隔膜泵的制作方法
【專利摘要】提供一種隔膜泵，在使活塞盡可能突出移動(dòng)來使翻卷式隔膜呈伸展姿勢(shì)時(shí)，因折返部打開而形成的彎曲部不呈畸變的形狀，而呈圓滑地彎曲的所期望的形狀，從而能夠減小在沖洗模式下置換液體所需的液量和/或時(shí)間，改進(jìn)液體置換效率。因此，在具有氟類樹脂制成的翻卷式隔膜(3)和在缸體(1)內(nèi)被翻卷式隔膜(3)分隔而成的泵室(4)的隔膜泵中，以伸展姿勢(shì)制作翻卷式隔膜(3)，所述翻卷式隔膜(3)具有：內(nèi)周部(3c)，其沿著活塞(2)的外周面(2e)延伸；外周部(3e)，其沿著缸體(1)的內(nèi)周面(1r)延伸；折返部(3d)，其在缸體(1)和活塞(2)之間的筒狀空間部(13)中處于折返狀態(tài)；所述伸展姿勢(shì)相當(dāng)于在通過活塞(2)突出移動(dòng)，翻卷式隔膜(3)的外周部(3e)消失且折返部(3d)的折返打開時(shí)的姿勢(shì)。
【專利說明】隔膜泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及具有翻卷式隔膜的隔膜泵，詳細(xì)地說，涉及適合在半導(dǎo)體、液晶、有機(jī)EL(電致發(fā)光)、太陽(yáng)能電池、LED(發(fā)光二極管)等制造工序中涂敷藥液時(shí)或調(diào)配藥液時(shí)使用的隔膜泵。
【背景技術(shù)】
[0002]作為這種隔膜泵，已知在專利文獻(xiàn)I中公開的泵裝置(翻卷式隔膜泵)。該翻卷式隔膜泵具有:缸體；活塞；翻卷式隔膜；泵室，其在缸體內(nèi)被翻卷式隔膜分隔，且隨著活塞移動(dòng)而使容積發(fā)生變化；減壓室，其是在翻卷式隔膜的背面?zhèn)扔筛左w、活塞、翻卷式隔膜包圍--? 。
[0003]所述翻卷式隔膜具有:內(nèi)周部，其支撐在活塞上；外周部，其通過活塞外周的折返部支撐在缸體上。
[0004]在這樣的隔膜泵中，在通常的驅(qū)動(dòng)模式下進(jìn)行如下的抽取動(dòng)作，即，活塞在最大程度地后退移動(dòng)的吸入位置(參照所述專利文獻(xiàn)I的圖3)和突出移動(dòng)的噴出位置(參照所述專利文獻(xiàn)I的圖4)之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，從而吸入流體并將所吸入的流體噴出。
[0005]在隔膜泵中，在進(jìn)行用于置換藥液等液體的液體置換時(shí)，進(jìn)行叫做沖洗模式(Flushing Mode)的運(yùn)動(dòng)方式。在沖洗模式中，為了完全排出泵室內(nèi)的液體，使活塞盡可能向突出側(cè)移動(dòng)來突出移動(dòng)至最突出位置。
[0006]在所述沖洗模式中，由于使活塞最大程度地突出移動(dòng)至最突出位置，因此形成在翻卷式隔膜(rolling Diaphragm)的前端側(cè)的折返部從截面為U字形的折返姿勢(shì)(彎曲姿勢(shì))拉長(zhǎng)而變成伸展的伸展姿勢(shì)。因此，容易使滯留在折返部的液體向泵室側(cè)移動(dòng)并排出，從而能夠順暢地置換液體。
[0007]但是，在實(shí)際的沖洗模式中大多存在如下問題，即，在置換(交換)藥液時(shí)需要超過預(yù)計(jì)量的大量的清洗液或者置換時(shí)投入的藥液，從而還需要大量時(shí)間，無法在短時(shí)間內(nèi)順暢地高效率地置換液體。
[0008]因此，研究該原因，得知存在如下那樣的現(xiàn)象。在使活塞突出移動(dòng)至最突出位置時(shí)，如圖14所示，應(yīng)該變?yōu)閳A滑的伸展姿勢(shì)的彎曲部10局部向相反方向彎曲而產(chǎn)生角部41、逆向彎曲部42〔參照?qǐng)D14中的(a)〕，或者在應(yīng)該呈直筒狀的內(nèi)周部3c的根部側(cè)形成鼓起的波動(dòng)部43〔參照?qǐng)D14中的(b)〕。
[0009]即，發(fā)現(xiàn)如下問題:在翻卷式隔膜3中的本應(yīng)該因折返部3d等拉長(zhǎng)(開放)而圓滑地彎曲變形來變?yōu)樯煺棺藙?shì)的彎曲部10，會(huì)變?yōu)榘l(fā)生畸變的形狀。此外，如圖14所示，彎曲部10為，在翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)時(shí)連接內(nèi)周部3c和外周環(huán)部3g的部分。如圖2所示，彎曲部10成為未畸變地彎曲來圓滑地連接內(nèi)周部3c和外周環(huán)部3g的部分，是所期望的(標(biāo)準(zhǔn))的形狀。
[0010]這樣，在活塞位于最突出位置時(shí)的彎曲部10不呈所期望的圓滑的彎曲形狀的伸展姿勢(shì)(參照?qǐng)D2)，實(shí)際上呈圖14中的(a)、圖14中的(b)所示那樣的畸變了的形狀，因此處于難以從泵室排出折返部3d內(nèi)的液體的狀況。因此，如上所述，在完全置換液體時(shí)，需要大量的清洗液或者置換時(shí)投入的藥液或者大量時(shí)間。
[0011]另外，有時(shí)折返部?jī)?nèi)的液體未充分排出而滯留并聚集，這樣可能導(dǎo)致產(chǎn)品不良或使產(chǎn)品成品率降低。作為產(chǎn)品不良的例子，存在如下情況，即，在半導(dǎo)體制造工序中聚集的液體成為滯留異物，可能產(chǎn)生晶片缺陷。
[0012]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)
[0014]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010 - 019141號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明所要解決的問題
[0016]本發(fā)明的目的在于提供一種隔膜泵，在使活塞盡可能突出移動(dòng)來使翻卷式隔膜呈伸展姿勢(shì)時(shí)，通過折返部打開形成的彎曲部不呈畸變了的形狀，而呈圓滑地彎曲的所期望的形狀，從而能夠減小在沖洗模式下置換液體所需的液量和/或時(shí)間，改進(jìn)液體置換效率。
