專利名稱：處理液槽的閘門裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種像電鍍裝置等那樣設(shè)置于能儲藏鍍覆液等處理液的處理液槽的
閘門裝置，尤其涉及具有能使利用工件搬運裝置保持成垂直狀態(tài)的板狀工件不用升降地搬 入或搬出處理液槽的、開閉自如的工件經(jīng)過口的處理液槽的閘門裝置。
背景技術(shù)：
作為處理液槽的供工件經(jīng)過的閘門裝置，有專利文獻1和2記載的裝置。這些閘 門裝置包括板狀工件能以垂直姿勢經(jīng)過的狹縫狀工件經(jīng)過口、開閉該工件經(jīng)過口的能滑 動的板狀閘門板部件，并且，為了使該閘門部件在打開位置與關(guān)閉位置之間移動，上述閘門 裝置包括具有電動機和減速齒輪機構(gòu)的機械驅(qū)動機構(gòu)。
但是，上述現(xiàn)有技術(shù)中，用電動機和減速齒輪機構(gòu)等以機械方式驅(qū)動閘門部件的 驅(qū)動機構(gòu)的成本高，另外，用于防止驅(qū)動機構(gòu)浸漬到處理液中的密封構(gòu)造也變得復(fù)雜。
針對這些現(xiàn)有構(gòu)造，本專利申請人開發(fā)出了包括膨脹伸縮自如的袋狀閘門部件的 閘門裝置(專利文獻3)，由此，可簡化閘門部件及其驅(qū)動機構(gòu)的構(gòu)造，降低成本，并解決浸 漬到處理液中引起的不良情況。 專利文獻1 :日本專利特開2004-99957號公報
專利文獻2 :日本專利特開2002-327296號公報
專利文獻3 :日本專利特開2007-113066號公報 專利文獻3的閘門裝置中，通過袋狀閘門部件來直接開閉工件經(jīng)過口，而且，使袋 狀閘門部件的一部分的側(cè)面從閘門部件支撐壁的間隙外突，以關(guān)閉工件經(jīng)過口，因此，每次 開閉閘門裝置時，袋狀閘門部件都會與上述間隙的內(nèi)表面相互磨擦，這會使閘門部件的壽 命下降。另外，由于通過袋狀閘門部件彼此的緊貼來關(guān)閉工件經(jīng)過口，因此在長期使用時， 很難在工件經(jīng)過口的全長范圍內(nèi)維持密封狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，通過使用能膨脹收縮的一對管部件作為閘門部件的驅(qū)動機 構(gòu)，長期維持較高的密封性，簡化驅(qū)動機構(gòu)，并防止處理液引起的驅(qū)動機構(gòu)的功能下降，降 低成本。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是在具有板狀工件能經(jīng)過的工件經(jīng)過口的處理液 槽的閘門裝置中，包括位置能在關(guān)閉上述工件經(jīng)過口的關(guān)閉位置與打開上述工件經(jīng)過口 的打開位置之間變更的可動閘門部件、以及使上述可動閘門部件在關(guān)閉位置與打開位置之 間移動的驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)包括與上述可動閘門部件一體移動的滑動部、以及配置在 該滑動部的移動方向的兩側(cè)并能膨脹收縮的一對管部件，通過在使一個管部件膨脹的同時 使另一個管部件收縮，使可動閘門部件與上述滑動部一起朝著打開位置移動，通過在使一 個管部件收縮的同時使另一個管部件膨脹，使可動閘門部件與上述滑動部一起朝著關(guān)閉位 置移動。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，不僅像以往那樣，在將工件保持于垂直狀態(tài)或水平狀態(tài)后，不用使
工件升降就能將其導(dǎo)入或搬出浸漬槽，而且還能簡化可動閘門部件的驅(qū)動機構(gòu)，實現(xiàn)成本
的降低。而且，即使驅(qū)動機構(gòu)浸漬到處理液中，驅(qū)動機構(gòu)的功能也不會下降。 本發(fā)明是在上述結(jié)構(gòu)中，較為理想的是上述管部件由彈性材構(gòu)成。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于利用空氣壓力等使兩管部件進行膨脹和收縮，因此能敏捷地
進行可動兩閘門部件的移動，提高開閉控制的響應(yīng)性。另外，在因某種原因而導(dǎo)致閘門部件
在開閉途中停止時，即便管部件的膨脹動作繼續(xù)，也能通過管部件自身的彈性來防止管部
件的破損。 本發(fā)明是在上述結(jié)構(gòu)中，支撐上述閘門部件和上述驅(qū)動機構(gòu)的閘門裝置主體裝拆 自如地安裝于上述處理液槽的縱壁。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過從處理液槽拆下閘門裝置，能容易地進行閘門裝置的維護和
清掃。另外，還能將閘門裝置更換成規(guī)格與工件的形狀相應(yīng)的閘門裝置。 本發(fā)明是在包括上述裝拆自如的閘門裝置主體的結(jié)構(gòu)中，在上述縱壁上形成安裝
閘門裝置主體用的朝上開口的凹部，在上述閘門裝置主體上，在與工件搬運方向正交的方
向上的兩端緣包括沿上下方向延伸的條狀的嵌合槽，通過將上述嵌合槽與上述凹部的內(nèi)端
緣卡合并將閘門裝置主體從上方插入凹部，將閘門裝置主體安裝于縱壁。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，相對于處理液槽，能從上方簡單地裝拆閘門裝置。


