爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其包括：動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置；與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置連接的傳動(dòng)裝置，其具有用于連接爐門的連接部；以及設(shè)置在動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置上的動(dòng)力氣體接入口；其中所述動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置具有驅(qū)動(dòng)組件，用以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)裝置同時(shí)升降和旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)通過采用獨(dú)立的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)了對(duì)爐門升降運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)控制，減少了運(yùn)動(dòng)部件，并且使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單化，避免了運(yùn)行中不穩(wěn)定因素的產(chǎn)生，提高了設(shè)備的可靠性。
【專利說明】爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及了一種爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)。【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體設(shè)備中的爐門(如自動(dòng)爐門)，對(duì)于其運(yùn)動(dòng)控制一般有兩種方式，一種是使用兩臺(tái)步進(jìn)電機(jī)分別控制爐門的升降和旋轉(zhuǎn)，通過動(dòng)作組合實(shí)現(xiàn)開關(guān)爐門動(dòng)作；另一種是使用兩氣缸代替兩電機(jī)，其實(shí)現(xiàn)過程與第一種方式基本相同。上述兩種方式的缺點(diǎn)是:電機(jī)成本較高，控制復(fù)雜，況且上述兩種方式因?yàn)榘惭b導(dǎo)軌的原因都需要比較大的安裝空間，并且需要四個(gè)定位傳感器才能實(shí)現(xiàn)狀態(tài)監(jiān)測(cè)；此外，設(shè)備在運(yùn)行過程中因使用的運(yùn)動(dòng)部件多、系統(tǒng)復(fù)雜，因此常會(huì)導(dǎo)致很多不穩(wěn)定因素的產(chǎn)生，設(shè)備可靠性無法滿足使用需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]為克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供了一種爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其通過采用一個(gè)獨(dú)立的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)爐門升降運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)控制，進(jìn)而減少運(yùn)動(dòng)部件，使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單化，避免運(yùn)行中不穩(wěn)定因素的產(chǎn)生，提高設(shè)備的可靠性。
[0005](二)技術(shù)方案
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)包括:動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置；與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置連接的傳動(dòng)裝置，其具有用于連接爐門的連接部；以及設(shè)置在動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置上的動(dòng)力氣體接入口 ；其中所述動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置具有驅(qū)動(dòng)組件，用以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)裝置同時(shí)升降和旋轉(zhuǎn)。
[0007]優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)組件包括:氣缸，其內(nèi)壁設(shè)有螺旋軌道；以及安裝在氣缸內(nèi)的活塞桿，其具有與所述螺旋軌道相配合的螺旋運(yùn)動(dòng)件；其中所述活塞桿通過所述螺旋運(yùn)動(dòng)件與所述螺旋軌道的配合可實(shí)現(xiàn)其相對(duì)所述氣缸的升降與旋轉(zhuǎn)。
[0008]尤其是，所述螺旋軌道為螺旋凹槽，所述螺旋運(yùn)動(dòng)件為螺旋凸條。
[0009]優(yōu)選地，所述動(dòng)力氣體接入口包括:第一進(jìn)氣口 ；第二進(jìn)氣口 ；其中所述第一進(jìn)氣口和所述第二進(jìn)氣口分別設(shè)置在所述氣缸的上端和下端。
[0010]優(yōu)選地，所述傳動(dòng)裝置還具有:裝置本體；以及設(shè)置在裝置本體上的連桿；其中所述連桿上端與所述活塞桿下端連接；所述連接部設(shè)置在所述裝置本體的邊緣。
[0011]進(jìn)一步，本實(shí)用新型還包括:與所述氣缸底部連接的用于將該氣缸固接到外部設(shè)備上的固定安裝板，其上設(shè)有供所述連桿穿過的通孔和至少一個(gè)連接孔。
