具有低脫模力性的壓印材料的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題是提供一種在固化后、脫模時可以將樹脂膜從模具容易地剝離的壓印材料，即形成具有低脫模力性，并且具有高透明性和高耐擦傷性和高指紋擦去性的膜的壓印材料，以及提供由該材料制作的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。作為解決本發(fā)明課題的手段為一種壓印材料，其含有：(A)成分：具有氧化丙烯單元或者具有氧化丙烯單元和氧化乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物，(B)成分：有機硅化合物和(C)成分：光聚合引發(fā)劑。
【專利說明】具有低脫模力性的壓印材料

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及壓印材料（形成壓印用膜的組合物）和由該材料制作的轉(zhuǎn)印有圖案的 膜。更詳細(xì)地說，涉及能夠在固化后、脫模時從模具容易地剝離樹脂膜的壓印材料，以及由 該材料制作的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。

【背景技術(shù)】
[0002] 1995年，現(xiàn)普林斯頓大學(xué)的^ 3々教授等提倡納米壓印光刻這樣的新的技術(shù)（專 利文獻1)。納米壓印光刻為使具有任意圖案的模具與形成有樹脂膜的基材接觸，對該樹脂 膜加壓，并且使用熱或光作為外部刺激，在固化了的該樹脂膜上形成目標(biāo)圖案的技術(shù)，該納 米壓印光刻與以往的半導(dǎo)體器件制造中的光刻等相比，具有能夠簡便、廉價地進行納米規(guī) 模的加工這樣的優(yōu)點。
[0003] 因此，納米壓印光刻為代替光刻技術(shù)而期待適用于制造半導(dǎo)體器件、光學(xué)器件、顯 示器、存儲介質(zhì)、生物芯片等的技術(shù)，因此對于納米壓印光刻所用的光納米壓印光刻用固化 性組合物有各種報告（專利文獻2、專利文獻3)。
[0004] 在納米壓印光刻中使用昂貴的模具的情況下，要求模具的長壽命化，但如果從固 化了的樹脂膜剝離模具的力，即脫模時的剝離力（以下，本說明書中簡稱為"脫模力"。）大， 則樹脂易于附著于模具，易于使模具不能使用。因此納米壓印光刻所使用的材料（以下，本 說明書中簡稱為"壓印材料"。）要求低脫模力性（能夠容易從模具剝離固化了的樹脂膜的 特性）。然而，迄今為止雖然作為壓印材料公開了各種材料，但是沒有進行有關(guān)于脫模力小 的材料的研究、報告。此外，固體攝像裝置、太陽能電池、LED器件、顯示器等制品中，對于在 其內(nèi)部或表面作為光學(xué)構(gòu)件而制作的結(jié)構(gòu)物，有時同時要求耐擦傷性和高透明性。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006] 專利文獻
[0007] 專利文獻1 :美國專利第5772905號說明書
[0008] 專利文獻2 :日本特開2008-105414號公報
[0009] 專利文獻3 :日本特開2008-202022號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 發(fā)明所要解決的課題
[0011] 本發(fā)明是基于上述情況而提出的，其所要解決的課題是提供可以在固化后、脫模 時從模具容易地剝落樹脂膜的壓印材料，即形成具有低脫模力性，并且具有高透明性、高耐 擦傷性和高指紋擦去性的膜的壓印材料，提供由該材料制作的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。具體而言， 本發(fā)明的目的是提供形成脫模力大于〇g/cm且為0. 5g/cm以下，可見光區(qū)域中的平均透射 率為99%以上，另外并且對轉(zhuǎn)印圖案之后的膜進行鋼絲棉擦傷試驗時傷的條數(shù)為10條以 下的膜的壓印材料。
[0012] 用于解決課題的方法
