專利名稱：復(fù)合真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，提供了 一種由羅茨泵和牽引分子泵組合而成的干式復(fù)
合真空泵。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有直排大氣多級羅茨泵能獲得清潔的中真空，在微電子和光電子等行業(yè)獲得了 廣泛應(yīng)用。然而，該泵能耗高、泵體龐大、笨重，而且極限真空僅能達(dá)到中真空區(qū)段。例如 5級串聯(lián)的30L/s羅茨泵，極限真空僅lO—ipa，體積達(dá)800 X 400 X 600，重量超過200kg。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能耗低、體積小、重量輕、極限
真空高的復(fù)合真空泵。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種復(fù)合真空泵，包括泵殼、開設(shè)于所述泵殼上的進(jìn)氣口及 排氣口，所述泵殼內(nèi)設(shè)有多級同軸安裝的牽引分子泵和羅茨泵，所述牽引分子泵采用并聯(lián) 或者串聯(lián)組合，置于靠近所述進(jìn)氣口處；所述羅茨泵采用串聯(lián)組合，置于靠近所述排氣口 處；所述牽引分子泵和羅茨泵采用串聯(lián)組合。具體地，所述牽引分子泵為具有兩個(gè)牽引面的Siegbahn分子泵，所述Siegbahn分 子泵包括泵殼、靜輪、動(dòng)密封、隔環(huán)、動(dòng)輪、轉(zhuǎn)子和軸。優(yōu)選地，所述Siegbahn分子泵用于立式復(fù)合真空泵；所述靜輪的螺旋狀葉片的截 面為十字形，每兩個(gè)相鄰的所述葉片之間的空間形成抽氣槽，所述抽氣槽的槽底中部設(shè)有 開口 ；所述槽底靠近所述靜輪內(nèi)側(cè)部位的開口率較大，靠近所述靜輪外側(cè)的開口率較?。?所述靜輪采用單只或者多只并聯(lián)組合；所述靜輪或靜輪組的一側(cè)設(shè)有動(dòng)密封；所述靜輪或 靜輪組無動(dòng)密封側(cè)、靠近外周處設(shè)有軸向進(jìn)氣口；所述分子泵的動(dòng)輪內(nèi)側(cè)，除最靠所述軸向 進(jìn)氣口的一只外，均設(shè)有排氣口。優(yōu)選地，所述分子泵用于臥式復(fù)合真空泵；所述靜輪的螺旋狀葉片的截面為十字 形，每兩個(gè)相鄰的所述葉片之間的空間形成抽氣槽，所述抽氣槽的槽底中部設(shè)有開口 ；所述 槽底靠近所述靜輪內(nèi)側(cè)部位的開口率較大，靠近所述靜輪外側(cè)的開口率較小；所述靜輪采 用單只或者多只并聯(lián)安裝；所述靜輪或靜輪組的兩側(cè)分別設(shè)有動(dòng)密封；所述靜輪或靜輪組 的外周處設(shè)有徑向進(jìn)氣口 ；所述泵殼與徑向進(jìn)氣口對應(yīng)部位設(shè)氣體通道；所述動(dòng)輪內(nèi)側(cè)均 設(shè)排氣口。具體地，所述牽引分子泵為具有兩個(gè)或者兩個(gè)以上牽引面的Gaede分子泵，所述 Gaede分子泵包括泵殼、靜輪、動(dòng)密封、隔環(huán)、動(dòng)輪、轉(zhuǎn)子和軸。優(yōu)選地，所述分子泵的靜輪由槽頂、動(dòng)密封、抽氣槽和槽底組成整體結(jié)構(gòu)；所述動(dòng) 密封的兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，所述進(jìn)氣口和排氣口分別位于所述槽底和槽頂上； 所述槽底的截面為T形，兼作所述動(dòng)密封的加強(qiáng)環(huán)；所述抽氣槽在靠近進(jìn)氣口和排氣口部 位采用傾斜槽型；所述抽氣槽的槽頂插入所述動(dòng)輪內(nèi)。優(yōu)選地，所述分子泵的靜輪由若干動(dòng)密封、槽頂組成整體結(jié)構(gòu)；所述動(dòng)密封兩側(cè)分 別設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口 ；所述進(jìn)氣口和排氣口均位于所述槽頂上；所述靜輪安裝在兩只動(dòng) 輪之間，所述槽頂與兩只動(dòng)輪之間的空間構(gòu)成抽氣槽；所述抽氣槽在靠近進(jìn)氣口和排氣口 的部位采用傾斜槽型；所述動(dòng)密封內(nèi)側(cè)設(shè)有加強(qiáng)環(huán)。