[0017]用于解決問題的手段
[0018]技術(shù)方案I的發(fā)明為一種隔膜泵，具有由具有撓性的材料形成的翻卷式隔膜3和泵室4，所述翻卷式隔膜3具有:內(nèi)周部3c，其沿著所述活塞2的外周面2e延伸，且被能夠在缸體I內(nèi)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的活塞2支撐；外周部3e，其沿著所述缸體I的內(nèi)周面Ir延伸，且被所述缸體I支撐；折返部3d，其形成在從所述內(nèi)周部3c到所述外周部3e為止的部分，且在所述缸體I和所述活塞2之間的筒狀空間部13中處于折返狀態(tài)；所述泵室是在所述缸體I內(nèi)被所述翻卷式隔膜3分隔而成的，并且以隨著所述活塞2的突出移動(dòng)容積減小且隨著所述活塞2的后退移動(dòng)而容積增加的方式發(fā)生容積變化，以伸展姿勢(shì)制作所述翻卷式隔膜3，所述伸展姿勢(shì)相當(dāng)于，通過所述活塞2進(jìn)行突出移動(dòng)，所述外周部3e消失且所述折返部3d的折返打開時(shí)的姿勢(shì)。
[0019]技術(shù)方案2的發(fā)明，在技術(shù)方案I所述的隔膜泵中，其特征在于，在所述活塞2位于最大程度地突出移動(dòng)的最突出位置f時(shí)，所述翻卷式隔膜3呈所述伸展姿勢(shì)，所述活塞2能夠在所述最突出位置f和吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，所述吸入位置k為，從所述最突出位置f進(jìn)行了所述后退移動(dòng)的位置。
[0020]技術(shù)方案3的發(fā)明，在技術(shù)方案2所述的隔膜泵中，其特征在于，能夠使所述活塞2在噴出位置t和所述吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，并且在所述活塞2位于所述噴出位置t以及比該噴出位置t靠所述吸入位置k側(cè)的位置時(shí)，所述翻卷式隔膜3維持具有所述折返部3d的折返姿勢(shì)，所述噴出位置既是所述活塞2從所述最突出位置f進(jìn)行了所述后退移動(dòng)的位置，也是從所述吸入位置k進(jìn)行了所述突出移動(dòng)的位置。
[0021]技術(shù)方案4的發(fā)明，在技術(shù)方案I所述的隔膜泵中，其特征在于，所述缸體I具有:缸主體1A，其容置所述活塞2，且所述活塞2能夠進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；缸體頭1B，其具有與所述泵室4連接的供排路徑6a、7a ;并且所述翻卷式隔膜3具有與所述外周部3e的前端側(cè)相連續(xù)的壁厚厚的外周環(huán)部3g，所述缸主體IA和所述缸體頭IB以在兩者之間夾持所述外周環(huán)部3g的方式連接成一體。
[0022]技術(shù)方案5的發(fā)明，在技術(shù)方案4所述的隔膜泵中，其特征在于，在所述翻卷式隔膜3的所述外周部3e上連接有薄膜環(huán)狀的取出部3f，該取出部3f從所述外周環(huán)部3g的內(nèi)周端向徑向內(nèi)側(cè)方向延伸設(shè)置。
[0023]發(fā)明的效果
[0024]根據(jù)技術(shù)方案I的發(fā)明，由于翻卷式隔膜3以伸展姿勢(shì)(參照?qǐng)D2、圖5)制作，因此即使活塞2位于往復(fù)移動(dòng)范圍內(nèi)的任何位置，折返部3d都維持折能夠在返姿勢(shì)(彎曲姿勢(shì))與伸展姿勢(shì)之間順暢地進(jìn)行姿勢(shì)變更(形狀變更)的狀態(tài)。
[0025]在活塞2突出移動(dòng)而使翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)時(shí)，由此形成的彎曲部10，不呈圖14所示那樣的畸變了的形狀，成為具有將內(nèi)周部3c和外周環(huán)部3g平滑地連接的彎曲部10的所期望的伸展姿勢(shì)的翻卷式隔膜3。因此，不存在妨礙蓄積在折返部3d的液體向突出移動(dòng)方向流動(dòng)的因素(角部41、逆向彎曲部42、波動(dòng)部43等)，從而能夠順暢地排出。
[0026]結(jié)果，在使活塞2盡可能突出移動(dòng)來使翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)時(shí)，因折返部3d打開而形成的彎曲部10不呈畸變的形狀，而呈圓滑地彎曲的所期望的形狀，從而能夠減小在沖洗模式下置換液體所需的液量和/或時(shí)間，從而能夠提供改進(jìn)了液體置換效率的隔膜泵P。
[0027]根據(jù)權(quán)利要求2的發(fā)明，能夠使活塞2在翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)的最突出位置f和呈折返姿勢(shì)的吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，因此能夠通過上述作用提高置換液體時(shí)的清洗效率以及液體置換效率，而且還能夠抑制在輸送液體時(shí)因液體蓄積現(xiàn)象而引起的不良情況。
[0028]根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，還能夠使活塞2在翻卷式隔膜3都呈折返姿勢(shì)的噴出位置t和吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，從而能夠在置換液體時(shí)使活塞2在最突出位置f和吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)(在沖洗模式下動(dòng)作)，在輸送液體時(shí)使活塞2在噴出位置t和吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)(在通常模式下動(dòng)作)。