圖1是本發(fā)明的第一實施方式，是包括閘門裝置的鍍覆裝置的整體俯視圖。 圖2是圖1的鍍覆槽和箱槽附近的縱截面放大圖。 圖3是圖2的III-III截面放大圖。 圖4是圖2的IV-IV截面放大圖。 圖5是圖2的箱槽的俯視放大圖。 圖6是圖5的VI-VI剖視圖。 圖7是圖6的閘門裝置的立體圖。 圖8是圖6的閘門裝置的分解立體圖。 圖9是工件經(jīng)過口處于打開狀態(tài)的圖6的閘門裝置的IX-IX剖視圖。 圖10是圖9的X-X剖視圖。 圖11是圖10的XI-XI剖視圖。 圖12是工件經(jīng)過口處于打開狀態(tài)的圖6的閘門裝置的IX-IX截面放大圖(圖9 的主要部分的放大圖)。 圖13是工件經(jīng)過口處于關(guān)閉狀態(tài)的圖6的閘門裝置的IX-IX截面放大圖。 圖14是表示圖1的鍍覆槽、箱槽、空平臺間的工件的搬運與閘門裝置的開閉動作 的關(guān)聯(lián)的工作說明圖。 圖15是表示圖14的下一道工序的與圖14同樣的工作說明圖。 圖16是表示圖15的下一道工序的與圖14同樣的工作說明圖。 圖17是本發(fā)明的第二實施方式，是可動閘門部件的主視圖。 圖18是本發(fā)明的第三實施方式，是閘門裝置的水平剖視圖。
圖19是本發(fā)明的第四實施方式，是閘門裝置的水平剖視圖。圖20是本發(fā)明的第五實施方式，是鍍覆處理裝置的縱剖視圖。圖21是圖20的閘門裝置的剖視立體圖。圖22是圖8等所示的上側(cè)固定件的縱截面放大圖。圖23是圖22的上側(cè)固定件附近的分解立體圖。(符號說明)14鍍覆槽(處理液槽的一例)15箱槽28搬運吊鉤84、85閘門裝置88工件經(jīng)過口91袋狀閘門部件92限位部件93可動閘門部件93a滑動部(滑動部件的一例)94驅(qū)動機構(gòu)101U02第一管部件和第二管部件132氣泵
具體實施例方式[第一實施方式] 圖1 圖16表示包括本發(fā)明所涉及的閘門裝置的液體處理槽的一例，是應(yīng)用于電 鍍裝置的例子。(鍍覆裝置整體的概況) 圖l是電鍍裝置整體的俯視圖，在構(gòu)成為大致長圓形(日語長円形狀)的鍍覆處 理線上，從處理線的長邊方向的一端部(圖l的右端部)的加載部IO朝著箭頭F方向(順 時針方向)依次包括前處理工序的前處理槽(噴淋槽)11、空平臺12、箱槽13、電鍍工序 的鍍覆槽14、后處理工序的箱槽15、空平臺16、第一后處理槽(噴淋槽)17、長邊方向的另 一端部的第二后處理槽(回收槽)18、卸載部19、剝離工序(吊鉤返回工序)的空平臺20、 箱槽21、剝離槽22、箱槽23、空平臺24和剝離后處理槽(噴淋室)25。在作為浸漬處理槽 的鍍覆槽14和剝離槽22的工件搬運方向的前后分別相鄰設(shè)置有箱槽13U5、21、23，箱槽 13、21的出口兼作鍍覆槽14和剝離槽22的入口，箱槽15、23的入口兼作鍍覆槽14和剝離 槽22的出口。 在上述鍍覆處理線的內(nèi)周側(cè)敷設(shè)有長圓形的導(dǎo)軌27，在該導(dǎo)軌27上，許多搬運吊 鉤28被支撐成能在軌道長度方向上移動。 在導(dǎo)軌27的內(nèi)周側(cè)，為了使搬運吊鉤28在水平方向上移動，配置有多個獨立的搬 運裝置31、32、 ".、40。該搬運裝置31、32、 ".、40中，在與各箱槽13、 15、21、23對應(yīng)的位置 上分別配設(shè)有線性致動器型往復(fù)運動式的取入搬運裝置31、32、33、34。在與前處理工序的 前處理槽11和空平臺12對應(yīng)的位置、與鍍覆槽14對應(yīng)的位置、與后處理工序的空平臺16和第一后處理槽17對應(yīng)的位置、與剝離工序的空平臺20對應(yīng)的位置、與剝離槽22對應(yīng)的 位置、與空平臺24和剝離后處理槽25對應(yīng)的位置上，分別配設(shè)有鏈?zhǔn)捷斔蜋C型的連續(xù)搬運 裝置35、36、37、38、39、40。另外，從后處理工序的第一后處理槽17經(jīng)由第二后處理槽18到 卸載部19的部分和從剝離后處理槽25經(jīng)由加載部10到前處理槽11的部分，配置有未圖 示的推動搬運吊鉤的推進機(pusher)裝置。在圖1中，雙線箭頭所示的各區(qū)間Al A6表 示鏈?zhǔn)捷斔蜋C型的連續(xù)搬運裝置35、36、37、38、39、40的搬運區(qū)間，虛線箭頭所示的各區(qū)間 Bl B表示線性致動器型的取入搬運裝置31、32、33、34的搬運區(qū)間，實線所示的區(qū)間Cl、 C2、 C3、 C4表示推進機裝置的搬運區(qū)間。 圖2是圖1的鍍覆槽14、后處理工序的箱槽15、空平臺16和第一后處理槽17的 縱剖放大簡圖，這些鍍覆槽14、箱槽15、空平臺和第一后處理槽17載放在一定高度的臺架 42上，在臺架42內(nèi)配置有預(yù)備槽43。在箱槽15的上方通過未圖示的臺架配設(shè)有規(guī)定容積 的柱槽47。 在箱槽15的底壁上設(shè)置有可開閉的排出口栓46，在該排出口栓46上設(shè)置有用于 驅(qū)動該排出口栓46開閉的操作部46a。在預(yù)備槽43與柱槽47之間配設(shè)有配管48，在該配 管48上設(shè)置有用于從預(yù)備槽43朝柱槽47導(dǎo)入鍍覆液(處理液)的泵49和過濾器50。在 柱槽47的底部可開閉地設(shè)置有能從上方朝箱槽15供給處理液的排出口栓51。
在預(yù)備槽43與鍍覆槽14之間并排設(shè)置有兩個配管55、56，在配管55 、56上均設(shè)置 有用于從預(yù)備槽43朝鍍覆槽14供給鍍覆液的泵57、59和過濾器58、60。 一個配管55用于 在箱槽15的閘門開閉時將鍍覆槽14的液面維持于規(guī)定高度，另一個配管56用于鍍覆液循 環(huán)。另外，在空平臺16的底部設(shè)置有用于朝預(yù)備槽43排出鍍覆液的排出管44，此外，在鍍 覆槽14上還設(shè)置有用于將溢出的鍍覆液朝預(yù)備槽43排出的溢流管61。