具體地，所述羅茨泵包括泵殼、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)軸，所述泵殼上開設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口， 所述轉(zhuǎn)子與所述泵殼之間的間隙形成緩沖空間。更具體地，所述轉(zhuǎn)子的頂部采用與所述轉(zhuǎn)軸同心的圓弧面，所述圓弧面的最佳弧 長為5°至10° ；所述轉(zhuǎn)子底部的圓弧面與另一個(gè)轉(zhuǎn)子頂部的圓弧面相匹配。優(yōu)選地，所述羅茨泵的轉(zhuǎn)子采用三葉結(jié)構(gòu)，并減小所述進(jìn)氣口和排氣口的寬度，所 述泵殼內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子之間的配合圓弧面相對于轉(zhuǎn)軸的圓心張角大于120°。優(yōu)選地，最靠近所述真空泵進(jìn)氣口處為并聯(lián)的所述Siegbahn分子泵，隨后為串聯(lián) 的所述Siegbahn分子泵，最后為串聯(lián)的Gaede分子泵。優(yōu)選地，最靠近進(jìn)氣口處增設(shè)若干級串聯(lián)的渦輪分子泵。與現(xiàn)有技術(shù)比較，本發(fā)明所提供的復(fù)合真空泵的優(yōu)點(diǎn)如下a.該復(fù)合真空泵的極限真空大幅度提高，可進(jìn)入高真空區(qū)段；b.該復(fù)合真空泵能獲得十分清潔的中、高真空；c.該復(fù)合真空泵的能耗低；d.該復(fù)合真空泵的抽速大、尺寸小、重量輕。


圖la為本發(fā)明實(shí)施例一所提供的立式Siegbahn分子泵的示意圖；圖lb為本發(fā)明實(shí)施例一所提供的靜輪的示意圖；圖lc為圖lb的左視圖；圖2a為本發(fā)明實(shí)施例二所提供的臥式Siegbahn分子泵的示意圖；圖2b為本發(fā)明實(shí)施例二所提供的靜輪的示意圖；圖2c為圖2b的左視圖；圖3a為本發(fā)明實(shí)施例三所提供的A型Gaede分子泵的示意圖；圖3b為本發(fā)明實(shí)施例三所提供的靜輪的示意圖；圖3c為圖3b的左視圖；圖4a為本發(fā)明實(shí)施例四所提供的B型Gaede分子泵的示意圖；圖4b為本發(fā)明實(shí)施例四所提供的靜輪的示意圖；圖4c為圖4b的左視圖；圖5為本發(fā)明所提供的低泄漏羅茨泵的示意圖；圖6為本發(fā)明所提供的1#復(fù)合真空泵的示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對 本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用 于限定本發(fā)明。
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本發(fā)明實(shí)施例所提供的復(fù)合真空泵，包括一泵殼、開設(shè)于所述泵殼上的進(jìn)氣口及 出氣口，所述泵殼內(nèi)設(shè)有多級串聯(lián)的羅茨泵，以及同軸安裝的、并聯(lián)或串聯(lián)組合的若干牽引 分子泵，所述牽弓I分子泵靠近所述進(jìn)氣口設(shè)置，所述羅茨泵靠近所述排氣口設(shè)置，所述羅茨 泵與牽引分子泵串聯(lián)組合。本發(fā)明實(shí)施例所提供的復(fù)合真空泵，最佳驅(qū)動(dòng)方式采用變頻調(diào)速。實(shí)施例一立式Siegbahn分子泵如圖la、lb和lc所示，該立式Siegbahn分子泵包括泵殼17、靜輪11、動(dòng)輪12、動(dòng) 密封18、轉(zhuǎn)子13、轉(zhuǎn)軸14和隔環(huán)110。所述靜輪11、動(dòng)密封18和隔環(huán)110固設(shè)于所述泵殼17上，所述動(dòng)輪12固設(shè)于轉(zhuǎn) 子13上，所述動(dòng)輪12和隔環(huán)110之間設(shè)有軸向進(jìn)氣口 16。具體地，所述靜輪11設(shè)有若干螺旋狀葉片15 (本實(shí)施例中為6片)，所述葉片15 的截面為十字形，每兩相鄰葉片15之間的空間形成抽氣槽111，所述抽氣槽111的槽底中部 留有開口 ；所述靜輪11采用單只或者多只并聯(lián)組合；所述靜輪11或靜輪組的一側(cè)設(shè)有動(dòng) 密封18 ；所述靜輪11或靜輪組無動(dòng)密封18側(cè)、靠近外周處設(shè)有軸向進(jìn)氣口 16 ；所述分子泵 的動(dòng)輪12內(nèi)側(cè)，除最靠所述軸向進(jìn)氣口 16的一只外，均設(shè)有排氣口 19。