本發(fā)明屬于硅片生產(chǎn)制造的，更具體地說，是涉及一種硅棒切割液回收過濾裝置。

背景技術(shù)：

1、硅棒切割制備硅片過程中，切割產(chǎn)生的硅粉混雜在切割液中，隨著切割時長的累積，硅粉累積量也越來越多，硅粉在切割液中的密度隨之增高，影響切割液的降溫與潤滑作用，常出現(xiàn)斷線、跳線，嚴(yán)重時影響切割質(zhì)量，拉低切割效率。因此需要將切割液中的硅粉去除，才能使切割液重復(fù)利用，保證切割質(zhì)量。

2、現(xiàn)有可參考公告號為cn209270955u的中國專利，其公開了一種硅棒切割液過濾回收裝置，其包括主桶體及設(shè)置在所述主桶體內(nèi)的過濾桶；所述主桶體上設(shè)置有進(jìn)水口、出水口、注水口和排污口，所述進(jìn)水口低于所述出水口設(shè)置，所述注水口設(shè)置于所述主桶體頂部，所述排污口設(shè)置于所述主桶體底部，所述進(jìn)水口、出水口、注水口和排污口上分別設(shè)置有第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門；所述過濾桶上部設(shè)置有開口，內(nèi)部設(shè)置有濾芯，側(cè)壁上設(shè)置有濾孔；所述出水口和進(jìn)水口分別設(shè)置于所述開口上下兩側(cè)。

3、上述專利在對濾芯進(jìn)行沖洗處理的過程中，需要停止對切割液的過濾作業(yè)，導(dǎo)致切割液的過濾效率降低，增加了時間成本。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種硅棒切割液回收過濾裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的切割液的過濾效率降低，增加了時間成本的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：提供一種硅棒切割液回收過濾裝置，包括筒體、設(shè)置在所述筒體上的進(jìn)水口和出水口；還包括滑動設(shè)置在所述筒體內(nèi)的安裝框，所述安裝框內(nèi)設(shè)置有濾芯，所述筒體對側(cè)對應(yīng)開設(shè)有供所述安裝框滑入或滑出的更換進(jìn)口和更換出口；所述安裝框至少具有兩個并在所述筒體上僅設(shè)置一個；所述筒體上設(shè)置有用于對安裝框進(jìn)行固定的定位機構(gòu)；所述更換出口下方設(shè)置有鉸接在所述筒體外側(cè)的承托板，所述安裝框與所述承托板之間設(shè)置有聯(lián)動機構(gòu)，所述承托板處于初始狀態(tài)時自然朝下垂落，所述聯(lián)動機構(gòu)用于在所述安裝框朝向所述更換出口移動時帶動所述承托板向上轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)；所述筒體上設(shè)置有單向限位機構(gòu)，所述單向限位機構(gòu)用于限制所述承托板僅能向上轉(zhuǎn)動或解除限制。

3、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述筒體相對的內(nèi)側(cè)壁均開設(shè)有供所述安裝框在內(nèi)滑動的滑槽。

4、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述定位機構(gòu)包括豎向滑動設(shè)置在所述筒體兩側(cè)的定位板、固定在所述安裝框兩側(cè)并供所述定位板向下插入的定位殼、以及設(shè)置在所述筒體上的定位組件，所述定位組件用于將所述定位板固定在與所述定位殼分離的位置。

5、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述定位組件包括固定殼、插桿和定位彈簧，所述固定殼固定在所述筒體外側(cè)位于所述定位板上方的位置，所述插桿水平滑動設(shè)置在所述固定殼上，所述定位彈簧設(shè)置在所述固定殼上并與所述插桿連接；所述定位板上開設(shè)有供所述插桿內(nèi)端插入的插槽；所述插桿內(nèi)端位于所述插槽內(nèi)時，所述定位板與所述定位殼為分離狀態(tài)，所述定位彈簧處于自然狀態(tài)；所述插桿位于所述插槽內(nèi)的底面傾斜設(shè)置。

6、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述聯(lián)動機構(gòu)包括承托軸、傳動軸、齒輪、齒條和反向傳動組件，所述承托軸水平轉(zhuǎn)動連接在所述筒體外側(cè)，所述承托板固定在所述承托軸上；所述傳動軸轉(zhuǎn)動連接在所述筒體外側(cè)并與所述承托軸同軸設(shè)置；所述齒輪同軸固定在所述傳動軸上，所述齒條固定在所述安裝框一側(cè)并用于與所述齒輪嚙合；所述反向傳動組件設(shè)置在所述承托軸與所述傳動軸之間，所述反向傳動組件用于在所述傳動軸轉(zhuǎn)動時帶動所述承托軸反轉(zhuǎn)；所述齒條與所述齒輪嚙合直至分離時，所述承托板向上至水平狀態(tài)。