(搬運吊鉤) 圖3是搬運吊鉤28的圖2的III-III截面放大圖，搬運吊鉤28由在導(dǎo)軌長度方 向上移動自如地支撐于上述導(dǎo)軌27的移動基臺63、從該移動基臺63朝著與導(dǎo)軌27成大致 直角的方向水平延伸的臂部64、從該臂部64的前端部朝下方延伸的工件吊持部65構(gòu)成，在 工件吊持部65的下端部設(shè)置有吊持銷66和夾子67。在上述吊持銷66上卡合工件(例如 電路用基板)W的上端部的卡合孔，并利用夾子67將工件保持成不能脫落。被吊持的工件 W通過吊持部65和未圖示的適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電機構(gòu)與導(dǎo)軌27電連接，從導(dǎo)軌27進行供電。在移 動基臺63的上表面固接有朝著與臂部64相反的方向水平延伸的支軸70，在該支軸70上， 鏈輪71通過單向離合器72被支撐成只朝一個方向旋轉(zhuǎn)。具體而言，在圖2中，上述鏈輪71 構(gòu)成為朝箭頭R方向旋轉(zhuǎn)，但不朝箭頭R的反方向旋轉(zhuǎn)。
(搬運裝置) 在圖2中，鏈?zhǔn)捷斔蜋C型的連續(xù)搬運裝置36 、37由驅(qū)動鏈輪73、從動鏈輪74和巻 掛于兩鏈輪73、74間的搬運鏈75(圖3)構(gòu)成，上述搬運吊鉤28的鏈輪71與搬運鏈75的 上側(cè)移動部分卡合。如上所述，搬運吊鉤28包括單向離合器72 (圖3)，從而在與搬運鏈75 卡合的狀態(tài)下，與搬運鏈75的上側(cè)部分一起朝著圖2的箭頭F方向移動。
在圖2中，線性致動器型的取入搬運裝置32中，在與導(dǎo)軌27并行配置的導(dǎo)向部76 上以能與導(dǎo)軌27平行移動的形態(tài)支撐有滑動器77，該滑動器77通過未圖示的導(dǎo)向部76所 包括的導(dǎo)螺桿進給機構(gòu)和伺服電動機等的作用沿導(dǎo)向部76往復(fù)移動。
圖4是圖2的IV-IV截面放大圖，在上述滑動器77上固接有朝著搬運吊鉤28側(cè) 大致水平延伸的支軸78，在該支軸78上以能繞支軸78轉(zhuǎn)動的形態(tài)支撐有朝下方延伸的取 入爪79。上述取入爪79被未圖示的限位件從箭頭S的反方向側(cè)卡定于圖2所示的狀態(tài)，并 從箭頭F的反方向側(cè)與搬運吊鉤28的支軸70卡合，滑動器77朝箭頭F方向的移動時，通 過取入爪79朝箭頭F方向移動搬運吊鉤28?；瑒悠?7相對于搬運吊鉤28朝箭頭F的反 方向側(cè)移動時，取入爪79朝箭頭S方向轉(zhuǎn)動，越過搬運吊鉤28的支軸78。
(閘門裝置) 圖5是后處理工序的箱槽15及其前后的鍍覆槽14和空平臺16的放大俯視圖，在 上述箱槽15上，在與箭頭F方向(工件搬運方向)正交的方向上隔開規(guī)定間隔配置有左右 一對箱部15a，工件W經(jīng)過左右的箱部15a之間。在鍍覆槽14與箱槽15之間的縱壁82、箱 槽15與空平臺16之間的縱壁83上分別設(shè)置有閘門裝置84、85。通過包括箱部15a，提供 給箱槽15的液量變少，能減少開閉閘門裝置84時鍍覆液的變動，并能縮短提供給箱槽15 的鍍覆液的排出時間。 圖6是圖5的VI-VI截面放大圖，圖7是圖6的閘門裝置84的立體圖，圖8是圖6 的閘門裝置84的分解立體圖，圖9是圖6的IX-IX剖視圖，圖10是圖9的X-X剖視圖，圖 11是圖10的XI-XI剖視圖。為了方便說明，下面將工件搬運方向F作為"前"、將其反方向 作為"后"、并將與工件搬運方向F正交的水平方向作為"左右方向"進行說明。圖6中，在 箱槽15的縱壁82的左右寬度的中央部形成有U字形的閘門裝置安裝用凹部89，在該凹部 89內(nèi)通過橡膠管制填料(tygon tube :軟管)90安裝有閘門裝置84。該閘門裝置84在左 右寬度的中央部具有大致垂直的狹縫狀的工件經(jīng)過口 88。該工件經(jīng)過口 88的左右寬度比 板狀工件W的厚度大，在工件經(jīng)過口 88的上端部形成有朝著上方擴大的倒三角形的擴大部 88a，以使搬運吊鉤28的吊持部65和夾子67能夠經(jīng)過。作為閘門部件92、93的材料，選擇 例如耐腐蝕性和耐久性好的樹脂等時較為理想。 在圖8中，閘門裝置84包括由左右的柱部91a、91b構(gòu)成為縱長U字形的閘門裝 置主體91 ;固定在該U字形閘門裝置主體91的左側(cè)柱部91a上的限位部件92 ;在左右方向 上移動自如地配置在閘門裝置主體91的左側(cè)柱部91b上的可動閘門部件93 ;從工件搬運 方向F的兩側(cè)對該可動閘門部件93進行導(dǎo)向的導(dǎo)向板110和導(dǎo)向殼體111 ;從工件搬運方 向F的兩側(cè)夾持并連結(jié)左右的柱部91a、91b的一對固定板97 ;以及具有用于移動上述可動 閘門部件93的第一管部件101和第二管部件102的驅(qū)動機構(gòu)94等。在閘門裝置主體91 的外周面上形成有安裝閘門裝置主體用的安裝槽106，此外，在左右的柱部91a、91b的上端 設(shè)置有閘門裝置主體固定用的固定件95。限位部件92、可動閘門部件93、導(dǎo)向板110、導(dǎo)向 殼體111、管部件101和管部件102配設(shè)在工件經(jīng)過口 88的上下方向的大致全長范圍內(nèi)。 左側(cè)柱部91a和右側(cè)柱部91b兩者可通過拆下固定板97而分離。右側(cè)柱部91b具有從下 部朝左延伸的大致長方體狀的橋體91c，該橋體91c形成為從后方觀察呈L字形。橋體91c 的左端部與左側(cè)柱部91a的下部抵接?？蓜娱l門部件93由矩形截面的滑動部93a和板狀 的閘門部93b —體形成為從上方觀察呈L字形。閘門部93b從滑動部93a的左表面前側(cè)向 左突出設(shè)置。閘門部93b的前后寬度比滑動部93a的前后寬度小。 在圖7中，將上述閘門裝置主體91的安裝槽106與縱壁82的上述凹部89的端緣 嵌合，并將閘門裝置主體91從上方插入凹部89內(nèi)。然后，將左右的兩固定件95通過螺栓95a固定于縱壁82的上表面，從而將閘門裝置主體91以密封狀態(tài)安裝于縱壁82。限位部 件92是板狀體，可裝拆地固定于左側(cè)柱部91a的前表面，并使前后位置與閘門部93b的前 后位置相同。在限位部件92的前端部的上下方向的大致全長范圍內(nèi)安裝有填料108。