當(dāng)轉(zhuǎn)子13按圖lc中箭頭所示方向高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體由所述進(jìn)氣口 16進(jìn)入所述抽 氣槽111，然后經(jīng)所述排氣口 19排出；改變轉(zhuǎn)子13的旋轉(zhuǎn)方向或者葉片15的螺旋方向，可 以改變抽氣的方向。進(jìn)一步地，為了達(dá)到更好的抽真空效果，所述抽氣槽111的槽底靠近靜輪11外側(cè) 的開口率(槽底缺口與槽寬之比)較小，靠近所述靜輪11內(nèi)側(cè)的開口率較大。實(shí)施例二 臥式Siegbahn分子泵本實(shí)施例的基本結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一類似，如圖2a、2b和2c所示，該臥式Siegbahn泵 包括泵殼26、靜輪21、動(dòng)密封27、隔環(huán)29、動(dòng)輪22、轉(zhuǎn)子23和軸24。所述靜輪21、動(dòng)密封27和隔環(huán)29固設(shè)于泵殼26上；所述靜輪21采用單只或者 多只(圖2中所示為2只)并聯(lián)組合；所述靜輪21或靜輪組的兩側(cè)分別設(shè)有動(dòng)密封27 ；所 述靜輪21或靜輪組的周緣上開設(shè)有徑向的進(jìn)氣口 211，所述泵殼26與所述進(jìn)氣口 211對應(yīng) 的部位開設(shè)氣體通道212 ；所述動(dòng)輪22固設(shè)于轉(zhuǎn)子23上；所述動(dòng)輪22的內(nèi)側(cè)均設(shè)有排氣
n 28。當(dāng)轉(zhuǎn)子23按圖2c中箭頭所示方向高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體先后經(jīng)泵殼26上的連通氣孔 212、進(jìn)氣口 211進(jìn)入抽氣槽210，然后由排氣口 28排出，構(gòu)成一種臥式的Siegbahn分子泵。 改變轉(zhuǎn)子23的旋轉(zhuǎn)方向或者靜輪21和動(dòng)密封27的螺旋方向，可改變抽氣的方向。進(jìn)一步地，為了達(dá)到更好的抽真空效果，靠近所述靜輪21外側(cè)的槽底開口率較 小，靠近所述靜輪21內(nèi)側(cè)的槽底開口率較大。實(shí)施例三、A型Gaede牽引分子泵本實(shí)施例如圖3a、3b和3c所示，該A型Gaede分子泵由泵殼37、靜輪31、動(dòng)輪32、 動(dòng)輪311、轉(zhuǎn)子34、轉(zhuǎn)軸35和隔環(huán)38組成。所述靜輪31、隔環(huán)38固設(shè)于所述泵殼37上，所述動(dòng)輪32和動(dòng)輪311固設(shè)于轉(zhuǎn)子 34上，所述動(dòng)輪32內(nèi)側(cè)設(shè)有氣體通道36。具體地，所述靜輪31由槽頂39、若干只(圖中所示為2只)動(dòng)密封314抽氣槽33
6和槽底310組成，構(gòu)成整體結(jié)構(gòu)。所述動(dòng)密封314的兩側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口 312和排氣口 313 ；所述進(jìn)氣口 312和排氣口 313分別位于槽底310和槽頂39上；所述槽底310的截面為T形，所述槽頂39可以插入動(dòng) 輪32內(nèi)，減少泄漏；所述槽底310兼作動(dòng)密封314的加強(qiáng)環(huán)，以提高動(dòng)密封314的強(qiáng)度；所 述抽氣槽33在靠近所述進(jìn)氣口 312和排氣口 313處采用傾斜槽型，增加壓縮能力。本實(shí)施例中，所述動(dòng)密封314為兩只，所述靜輪31安裝在動(dòng)輪32和動(dòng)輪311之間， 組成兩個(gè)并聯(lián)的抽氣單元。當(dāng)轉(zhuǎn)子34按圖3c中箭頭所示方向高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體經(jīng)由動(dòng)輪32上的氣體通道 36、進(jìn)氣口 312進(jìn)入抽氣槽33，然后由排氣口 313排出；改變轉(zhuǎn)子34的旋轉(zhuǎn)方向，可改變抽 氣的方向。