專利名稱：可加熱式微波管排氣用分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
可加熱式微波管排氣用分子泵
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電真空領(lǐng)域，特別涉及到一種可加熱式微波管排氣用分子泵的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
真空微波電子器件也稱真空微波管，是指利用電子在真空中與電磁場(chǎng)發(fā)生相互作用，將電子的直流能量轉(zhuǎn)換為另一種形式的微波能量的器件。微波真空器件工作時(shí)需要在管內(nèi)維持10_5Pa以上的高真空度。因此微波管都需要進(jìn)行復(fù)雜的排氣工藝，現(xiàn)在通用的排氣工藝一般可將管內(nèi)真空度排至10_7Pa，在這一真空度下，微波管可以獲得5年以上的貯存壽命?，F(xiàn)代微波管均采用雙真空排氣臺(tái)進(jìn)行排氣，即將微波管安裝到排氣臺(tái)的排氣口上，用分子泵與機(jī)械泵級(jí)聯(lián)的方式對(duì)微波管內(nèi)真空進(jìn)行排氣；同時(shí)用排氣臺(tái)上的鐘罩將微波管罩住，利用另外一組分子泵與機(jī)械泵級(jí)聯(lián)的方式對(duì)鐘罩進(jìn)行排氣，也就是微波管的外真空。為了獲得10-7 以上的高真空度，需要將微波管在500°C下烘烤M小時(shí)，同時(shí)要將所有的排氣連接管道加熱到150°C左右進(jìn)行烘烤。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后被前級(jí)抽走的一種真空泵。可以獲得高的真空度，并且可以做到完全無(wú)油工作，是一種在微波管排氣領(lǐng)域應(yīng)用最廣的高真空泵。因?yàn)榉肿颖玫霓D(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速很快，發(fā)動(dòng)機(jī)均需要采用液冷。因此分子泵的轉(zhuǎn)子與定子的溫度會(huì)維持在室溫附近。當(dāng)真空度達(dá)到10-6 時(shí)，分子泵自身所吸附的氣體阻礙了真空度的進(jìn)一步提高，因?yàn)樵谒姓婵展艿赖钠溆嗖糠志訜岬?50°C左右，這些管道所吸附的氣體在長(zhǎng)時(shí)間的烘烤后均已經(jīng)排干凈，但唯獨(dú)分子泵本身的溫度維持在室溫左右，所以其自身吸附的氣體很難排凈。常用的分子泵結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。圖1中1是轉(zhuǎn)子、2是定子、3是電機(jī)、4是軸承、5是電機(jī)的液冷系統(tǒng)，作在定子上， 6是進(jìn)氣口，7是出氣口。轉(zhuǎn)子1裝置在軸承4的內(nèi)圈，軸承4的外圈固定在定子2上，電機(jī) 3固定在定子2的下端，位于轉(zhuǎn)子1和定子2之間，液冷系統(tǒng)5固定在定子2上，緊挨電機(jī) 3，進(jìn)氣口 6位于定子2頂端，出氣口 7位于定子2中部。從圖1中可見(jiàn)，分子泵的定子2是整體式的結(jié)構(gòu)，液冷系統(tǒng)5在對(duì)電機(jī)3進(jìn)行冷卻的同時(shí)，也將一體式的定子2進(jìn)行了冷卻，所以定子2的溫度維持在室溫附近，其吸附的氣體很難解吸，在真空度很高時(shí)(10-6Pa)將制約真空度的進(jìn)一步提高并影響分子泵的排氣效率。本實(shí)用新型提出一種可加熱式微波管排氣用分子泵的結(jié)構(gòu)，可以解決以上問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種可加熱式的微波管排氣用分子泵的結(jié)構(gòu)，可以獲得高的真空度以及提高分子泵的排氣效率。[0011]本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問(wèn)題的一種可加熱式微波管排氣用分子泵，包括轉(zhuǎn)子、定子、電機(jī)、軸承、液冷系統(tǒng)、進(jìn)氣口，以及出氣口，所述定子分割成獨(dú)立的兩部分，即下定子和上定子，轉(zhuǎn)子裝置在軸承的內(nèi)圈，軸承的外圈分別固定在下定子和上定子上，電機(jī)固定在下定子，位于轉(zhuǎn)子和下定子之間，液冷系統(tǒng)固定在下定子上，緊挨電機(jī)，進(jìn)氣口位于上定子頂端，出氣口位于上定子的下部。本實(shí)用新型進(jìn)一步具體為所述下定子和上定子之間用連接件進(jìn)行連接。所述連接件為不銹鋼或者氧化鋁陶瓷。下定子和上定子與連接件分別采用螺絲鎖接。在上定子部分的外面安裝了加熱絲。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是利用該結(jié)構(gòu)既可以對(duì)分子泵的電機(jī)進(jìn)行液冷，同時(shí)又可以對(duì)分子泵的定子進(jìn)行加熱，用來(lái)促進(jìn)分子泵自身吸附的氣體的解析，最終可以獲得高的真空度以及提高分子泵的排氣效率。