[0012]進(jìn)一步，本實(shí)用新型還包括:安裝在所述氣缸上的用于監(jiān)測(cè)所述活塞桿運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的傳感器；以及設(shè)置在所述氣缸上的用于對(duì)所述活塞桿運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)的速度調(diào)節(jié)閥。
[0013]優(yōu)選地，所述傳感器的數(shù)量為2個(gè)。
[0014]優(yōu)選地，所述速度調(diào)節(jié)閥的數(shù)量為2個(gè)且分別設(shè)置在所述氣缸的兩側(cè)。
[0015]進(jìn)一步，本實(shí)用新型還包括:分別設(shè)置在所述氣缸上的限位裝置和阻尼器。[0016](三)有益效果
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0018]I)本實(shí)用新型爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)通過動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置及其驅(qū)動(dòng)組件，實(shí)現(xiàn)了對(duì)連接有爐門的傳動(dòng)裝置的升降運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了對(duì)爐門升降和旋轉(zhuǎn)的同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制，克服了現(xiàn)有技術(shù)中最少需要兩個(gè)氣缸或兩個(gè)電機(jī)才能實(shí)現(xiàn)升降和旋轉(zhuǎn)控制的缺陷，減少了運(yùn)動(dòng)部件，使結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單化；
[0019]2)本實(shí)用新型通過在氣缸上設(shè)置螺旋軌道，在活塞桿上設(shè)置螺旋運(yùn)動(dòng)件，確保了在動(dòng)力氣體驅(qū)動(dòng)下，活塞桿相對(duì)氣缸能夠靈活、自如地上下運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)爐門的打開和關(guān)閉；
[0020]3)本實(shí)用新型通過將第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口分別設(shè)置在氣缸的上端和下端，可分別對(duì)活塞桿的動(dòng)作執(zhí)行和動(dòng)作復(fù)位進(jìn)行控制，即只需要兩組動(dòng)力氣體就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)爐門運(yùn)動(dòng)的控制，操作方便且可靠；
[0021]4)本實(shí)用新型通過傳感器可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣缸內(nèi)活塞桿的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，傳感器的數(shù)量可控制在兩個(gè)以內(nèi)，避免了傳統(tǒng)需要四個(gè)傳感器的繁瑣；速度調(diào)節(jié)閥可實(shí)現(xiàn)對(duì)活塞桿運(yùn)動(dòng)速度的實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)；
[0022]5)本實(shí)用新型通過采用氣缸和活塞桿設(shè)計(jì)，克服了因使用電機(jī)帶來的高成本、難控制的缺陷，避免了機(jī)構(gòu)在運(yùn)行中不穩(wěn)定因素的產(chǎn)生，提高了設(shè)備的可靠性，能夠滿足各種相關(guān)使用需求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本實(shí)用新型爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]附圖標(biāo)記說明:11_氣缸；12_活塞桿；21_第一進(jìn)氣口 ；22_第二進(jìn)氣口 ；31_裝置本體；32_連桿；33_連接部；4-固定安裝板；41_連接孔；5_傳感器；6_速度調(diào)節(jié)閥；7_爐門。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。需要說明的是，附圖僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0026]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0027]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。[0028]本實(shí)用新型爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)從總體上包括:動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置，與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置連接的傳動(dòng)裝置，以及設(shè)置在動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置上的動(dòng)力氣體接入口等，其中，動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置具有驅(qū)動(dòng)組件，用于驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)裝置同時(shí)升降和旋轉(zhuǎn)。