上述導(dǎo)向板110是與工件搬運方向F正交的板狀體，右部分可裝拆地固定于右側(cè) 柱部91b的前表面，左部分位于右側(cè)柱部91b的左側(cè)。導(dǎo)向殼體lll由后導(dǎo)向部llla和左 導(dǎo)向部111b形成為從上方觀察呈L字形，后導(dǎo)向部111a是與工件搬運方向F正交的板狀 體，左導(dǎo)向部111b是與工件搬運方向F平行的板狀體，后導(dǎo)向部111a的右側(cè)部分可裝拆地 固定于右側(cè)柱部91b的后表面，后導(dǎo)向部111a的左側(cè)部分配置于與導(dǎo)向板110的左部分相 同的左右位置。左導(dǎo)向部111b的后端與后導(dǎo)向部111a的左端一體形成，左導(dǎo)向部111b的 前端與上述導(dǎo)向板110的左端之間空開一定的間隙T配置。 [OO75](驅(qū)動機構(gòu)94的詳細構(gòu)造) 圖9中，在由后導(dǎo)向部111a的前表面、左導(dǎo)向部111b的右表面、導(dǎo)向板110的后 表面、右側(cè)柱部91b的左表面和橋體91c的上表面圍成的管收納室124內(nèi)，在左右方向上移 動自如地收納有滑動部93a?；瑒硬?3a的前后寬度比管收納室124內(nèi)的前后寬度稍小。 閘門部93b經(jīng)過上述間隙T而突出到管收納室124外。閘門部93b的前后寬度比上述間隙 T的前后寬度稍小。在由后導(dǎo)向部111a的前表面、左導(dǎo)向部111b的右表面、滑動部93a的 左表面、閘門部93b的后表面和橋體91c的上表面圍成的空間部124a內(nèi)收納有上述第一管 部件101，在由后導(dǎo)向部111a的前表面、導(dǎo)向板110的后表面、滑動部93a的右表面、右側(cè) 柱部91b的左表面和橋體91c的上表面圍成的空間部124b內(nèi)收納有上述第二管部件102。 兩管部件101、102是具有彈性的橡膠制管，通過朝內(nèi)部壓入空氣而膨脹，通過將內(nèi)部的空 氣排出而收縮。 圖10是圖9的X-X截面放大圖，將上下方向的中間部分省略表示。在該圖10中， 各管部件101、 102的下端部通過下側(cè)固定件99和螺栓99a分別固定于右側(cè)柱部91b的左 表面和后導(dǎo)向部111b的右表面并被閉塞。各管部件101U02的上端部通過長方體狀的上 側(cè)固定件98和螺栓98a分別固定于右側(cè)柱部91b的左表面和后導(dǎo)向部111b的右表面并被 閉塞，但在各管部件101、 102的上端閉塞部的附近分別開設(shè)有孔101a、102a，在該孔lOla、 102a內(nèi)分別插入L字形的樹脂制或金屬制的接頭管130并連接。 在上側(cè)固定件98上形成有用于固定上述接頭管130的槽部98b以及與接頭管130 連通的空氣通路131，空氣通路131從上側(cè)固定件98的上表面的大致中央形成至內(nèi)部，并通 過空氣軟管分別與氣泵132連接。槽部98b從與右側(cè)柱部91b的左表面相對的面(或與后 導(dǎo)向部111b的右表面相對的面)的大致中央部形成至下端。如圖22所示，空氣通路131 與槽部98b通過通路98c連通。 圖11是圖10的XI-XI剖視圖，第一管部件101用的接頭管130形成為矩形截面， 接頭管130的垂直部130a嵌入上側(cè)固定件98的槽部98b，并與后導(dǎo)向部111b的右表面壓 緊。槽部98b的縱深和寬度被設(shè)定成比垂直部130a的外徑稍大。如圖IO所示，接頭管130 的水平部130b經(jīng)由上述通路98c而與空氣通路131連通。接頭管130具有能經(jīng)受住固定 件98的壓緊力的強度，因此能作為空氣通路131與管部件101之間的空氣通路始終發(fā)揮穩(wěn) 定的功能。如圖23所示，垂直部130a在周圍被管部件101覆蓋的狀態(tài)下與槽部98b嵌合， 因此，垂直部130a與槽部98b的間隙(圖23中用斜線表示的Dl、 D2)被管部件101閉塞，防止空氣從固定件98的下表面泄漏。固定件98和后導(dǎo)向部lllb以在相對的面(圖23中 用斜線表示的E1、E2)上夾著管部件101壓接的狀態(tài)固定，因此，固定件98與后導(dǎo)向部lllb 的間隙被管部件101閉塞，防止空氣從固定件98的側(cè)面(與后導(dǎo)向部lllb相對的面)泄 漏。由此，防止固定件98的下表面和側(cè)面兩者的空氣泄漏，將管部件101的上端部以氣密 狀態(tài)與接頭管130連接并固定于后導(dǎo)向部lllb。圖10所示的第二管部件102也和與上述 第一管部件101 —樣的接頭管130連接，并固定于右側(cè)柱部91b。 在圖9中，如上所述由兩管部件101、102構(gòu)成的驅(qū)動機構(gòu)94在開閘狀態(tài)與關(guān)閘狀 態(tài)之間切換，在開閘狀態(tài)下，在朝第一管部件101供給壓縮空氣而使第一管部件101膨脹的 同時，將第二管部件102內(nèi)的空氣排出而使第二管部件102收縮，相反，在關(guān)閘狀態(tài)下，在朝 第二管部件102供給壓縮空氣而使第二管部件102膨脹的同時，將第一管部件101內(nèi)的空 氣排出而使第一管部件101收縮。 g卩，圖12是表示打開狀態(tài)的圖9的主要部分的放大圖，通過朝第一管部件101壓 入空氣、使其膨脹來擴大左導(dǎo)向部111b的右表面與滑動部93a的左表面之間的距離，并且 從第二管部件102排出空氣、使其收縮，使滑動部93a和閘門部93b —體地朝打開方向(右 方)O移動，能將工件經(jīng)過口 88打開。此時，空間部124b內(nèi)的鍍覆液和空氣通過滑動部93a 的動作而被壓縮，從空間部124b的上部、下部、可動閘門部件93與導(dǎo)向板110間的間隙以 及后導(dǎo)向部111a與滑動部93a的間隙排出。