[0029]在此，在通常模式中，在維持翻卷式隔膜3上形成有折返部3d的折返姿勢(shì)的狀態(tài)下進(jìn)行抽取動(dòng)作，能夠?qū)⒎硎礁裟? (尤其，膜狀的部分)的截面形狀維持恒定，因此能夠?qū)⒚看纬槿?dòng)作中輸送的液體的流量保持恒定。
[0030]根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，能夠利用作為缸體I的結(jié)構(gòu)構(gòu)件的缸主體IA和缸體頭IB的連接結(jié)構(gòu)，來支撐翻卷式隔膜3的外周環(huán)部3g，因此能夠提供結(jié)構(gòu)更合理的隔膜泵P。
[0031]另外，若如技術(shù)方案5那樣,從外周環(huán)部3g的內(nèi)周端向徑向內(nèi)側(cè)方向延伸設(shè)置的薄膜環(huán)狀的取出部3f連接在外周部3e上，則具有如下優(yōu)點(diǎn)，即，薄膜部u的折返部3d和彎曲部10的形狀變形變得更平穩(wěn)，從而能夠穩(wěn)定地形成折返姿勢(shì)以及伸展姿勢(shì)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]圖1是示出隔膜泵的結(jié)構(gòu)的局部被剖切的側(cè)視圖。
[0033]圖2是示出自由狀態(tài)的翻卷式隔膜的局部被剖切的側(cè)視圖。
[0034]圖3是活塞位于吸入位置時(shí)的泵的主要部分的剖視圖。
[0035]圖4是活塞位于噴出位置時(shí)的泵的主要部分的剖視圖。
[0036]圖5是活塞位于最突出位置時(shí)的泵的主要部分的剖視圖。
[0037]圖6示出通常模式下的泵的主要部分的圖，其中，(a)是隨著啟動(dòng)而活塞復(fù)原至噴出位置時(shí)的剖視圖，(b)是結(jié)束吸入工序而活塞位于吸入位置時(shí)的剖視圖。[0038]圖7示出通常模式下的泵的主要部分的圖，其中，(a)是結(jié)束噴出工序而活塞位于噴出位置時(shí)的剖視圖，(b)是結(jié)束倒吸工序而活塞位于倒吸位置時(shí)的剖視圖。
[0039]圖8示出通常模式下的泵的主要部分的圖，其中，(a)是活塞從倒吸位置復(fù)原至噴出位置時(shí)的剖視圖，(b)是結(jié)束吸入工序而活塞位于吸入位置時(shí)的剖視圖。
[0040]圖9是示出沖洗模式下的泵的主要部分的圖，其中，(a)是隨著啟動(dòng)而活塞復(fù)原至噴出位置時(shí)的剖視圖，(b)是結(jié)束過噴出工序而活塞位于最突出位置時(shí)的剖視圖。
[0041]圖10是示出沖洗模式下的泵的主要部分的圖，其中，(a)是結(jié)束全吸入工序而活塞位于吸入位置時(shí)的剖視圖，(b)是結(jié)束沖洗工序而活塞位于最突出位置時(shí)的剖視圖。
[0042]圖11是示出隔膜泵中的置換液體的順序的流程圖。
[0043]圖12是示出利用了隔膜泵的液體泵系統(tǒng)的示意圖。
[0044]圖13是示出以往的自由狀態(tài)的翻卷式隔膜的局部被剖切的側(cè)視圖。
[0045]圖14中的(a)和(b)分別是示出以往的不良情況例的泵的主要部分的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0046]下面，一邊參照附圖，一邊對(duì)于本發(fā)明的隔膜泵的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0047]〔第一實(shí)施方式〕
[0048]圖1示出隔膜泵P以及具有該隔膜泵P的泵裝置A，并且圖12示出具有泵裝置A的液體泵系統(tǒng)B。泵裝置A具有隔膜泵(還被稱為翻卷式隔膜泵)P和用于驅(qū)動(dòng)該隔膜泵P的直線驅(qū)動(dòng)器(馬達(dá))8等。此外，直線驅(qū)動(dòng)器8的內(nèi)部結(jié)構(gòu)是公知(上述專利文獻(xiàn)I等)的，省略詳細(xì)的說明和圖示。
[0049]20為用于檢測(cè)活塞位置的卡合銷，25為與抽風(fēng)機(jī)(減壓?jiǎn)卧?14(參照?qǐng)D12)相連接的空氣吸出口。在該泵裝置A中，通過直線驅(qū)動(dòng)器8驅(qū)動(dòng)能夠在缸體I內(nèi)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的活塞2使其沿著軸心C方向往復(fù)移動(dòng)，從而能夠從吸入部6吸入液體并從噴出部7噴出該液體。圖1示出活塞2位于噴出位置t的狀態(tài)。
[0050]液體泵系統(tǒng)B具有藥液罐15、泵裝置A、過濾器16、噴嘴17、吸入側(cè)開閉閥21、噴出側(cè)開閉閥22、吸入側(cè)流路26、噴出側(cè)流路27等。在從泵裝置A的吸入部6到藥液罐15的吸入側(cè)流路26的途中配置有吸入側(cè)開閉閥21，在從泵裝置A的噴出部7到噴嘴17的噴出側(cè)流路27上配置有噴出側(cè)開閉閥22和過濾器16。
[0051]另外，設(shè)置有:吸入側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)28，其驅(qū)動(dòng)吸入側(cè)開閉閥21以使其進(jìn)行開閉；噴出側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29，其驅(qū)動(dòng)噴出側(cè)開閉閥22以使其進(jìn)行開閉；控制裝置30，其管理泵裝置A的各驅(qū)動(dòng)狀態(tài)。此外，31是作為藥液等液體e的涂敷對(duì)象(液體供給對(duì)象)的晶片。
[0052]如圖1、圖3所示，隔膜泵P具有如下構(gòu)件等，即，缸體I ;活塞2，其以能夠在缸體I內(nèi)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的方式容置于缸體I內(nèi)；翻卷式隔膜3，其橫跨配置在缸體I和活塞2上；泵室4，其是在缸體I內(nèi)被翻卷式隔膜3分隔而成的；吸入部6以及噴出部7，形成在缸體I上。
