的電能-機械能轉(zhuǎn)換特性，使閥門的開關(guān)速度達到每秒鐘上千次，同時利用進氣管輸入液氮，使閥體內(nèi)部保持70K的低溫環(huán)境，提高實驗結(jié)果的精確度。
【專利說明】一種低溫高速脈沖閥裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于氣壓控制【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種低溫高速脈沖閥裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在很多物理實驗儀器中需要將樣品的載氣以很窄的高壓氣體脈沖，約50-100US，釋放到真空腔體里，但現(xiàn)有的電磁閥由于其機械特性不能達到更高的開關(guān)速度，影響實驗結(jié)果的精確度。另外，有些實驗還需要在較低的溫度下進行。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是，為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種低溫高速脈沖閥
>J-U ρ?α裝直。
[0004]本實用新型提供了一種低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的低溫高速脈沖閥裝置，包括前端蓋1、閥體2、壓電陶瓷片3、密封墊片4、壓力陶瓷支架5、接線柱6和進氣管7 ;
[0005]其中:前端蓋I位于閥體2前部，可拆卸或固定連接，閥體2上部連有壓力陶瓷支架5、一個接線柱6和一個進氣管7，壓力陶瓷支架5上固定有I個密封墊片4和壓電陶瓷片3。
[0006]所述的進氣管7與閥體2內(nèi)部連通，閥體2為圓柱狀或四棱柱狀結(jié)構(gòu)。
[0007]所述的閥體2上部連有兩個壓力陶瓷支架5。
[0008]所述的壓電陶瓷片3為圓片狀或矩形片狀結(jié)構(gòu)。
[0009]工作原理:
[0010]氣體從閥外殼的進氣口進入閥體，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊緊壓在閥體的出氣口上，達到密封的效果。當(dāng)給壓電陶瓷片上加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開。當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。通過進氣管向發(fā)體內(nèi)通入液氮，使閥體內(nèi)保持70Κ的低溫環(huán)境。
[0011]本實用新型的有益效果是:
[0012]本實用新型所述的低溫高速脈沖閥裝置，利用壓電陶瓷高速的電能-機械能轉(zhuǎn)換特性，使閥門的開關(guān)速度達到每秒鐘上千次，同時利用進氣管輸入液氮，使閥體內(nèi)部保持70Κ的低溫環(huán)境。提高實驗結(jié)果的精確度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。
[0015]實施例1
[0016]本實施例提供了一種低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的低溫高速脈沖閥裝置，包括前端蓋1、閥體2、壓電陶瓷片3、密封墊片4、壓力陶瓷支架5、接線柱6和進氣管7 ；
[0017]其中:前端蓋I位于閥體2前部，可拆卸或固定連接，閥體2上部連有壓力陶瓷支架5、一個接線柱6和一個進氣管7，壓力陶瓷支架5上固定有I個密封墊片4和壓電陶瓷片3。
[0018]所述的進氣管7與閥體2內(nèi)部連通，閥體2為圓柱狀。
[0019]所述的閥體2上部連有兩個壓力陶瓷支架5。
[0020]所述的壓電陶瓷片3為圓片狀結(jié)構(gòu)。
[0021]工作原理:氣體從閥外殼的進氣口進入閥體，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊緊壓在閥體的出氣口上，達到密封的效果。當(dāng)給壓電陶瓷片上加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開。當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。通過進氣管向發(fā)體內(nèi)通入液氮，使閥體內(nèi)保持70K的低溫環(huán)境。
[0022]實施例2
[0023]本實施例提供了一種低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的低溫高速脈沖閥裝置，包括前端蓋1、閥體2、壓電陶瓷片3、密封墊片4、壓力陶瓷支架5、接線柱6和進氣管7 ；
[0024]其中:前端蓋I位于閥體2前部，可拆卸或固定連接，閥體2上部連有壓力陶瓷支架5、一個接線柱6和一個進氣管7，壓力陶瓷支架5上固定有I個密封墊片4和壓電陶瓷片3。
[0025]所述的進氣管7與閥體2內(nèi)部連通，閥體2為四棱柱狀結(jié)構(gòu)。
[0026]所述的閥體2上部連有兩個壓力陶瓷支架5。
[0027]所述的壓電陶瓷片3為矩形片狀結(jié)構(gòu)。
[0028]工作原理:氣體從閥外殼的進氣口進入閥體，由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊緊壓在閥體的出氣口上，達到密封的效果。當(dāng)給壓電陶瓷片上加上直流的脈沖電壓后，壓電陶瓷片會向反方向彎曲，使出口打開，氣體快速從出口噴出，同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開。當(dāng)脈沖電壓消失后，壓電陶瓷片恢復(fù)原來的形狀，壓住出氣口，同時背部氣壓增大，二者合力使出氣口快速關(guān)閉。通過進氣管向發(fā)體內(nèi)通入液氮，使閥體內(nèi)保持70K的低溫環(huán)境。
【權(quán)利要求】
1.一種低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的低溫高速脈沖閥裝置，包括前端蓋⑴、閥體⑵、壓電陶瓷片⑶、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)、接線柱(6)和進氣管(7)； 其中:前端蓋(1)位于閥體(2)前部，可拆卸或固定連接，閥體(2)上部連有壓力陶瓷支架(5)、一個接線柱(6)和一個進氣管(7)，壓力陶瓷支架(5)上固定有1個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3).
2.按照權(quán)利要求1所述的低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的進氣管(7)與閥體(2)內(nèi)部連通，閥體(2)為圓柱狀或四棱柱狀結(jié)構(gòu)。
3.按照權(quán)利要求1所述的低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的閥體(2)上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)。
4.按照權(quán)利要求1所述的低溫高速脈沖閥裝置，其特征在于:所述的壓電陶瓷片(3)為圓片狀或矩形片狀結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】F16K31/02GK204141002SQ201420485223
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年8月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月26日
【發(fā)明者】唐紫超, 任文峰, 張世宇 申請人:中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所