圖1所示為常用分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為本實(shí)用新型所述的可加熱式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式下面參照附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本實(shí)用新型并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。本實(shí)用新型所述的可加熱式分子泵結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示。圖2中1是轉(zhuǎn)子、3是電機(jī)、4是軸承、5是電機(jī)的液冷系統(tǒng)，6是進(jìn)氣口，7是出氣□。分子泵的定子被分割成了獨(dú)立的兩部分即靠近電機(jī)3的下定子M和靠近進(jìn)氣口 6的上定子22。下定子M和上定子22之間用連接件9進(jìn)行連接。本實(shí)施例中，下定子M 和上定子22與連接件9分別采用螺絲鎖接。所述連接件9采用熱阻很大的材料制作，例如不銹鋼或者氧化鋁陶瓷。在上定子22部分的外面安裝了加熱絲10，可以對(duì)上定子22進(jìn)行烘烤，達(dá)到除氣的目的。轉(zhuǎn)子1裝置在軸承4的內(nèi)圈，軸承4的外圈分別固定在下定子M和上定子22上， 電機(jī)3固定在下定子M，位于轉(zhuǎn)子1和下定子M之間，液冷系統(tǒng)5固定在下定子M上，緊挨電機(jī)3，進(jìn)氣口 6位于上定子22頂端，出氣口 7位于上定子22的下部。因?yàn)檫B接件9的熱阻很高，可以將上定子22和下定子M的溫度分開(kāi)，即不影響下定子M中液冷系統(tǒng)5對(duì)電機(jī)3的冷卻，也不影響上定子22外加熱絲10對(duì)上定子22的烘烤。本實(shí)驗(yàn)新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易可行，具有一定的推廣價(jià)值。
權(quán)利要求1.一種可加熱式微波管排氣用分子泵，包括轉(zhuǎn)子、定子、電機(jī)、軸承、液冷系統(tǒng)、進(jìn)氣口， 以及出氣口，其特征在于所述定子分割成獨(dú)立的兩部分，即下定子和上定子，轉(zhuǎn)子裝置在軸承的內(nèi)圈，軸承的外圈分別固定在下定子和上定子上，電機(jī)固定在下定子，位于轉(zhuǎn)子和下定子之間，液冷系統(tǒng)固定在下定子上，緊挨電機(jī)，進(jìn)氣口位于上定子頂端，出氣口位于上定子的下部。
2.如權(quán)利要求1所述的可加熱式微波管排氣用分子泵，其特征在于所述下定子和上定子之間用連接件進(jìn)行連接。
3.如權(quán)利要求2所述的可加熱式微波管排氣用分子泵，其特征在于所述連接件為不銹鋼或者氧化鋁陶瓷。
4.如權(quán)利要求2或3所述的可加熱式微波管排氣用分子泵，其特征在于下定子和上定子與連接件分別采用螺絲鎖接。
5.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的可加熱式微波管排氣用分子泵，其特征在于在上定子部分的外面安裝了加熱絲。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可加熱式微波管排氣用分子泵，包括轉(zhuǎn)子、定子、電機(jī)、軸承、液冷系統(tǒng)、進(jìn)氣口，以及出氣口，所述定子分割成獨(dú)立的兩部分，即下定子和上定子，轉(zhuǎn)子裝置在軸承的內(nèi)圈，軸承的外圈分別固定在下定子和上定子上，電機(jī)固定在下定子，位于轉(zhuǎn)子和下定子之間，液冷系統(tǒng)固定在下定子上，緊挨電機(jī)，進(jìn)氣口位于上定子頂端，出氣口位于上定子的下部。所述下定子和上定子之間用連接件進(jìn)行連接。在上定子部分的外面安裝了加熱絲。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是利用該結(jié)構(gòu)既可以對(duì)分子泵的電機(jī)進(jìn)行液冷，同時(shí)又可以對(duì)分子泵的定子進(jìn)行加熱，用來(lái)促進(jìn)分子泵自身吸附的氣體的解析，最終可以獲得高的真空度以及提高分子泵的排氣效率。
文檔編號(hào)F04D19/04GK202073802SQ20112014303
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月6日
發(fā)明者吳華夏, 方衛(wèi), 江祝苗 申請(qǐng)人:安徽華東光電技術(shù)研究所