[0053]活塞2以能夠沿著軸心C方向滑動(dòng)的方式容置于缸體I內(nèi)，并且通過輸出用螺紋軸18與直線驅(qū)動(dòng)器8連動(dòng)連接。通過使該活塞2向箭頭一方向進(jìn)行突出移動(dòng)，縮小泵室4的容積，通過使活塞2向箭頭二方向進(jìn)行后退移動(dòng)，增加泵室4的容積。接著，對(duì)于各部進(jìn)行說明。[0054]如圖1、圖3至圖5所示，缸體I具有:缸主體1A，其螺栓固定在直線驅(qū)動(dòng)器8上；缸體頭1B，其隔著翻卷式隔膜3的外周環(huán)部3g螺栓固定在缸主體IA上。
[0055]缸主體IA具有:缸體內(nèi)周面la，其截面為圓形；翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面(“缸體的內(nèi)周面”的一例)Ir，其截面為圓形，具有比缸體內(nèi)周面Ia更大的直徑以及截面積，且形成在缸體內(nèi)周面Ia的突出側(cè)；傾斜內(nèi)周面lk，其用于連接上述缸體內(nèi)周面Ia和翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面Ir。缸體內(nèi)周面Ia和翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面Ir具有彼此共用的軸心C。
[0056]在缸主體IA上形成有使與活塞2 —體移動(dòng)的卡合銷20插入的長(zhǎng)孔19，并且形成有在傾斜內(nèi)周面Ik形成開口的所述空氣吸出口 25。缸體頭IB具有:吸入路(供排路徑的一例)6a，其朝向泵室4開口并與吸入部6相連通；噴出路(供排路徑的一例)7a，其朝向泵室4開口并與噴出部7相連通。吸入路6a和噴出路7a設(shè)定為在軸心C方向上的位置以及直徑彼此相同的直線管路。此外，吸入部6以及噴出部7都被記載為管接頭結(jié)構(gòu)，但是并不限定于上述結(jié)構(gòu)。
[0057]如圖1、圖3至圖5所示，活塞2包括如下部位等，即，環(huán)狀密封槽2d，其形成在移動(dòng)方向(軸心C方向)上的中間部上；前端部2b，其位于上述密封槽2d的靠缸體頭IB—側(cè)；基端部2a，其與上述前端部2b相反地位于上述密封槽2d的靠活塞根部一側(cè)；螺紋孔2c，其形成在前端部2b上。該活塞2形成為與缸體內(nèi)周面Ia相嵌合的直筒狀。
[0058]在密封槽2d上設(shè)置有:0型圈23，其由氟橡膠等形成；滑環(huán)24，其為聚四氟乙烯(PTFE)等氟類樹脂制成，配置在O型圈23的外周側(cè)。在基端部2a上設(shè)置有上述卡合銷20。
[0059]如圖1至圖5所示，翻卷式隔膜3為PTFE (聚四氟乙烯)等氟類樹脂制成，該翻卷式隔膜3具有螺紋軸部3a、凸緣頭部3b、薄壁的內(nèi)周部3c、折返部3d、薄壁的外周部3e、薄膜環(huán)狀的取出部3f、外周環(huán)部3g。
[0060]螺紋軸部3a是插入活塞2的螺紋孔2c內(nèi)的圓柱狀部分，在該螺紋軸部3a的前端上形成有凸緣頭部3b。薄壁的內(nèi)周部3c是以從凸緣頭部3b的外端部沿著活塞2的外周面2e的狀態(tài)朝向活塞2根部側(cè)延伸設(shè)置的薄壁且圓筒狀的部分。
[0061]在翻卷式隔膜3的最外周側(cè)的部分形成有在軸心C方向上壁厚厚的外周環(huán)部3g,從該外周環(huán)部3g的內(nèi)周端向徑向內(nèi)側(cè)方向延伸設(shè)置有薄膜環(huán)狀的取出部3f。與該取出部3f連續(xù)的薄壁的外周部3e，是以沿著翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面Ir的狀態(tài)朝向活塞2根部側(cè)延伸設(shè)置的薄壁且圓筒狀的部分。
[0062]薄壁的內(nèi)周部3c的活塞2根部側(cè)端和薄壁的外周部3e的活塞2根部側(cè)端，通過在缸體I和活塞2之間的筒狀空間部13中進(jìn)行折返的薄壁的折返部3d形成為一體。折返部3d的截面形狀呈朝向活塞2根部側(cè)突出的U字形。采用如下公知的結(jié)構(gòu)，即，隨著活塞2移動(dòng)，折返部3d的形成位置沿著軸心C方向移動(dòng)，從而使翻卷式隔膜3圓滑地發(fā)生變形，維持容積發(fā)生變化的泵室4的氣密性(液密性)。
[0063]通過使螺紋軸部3a插入螺合于螺紋孔2c內(nèi)，該翻卷式隔膜3能夠以如下狀態(tài)安裝在活塞2上，即，使凸緣頭部3b的外周部與活塞2的環(huán)狀前端面2f相抵接，且薄壁的內(nèi)周部3c緊貼外套在如端部2b上。另外，外周環(huán)部3g以?shī)A持在缸王體IA和缸體頭IB之間的狀態(tài)一體安裝在缸體I上。
[0064]如上所述，在作為隔膜泵P組裝的狀態(tài)下，如圖1所示，泵室4是被缸體頭IB和翻卷式隔膜3包圍而成的空間部分，在翻卷式隔膜3的背面?zhèn)?靠活塞2根部一側(cè))形成有被翻卷式隔膜3、活塞2、缸主體IA包圍且與所述空氣吸出口 25相連通的環(huán)狀減壓室5。
[0065]在缸主體IA和外周環(huán)部3g的接合面之間設(shè)置有由氟橡膠等形成的O型圈9，通過使形成在缸體頭IB上的唇形密封部(省略圖示)與外周環(huán)部3g的表面接觸，來在缸體頭IB和外周環(huán)部3g的接合面之間進(jìn)行密封。
[0066]另外，圖3、圖6中的(b)、圖8中的(b)以及圖10中的(a)示出活塞2移動(dòng)至最靠活塞2根部側(cè)(直線驅(qū)動(dòng)器8側(cè))的位置即位于吸入位置k時(shí)的隔膜泵P的主要部分，在軸心C方向上凸緣頭部3b的前端和缸主體IA的前端大致在同一面上。并且，在活塞2位于吸入位置k時(shí)，沿著翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面Ir的薄壁的外周部3e在軸心C方向上的長(zhǎng)度比較長(zhǎng)，且沿著外周面2e的薄壁的內(nèi)周部3c在軸心C方向上的長(zhǎng)度比較短。