7、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述反向傳動組件包括滑動螺桿和導(dǎo)向架，所述導(dǎo)向架固定在所述筒體外側(cè)，所述滑動螺桿滑動設(shè)置在所述導(dǎo)向架上；所述承托軸和所述傳動軸相對的端面均同軸開設(shè)有螺紋孔，所述滑動螺桿的兩端均同時螺紋連接在對應(yīng)所述螺紋孔內(nèi)。

8、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述滑動螺桿外側(cè)沿其長度方向開設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向架內(nèi)設(shè)置有位于所述導(dǎo)向槽內(nèi)的導(dǎo)向塊。

9、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述單向限位機構(gòu)包括棘輪、棘爪和分離組件，所述棘輪同軸固定在所述承托軸上，所述棘爪設(shè)置在所述分離組件上并與所述棘輪嚙合，所述分離組件設(shè)置在所述筒體上并用于帶動所述棘爪移動至與所述棘輪分離。

10、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述分離組件包括滑板和分離彈簧，所述滑板滑動設(shè)置在所述筒體外側(cè)，所述滑板滑動方向與所述承托軸軸線方向一致，所述分離彈簧設(shè)置在所述筒體上并與所述滑板連接；所述棘爪設(shè)置在所述滑板上，所述分離彈簧處于自然狀態(tài)時，所述棘爪與所述棘輪為嚙合狀態(tài)。

11、結(jié)合上述技術(shù)方案，在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述滑板與所述筒體上均嵌設(shè)有相互吸引的磁鐵，所述棘輪與所述棘爪處于嚙合狀態(tài)時，兩個所述磁鐵正對貼合并相互吸緊。

12、本發(fā)明提供的一種硅棒切割液回收過濾裝置的有益效果在于：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在需要對濾芯進(jìn)行清洗或更換時，通過定位機構(gòu)解除對安裝框的固定，將具有新濾芯的安裝框從更換進(jìn)口插入，使帶有舊濾芯的安裝框從更換出口滑出，同時聯(lián)動機構(gòu)帶動承托板向上轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)，同時單向限位機構(gòu)對承托板的轉(zhuǎn)動方向進(jìn)行限制，以對滑出的安裝框進(jìn)行支撐，在具有新濾芯的安裝框滑動指定位置后，通過定位機構(gòu)將其固定，即可繼續(xù)進(jìn)行切割液的過濾作業(yè)，滑出的安裝框從承托板上取下后即可進(jìn)行濾芯的清洗或更換，濾芯的清洗或更換過程不會對切割液的過濾作業(yè)造成影響，提高了切割液的過濾效率，減少了時間成本。

技術(shù)特征：

1.一種硅棒切割液回收過濾裝置，包括筒體（1）、設(shè)置在所述筒體（1）上的進(jìn)水口（11）和出水口（12）；其特征在于，還包括滑動設(shè)置在所述筒體（1）內(nèi)的安裝框（2），所述安裝框（2）內(nèi)設(shè)置有濾芯（21），所述筒體（1）對側(cè)對應(yīng)開設(shè)有供所述安裝框（2）滑入或滑出的更換進(jìn)口（13）和更換出口（14）；所述安裝框（2）至少具有兩個并在所述筒體（1）上僅設(shè)置一個；所述筒體（1）上設(shè)置有用于對安裝框（2）進(jìn)行固定的定位機構(gòu)（3）；所述更換出口（14）下方設(shè)置有鉸接在所述筒體（1）外側(cè)的承托板（4），所述安裝框（2）與所述承托板（4）之間設(shè)置有聯(lián)動機構(gòu)（5），所述承托板（4）處于初始狀態(tài)時自然朝下垂落，所述聯(lián)動機構(gòu)（5）用于在所述安裝框（2）朝向所述更換出口（14）移動時帶動所述承托板（4）向上轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)；所述筒體（1）上設(shè)置有單向限位機構(gòu)（6），所述單向限位機構(gòu)（6）用于限制所述承托板（4）僅能向上轉(zhuǎn)動或解除限制。

2.如權(quán)利要求1所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述筒體（1）相對的內(nèi)側(cè)壁均開設(shè)有供所述安裝框（2）在內(nèi)滑動的滑槽（15）。

3.如權(quán)利要求1所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述定位機構(gòu)（3）包括豎向滑動設(shè)置在所述筒體（1）兩側(cè)的定位板（31）、固定在所述安裝框（2）兩側(cè)并供所述定位板（31）向下插入的定位殼（32）、以及設(shè)置在所述筒體（1）上的定位組件（33），所述定位組件（33）用于將所述定位板（31）固定在與所述定位殼（32）分離的位置。

4.如權(quán)利要求3所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述定位組件（33）包括固定殼（331）、插桿（332）和定位彈簧（333），所述固定殼（331）固定在所述筒體（1）外側(cè)位于所述定位板（31）上方的位置，所述插桿（332）水平滑動設(shè)置在所述固定殼（331）上，所述定位彈簧（333）設(shè)置在所述固定殼（331）上并與所述插桿（332）連接；所述定位板（31）上開設(shè)有供所述插桿（332）內(nèi)端插入的插槽（311）；所述插桿（332）內(nèi)端位于所述插槽（311）內(nèi)時，所述定位板（31）與所述定位殼（32）為分離狀態(tài)，所述定位彈簧（333）處于自然狀態(tài)；所述插桿（332）位于所述插槽（311）內(nèi)的底面傾斜設(shè)置。