另一方面，如圖13所示，通過朝第二管部件 102壓入空氣、使其膨脹來擴大右側(cè)柱部91b的左表面與滑動部93a的右表面之間的距離， 并且從第一管部件101排出空氣、使其收縮，使滑動部93a和閘門部93b—體地朝關(guān)閉方向 (左方)S移動，能將工件經(jīng)過口 88關(guān)閉。此時，空間部124a內(nèi)的鍍覆液和空氣通過滑動 部93a的動作而被壓縮，從空間部124a的上部、下部、可動閘門部件93與導(dǎo)向板110間的 間隙以及左導(dǎo)向部lllb與閘門部93b的間隙排出。該關(guān)閉狀態(tài)下，閘門部93b的端緣與限 位部件92的填料108按壓接觸。 第一管部件101和第二管部件102的材質(zhì)不限定于如上所述的橡膠，只要是樹脂 就沒有特別的限制，但較為理想的是考慮耐藥品性、對反復(fù)伸縮的耐久性等決定。例如，在 用于貯存酸性、堿性的處理液的處理液槽時，可采用EPDM、四氟乙烯樹脂、聚乙烯、聚丙烯、 軟性氯乙烯、天然橡膠等。 在圖6中，上述橡膠管制填料108也通過接頭管140而與氣泵141連接，通過對橡 膠管制填料108壓入空氣，能發(fā)揮密封性能。
(工作的說明) 由于鍍覆處理工序及其后的吊鉤的剝離工序等是以往公知的，因此極為簡單地進 行說明。在圖1中，用加載部IO將鍍覆處理前的工件W吊持于搬運吊鉤28，利用推進機裝 置將搬運吊鉤28和工件W搬運至前處理槽11內(nèi)，并使搬運吊鉤28的鏈輪71與前處理槽 11的連續(xù)搬運裝置35的搬運鏈75的起始端部卡合。 從上述連續(xù)搬運裝置35起，朝著箭頭F方向依次利用取入搬運裝置31、連續(xù)搬運 裝置36、取入搬運裝置32和連續(xù)搬運裝置37來移動搬運吊鉤27，從而使工件W經(jīng)過前處 理槽11、空平臺12、箱槽13、鍍覆槽14、箱槽15、空平臺16和第一后處理槽17，或使工件W 在規(guī)定的處理位置停止規(guī)定時間，進行前處理、鍍覆處理和清洗等后處理。鍍覆處理完成后 的工件由未圖示的推進機裝置通過第二后處理槽18搬運至卸載部19，從搬運吊鉤28拆下鍍覆處理后的工件W。 拆下工件W后的搬運吊鉤-28接著使鏈輪71與剝離工序的空平臺20的連續(xù)搬運 裝置38的鏈?zhǔn)捷斔蜋C75卡合，從該連續(xù)搬運裝置38起朝著箭頭F方向依次利用取入搬運 裝置33、連續(xù)搬運裝置39、取入搬運裝置34和連續(xù)搬運裝置40進行移動，附著物被剝離、 清洗，再次返回加載部10。 在上述鍍覆處理中，將工件W從例如鍍覆處理工序的鍍覆槽14朝箱槽15水平移 動時以及將工件W從箱槽15朝空平臺16水平移動時等，像圖12那樣，在使第一管部件101 膨脹的同時使第二管部件102收縮，從而使可動閘門部件93朝打開方向0移動，將工件經(jīng) 過口88打開。由此，工件W不用上升就可經(jīng)過工件經(jīng)過口 88。工件W經(jīng)過了工件經(jīng)過口 88后，像圖13那樣，在使第二管部件102膨脹的同時使第一管部件92收縮，從而使可動閘 門部件93朝關(guān)閉方向(左方)S移動，將工件經(jīng)過口 88關(guān)閉。
[利用閘門裝置的開閉進行工件搬運的一例] 圖14 圖16表示鍍覆槽14、箱槽15、空平臺16間的工件W的搬運(移送)與閘 門裝置84、85的開閉動作的關(guān)聯(lián)。閘門裝置84、85處于打開狀態(tài)時用交叉影線表示，閘門 裝置84、85處于關(guān)閉狀態(tài)時用空白表示。 (1)在圖14中，預(yù)先對箱槽15內(nèi)供給來自未圖示的柱槽的鍍覆液。將鍍覆槽14 與箱槽15之間的閘門裝置84打開，箱槽15與空平臺16之間的閘門裝置85關(guān)閉，在鍍覆槽 14內(nèi)的搬運吊鉤28中的最靠近箱槽15側(cè)(箭頭F方向側(cè))的搬運吊鉤(用虛線表示)28 的支軸70上，從箭頭F的反方向側(cè)卡合取入搬運裝置32的滑動器77的取入爪79。然后， 朝箭頭F方向移動滑動器77，從而使工件W與搬運吊鉤28 —起朝箭頭F方向移動，經(jīng)過閘 門裝置84的開口部88(圖6)而搬運至箱槽15內(nèi)，并在箱槽15處停止。
(2)在圖15中，將鍍覆槽14與箱槽15之間的閘門裝置84關(guān)閉，排出箱槽15內(nèi)的 鍍覆液。 (3)在圖16中，將箱槽15與空平臺16之間的閘門裝置85打開，朝箭頭F方向移 動滑動器77，從而使工件W與搬運吊鉤28 —起朝箭頭F方向移動，經(jīng)過閘門裝置85的開口 部88而搬運至空平臺16內(nèi)。之后，上述閘門裝置85關(guān)閉。被搬運到空平臺16內(nèi)的搬運 吊鉤28由連續(xù)搬運裝置37進行搬運。 (4)將搬運吊鉤28搬運到空平臺16內(nèi)之后，滑動器77朝箭頭F的反方向移動，返 回至鍍覆槽14的上方。此時，滑動器77的取入爪79越過鍍覆槽14內(nèi)的下一個搬運吊鉤 28的支軸70，從箭頭F的反方向側(cè)與上述支軸70卡合。
[實施方式的效果] (1)由于包括限位部件92和可動閘門部件93，作為可動閘門部件93的驅(qū)動機構(gòu) 94，包括膨脹伸縮自如的一對第一管部件101和第二管部件102，通過使第一管部件101膨 脹并使第二管部件102收縮，使可動閘門部件93朝著打開位置移動，通過使第一管部件101 收縮并使第二管部件102膨脹，使可動管部件101朝著關(guān)閉位置移動，因此與包括電動機和 減速齒輪機構(gòu)等機械驅(qū)動機構(gòu)時相比，驅(qū)動機構(gòu)94被簡化，能實現(xiàn)成本的降低。而且，即使 驅(qū)動機構(gòu)94的管部件101U02浸漬在處理液中，驅(qū)動機構(gòu)的功能也不會下降。用實際的裝 置進行測試的結(jié)果是，專利文獻3的閘門裝置中的袋狀閘門部件的壽命為一周左右，與之 相對，本實施方式的驅(qū)動機構(gòu)94達到了一個月的壽命。