[0067]此外，吸入位置k可以是活塞2移動(dòng)至最靠活塞2根部側(cè)的位置，也可以是比上述位置靠前的位置。
[0068]圖1、圖4、圖6中的(a)、圖7中的(a)、圖8中的(a)、圖9中的(a)示出活塞2位于從吸入位置k向箭頭一方向離開一定程度的噴出位置t時(shí)的狀態(tài)。在此，將噴出位置t設(shè)定在如下位置，即，在軸心C方向上，凸緣頭部3b的前端到達(dá)泵室4內(nèi)所形成的吸入路6a以及噴出路7a的開口孔的活塞2根部側(cè)周緣的位置。
[0069]在活塞2位于噴出位置t時(shí)，沿著翻轉(zhuǎn)內(nèi)周面Ir的薄壁的外周部3e在軸心C方向上的長(zhǎng)度比較短(比吸入位置k時(shí)短)，且，沿著外周面2e的薄壁的內(nèi)周部3c在軸心C方向上的長(zhǎng)度比較長(zhǎng)(比吸入位置k時(shí)長(zhǎng))。
[0070]并且，圖5、圖9中的(b)、圖10中的(b)示出活塞2位于最突出的最突出位置(沖洗位置)f時(shí)的狀態(tài)，此時(shí)凸緣頭部3b的前端幾乎與缸體頭IB的內(nèi)表面12抵接，泵室4的容積被設(shè)定為最小。在該活塞2位于最突出位置f時(shí)，薄壁的內(nèi)周部3c在軸心C方向上的長(zhǎng)度進(jìn)一步變長(zhǎng)(比噴出位置t時(shí)長(zhǎng))，折返部3d以及薄壁的外周部3e消失(不形成)，而形成彎曲部10。
[0071]該彎曲部10是取出部3f、外周部3e以及折返部3d〔上述三者(3f、3e、3d)是在活塞2位于吸入位置k、噴出位置t等時(shí)形成〕向泵室4側(cè)的方向(箭頭一方向)發(fā)生變形為與外周環(huán)部3g平滑地相連續(xù)的彎曲面且呈單一的截面形狀來形成的。
[0072]S卩，隨著活塞2進(jìn)行突出移動(dòng)，翻卷式隔膜3以內(nèi)周部3c延伸且折返部3d的位置也向泵室4側(cè)移動(dòng)的方式發(fā)生變形，因此當(dāng)活塞2超過噴出位置t進(jìn)行突出移動(dòng)時(shí)，折返部3d進(jìn)一步向泵室4側(cè)移動(dòng)，最終出現(xiàn)外周部3e消失的狀態(tài)。
[0073]并且，當(dāng)活塞2到達(dá)最突出位置f時(shí)，翻卷式隔膜3變化為如下的姿勢(shì)，即，呈朝向活塞2根部側(cè)變更90度的姿勢(shì)的取出部3f變成筆直地朝向徑向內(nèi)側(cè)的姿勢(shì)，出現(xiàn)彎曲部10來代替外周部3e和折返部3d。S卩，當(dāng)活塞2到達(dá)最突出位置f時(shí)，翻卷式隔膜3從具有外周部3e和折返部3d的折返姿勢(shì)(參照?qǐng)D3、圖4)變成具有筆直朝向徑向內(nèi)側(cè)的取出部3f和彎曲部10的伸展姿勢(shì)(參照?qǐng)D2、圖5)。
[0074]以從外周環(huán)部3g的內(nèi)周端朝向徑向內(nèi)側(cè)的方式形成的取出部3f，在翻卷式隔膜3呈折返姿勢(shì)時(shí)，呈朝向變更90度的姿勢(shì)，平滑地連接外周環(huán)部3g的內(nèi)周端和外周部3e，在薄膜部u不產(chǎn)生彎曲部分的情況下，圓滑地發(fā)生形狀變化。
[0075]接著，對(duì)于隔膜泵P的驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行說明。在此，將吸入藥液并噴出藥液的通常的驅(qū)動(dòng)方式(通常噴出時(shí))稱為通常模式，并且將在置換藥液時(shí)進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)方式稱為沖洗模式。
[0076]〔第一驅(qū)動(dòng)方式〕(通常模式)
[0077]在通常模式中，首先，根據(jù)通常模式指令(包括泵裝置A的啟動(dòng)等)，進(jìn)行原點(diǎn)復(fù)原工序，如圖6中的(a)所示，使活塞2移動(dòng)(或者維持)到噴出位置t。
[0078]在進(jìn)行原點(diǎn)復(fù)原工序之后，進(jìn)行吸入工序，使活塞2后退移動(dòng)來增加泵室4的容積。圖6中的(b)示出活塞2向箭頭二方向后退移動(dòng)并位于吸入位置k的狀態(tài)，即吸入工序結(jié)束的狀態(tài)。此時(shí)，吸入側(cè)開閉閥21處于打開的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于關(guān)閉的狀態(tài)。通過該吸入工序，如箭頭三所示那樣，藥液從吸入部6被吸入泵室4。
[0079]當(dāng)吸入工序結(jié)束時(shí)，進(jìn)行噴出工序，使活塞2突出移動(dòng)來縮小泵室4的容積。圖7中的(a)示出活塞2向箭頭一方向突出移動(dòng)來位于噴出位置t的狀態(tài)，S卩、噴出工序結(jié)束的狀態(tài)。此時(shí)，吸入側(cè)開閉閥21處于關(guān)閉的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于打開的狀態(tài)。通過該噴出工序，如箭頭四所示那樣，從噴出部7噴出泵室4內(nèi)的藥液。
[0080]當(dāng)噴出工序結(jié)束時(shí)，進(jìn)行倒吸工序，使位于噴出位置t的活塞2向箭頭二方向一點(diǎn)一點(diǎn)地后退移動(dòng)。圖7中的(b)示出活塞2向箭頭二方向后退移動(dòng)來位于倒吸位置s的狀態(tài)，即、倒吸工序結(jié)束的狀態(tài)。此外，倒吸工序指，為了防止藥液e從噴嘴17(參照?qǐng)D12)滴落，而一瞬間吸入噴出側(cè)流路27的藥液〔參照?qǐng)D7中的(b)的箭頭五〕的公知的工序。