5.如權(quán)利要求1所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述聯(lián)動機構(gòu)（5）包括承托軸（51）、傳動軸（52）、齒輪（53）、齒條（54）和反向傳動組件（55），所述承托軸（51）水平轉(zhuǎn)動連接在所述筒體（1）外側(cè)，所述承托板（4）固定在所述承托軸（51）上；所述傳動軸（52）轉(zhuǎn)動連接在所述筒體（1）外側(cè)并與所述承托軸（51）同軸設(shè)置；所述齒輪（53）同軸固定在所述傳動軸（52）上，所述齒條（54）固定在所述安裝框（2）一側(cè)并用于與所述齒輪（53）嚙合；所述反向傳動組件（55）設(shè)置在所述承托軸（51）與所述傳動軸（52）之間，所述反向傳動組件（55）用于在所述傳動軸（52）轉(zhuǎn)動時帶動所述承托軸（51）反轉(zhuǎn)；所述齒條（54）與所述齒輪（53）嚙合直至分離時，所述承托板（4）向上至水平狀態(tài)。

6.如權(quán)利要求5所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述反向傳動組件（55）包括滑動螺桿（551）和導(dǎo)向架（552），所述導(dǎo)向架（552）固定在所述筒體（1）外側(cè)，所述滑動螺桿（551）滑動設(shè)置在所述導(dǎo)向架（552）上；所述承托軸（51）和所述傳動軸（52）相對的端面均同軸開設(shè)有螺紋孔（511），所述滑動螺桿（551）的兩端均同時螺紋連接在對應(yīng)所述螺紋孔（511）內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述滑動螺桿（551）外側(cè)沿其長度方向開設(shè)有導(dǎo)向槽（5511），所述導(dǎo)向架（552）內(nèi)設(shè)置有位于所述導(dǎo)向槽（5511）內(nèi)的導(dǎo)向塊（5521）。

8.如權(quán)利要求5所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述單向限位機構(gòu)（6）包括棘輪（61）、棘爪（62）和分離組件（63），所述棘輪（61）同軸固定在所述承托軸（51）上，所述棘爪（62）設(shè)置在所述分離組件（63）上并與所述棘輪（61）嚙合，所述分離組件（63）設(shè)置在所述筒體（1）上并用于帶動所述棘爪（62）移動至與所述棘輪（61）分離。

9.如權(quán)利要求8所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述分離組件（63）包括滑板（631）和分離彈簧（632），所述滑板（631）滑動設(shè)置在所述筒體（1）外側(cè)，所述滑板（631）滑動方向與所述承托軸（51）軸線方向一致，所述分離彈簧（632）設(shè)置在所述筒體（1）上并與所述滑板（631）連接；所述棘爪（62）設(shè)置在所述滑板（631）上，所述分離彈簧（632）處于自然狀態(tài)時，所述棘爪（62）與所述棘輪（61）為嚙合狀態(tài)。

10.如權(quán)利要求9所述的一種硅棒切割液回收過濾裝置，其特征在于，所述滑板（631）與所述筒體（1）上均嵌設(shè)有相互吸引的磁鐵（16），所述棘輪（61）與所述棘爪（62）處于嚙合狀態(tài)時，兩個所述磁鐵（16）正對貼合并相互吸緊。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種硅棒切割液回收過濾裝置，屬于硅片生產(chǎn)制造的技術(shù)領(lǐng)域，其包括筒體、設(shè)置在筒體上的進(jìn)水口和出水口；還包括滑動設(shè)置在筒體內(nèi)的安裝框，安裝框內(nèi)設(shè)置有濾芯，筒體對側(cè)對應(yīng)開設(shè)有供安裝框滑入或滑出的更換進(jìn)口和更換出口；安裝框至少具有兩個并在筒體上僅設(shè)置一個；筒體上設(shè)置有用于對安裝框進(jìn)行固定的定位機構(gòu)；更換出口下方設(shè)置有鉸接在筒體外側(cè)的承托板，安裝框與承托板之間設(shè)置有聯(lián)動機構(gòu)，承托板處于初始狀態(tài)時自然朝下垂落，聯(lián)動機構(gòu)用于在安裝框朝向更換出口移動時帶動承托板向上轉(zhuǎn)動至水平狀態(tài)；筒體上設(shè)置有單向限位機構(gòu)，單向限位機構(gòu)用于限制承托板僅能向上轉(zhuǎn)動或解除限制。本發(fā)明中濾芯的清洗或更換過程不會對切割液的過濾作業(yè)造成影響，提高了切割液的過濾效率，減少了時間成本。

技術(shù)研發(fā)人員：齊乃生,楊繼超,王帆,劉欣
受保護的技術(shù)使用者：唐山晶玉科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9