[0029]具體地,如圖1所示，所說的驅(qū)動(dòng)組件主要包括氣缸11和活塞桿。氣缸11的內(nèi)壁上設(shè)有螺旋軌道，該螺旋軌道可以是螺旋凹槽；活塞桿12安裝在氣缸11內(nèi)，活塞桿12具有與螺旋軌道相配合的螺旋運(yùn)動(dòng)件，比如當(dāng)螺旋軌道為一種螺旋凹槽時(shí)，該螺旋運(yùn)動(dòng)件可以是與該螺旋凹槽相配合的螺旋凸條，即是一種具有若干凸條的螺旋運(yùn)動(dòng)件。當(dāng)螺旋運(yùn)動(dòng)件與螺旋軌道配合后，在動(dòng)力氣體的驅(qū)動(dòng)下，活塞桿12將相對(duì)氣缸11進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，確保了在動(dòng)力氣體驅(qū)動(dòng)下，活塞桿12相對(duì)氣缸11能夠靈活、自如地運(yùn)動(dòng)，從而打開和關(guān)閉爐門?；钊麠U12相對(duì)氣缸11的上下運(yùn)動(dòng)幅度和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)幅度可根據(jù)爐門運(yùn)動(dòng)軌跡來設(shè)計(jì)氣缸11和活塞桿12的形狀，如氣缸11內(nèi)部的螺旋形狀。
[0030]動(dòng)力氣體接入口包括:第一進(jìn)氣口 21和第二進(jìn)氣口 22，第一進(jìn)氣口 21和第二進(jìn)氣口 22分別設(shè)置在氣缸11的上端和下端，以分別為活塞12在氣缸11內(nèi)的下降和上升以及在下降和上升中的不同方向旋轉(zhuǎn)提供動(dòng)力氣體。通過第一進(jìn)氣口 21和第二進(jìn)氣口 22可實(shí)現(xiàn)只需要兩組動(dòng)力氣體就可以對(duì)爐門運(yùn)動(dòng)的控制，操作方便且可靠。
[0031]傳動(dòng)裝置包括:裝置本體31，在裝置本體31上設(shè)有連桿32，連桿32上端與活塞桿12的下端連接，在裝置本體31的邊緣設(shè)置連接部33，用來連接爐門7。
[0032]除了上述部件外，本實(shí)用新型包括固定安裝板4。固定安裝板4與氣缸11底部連接，用于將該氣缸11固定連接到外部設(shè)備上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)該氣缸11及其內(nèi)活塞桿12運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性，保證對(duì)爐門7打開與關(guān)閉能有可靠的控制。固定安裝板4上設(shè)有供連桿32能夠穿過的通孔和至少一個(gè)連接孔41，可通過穿過連接孔41的螺栓、螺釘或鉚釘?shù)绕骷⒐潭ò惭b板4加以固定。此外，在氣缸11上還可安裝用來監(jiān)測(cè)活塞桿12運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的傳感器5，以及設(shè)置用來對(duì)活塞桿12運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)的速度調(diào)節(jié)閥6，當(dāng)然還可以在氣缸11上設(shè)置限位裝置和阻尼器。本實(shí)用新型中，只需要兩個(gè)傳感器5就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)活塞桿12運(yùn)動(dòng)方式的監(jiān)測(cè)，且不需要現(xiàn)有技術(shù)中所必須的導(dǎo)軌安裝。速度調(diào)節(jié)閥6的數(shù)量可省略到兩個(gè)(現(xiàn)有技術(shù)中一般為4個(gè))，可優(yōu)選將兩個(gè)速度調(diào)節(jié)閥6分別設(shè)置在氣缸11的兩側(cè)。
[0033]從上面的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置的特殊設(shè)計(jì)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了爐門7通過上下動(dòng)作和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作實(shí)現(xiàn)開關(guān)門的過程，克服了以往雙氣缸或雙電機(jī)設(shè)計(jì)帶來的諸多缺陷。本實(shí)用新型同時(shí)也帶來如下諸多有益效果:通過動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置及其驅(qū)動(dòng)組件，實(shí)現(xiàn)了對(duì)連接有爐門7的傳動(dòng)裝置的升降運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了對(duì)爐門7升降和旋轉(zhuǎn)的同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制，克服了現(xiàn)有技術(shù)中最少需要兩個(gè)氣缸或兩個(gè)電機(jī)才能實(shí)現(xiàn)升降和旋轉(zhuǎn)控制的缺陷，減少了運(yùn)動(dòng)部件，使結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單化；通過在氣缸11上設(shè)置螺旋軌道，在活塞桿12上設(shè)置螺旋運(yùn)動(dòng)件，確保了在動(dòng)力氣體驅(qū)動(dòng)下，活塞桿12相對(duì)氣缸11能夠靈活、自如地上下運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)爐門7的打開和關(guān)閉；通過將第一進(jìn)氣口 21和第二進(jìn)氣口 22分別設(shè)置在氣缸11的上端和下端，可分別對(duì)活塞桿12的動(dòng)作執(zhí)行和動(dòng)作復(fù)位進(jìn)行控制，即只需要兩組動(dòng)力氣體就可實(shí)現(xiàn)對(duì)爐門7運(yùn)動(dòng)的控制，操作方便且可靠；通過傳感器5可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣缸11內(nèi)活塞桿12的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，傳感器5的數(shù)量可控制在兩個(gè)以內(nèi)，避免了傳統(tǒng)需要四個(gè)傳感器5的繁瑣；速度調(diào)節(jié)閥6可實(shí)現(xiàn)對(duì)活塞桿12運(yùn)動(dòng)速度的實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)；此外，本實(shí)用新型通過采用氣缸11和活塞桿12設(shè)計(jì)，還克服了因使用電機(jī)帶來的高成本、難控制的缺陷，避免了機(jī)構(gòu)在運(yùn)行中不穩(wěn)定因素的產(chǎn)生，提高了設(shè)備的可靠性，能夠滿足各種相關(guān)使用需求。