[0081]當(dāng)?shù)刮ば蚪Y(jié)束時(shí)，進(jìn)行第二原點(diǎn)復(fù)原工序，使活塞2突出移動(dòng)來返回噴出位置t。圖8中的(a)示出從倒吸位置s突出移動(dòng)的活塞2返回噴出位置t的狀態(tài)，即、第二原點(diǎn)復(fù)原工序結(jié)束的狀態(tài)。
[0082]當(dāng)?shù)诙c(diǎn)復(fù)原工序結(jié)束時(shí)，進(jìn)行吸入工序，使活塞2后退移動(dòng)來增加泵室4的容積。在該吸入工序中，吸入側(cè)開閉閥21處于打開的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于關(guān)閉的狀態(tài)，液體從吸入路6a被吸入泵室4〔參照?qǐng)D8中的(b)的箭頭六〕。圖8中的(b)示出活塞2向箭頭二方向后退移動(dòng)來位于吸入位置k的吸入工序的結(jié)束狀態(tài)。
[0083]在通常模式中，在剛剛啟動(dòng)之后，第一次依次進(jìn)行圖6中的(a)至圖8中的(b)所示的一系列動(dòng)作，即原點(diǎn)復(fù)原工序一吸入工序一噴出工序一倒吸工序一第二原點(diǎn)復(fù)原工序—吸入工序。然后(第二次之后)，依次進(jìn)行圖7中的(a)至圖8中的(b)所示的動(dòng)作，即、噴出工序一倒吸工序一第二原點(diǎn)復(fù)原工序一吸入工序。
[0084]在持續(xù)向晶片等供給藥液時(shí)，也可以如圖6中的(b)和圖7中的(a)所示那樣，僅通過吸入工序和噴出工序來反復(fù)進(jìn)行抽取動(dòng)作。此外，為了說明上述一系列作用，分別單獨(dú)地設(shè)置圖6中的(b)和圖8中的(b)，但是附圖是相同的。
[0085]這樣，在通常模式中，在吸入工序一噴出工序中，在維持在翻卷式隔膜3上形成有折返部3d的折返姿勢(shì)的狀態(tài)下進(jìn)行抽取動(dòng)作，翻卷式隔膜3 (尤其，膜狀的部分)的截面形狀維持恒定，因此能夠?qū)⒃诿看蔚某槿?dòng)作中輸送的液體的流量保持恒定。
[0086]〔第二驅(qū)動(dòng)方式〕(沖洗模式)
[0087]沖洗模式是在置換作為抽取對(duì)象的液體的情況下進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)方式。例如，在將隔膜泵P中輸送的液體從藥液A置換為藥液B的情況下，進(jìn)行如圖11所示的流程圖那樣的液體置換。
[0088]首先，從裝有藥液A的罐卸下吸入側(cè)流路26。然后進(jìn)行“(I)排出藥液A”的工序，持續(xù)執(zhí)行吸入空氣并噴出空氣的抽取動(dòng)作(所謂的泵空抽)，直到大概噴完藥液A而幾乎沒有藥液A為止。
[0089]在該泵空抽中，殘留在泵室4內(nèi)的藥液A與空氣混合來以飛沫的形式噴出，從而從泵室4排出藥液A。
[0090]接著，進(jìn)行“(2)液體置換成清洗液A”的工序，將吸入側(cè)流路26連接在裝有清洗液A的罐上，切換到能夠向泵室4內(nèi)導(dǎo)入清洗液A的狀態(tài)。
[0091]接著，進(jìn)行“(3)清洗液A填充后放置”的工序，吸入清洗液A來填充在泵室4內(nèi)，放置(例如，5分鐘左右)直到清洗液A遍及泵室4內(nèi)的各部為止。
[0092]接著，從裝有清洗液A的罐卸下吸入側(cè)流路26。然后，進(jìn)行“(4)排出清洗液A”的工序,持續(xù)執(zhí)行吸入空氣并噴出空氣的抽取動(dòng)作(所謂的泵空抽)直到大概噴完清洗液A而幾乎沒有清洗液A為止。
[0093]接著，將吸入側(cè)流路26連接在裝有藥液B的罐上，進(jìn)行“(5)液體置換成藥液B”的工序，切換到能夠向泵室4內(nèi)導(dǎo)入藥液B的狀態(tài)。
[0094]接著，進(jìn)行“(6)藥液B填充后放置”的工序，吸入藥液B來填充在泵室4內(nèi)，并放置(例如，5分鐘左右)直到藥液B遍及泵室4內(nèi)的各部為止。
[0095]經(jīng)過上述的工序，作為抽取對(duì)象的液體從藥液A置換為藥液B,然后，以上述通常模式驅(qū)動(dòng)隔膜泵P，從而向晶片等供給藥液B。
[0096]此外，也可以在“(3)清洗液A填充后放置”的工序和“(4)排出清洗液A”的工序之間，進(jìn)行幾次吸入清洗液A并噴出清洗液A的處理，從而沖洗還可能殘留在泵室4內(nèi)的藥液A。另外，在置換為藥液B之后以通常模式驅(qū)動(dòng)隔膜泵P時(shí)，在剛開始的幾次，進(jìn)行不向晶片等供給噴出的藥液B而舍棄的處理，從而能夠進(jìn)行更完全的液體置換。
[0097]通過以上述沖洗模式驅(qū)動(dòng)隔膜泵P，由于后述理由，能夠減小液體置換所需的時(shí)間以及液量。
[0098]另外，在沖洗模式中，在上述“⑴排出藥液A”的工序和“⑷排出清洗液A”的工序中，使活塞2如下面那樣動(dòng)作。
[0099]首先，如圖9中的(a)所示，根據(jù)沖洗模式指令，進(jìn)行使活塞2移動(dòng)(或者維持)到噴出位置t的原點(diǎn)復(fù)原工序。
[0100]在進(jìn)行原點(diǎn)復(fù)原工序之后，進(jìn)行過噴出工序，使位于噴出位置t的活塞2突出移動(dòng)來使泵室4的容積進(jìn)一步縮小。圖9中的(b)示出活塞2向箭頭一方向最大程度地(盡可能)突出移動(dòng)而位于最大噴出位置(沖洗位置)f的狀態(tài)，即、過噴出工序的結(jié)束狀態(tài)。此時(shí)，吸入側(cè)開閉閥21處于關(guān)閉的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于打開的狀態(tài)。通過該過噴出工序，如箭頭七所示那樣，泵室4內(nèi)的藥液(或者清洗液)的大部分(大致全部)從噴出部7嗔出。
