本發(fā)明涉及一種原子氣室及其制備方法，特別是涉及一種縱向雙腔原子氣室及其制備方法。原子氣室作為原子鐘與原子陀螺儀的核心部件，其設(shè)計(jì)與制造技術(shù)會直接影響原子鐘與陀螺儀的性能。為了獲得氣密性好、氣體純度高、體積小的原子氣室，各國研究人員們做出了各種嘗試與設(shè)計(jì)。隨著MEMS加工技術(shù)的發(fā)展，原子氣室...

本發(fā)明涉及RF-MEMS器件制造，特別是指一種RF-MEMS開關(guān)復(fù)合犧牲層制備方法。RF-MEMS（RF即RadioFrequency，射頻；MEMS即Micro-Electro-MechanicalSystem，微機(jī)電系統(tǒng)）開關(guān)因具有低損耗、高隔離度、可集成、微型化等優(yōu)勢，被...

本發(fā)明屬于納微結(jié)構(gòu)制備，具體涉及一種具有電磁場增強(qiáng)性能的連續(xù)月牙型納微結(jié)構(gòu)及其制備方法。背景方法等離子體納微結(jié)構(gòu)吸引了眾多的注意力，因?yàn)樗茉诩{米尺度上限域光，可以在表面增強(qiáng)光譜[1-3]、生物傳感器[4-6]、非線性光學(xué)[7-9]等應(yīng)用中發(fā)揮巨大的作用。當(dāng)納微結(jié)構(gòu)引入不對稱性因素時(shí)，相比...

本發(fā)明屬于柔性電子相關(guān)，更具體地，涉及一種仿生柔性力傳感器及其制備方法。隨著物聯(lián)網(wǎng)和機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展，人類對于人機(jī)交互提出了更高的要求，推動柔性電子技術(shù)誕生并迅速發(fā)展，這項(xiàng)技術(shù)在電子皮膚、人機(jī)交互界面、生理信號檢測等方面發(fā)揮著重要的作用。對比于傳統(tǒng)的硅基電子，柔性電子產(chǎn)品在不同種類...

本發(fā)明涉及一種金剛石表面復(fù)雜結(jié)構(gòu)及其制備方法。由于金剛石具有極高的硬度、熱導(dǎo)率、絕緣性、光透過率，以及耐酸、耐熱、耐輻射等優(yōu)異的物理、化學(xué)性能，被廣泛地應(yīng)用于工業(yè)、科研等各領(lǐng)域。同時(shí)由于金剛石極高的硬度以及化學(xué)穩(wěn)定性，在金剛石表面制備微納米結(jié)構(gòu)非常困難。目前，金剛石表面微納米結(jié)構(gòu)制備目前通...

本發(fā)明屬于微納器件加工領(lǐng)域，具體涉及一種基于干法刻蝕制備固態(tài)納米孔的方法及裝置。人類基因的堿基序列蘊(yùn)含著個體生老病死的全部遺傳信息。通過基因測序技術(shù)實(shí)現(xiàn)人類遺傳密碼的精準(zhǔn)破譯，是21世紀(jì)生命科學(xué)的重點(diǎn)研究方向之一。作為第三代測序技術(shù)的主要方法之一，納米孔測序技術(shù)具有高通量、低成本、免標(biāo)記、...

本申請是申請日為2015年9月25日、申請?zhí)枮?01510624967.1、名稱為“用于MEMS傳感器器件的晶片級封裝及對應(yīng)制造工藝”的中國專利申請的分案申請。本發(fā)明涉及一種用于MEMS傳感器器件的晶片級封裝和對應(yīng)制造工藝。如已知的那樣，用于諸如加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)、壓力或力傳...

本發(fā)明屬于加速度計(jì)領(lǐng)域，具體涉及一種基于旋轉(zhuǎn)折疊梁和納米光學(xué)諧振腔的面內(nèi)加速度計(jì)及方法。目前微光學(xué)加速度計(jì)的測量原理通常是基于光的波動性，即通過加速度敏感結(jié)構(gòu)將加速度轉(zhuǎn)化為位移信號，然后利用光信號的干涉、衍射效應(yīng)進(jìn)行位移測量。但是基于光的波動性的位移測量受光波長的限制，無法突破光的衍射極限...

本發(fā)明屬于拉曼基底制備，具體涉及一種基于AFM加工的表面增強(qiáng)拉曼基底的制備方法。拉曼檢測為無標(biāo)記檢測，具有檢測快速、廉價(jià)和簡便的優(yōu)點(diǎn)，能夠通過特定的相互作用位點(diǎn)探測選定的分子。表面增強(qiáng)拉曼散射技術(shù)(SERS)通過提高金屬納米結(jié)構(gòu)表面等離子體共振的方式來提高拉曼檢測信號，在生物醫(yī)學(xué)、...

本發(fā)明屬于無機(jī)材料，具體涉及一種可大量制備二元超晶格乳液球的方法。多組分無機(jī)膠體納米晶顆粒共組裝可以制備出具有新形貌以及具備新性能的超結(jié)構(gòu)材料，在生物標(biāo)記與成像、能量轉(zhuǎn)化與存儲、光電器件等方面都有廣泛的應(yīng)用。其中，二元超晶格材料具有豐富可調(diào)的形貌，同時(shí)能夠結(jié)合多種具有不同功能的納米...