[0034]需要說明的是，盡管上文對(duì)本實(shí)用新型作了詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型不限于此，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以根據(jù)本實(shí)用新型記載的內(nèi)容或原理進(jìn)行修改，因此，凡按照本實(shí)用新型記載的內(nèi)容或原理進(jìn)行的各種修改都應(yīng)當(dāng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，其包括: 動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置； 與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置連接的傳動(dòng)裝置，其具有用于連接爐門(7)的連接部(33);以及 設(shè)置在動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置上的動(dòng)力氣體接入口 ；其中 所述動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置具有驅(qū)動(dòng)組件，用以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)裝置同時(shí)升降和旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括: 氣缸(11)，其內(nèi)壁設(shè)有螺旋軌道；以及 安裝在氣缸(11)內(nèi)的活塞桿(12)，其具有與所述螺旋軌道相配合的螺旋運(yùn)動(dòng)件；其中 所述活塞桿(12)通過所述螺旋運(yùn)動(dòng)件與所述螺旋軌道的配合可實(shí)現(xiàn)其相對(duì)所述氣缸(11)的升降與旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述螺旋軌道為螺旋凹槽，所述螺旋運(yùn)動(dòng)件為螺旋凸條。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述動(dòng)力氣體接入口包括: 第一進(jìn)氣口(21)； 第二進(jìn)氣口(22);其中 所述第一進(jìn)氣口(21)和所述第二進(jìn)氣口(22)分別設(shè)置在所述氣缸(11)的上端和下端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置還具有: 裝置本體(31);以及 設(shè)置在裝置本體(31)上的連桿(32 );其中 所述連桿(32)上端與所述活塞桿(12)下端連接； 所述連接部(33)設(shè)置在所述裝置本體(31)的邊緣。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，其還包括: 與所述氣缸(11)底部連接的用于將該氣缸(11)固接到外部設(shè)備上的固定安裝板(4)，其上設(shè)有供所述連桿(32)穿過的通孔和至少一個(gè)連接孔(41)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2-6任一項(xiàng)所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，其還包括: 安裝在所述氣缸(11)上的用于監(jiān)測(cè)所述活塞桿(12 )運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的傳感器(5 );以及 設(shè)置在所述氣缸(11)上的用于對(duì)所述活塞桿(12 )運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)的速度調(diào)節(jié)閥(6)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳感器(5)的數(shù)量為兩個(gè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述速度調(diào)節(jié)閥(6)的數(shù)量為兩個(gè)且分別設(shè)置在所述氣缸(11)的兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐門運(yùn)動(dòng)自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，其特征在于，其還包括: 分別設(shè)置在所述氣缸(11)上的限位裝置和阻尼器。
【文檔編號(hào)】F27D1/18GK203672136SQ201320719071
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年11月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月14日
【發(fā)明者】周峰, 張芳 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司