實(shí)施例四、B型Gaede分子泵本實(shí)施例如圖4a、4b和4c所示，該B型Gaede分子泵由泵殼44、靜輪41、隔環(huán)45、 動(dòng)輪48、轉(zhuǎn)子42和轉(zhuǎn)軸43組成。所述靜輪41、隔環(huán)45固設(shè)于所述泵殼44上，所述動(dòng)輪48 固設(shè)于轉(zhuǎn)子42上。具體地，所述靜輪41由槽頂49、若干只(圖中所示為2只)動(dòng)密封410和加強(qiáng)環(huán) 46組成，構(gòu)成整體結(jié)構(gòu)。所述動(dòng)密封410的兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口 411和排氣口 412，所述進(jìn)氣口 411和排氣 口 412均設(shè)在所述槽頂49上；所述加強(qiáng)環(huán)46用于增加動(dòng)密封410的機(jī)械強(qiáng)度，當(dāng)然也可以 不用加強(qiáng)環(huán)46。本實(shí)施例中，所述動(dòng)密封410為2只，所述靜輪41安裝在兩只動(dòng)輪48之間；所述 槽頂49與兩只動(dòng)輪48之間的空間構(gòu)成抽氣槽47，組成2只并聯(lián)的抽氣單元；所述槽頂49 可以插入動(dòng)輪48內(nèi)，以減少泄漏。當(dāng)轉(zhuǎn)子42按圖4c中箭頭所示方向高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體由進(jìn)氣口 411經(jīng)抽氣槽47抽 向排氣口 412 ；改變轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)方向，可改變抽氣的方向。所述抽氣槽47在靠近進(jìn)氣口 411和排氣口 412的部位采用傾斜槽型，以增加壓縮 能力。實(shí)施例五、低泄漏羅茨泵本實(shí)施例如圖5所示，該低泄漏羅茨泵包括泵殼51、轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53、轉(zhuǎn)軸54和 轉(zhuǎn)軸55，所述泵殼51上開設(shè)有進(jìn)氣口 56和排氣口 57，所述轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53與所述泵殼 51之間的間隙形成緩沖空間58。具體地，所述轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53的頂部分別采用與所述轉(zhuǎn)軸54和轉(zhuǎn)軸55同心的 圓弧面，該圓弧面的最佳長度為5° 10°，以增加轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53與所述泵殼51內(nèi)壁 之間密封間隙的長度；所述轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53的底部圓弧面與頂部圓弧面相匹配，以減少氣 體泄漏。具體地，所述轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53采用三葉結(jié)構(gòu)，并減小所述泵殼51的進(jìn)氣口 56和 排氣口 57的寬度，使泵殼51的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53之間的配合圓弧面相對于轉(zhuǎn)軸54 和轉(zhuǎn)軸55的圓心張角大于120°，從而使進(jìn)氣口 56和排氣口 57之間在任何時(shí)刻至少有一 個(gè)緩沖空間，以減少泵殼51與轉(zhuǎn)子52和轉(zhuǎn)子53之間的泄漏，提高羅茨泵在高壓強(qiáng)運(yùn)行時(shí) 的壓縮比。