本發(fā)明涉及一種微納雙模檢測加工模塊。MEMS及NEMS的發(fā)展應(yīng)用促進(jìn)了微納領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新，目前主流的微納加工工藝包括光學(xué)及電子束曝光、聚焦離子束加工、LIGA等，但是由于加工材料單一、設(shè)備復(fù)雜、昂貴，技術(shù)難以突破，限制了國內(nèi)微納產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。盡管傳統(tǒng)的“宏”機(jī)械制造技術(shù)無法滿足微納加工需求，...

本發(fā)明涉及模具加工，具體為一種具有微納米形態(tài)模具的加工方法。目前，許多的電子產(chǎn)品、汽車等的零件都是通過模具生產(chǎn)出來的，模具作為機(jī)械加工領(lǐng)域的重要元素，由于其在生產(chǎn)加工成本方面的優(yōu)勢，已經(jīng)日益成為產(chǎn)品、零件加工生產(chǎn)的首選。模具，簡單地說，就是用來成型產(chǎn)品或零件的工具。根據(jù)成型產(chǎn)品的不...

本發(fā)明涉及一種通過局部外加應(yīng)力調(diào)控微納米級機(jī)電開關(guān)的方法，其屬于微納米器件領(lǐng)域。：隨著微電子工藝的不斷進(jìn)步，單個芯片上的器件集成密度越來越高，在能夠?qū)崿F(xiàn)同樣功能的前提下，微型化、小型化正逐漸成為硬件的發(fā)展趨勢。因此微納米級器件的研究已經(jīng)成為目前的前沿和熱點(diǎn)。為了滿足器件微型化的發(fā)展需求，近...

本發(fā)明涉及一種麥克風(fēng)的制作技術(shù)，且特別涉及一種互補(bǔ)式金氧半微機(jī)電麥克風(fēng)及其制作方法。在過去的三十年中，互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)已廣泛用于集成電路(IC)的制造。由于大量的研究人力和投入，集成電路的發(fā)展和創(chuàng)新取得了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，顯著提高了其可靠性和產(chǎn)量，同時(shí)，生產(chǎn)成本大幅降低。目前...

本發(fā)明涉及MEMS(Micro-electromechanicalSystems，微機(jī)電系統(tǒng))、微型醫(yī)療器械、微型機(jī)器人、微型光學(xué)器件、神經(jīng)假體等，尤其涉及一種微型氣動/液壓驅(qū)動器及其加工方法。在MEMS系統(tǒng)中使用的微驅(qū)動器受限于驅(qū)動原理(壓電、靜電、電熱、電致伸縮、相變等)、材...

本發(fā)明涉及柔性器件，特別涉及一種柔性器件緩沖層及其制備方法與柔性器件。柔性器件的襯底大多采用聚酰亞胺(Polyimide,PI)或者聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylenenaphthalate,PEN)，但是這種襯底有很多缺點(diǎn)，比如對氧氣、水蒸氣的阻隔性能差；不耐高溫，使用...

本發(fā)明涉及MEMS，尤其是涉及一種MEMS傳感器的封裝方法。機(jī)器人中使用的觸覺傳感器，它是使用單晶硅作為結(jié)構(gòu)材料，同時(shí)使用半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)檢測施加壓力的大小。這是一種能夠連接到機(jī)器人指尖的小型高性能傳感器，它使得機(jī)器人能夠執(zhí)行復(fù)雜的裝配任務(wù)，并且能夠在不能使用視覺傳感器的環(huán)境(如，黑暗...

本專利文件的公開內(nèi)容的一部分含有遵從版權(quán)保護(hù)的材料。版權(quán)所有者不反對任何人如出現(xiàn)于美國專利商標(biāo)局專利文件或記錄中那樣拓制本專利公開，但在其他方面保留全部版權(quán)權(quán)利。優(yōu)先權(quán)本申請要求2017年2月21日提交的美國臨時(shí)申請第62/461,641號的優(yōu)先權(quán)，所述申請通過援引完全并入本文。本發(fā)明主要...

本發(fā)明屬于納米材料制備方法，特別涉及一種銀納米棒陣列結(jié)構(gòu)材料的制備方法。銀納米棒陣列具有優(yōu)異的活性與獨(dú)特的光學(xué)性能，是設(shè)計(jì)和構(gòu)建新型納米器件的基礎(chǔ)材料。近年來，利用銀納米棒陣列結(jié)構(gòu)制備具有“熱點(diǎn)”效應(yīng)的高活性表面增強(qiáng)拉曼散射基底材料受到研究人員的廣泛關(guān)注。銀納米棒陣列的常見制備方法...

本發(fā)明涉及功能材料在特定位置生長，特別涉及一種于基底上形成功能材料單晶陣列的功能材料定位生長方法。功能材料是指通過光、電、磁、熱、化學(xué)、生化等作用后具有特定功能的材料，具有優(yōu)良的電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)功能及其相互轉(zhuǎn)化的功能，是一種被用于非結(jié)構(gòu)目的的高技術(shù)材...