[0101]在進(jìn)行過噴出工序之后，進(jìn)行全吸入工序，使位于最突出位置f的活塞2后退移動(dòng)來增加泵室4的容積。圖10中的(a)示出活塞2向箭頭二方向后退移動(dòng)來位于吸入位置k的狀態(tài)，即、全吸入工序的結(jié)束狀態(tài)。此時(shí)，吸入側(cè)開閉閥21處于打開的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于關(guān)閉的狀態(tài)。通過該全吸入工序，藥液(或者清洗液)從吸入部6被吸入泵室4〔參照?qǐng)D10中的(a)的箭頭八〕。該全吸入工序的吸入量明顯大于上述通常模式的吸入工序的吸入量。
[0102]在進(jìn)行全吸入工序之后，進(jìn)行沖洗工序，使位于吸入位置k的活塞2突出移動(dòng)至最突出位置f來縮小泵室4的容積。圖10中的(b)示出向箭頭一方向最大程度地(盡可能)突出移動(dòng)來位于最突出位置(沖洗位置)f的狀態(tài)，即、沖洗工序的結(jié)束狀態(tài)。此時(shí)，吸入側(cè)開閉閥21處于關(guān)閉的狀態(tài)，噴出側(cè)開閉閥22處于打開的狀態(tài)。
[0103]在該沖洗工序中，通過使活塞2向最突出位置f突出移動(dòng)，使活塞2位于吸入位置k而容積變得最大的泵室4的容積一下子變得最小，從而能夠?qū)⑻畛湓诒檬?內(nèi)的藥液(或者清洗液)大致全部排出〔參照?qǐng)D10中的(b)的箭頭九〕。
[0104]在該沖洗模式中的“⑴排出藥液A”的工序和“⑷排出清洗液A”的工序中，剛啟動(dòng)之后的第一次依次進(jìn)行如圖9中的(a)至圖10中的(b)所示的一系列動(dòng)作，即、原點(diǎn)復(fù)原工序一過噴出工序一全吸入工序一沖洗工序。然后(第二次以后)依次進(jìn)行圖10中的(a)?圖10中的(b)所示的動(dòng)作，即、全吸入工序一沖洗工序。
[0105]接著，對(duì)于翻卷式隔膜3的制作方法、在置換液體時(shí)消除以往的不良情況的理由等進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0106]以往的翻卷式隔膜3例如制作成相當(dāng)于活塞2位于噴出位置t時(shí)的姿勢(shì)，S卩如圖13所示，在作為凸緣頭部3b和外周環(huán)部3g之間的壁厚薄的部分的薄膜部u上形成有折返部3d以及外周部3e的折返姿勢(shì)。
[0107]此時(shí)，用氟類樹脂等具有撓性的材料制成的翻卷式隔膜3，在活塞2在噴出位置t和吸入位置k之間往復(fù)移動(dòng)的狀態(tài)下，換言之，在具有折返部3d的狀態(tài)下，薄膜部u圓滑地發(fā)生變形。
[0108]但是，當(dāng)活塞2突出移動(dòng)到最突出位置f時(shí)，如圖14所示，存在如下問題，S卩，在原來的折返部3d附近產(chǎn)生角部41、逆向彎曲部42、波動(dòng)部43等。
[0109]在專心研究上述問題得知，制作翻卷式隔膜3時(shí)的姿勢(shì)為以往的不良情況發(fā)生的一個(gè)主要原因。即，就以往的薄膜部u而言，即使用具有撓性的材料制成，也具有要返回圖13所示的折返姿勢(shì)的形狀的制作特征(彎曲特征)，因此受到該影響，在原來的折返部3d附近產(chǎn)生了角部41、逆向彎曲部42、波動(dòng)部43等。因此，本發(fā)明的隔膜泵P的特征在于，以伸展姿勢(shì)(參照?qǐng)D2)制作翻卷式隔膜3，伸展姿勢(shì)是活塞2進(jìn)行突出移動(dòng)使得外周部3e消失且折返部3d的折返打開時(shí)的姿勢(shì)，也是活塞2位于最突出位置f時(shí)的姿勢(shì)。
[0110]而且，在活塞2最大程度地突出移動(dòng)的狀態(tài)(活塞2位于最突出位置f的狀態(tài))下，該翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)。
[0111]如上所述，在圖2所示的呈伸展姿勢(shì)的翻卷式隔膜3中，不形成折返部3d以及薄壁的外周部3e，而形成呈平緩且圓滑的彎曲截面形狀的彎曲部10。因此，在薄壁的內(nèi)周部3c和外周環(huán)部3g之間的部分形成為能夠圓滑地進(jìn)行變形的彎曲部10的狀態(tài)下制作翻卷式隔膜3。此外，11是用于與活塞2相螺合的外螺紋。
[0112]翻卷式隔膜3是用氟類樹脂等具有撓性的材料制成的，因此薄膜部u能夠容易地折返變形。因?yàn)槌霈F(xiàn)折返部3d以及外周部3e的薄膜部u的折返姿勢(shì)(參照?qǐng)D3、圖4)，是使制作時(shí)出現(xiàn)的彎曲部10的彎曲進(jìn)一步向彎曲的方向發(fā)生變形而得到的，能夠通過向相同的方向彎曲來圓滑地發(fā)生變形。
[0113]圖2所示的伸展姿勢(shì)為，活塞2位于全部移動(dòng)區(qū)域中的一個(gè)末端(最突出位置f)時(shí)的姿勢(shì)，即使彎曲部10稍微具有制作特征(彎曲特征)，也不會(huì)使彎曲部10向與其彎曲方向相反的一側(cè)彎曲變形，因此也不存在如下?lián)鷳n，即，因制作特征而變?yōu)榛兊慕孛嫘螤睢?br> [0114]因此，在具有以伸展姿勢(shì)(參照?qǐng)D2、圖5)制作的翻卷式隔膜3的本發(fā)明的隔膜泵P中，無論活塞2位于包括吸入位置k、噴出位置t、最突出位置f的任何位置，薄膜部u都能夠維持折返姿勢(shì)、伸展姿勢(shì)等截面形狀圓滑地發(fā)生變形(變化)的狀態(tài)。
[0115]尤其，即使活塞2移動(dòng)至最突出位置f，薄膜部u也不會(huì)呈圖14所示那樣的畸變的形狀，成為具有圓滑地彎曲變形的彎曲部10的所期望的伸展姿勢(shì)的翻卷式隔膜3。因此，不存在妨礙蓄積在折返部3d的藥液向突出移動(dòng)方向流動(dòng)的因素(角部41、逆向彎曲部42、波動(dòng)部43等)，從而能夠順暢地排出。
[0116]由于是這樣改進(jìn)的隔膜泵P，因此在上述沖洗模式中，在活塞2突出移動(dòng)到最突出位置f時(shí)，翻卷式隔膜3呈薄膜部u的形狀圓滑地發(fā)生變化而具有平滑的彎曲部10的所期望的伸展姿勢(shì)。
[0117]結(jié)果，在以沖洗模式驅(qū)動(dòng)時(shí)，能夠減小置換液體所需的液量和時(shí)間，成功地提供了改進(jìn)了液體置換效率的隔膜泵P。