[0013] 本發(fā)明人等為了解決上述課題進行了深入研究，結(jié)果獲得以下令人驚訝的認(rèn)識： 通過使用含有至少具有氧化丙烯單元并且具有聚合性基團的化合物、有機硅化合物和光聚 合引發(fā)劑的材料作為壓印材料，從而在模具的具有凹凸形狀的面上，將通過該材料的光固 化而轉(zhuǎn)印有模具的凹凸形狀圖案的固化膜從模具的具有凹凸形狀的面剝離時計測的脫模 力顯著小，此外即使對由該材料制作的進行了圖案轉(zhuǎn)印的膜在圖案上進行鋼絲棉擦傷試 驗，傷的產(chǎn)生也少，此外指紋擦去性也優(yōu)異，而且透明性優(yōu)異，從而完成本發(fā)明。
[0014] g卩，本發(fā)明中，作為第1觀點，涉及一種含有下述（A)成分、（B)成分和（C)成分的 壓印材料。
[0015] (A)成分：具有氧化丙烯單元或者具有氧化丙烯單元和氧化乙烯單元、并且具有2 個聚合性基團的化合物
[0016] ⑶成分：有機硅化合物
[0017] (C)成分：光聚合引發(fā)劑
[0018] 作為第2觀點，涉及第1觀點所述的壓印材料，其還含有具有3個以上聚合性基團 的化合物作為（D)成分。
[0019] 作為第3觀點，涉及第1觀點或第2觀點所述的壓印材料，其還含有具有氧化乙烯 單元、并且具有2個聚合性基團的化合物作為（E)成分。
[0020] 作為第4觀點，涉及第1觀點?第3觀點的任一項所述的壓印材料，其還含有表面 活性劑作為（F)成分。
[0021] 作為第5觀點，涉及第1觀點?第4觀點的任一項所述的壓印材料，其還含有溶劑 作為（G)成分。
[0022] 作為第6觀點，涉及第1觀點?第5觀點的任一項所述的壓印材料，上述（A)成分 的化合物為具有選自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基和烯丙基中的至少1種基團2個 作為上述聚合性基團的化合物。
[0023] 作為第7觀點，涉及第2觀點所述的壓印材料，上述⑶成分的化合物為具有選自 丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基和烯丙基中的至少1種基團3個以上作為上述聚合性 基團的化合物。
[0024] 作為第8觀點，涉及第1觀點?第7觀點的任一項所述的壓印材料，在將上述壓印 材料涂布在膜上，使該膜上的涂膜與模具的具有凹凸形狀的面粘接，接著使該涂膜光固化， 然后將膜上的固化膜從模具的具有凹凸形狀的面進行90°剝離的試驗中，將計測的脫模 力、即該膜上的固化膜從模具的具有凹凸形狀的面剝離時的荷重以該膜的每lcm橫寬換算 得到的值大于〇g/cm且為0. 5g/cm以下。
[0025] 作為第9觀點，涉及一種轉(zhuǎn)印有圖案的膜，其是由第1觀點?第8觀點中的任一項 所述的壓印材料制作的。
[0026] 作為第10觀點，涉及一種光學(xué)構(gòu)件，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖案 的膜。
[0027] 作為第11觀點，涉及一種固體攝像裝置，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有 圖案的膜。
[0028] 作為第12觀點，涉及一種LED器件，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖案 的膜。
[0029] 作為第13觀點，涉及一種半導(dǎo)體元件，其具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
[0030] 作為第14觀點，涉及一種太陽能電池，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖 案的膜。
[0031] 作為第15觀點，涉及一種顯示器，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖案的 膜。
[0032] 作為第16觀點，涉及一種電子器件，其在基材上具備第9觀點所述的轉(zhuǎn)印有圖案 的膜。
[0033] 發(fā)明的效果