(2)由于利用空氣壓力等使彈性材制的兩管部件101U02進行膨脹和收縮，因此 能敏捷地進行可動兩閘門部件93的移動，可提高開閉控制的響應(yīng)性。另外，在某種原因?qū)?致可動閘門部件93在開閉途中停止時，即便管部件101或102的膨脹動作繼續(xù)，也能利用 管部件自身的彈性來防止管部件的破損。 (3)由于包括相對于縱壁82的凹部89裝拆自如的閘門裝置主體91，上述閘門裝 置主體91的左右兩個部分包括沿上下方向延伸的條狀嵌合槽106，通過將上述嵌合槽106 與上述凹部89的內(nèi)端緣卡合并將閘門裝置主體91從上方插入凹部89，將閘門裝置主體安 裝在縱壁82上，因此在處理液槽上能簡單地裝拆閘門裝置。 (4)由于導(dǎo)向殼體111、導(dǎo)向板110和限位部件92能在閘門裝置主體91上進行裝 拆，并且能將左側(cè)柱部91a與右側(cè)柱部91b分離，因此能使管部件101、 102和填料108的更 換變得容易，并能可靠地進行管收納室124內(nèi)等各部分的清洗，能提高鍍覆槽14的維護性。
(5)由于在將可動閘門部件93打開時通過管部件101的膨脹將空間部124a內(nèi)的 處理液排出，減小流入空間部124a內(nèi)的處理液的體積，因此在下一動作中將可動閘門部件 93關(guān)閉時，能減小空間部124a內(nèi)的處理液對滑動部93a的左表面產(chǎn)生的阻力，能迅速且順 暢地進行可動閘門部件93的關(guān)閉動作。同樣地，通過使管部件102膨脹，能迅速且順暢地 進行可動閘門部件93的打開動作。因此，開閉動作變得迅速，能縮短工件的移動時間，從而 能對鍍覆處理裝置的工件生產(chǎn)量的增加做出貢獻。 (6)由于可動閘門部件93、管部件102和填料108配設(shè)在工件經(jīng)過口 88的上下方 向的大致全長范圍內(nèi)，可動閘門部件93以通過管部件102的膨脹而在整個上下方向上均等 受力的狀態(tài)與填料108按壓接觸，因此能提高閘門裝置84的液密封性。因此，從鍍覆槽14 和箱槽15流出的鍍覆液減少，從而能減小使流出的鍍覆液返回鍍覆槽14的泵57的能力， 并且鍍覆液的循環(huán)引起的液溫變化減小，能減輕溫度調(diào)節(jié)所需的負(fù)載。
(7)由于將接頭管130在插通管部件101 (或管部件102)的狀態(tài)下嵌入固定部98 的槽部98b、與后導(dǎo)向部11 lb (或右側(cè)柱部91b)壓緊，將各管部件的上端部以氣密狀態(tài)與接 頭管130連接，并利用接頭管130確保了空氣的通路，因此能使空氣可靠地出入各管部件， 使可動閘門部件93的動作變得順暢。此外，操作者固定管部件時，能將接頭管130作為管 部件上開設(shè)的孔的記號，能簡單地進行管部件的安裝作業(yè)。
[第二實施方式] 圖17是第二實施方式，只表示了可動閘門部件93?？蓜娱l門部件93中，一體形成 的滑動部93a形成空洞。即，在滑動部93a的上下方向的大致全長范圍內(nèi)進行鉆孔加工，并 用蓋141將加工出的空洞部140的上端開口部閉塞?？斩床?40的下端被滑動部93a的下 端部分閉塞。 這樣，通過將滑動部93a形成中空，能實現(xiàn)可動閘門部件93的重量的減輕，并能高 效地利用浮力，從而能提高可動閘門部件93的開閉移動的順暢性。能提高可動閘門部件93 的開閉移動的順暢性和響應(yīng)性，迅速地進行開閉移動。 [owe][第三實施方式] 圖18是第三實施方式，表示閘門裝置84的水平剖視圖。本實施方式的閘門裝置 84包括導(dǎo)向殼體113以代替導(dǎo)向板IIO，并包括可動閘門部件151以代替可動閘門部件93。 另外，作為上述驅(qū)動機構(gòu)94的代替，包括驅(qū)動機構(gòu)941，其具有第一管部件101a、 101b、第二管部件102a、102b總共四根管部件。上述零件全部配設(shè)在工件經(jīng)過口 88的上下方向的大 致全長范圍內(nèi)。其它結(jié)構(gòu)與上述第一實施方式一樣，對相同或相當(dāng)部分標(biāo)注相同符號并省 略其說明。導(dǎo)向殼體113由前導(dǎo)向部113a和左導(dǎo)向部113b形成為從上方觀察呈L字形， 前導(dǎo)向部113a是與工件搬運方向F正交的板狀體，左導(dǎo)向部113b是與工件搬運方向F平 行的板狀體，前導(dǎo)向部113a的右側(cè)部分可裝拆地固定于右側(cè)柱部91b的前表面，前導(dǎo)向部 113a的左側(cè)部分配置于與導(dǎo)向殼體111的左部分相同的左右位置。左導(dǎo)向部113b的前端 與前導(dǎo)向部113a的左端一體形成，左導(dǎo)向部113b的后端與上述左導(dǎo)向部lllb的前端之間 空開一定的間隙U配置。 在由后導(dǎo)向部llla的前表面、左導(dǎo)向部lllb的右表面、前導(dǎo)向部113a的后表面、 左導(dǎo)向部113b的右表面、右側(cè)柱部91b的左表面和橋體91c的上表面圍成的管收納室124 內(nèi)，在左右方向上移動自如地收納有與上述可動閘門部件151 —體形成的矩形截面的滑動 部151a。 可動閘門部件151由滑動部151a和閘門部151b—體形成為從上方觀察呈T字 形。閘門部151b從滑動部151a的左表面中央向左突出，閘門部151b的前后寬度比滑動部 151a的前后寬度小。閘門部151b經(jīng)過上述間隙U而突出到管收納室124外。閘門部151b 的前后寬度比上述間隙U的前后寬度稍小?；瑒硬?51a的前后寬度比管收納室124內(nèi)的 前后寬度稍小。在由后導(dǎo)向部llla的前表面、左導(dǎo)向部lllb的右表面、滑動部151a的左 表面、閘門部151b的后表面和橋體91c的上表面圍成的空間部124a內(nèi)收納有上述第一管 部件101a，在由前導(dǎo)向部113a的后表面、左導(dǎo)向部113b的右表面、滑動部151a的左表面、 閘門部151b的前表面和橋體91c的上表面圍成的空間部124b內(nèi)收納有上述第一管部件 101b，在由后導(dǎo)向部llla的前表面、前導(dǎo)向部113a的后表面、滑動部151a的右表面、右側(cè) 柱部91b的左表面和橋體91c的上表面圍成的空間部124c的后側(cè)收納有上述第二管部件 102a，前側(cè)收納有上述第二管部件102b。