實(shí)施例六1#復(fù)合真空泵本該實(shí)施例由立式Siegbahn分子泵、A型Gaede分子泵、B型Gaede分子泵，以及 多級羅茨泵組合，構(gòu)成一臺復(fù)合真空泵。具體地，如圖6所示，該復(fù)合真空泵由泵殼612、電機(jī)611、同軸安裝的動(dòng)密封62、立 式Siegbahn分子泵63、立式Siegbahn分子泵64和立式Siegbahn分子泵65、動(dòng)密封66、A 型Gaede分子泵67、B型Gaede分子泵68和多級串聯(lián)的羅茨泵69組成；所述泵殼612上設(shè) 有進(jìn)氣口 61和排氣口 610。上述各級泵的連接方式如下最靠近所述泵口 61處，設(shè)置2級并聯(lián)的Siegbahn分 子泵63和Siegbahn分子泵64 ；然后，依次串聯(lián)1級Siegbahn分子泵65、1級A型Gaede分 子泵67和1級B型Gaede分子泵68 ；最后，與多級羅茨泵69串聯(lián)，構(gòu)成一臺復(fù)合真空泵。實(shí)施例七2#復(fù)合真空泵本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例六類似，其不同之處在于靠近進(jìn)氣口處增設(shè)若干級串 聯(lián)的渦輪分子泵，以增加高真空區(qū)段的抽速；緊隨其后的多級并聯(lián)Siegbahn分子泵改成外 側(cè)進(jìn)氣，相應(yīng)動(dòng)密封移至所述并聯(lián)Siegbahn分子泵的下方；再與隨后的其他分子泵串聯(lián)。另外，實(shí)施例六和實(shí)施例七也可以取消羅茨泵，構(gòu)成一臺性能優(yōu)良的立式復(fù)合分子泵。綜上所述，與現(xiàn)有技術(shù)比較，本發(fā)明所提供的復(fù)合真空泵的優(yōu)點(diǎn)如下a.該復(fù)合真空泵的極限真空大幅度提高，可進(jìn)入高真空區(qū)段；b.該復(fù)合真空泵能獲得十分清潔的中、高真空；c.該復(fù)合真空泵的能耗低；d.該復(fù)合真空泵的抽速大、尺寸小、重量輕。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種復(fù)合真空泵，包括泵殼、開設(shè)于所述泵殼上的進(jìn)氣口及排氣口，所述泵殼內(nèi)設(shè)有多級同軸安裝的牽引分子泵和羅茨泵，其特征在于所述牽引分子泵采用并聯(lián)或者串聯(lián)組合，置于靠近所述進(jìn)氣口處；所述羅茨泵采用串聯(lián)組合，置于靠近所述排氣口處；所述牽引分子泵和羅茨泵采用串聯(lián)組合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述牽引分子泵為具有兩個(gè)牽引 面的Siegbahn分子泵，所述Siegbahn分子泵包括泵殼、靜輪、動(dòng)密封、隔環(huán)、動(dòng)輪、轉(zhuǎn)子和 軸ο
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述Siegbahn分子泵用于立式 復(fù)合真空泵；所述靜輪的螺旋狀葉片的截面為十字形，每兩個(gè)相鄰的所述葉片之間的空間 形成抽氣槽，所述抽氣槽的槽底中部設(shè)有開口 ；所述槽底靠近所述靜輪內(nèi)側(cè)部位的開口率 較大，靠近所述靜輪外側(cè)的開口率較??；所述靜輪采用單只或者多只并聯(lián)組合；所述靜輪 或靜輪組的一側(cè)設(shè)有動(dòng)密封；所述靜輪或靜輪組無動(dòng)密封側(cè)、靠近外周處設(shè)有軸向進(jìn)氣口 ； 所述分子泵的動(dòng)輪內(nèi)側(cè)，除最靠所述軸向進(jìn)氣口的一只外，均設(shè)有排氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述分子泵用于臥式復(fù)合真空泵； 所述靜輪的螺旋狀葉片的截面為十字形，每兩個(gè)相鄰的所述葉片之間的空間形成抽氣槽， 所述抽氣槽的槽底中部設(shè)有開口 ；所述槽底靠近所述靜輪內(nèi)側(cè)部位的開口率較大，靠近所 述靜輪外側(cè)的開口率較小；所述靜輪采用單只或者多只并聯(lián)安裝；所述靜輪或靜輪組的兩 側(cè)分別設(shè)有動(dòng)密封；所述靜輪或靜輪組的外周處設(shè)有徑向進(jìn)氣口 ；所述泵殼與徑向進(jìn)氣口 對應(yīng)部位設(shè)氣體通道；所述動(dòng)輪內(nèi)側(cè)均設(shè)排氣口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述牽引分子泵為具有兩個(gè)或者 