[0034] 本發(fā)明的壓印材料由于含有：分子中具有氧化丙烯單元或者具有氧化丙烯單元和 氧化乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物，以及有機硅化合物，從而由該壓印材料 制作的固化膜具有低脫模力性，并且具有高擦傷耐性、高指紋擦去性和高透明性。
[0035] 此外本發(fā)明的壓印材料由于能夠光固化，并且在從模具的具有凹凸形狀的面剝離 時圖案的一部分不會發(fā)生剝落，因此可獲得準(zhǔn)確地形成有所期望的圖案的膜。因此，能夠進 行良好的光壓印的圖案形成。
[0036] 此外，本發(fā)明的壓印材料可以在任意的基材上制膜，壓印后所形成的轉(zhuǎn)印有圖案 的膜可以適合用于太陽能電池、LED器件、顯示器等使用要求耐擦傷性、高指紋擦去性和高 透明性的構(gòu)件的制品。
[0037] 此外，本發(fā)明的壓印材料通過變更上述（A)成分的化合物的種類和含有比例，可 以控制固化速度、動態(tài)粘度、膜厚。因此，本發(fā)明的壓印材料能夠進行與所制造的器件種類、 曝光工藝和烘烤工藝的種類相對應(yīng)的材料的設(shè)計，可以擴大工藝裕量，因此可以適合用于 光學(xué)構(gòu)件的制造。

【具體實施方式】
[0038] <⑷成分>
[0039] (A)成分的化合物是指，一分子內(nèi)具有1個以上氧化丙烯單元或者分別具有1個 以上氧化丙烯單元和氧化乙烯單元，并且具有2個聚合性基團，具體而言在化合物的兩末 端具有聚合性基團的化合物。另外，上述所謂氧化丙烯單元，表示例如（-ch(ch 3)ch2o-)、 (-CH2CH2CH 20_)，上述所謂氧化乙烯單元，表示例如（-CH2CH20_)。此外作為該聚合性基團，可 舉出例如，丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基、烯丙基。這里，丙烯酰氧基（acryloyloxy) 有時表現(xiàn)為丙烯酰氧基（acryloxy)，甲基丙烯酰氧基（methacryloyloxy)有時表現(xiàn)為甲基 丙烯酰氧基（methacryloxy)。
[0040] 作為上述（A)成分的化合物，可舉出例如，雙丙甘醇二（甲基）丙烯酸酯、三丙二 醇二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇#400二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇#700二（甲基）丙 烯酸酯、氧化乙烯氧化丙烯共聚物二（甲基）丙烯酸酯、乙氧基化聚丙二醇#700二（甲基） 丙烯酸酯。另外，本說明書中所謂（甲基）丙烯酸酯化合物，是指丙烯酸酯化合物和甲基丙 烯酸酯化合物兩者。例如（甲基）丙烯酸是指丙烯酸和甲基丙烯酸。
[0041] 上述化合物能夠作為市售品而獲得，作為其具體例，可舉出NK二7> APG-100、 NK 工 7 > APG-200、NK 工 7 > APG-400、NK 工 7 > APG-700、NK 工 7 > 3PG、NK 工7亍卟9PG、NK工7亍卟1206PE、NK工2 7 7 - A-1000PER(以上，新中村化學(xué)工業(yè)株 式會社制）、7 7 U卟（注冊商標(biāo)）FA-P240A、7 7 U卟FA-P270A、7 7 U卟 FA-023M(以上，日立化成工業(yè)株式會社制）。
[0042] 上述（A)成分的化合物可以單獨使用或2種以上組合使用。
[0043] 本發(fā)明中的（A)成分可以對圖案轉(zhuǎn)印后的膜賦予耐擦傷性，并且在壓印時的固化 時對使后述的（B)成分的有機硅化合物滲出有所幫助，由此可以使所得的樹脂膜（固化膜） 從模具的具有凹凸形狀的面剝離時計測的脫模力降低。
[0044] 此外通過變更上述（A)成分的化合物的種類和含有比例，從而可以控制壓印材料 的動態(tài)粘度、壓印時的固化速度和所形成的膜厚。
[0045] <⑶成分>
[0046] 作為（B)成分的有機硅化合物表示分子內(nèi)具有有機硅骨架（硅氧烷骨架）的化合 物，特別優(yōu)選具有二甲基有機硅骨架。