管部件101b由上側(cè)固定件98和下側(cè)固定件99固 定于左導(dǎo)向部113b的右表面，上述第二管部件102a和102b分別由上側(cè)固定件98和下側(cè) 固定件99固定于右側(cè)柱部91b的左表面。 通過朝第一管部件101a和101b壓入空氣、使其膨脹來擴大滑動部151a的左表面 與左導(dǎo)向部lllb的右表面及左導(dǎo)向部113b的右表面之間的距離，并且從第二管部件102a 和102b排出空氣、使其收縮，使滑動部151a和閘門部151b—體地朝打開方向(右方)O移 動，能將工件經(jīng)過口 88打開。此時，空間部124c內(nèi)的鍍覆液和空氣從空間部124c的上部、 下部、滑動部151a與后導(dǎo)向部llla間的間隙以及滑動部151a與前導(dǎo)向部113a的間隙排 出。另一方面，通過朝第二管部件102a和102b壓入空氣、使其膨脹來擴大右側(cè)柱部91b的 左表面與滑動部151a的右表面之間的距離，并且從第一管部件101a和101b排出空氣、使 其收縮，使滑動部151a、閘門部151b—體地朝關(guān)閉方向(左方)S移動，能將工件經(jīng)過口 88 關(guān)閉。此時，空間部124a內(nèi)的鍍覆液和空氣從空間部124a的上部、下部、滑動部151a與后 導(dǎo)向部llla間的間隙以及閘門部151b與左導(dǎo)向部lllb的間隙排出，空間部124b內(nèi)的鍍 覆液和空氣從空間部124b的上部、下部、滑動部151a與前導(dǎo)向部113a間的間隙以及閘門 部151b與左導(dǎo)向部113b的間隙排出。該關(guān)閉狀態(tài)下，閘門部151b的端緣與限位部件92的 填料108按壓接觸。這樣，本實施方式中，第一管部件(101a和101b)和第二管部件(102a 和102b)分別配置于滑動部151a的移動方向的兩側(cè)，作為能膨脹收縮的一對管部件進行動作。 根據(jù)本實施方式，第一管部件101和第二管部件102分別配置有一對，因此，能以 較強的、且在工件搬運方向的整個寬度范圍內(nèi)大致均等的力來移動可動閘門部件93。另外， 即使一對第一管部件101中的一方爆裂、一對第二管部件102中的一方爆裂，也能確?？蓜?閘門部件93的動作。在圖18中，對與上述第一實施方式相同的零件標(biāo)注了相同的符號。
[第四實施方式] 圖19是第四實施方式，表示閘門裝置84的水平剖視圖，是左右設(shè)置一對可動閘門
部件93和驅(qū)動機構(gòu)94的構(gòu)造。S卩，是將配置于上述第一實施方式的圖6等的右半部分的
可動閘門部件93以及由第一管部件101和第二管部件102形成的驅(qū)動機構(gòu)94配置成左右
對稱的構(gòu)造。在圖19中，對與上述第一實施方式相同的零件標(biāo)注了相同的符號。 根據(jù)本實施方式，由于從左右加壓各可動閘門部件93，因此能可靠地關(guān)閉狹縫狀
的工件經(jīng)過口 88。[第五實施方式] 圖20和圖21是將本發(fā)明應(yīng)用于以水平狀態(tài)搬運板狀工件W的鍍覆處理裝置的 例子。圖20表示鍍覆處理裝置的整體，從工件搬運起點側(cè)起依次配置有工件加載槽(工 件加載部)201、前處理槽(噴淋槽)202、箱槽203、鍍覆槽204、箱槽205、后處理槽(噴淋 槽)206、工件卸載槽(工件卸載部)207，在各槽間的縱壁上配置有閘門裝置G，該閘門裝置 G具有水平的狹縫狀的工件經(jīng)過口 210(圖21)。在各槽201至207內(nèi)配置有上下夾持水平 狀態(tài)的工件W并進行搬運的上下的搬運滾筒211。在箱槽203、205中，在工件搬運路的下側(cè) 配置有箱槽203a、205a。 圖21是閘門G的一例，基本上是將具有上述圖6至圖9等所示的縱向的工件經(jīng)過 口的閘門裝置旋轉(zhuǎn)90。而橫向配置的構(gòu)造，因此，對具有與第一實施方式相同的功能的零 件標(biāo)注相同的符號并省略其詳細說明。 在圖21中，閘門裝置主體91在上下方向上隔開間隔地具有上下的柱部件(梁部 件)91a、91b，兩者的端部彼此由左右的垂直的柱部件91c、91d(只有91d未圖示)連結(jié)，從 而形成具有朝向工件搬運方向F貫穿的孔的長方體。在縱壁82的凹部89的端緣上通過橡 膠管制填料90嵌合有在閘門裝置主體91的外周上形成的安裝槽106。導(dǎo)向板110是與工 件搬運方向F正交的板狀體，下部分可裝拆地固定于下側(cè)柱部件91b的前表面，上部分配置 于下側(cè)柱部件91b的上側(cè)。導(dǎo)向殼體111由后導(dǎo)向部llla和上導(dǎo)向部lllb形成為從側(cè)方 觀察呈L字形，后導(dǎo)向部llla是與工件搬運方向F正交的板狀體，上導(dǎo)向部lllb是與工件 搬運方向F平行的板狀體，后導(dǎo)向部llla的下側(cè)部分可裝拆地固定于下側(cè)柱部件91b的后 表面，后導(dǎo)向部11 la的上側(cè)部分配置于與上述導(dǎo)向板110相同的上下位置。上導(dǎo)向部11 lb 的后端與后導(dǎo)向部llla的上端一體形成，上導(dǎo)向部lllb的前端與上述導(dǎo)向板110的后端 之間空開一定的間隙V配置。可動閘門部件93由矩形截面的滑動部93a和板狀的閘門部 93b —體形成為從側(cè)方觀察呈L字形。閘門部93b從滑動部93a的上表面前側(cè)向上突出設(shè) 置。閘門部93b的前后寬度比滑動部93a的前后寬度小。在由后導(dǎo)向部llla的前表面、上 導(dǎo)向部lllb的下表面、導(dǎo)向板110的后表面、下側(cè)柱部件91b的上表面、左側(cè)柱部件91c的 右表面和右側(cè)柱部件91d的左表面圍成的管收納室124內(nèi)，在上下方向上移動自如地收納 有滑動部93a?；瑒硬?3a的前后寬度比管收納室124內(nèi)的前后寬度稍小。