[0118]S卩，在圖11所示的流程圖的(I)排出藥液A的工序中，在活塞2突出移動(dòng)到最突出位置f時(shí)，因折返部3d打開而形成的彎曲部10不會(huì)呈畸變的形狀，因此難以產(chǎn)生蓄積液體的部位，從而從泵室4迅速地排出藥液A。同樣地，在(4)排出清洗液A工序中，也從泵室4迅速地排出清洗液A。因此，能夠減小上述工序所需的液量和時(shí)間。
[0119]另外，在(3)清洗液A填充后放置的工序中，由于彎曲部10的形狀為平滑的形狀，因此填充在泵室4內(nèi)的清洗液A迅速地遍及彎曲部10。同樣地，在(6)藥液B填充后放置的工序中，填充在泵室4內(nèi)的藥液B也迅速地遍及彎曲部10，因此能夠減小上述工序的時(shí)間。
[0120]因此，能夠提高置換液體時(shí)的清洗效率以及液體置換效率。
[0121]〔其它實(shí)施方式〕
[0122]在上述第一實(shí)施方式中，將噴出位置t設(shè)定為比最突出位置(沖洗位置)f向活塞2根部側(cè)移動(dòng)的位置，但是噴出位置t也可以是與最突出位置f相同的位置。即，也可以在活塞2到達(dá)噴出位置t(=最突出位置f)時(shí)，使翻卷式隔膜3呈伸展姿勢(shì)。
[0123]在其它實(shí)施方式中，在以通常模式驅(qū)動(dòng)隔膜泵P時(shí)，活塞2在向箭頭一方向最大程度(盡可能)地突出移動(dòng)的噴出位置t(=最突出位置f)和吸入位置k之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。并且，在活塞2突出移動(dòng)到噴出位置t時(shí)，因折返部3d打開而形成的彎曲部10不會(huì)呈畸變的形狀，因此難以產(chǎn)生蓄積液體的部位，從而能夠防止藥液聚集固化的情況。因此，能夠在輸送液體時(shí)抑制因蓄積液體現(xiàn)象而引起的不良情況。
[0124]此外，在上述說明中，“制作”指，通過切削來做出的情況，或通過成型(模成型)來做出的情況。
[0125]附圖標(biāo)記的說明
[0126]1:缸體
[0127]IA:缸主體
[0128]IB:缸體頭
[0129]Ir:缸體的內(nèi)周面
[0130]2:活塞[0131]2e:活塞的外周面
[0132]3:翻卷式隔膜
[0133]3c:內(nèi)周部
[0134]3d:折返部
[0135]3e:外周部
[0136]3f:取出部
[0137]3g:外周環(huán)部
[0138]4:泵室
[0139]6a、7a:供排路徑
[0140]13:筒狀空間部
[0141]f:最突出位置
[0142]k:吸入位置
[0143]t:噴出位置
【權(quán)利要求】
1.一種隔膜泵，具有由具有撓性的材料形成的翻卷式隔膜和泵室， 所述翻卷式隔膜具有:內(nèi)周部，其沿著所述活塞的外周面延伸，且被能夠在缸體內(nèi)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的活塞支撐；外周部，其沿著所述缸體的內(nèi)周面延伸，且被所述缸體支撐；折返部，其形成在從所述內(nèi)周部到所述外周部為止的部分，且在所述缸體和所述活塞之間的筒狀空間部中處于折返狀態(tài)； 所述泵室是在所述缸體內(nèi)被所述翻卷式隔膜分隔而成的，并且以隨著所述活塞的突出移動(dòng)容積減小且隨著所述活塞的后退移動(dòng)容積增加的方式發(fā)生容積變化， 以伸展姿勢(shì)制作所述翻卷式隔膜，所述伸展姿勢(shì)相當(dāng)于，通過所述活塞進(jìn)行突出移動(dòng)，所述外周部消失且所述折返部的折返打開時(shí)的姿勢(shì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜泵，其特征在于， 在所述活塞位于最大程度地突出移動(dòng)的最突出位置時(shí)，所述翻卷式隔膜呈所述伸展姿勢(shì)，所述活塞能夠在所述最突出位置和吸入位置之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，所述吸入位置為，從所述最突出位置進(jìn)行了所述后退移動(dòng)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隔膜泵，其特征在于， 能夠使所述 活塞在噴出位置和所述吸入位置之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，并且在所述活塞位于所述噴出位置以及比該噴出位置靠所述吸入位置側(cè)的位置時(shí)，所述翻卷式隔膜維持具有所述折返部的折返姿勢(shì)，所述噴出位置既是所述活塞從所述最突出位置進(jìn)行了所述后退移動(dòng)的位置，也是從所述吸入位置進(jìn)行了所述突出移動(dòng)的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜泵，其特征在于， 所述缸體具有:缸主體，其容置所述活塞，且所述活塞能夠進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；缸體頭，其具有與所述泵室連接的供排路徑；并且所述翻卷式隔膜具有與所述外周部的前端側(cè)相連續(xù)的壁厚厚的外周環(huán)部， 所述缸主體和所述缸體頭以在兩者之間夾持所述外周環(huán)部的方式連接成一體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔膜泵，其特征在于， 在所述翻卷式隔膜的所述外周部上連接有薄膜環(huán)狀的取出部，該取出部從所述外周環(huán)部的內(nèi)周端向徑向內(nèi)側(cè)方向延伸設(shè)置。
【文檔編號(hào)】F04B43/02GK103906924SQ201280054035
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月1日
【發(fā)明者】手島一清, 森充央, 成尾元彰 申請(qǐng)人:日本皮拉工業(yè)株式會(huì)社