兩個(gè)以上牽引面的Gaede分子泵，所述Gaede分子泵包括泵殼、靜輪、動(dòng)密封、隔環(huán)、動(dòng)輪、轉(zhuǎn) 子和軸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述分子泵的靜輪由槽頂、動(dòng)密 封、抽氣槽和槽底組成整體結(jié)構(gòu)；所述動(dòng)密封的兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，所述進(jìn)氣口 和排氣口分別位于所述槽底和槽頂上；所述槽底的截面為T形，兼作所述動(dòng)密封的加強(qiáng)環(huán)； 所述抽氣槽在靠近進(jìn)氣口和排氣口部位采用傾斜槽型。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述分子泵的靜輪由若干動(dòng)密封、 槽頂組成整體結(jié)構(gòu)；所述動(dòng)密封兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口 ；所述進(jìn)氣口和排氣口均位 于所述槽頂上；所述靜輪安裝在兩只動(dòng)輪之間，所述槽頂與兩只動(dòng)輪之間的空間構(gòu)成抽氣 槽；所述抽氣槽在靠近進(jìn)氣口和排氣口的部位采用傾斜槽型；所述動(dòng)密封內(nèi)側(cè)設(shè)有加強(qiáng) 環(huán)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述羅茨泵包括泵殼、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn) 軸，所述泵殼上開設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，所述轉(zhuǎn)子與所述泵殼之間的間隙形成緩沖空間。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述轉(zhuǎn)子的頂部采用與所述轉(zhuǎn)軸 同心的圓弧面，所述圓弧面的最佳弧長為5°至10° ；所述轉(zhuǎn)子底部的圓弧面與另一個(gè)轉(zhuǎn)子 頂部的圓弧面相匹配。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的復(fù)合真空泵，其特征在于所述羅茨泵的轉(zhuǎn)子采用三葉結(jié) 構(gòu)，并減小所述進(jìn)氣口和排氣口的寬度，所述泵殼內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子之間的配合圓弧面相對于轉(zhuǎn) 軸的圓心張角大于120°。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)合真空泵，其特征在于最靠近所述真空泵進(jìn)氣口處為并 聯(lián)的所述Siegbahn分子泵，隨后為串聯(lián)的所述Siegbahn分子泵。
12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合真空泵，其特征在于最靠近所述排氣口處為串聯(lián)的所 述Gaede分子泵。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合真空泵，其特征在于最靠近進(jìn)氣口處增設(shè)若干級串聯(lián) 的渦輪分子泵。
全文摘要
本發(fā)明屬抽真空設(shè)備領(lǐng)域，提供一種復(fù)合真空泵，包括泵殼、以及開設(shè)于所述泵殼上的進(jìn)氣口及排氣口，所述泵殼內(nèi)設(shè)有若干級同軸安裝的牽引分子泵和羅茨泵；所述牽引分子泵采用并聯(lián)或者串聯(lián)組合，置于靠近所述進(jìn)氣口處；所述羅茨泵采用串聯(lián)組合，置于靠近所述排氣口處；所述牽引分子泵和羅茨泵采用串聯(lián)組合。本發(fā)明所提供的復(fù)合真空泵抽速大、極限真空高、能耗低、尺寸小、重量輕，還能獲得清潔的中真空和高真空。
文檔編號F04C18/14GK101852199SQ20091010627
公開日2010年10月6日 申請日期2009年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月31日
發(fā)明者儲繼國 申請人:儲繼國