閘門部93b經(jīng)過上述間隙V而突出到管收納室124外。閘門部93b的前后寬度比
上述間隙V的前后寬度稍小。在由后導(dǎo)向部llla的前表面、上導(dǎo)向部lllb的下表面、滑動
部93a的上表面、閘門部93b的后表面、左側(cè)柱部件91c的右表面和右側(cè)柱部件91d的左表
面圍成的空間部124a中收納有上述第一管部件101，在由后導(dǎo)向部llla的前表面、導(dǎo)向板
110的后表面、滑動部93a的下表面、下側(cè)柱部91b的上表面、左側(cè)柱部件91c的右表面和右
側(cè)柱部件91d的左表面圍成的空間部124b中收納有上述第二管部件102。 在上側(cè)柱部件91a的下表面設(shè)置有朝下方突出的限位部件92，可動閘門部件93的
上端面隔著水平的狹縫狀的工件經(jīng)過口 210與上述限位部件92的下表面相對。 限位部件92、可動閘門部件93、導(dǎo)向板110、導(dǎo)向殼體111、管部件101和管部件
102全部配設(shè)在工件經(jīng)過口 210的左右方向的大致全長范圍內(nèi)。 該閘門裝置G中，通過朝上側(cè)的第一管部件101壓入空氣、使其膨脹來擴大上導(dǎo)向部lllb的下表面與滑動部93a的上表面之間的距離，并且從第二管部件102排出空氣、使其收縮，使滑動部93a和閘門部93b—體地朝打開方向(下方)移動，從而將工件經(jīng)過口210打開。由此，工件W不用上升，可在水平的狀態(tài)下經(jīng)過工件經(jīng)過口 210。另一方面，通過朝第二管部件102壓入空氣、使其膨脹來擴大下側(cè)柱部91b的上表面與滑動部93a的下表面之間的距離，并且從第一管部件101排出空氣、使其收縮，使滑動部93a和閘門部93b —體地朝關(guān)閉方向(上方)移動，將工件經(jīng)過口 210關(guān)閉。
[其它實施方式] (1)上述各實施方式中，是通過將搬運吊鉤連續(xù)地水平移動來使其經(jīng)過各槽的所謂的連續(xù)搬運方式的鍍覆裝置，但本發(fā)明所涉及的閘門裝置也可應(yīng)用于例如具有在中途使吊鉤上升、移送至下一個槽并在下一個槽中使吊鉤下降的搬運區(qū)間的間歇搬運方式的鍍覆裝置等。 (2)本發(fā)明所涉及的閘門裝置不限定于鍍覆裝置，也可應(yīng)用于例如利用儲藏在處理液槽內(nèi)的處理液來清洗工件的剝離槽等的浸漬處理裝置。 本發(fā)明除了能應(yīng)用于鍍覆裝置以外，還能應(yīng)用于鉻酸鹽處理裝置、鋁的陽極氧化處理裝置、電解研磨裝置或電解酸洗裝置等處理裝置。
權(quán)利要求
一種處理液槽的閘門裝置，具有板狀工件能經(jīng)過的狹縫狀的工件經(jīng)過口，其特征在于，包括可動閘門部件，該可動閘門部件的位置能在關(guān)閉所述工件經(jīng)過口的關(guān)閉位置與打開所述工件經(jīng)過口的打開位置之間變更；以及驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)使所述可動閘門部件在關(guān)閉位置與打開位置之間移動，所述驅(qū)動機構(gòu)包括與所述可動閘門部件一體移動的滑動部、以及配置在該滑動部的移動方向的兩側(cè)并能膨脹收縮的一對管部件，通過在使一個管部件膨脹的同時使另一個管部件收縮，使可動閘門部件與所述滑動部一起朝著打開位置移動，通過在使一個管部件收縮的同時使另一個管部件膨脹，使可動閘門部件與所述滑動部一起朝著關(guān)閉位置移動。
2. 如權(quán)利要求1所述的處理液槽的閘門裝置，其特征在于，所述管部件由彈性材構(gòu)成。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的處理液槽的閘門裝置，其特征在于，支撐所述閘門部件和所 述驅(qū)動機構(gòu)的閘門裝置主體裝拆自如地安裝于所述處理液槽的縱壁。
4. 如權(quán)利要求3所述的處理液槽的閘門裝置，其特征在于， 在所述縱壁上形成有安裝閘門裝置主體用的朝上開口的凹部，在所述閘門裝置主體上，在與工件搬運方向正交的方向上的兩端緣包括沿上下方向延 伸的條狀的嵌合槽，通過將所述嵌合槽與所述凹部的內(nèi)端緣卡合并將閘門裝置主體從上方插入凹部，將閘 門裝置主體安裝于縱壁。
全文摘要
一種處理液槽的閘門裝置，能長期維持較高的密封性，簡化驅(qū)動機構(gòu)，并能防止處理液引起的驅(qū)動機構(gòu)的功能下降。本發(fā)明的處理液槽的閘門裝置包括開閉板狀工件能經(jīng)過的工件經(jīng)過口(88)的可動閘門部件(93)；以及使可動閘門部件(93)移動、使其位置能在關(guān)閉工件經(jīng)過口(88)的關(guān)閉位置與打開工件經(jīng)過口(88)的打開位置之間變更的驅(qū)動機構(gòu)(94)。驅(qū)動機構(gòu)(94)包括與可動閘門部件(93)一體移動的滑動部(93a)；以及配置在該滑動部(93a)的移動方向的兩側(cè)并能膨脹收縮的一對管部件(101、102)。通過在使一個管部件(101)膨脹的同時使另一個管部件(102)收縮，使可動閘門部件(93)朝著打開位置移動，通過在使一個管部件(101)收縮的同時使另一個管部件(102)膨脹，使可動閘門部件(93)朝著關(guān)閉位置移動。
文檔編號C25D21/00GK101724883SQ200910208078
公開日2010年6月9日 申請日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月23日
發(fā)明者三好和也, 奈良田忠昭, 植村哲朗 申請人:上村工業(yè)株式會社