專利名稱：一種移動式空氣化學(xué)過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及電子半導(dǎo)體制造領(lǐng)域及其它使用化學(xué)過濾裝置的領(lǐng)域，具體地，涉及半導(dǎo)體晶圓制造中一種用于消除空氣化學(xué)污染的移動式空氣化學(xué)過濾裝置。
背景技術(shù)：
電子技術(shù)飛速發(fā)展的今天，制造技術(shù)日新月異。隨著消費者對電子產(chǎn)品的短小輕薄要求的越來越高，半導(dǎo)體集成電路的線徑已經(jīng)到達納米級。如何在更小尺寸上實現(xiàn)盡可能多的功能，成為半導(dǎo)體行業(yè)競爭的焦點。然而越來越小的集成電路線徑也意味著器件對環(huán)境要求越來越敏感。除了常規(guī)的溫度、濕度、粒子外，空氣微污染日益成為影響集成電路良率的重要因素?？諝馕⑽廴景o機(酸/堿性氣體)、有機氣體(VOC)等。據(jù)有關(guān)資料顯示，在0. 2微米線徑或更先進的晶圓工藝中，PPb級的空氣微污染即可造成晶圓或光罩腐蝕、模糊等異常，造成損失很大，僅一片光罩的費用就達數(shù)十萬元。針對上述空氣微污染防護提出的更高要求，目前業(yè)界采用的是在關(guān)鍵區(qū)域安裝化學(xué)過濾裝置，以去除空氣中的無機，有機微污染。該裝置通常安裝于空氣的循環(huán)系統(tǒng)中，如天花板，回風(fēng)管井等。該裝置可保護相應(yīng)區(qū)域環(huán)境將空氣微污染降到規(guī)定濃度以下。但該裝置需要在整個回風(fēng)區(qū)域安裝，成本很高；同時由于只在部分區(qū)域安裝，若需保護的電子元器件，如晶圓、光罩等，在不同關(guān)鍵區(qū)域之間傳送時，往往得不到有效的防護，增加產(chǎn)品潛在的失效風(fēng)險。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的弊端，本實用新型的目的是提出一種移動式空氣化學(xué)過濾裝置，包括移動平臺、化學(xué)過濾器、風(fēng)機和電源，其中所述風(fēng)機設(shè)置在所述移動平臺上放置電子元器件部位的上方；所述化學(xué)過濾器設(shè)置在所述風(fēng)機上方；空氣經(jīng)過所述化學(xué)過濾器凈化后由風(fēng)機向下吹送，為放置于移動平臺上的電子元器件提供凈化后的空氣；所述電源為風(fēng)機供電。進一步地，所述電源為不間斷電源。進一步地，所述移動平臺為手推車。本實用新型通過改進化學(xué)過濾器的布置，對特定產(chǎn)品進行有效防護，以保證電子元器件，如晶圓、光罩等，在傳送過程中能得到全面的防護。

圖1為根據(jù)本實用新型的優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0013]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處描述的實施例僅用于解釋本實用新型，而不是用于限制本實用新型。如圖1所示，移動式空氣化學(xué)過濾裝置，包括移動平臺1、化學(xué)過濾器3、風(fēng)機4和電源5，其中所述風(fēng)機4設(shè)置在所述移動平臺I上放置電子元器件2部位的上方；所述化學(xué)過濾器3設(shè)置在所述風(fēng)機4上方；空氣經(jīng)過所述化學(xué)過濾器3凈化后由風(fēng)機4向下吹送，為放置于移動平臺I上的電子元器件2提供凈化后的空氣；所述電源5為風(fēng)機4供電。由于風(fēng)機驅(qū)動空氣向下流動，使電子元器件周圍環(huán)境充滿凈化后的空氣，從而達到電子元器件避免空氣微污染的目的。所述電子元器件包括晶圓、光罩或其他對空氣微污染敏感的電子元器件。所述電源5優(yōu)選為不間斷電源，以便為敏感電子元器件持續(xù)提供凈化后的空氣。在優(yōu)選實施例中，如圖1所示，所述移動平臺I為手推車的一部分，操作人員可以推動手推車，進行產(chǎn)品運輸。本實用新型通過改進化學(xué)過濾器的布置，對特定產(chǎn)品進行有效防護，以保證電子元器件，如晶圓、光罩等，在傳送過程中能得到全面的防護。上述僅為本實用新型的較佳實施例，當然，根據(jù)實際需要和進一步的探索還可以有其它實施方式。但是，應(yīng)該明確的是，基于類似上述的或者其它沒有表述出的具有相同構(gòu)思的實施方式的變換，均應(yīng)涵蓋在本實用新型權(quán)利要求的保護范圍之中。
權(quán)利要求1.一種移動式空氣化學(xué)過濾裝置，其特征在于，包括移動平臺、化學(xué)過濾器、風(fēng)機和電源，其中 所述風(fēng)機設(shè)置在所述移動平臺上放置電子元器件部位的上方； 所述化學(xué)過濾器設(shè)置在所述風(fēng)機上方； 空氣經(jīng)過所述化學(xué)過濾器凈化后由風(fēng)機向下吹送，為放置于移動平臺上的電子元器件提供凈化后的空氣； 所述電源為風(fēng)機供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述電源為不間斷電源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述移動平臺為手推車。
專利摘要本實用新型提出一種移動式空氣化學(xué)過濾裝置，其特征在于，包括移動平臺、化學(xué)過濾器、風(fēng)機和電源，其中，所述風(fēng)機設(shè)置在所述移動平臺上放置電子元器件部位的上方；所述化學(xué)過濾器設(shè)置在所述風(fēng)機上方；空氣經(jīng)過所述化學(xué)過濾器凈化后由風(fēng)機向下吹送，為放置于移動平臺上的電子元器件提供凈化后的空氣；所述電源為風(fēng)機供電。本實用新型通過改進化學(xué)過濾器的布置，對特定產(chǎn)品進行有效防護，以保證電子元器件，如晶圓、光罩等，在傳送過程中能得到全面的防護。
文檔編號B01D53/74GK202844844SQ20122053818
公開日2013年4月3日 申請日期2012年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月19日
發(fā)明者程一剛, 孫中官, 錢勇 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司