[0047] 作為上述化合物，能夠作為市售品而獲得，作為其具體例，可舉出BYK-302、 BYK-307、BYK-322、BYK-323、BYK-330、BYK-333、BYK-370、BYK-375、BYK-378、BYK-UV 3500、 BYK-UV 3570(以上，匕' v ^ S - · '7' \ >株式會社制）、X-22-164、X-22-164AS、 X-22-164A、X-22-164B、X-22-164C、X-22-164E、X-22-163、X-22-169AS、X-22-174DX、 X-22-2426、X-22-9002、X-22-2475、X-22-4952、KF-643、X-22-343、X-22-2404、X-22-2046、 X-22-1602(以上，信越化學(xué)工業(yè)株式會社制）。
[0048] 上述具有有機硅骨架的化合物可以單獨使用或2種以上組合使用。
[0049] 關(guān)于本發(fā)明的壓印材料中的（B)成分的含量，相對于上述（A)成分的質(zhì)量，或者在 含有后述的（D)成分的情況下相對于（A)成分和（D)成分的總質(zhì)量，優(yōu)選為0. 2phr?4phr， 更優(yōu)選為〇. 5phr?2phr。在該比例低于0. 2phr的情況下，不能獲得充分的低脫模力性，在 高于4phr的情況下，有時固化變得不充分，圖案形成特性惡化。這里，所謂phr，表示相對于 ㈧成分的質(zhì)量l〇〇g或者相對于㈧成分和⑶成分的總質(zhì)量l〇〇g的、（B)成分（有機硅 化合物）的質(zhì)量。
[0050] < (C)成分〉
[0051] 作為（C)成分的光聚合引發(fā)劑，只要為對光固化時所使用的光源具有吸收的物 質(zhì)，就沒有特別限定，可舉出例如，叔丁基過氧異丁酸酯、2, 5-二甲基-2, 5-雙（苯甲酰二 氧基）己燒、1，4_雙[α-(叔丁基二氧基）異丙氧基]苯、二叔丁基過氧化物、2, 5_二甲 基-2, 5-雙（叔丁基二氧基）己烯氫過氧化物、α -(異丙基苯基）異丙基氫過氧化物、叔丁 基氫過氧化物、1，1-雙（叔丁基二氧基）-3, 3, 5-三甲基環(huán)己烷、丁基-4, 4-雙（叔丁基二氧 基）戊酸酯、過氧化環(huán)己酮、2,2'，5,5'_四（叔丁基過氧基羰基）二苯甲酮、3,3'，4,4'_四 (叔丁基過氧基羰基）二苯甲酮、3,3'，4,4'_四（叔戊基過氧基羰基）二苯甲酮、 3, 3'，4, 4'-四（叔己基過氧基羰基）二苯甲酮、3, 3'-雙（叔丁基過氧基羰基）-4, 4'-二 羧基二苯甲酮、叔丁基過氧苯甲酸酯、二叔丁基二過氧間苯二甲酸酯等有機過氧化物； 9, 10-蒽醌、1-氯蒽醌、2-氯蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌等醌類；苯偶姻甲醚、苯偶姻 乙醚、α-甲基苯偶姻、α-苯基苯偶姻等苯偶姻衍生物；2, 2_二甲氧基_1，2_二苯基乙 烷-1-酮、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥 基乙氧基）-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羥基-1-[4-{4-(2-羥基-2-甲 基-丙?；┢S基}_苯基]-2-甲基-丙烷-1-酮、苯酰甲酸甲酯、2-甲基-1-[4-(甲硫基） 苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基）-丁烷-1-酮、 2_二甲基氨基-2- (4-甲基-芐基）-1- (4-嗎啉-4-基-苯基）-丁烷-1-酮等烷基苯酮系 化合物；雙（2, 4, 6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、2, 4, 6-三甲基苯甲?；?二苯基-氧 化膦等?；趸⑾祷衔?；1，2-辛烷二酮，1-[4-(苯硫基）-，2-(0-苯甲酰肟）]、乙 酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?9H-咔唑-3-基]-，1-(0-乙酰肟）等肟酯系化合 物。
[0052] 上述化合物能夠作為市售品而獲得，作為其具體例，可舉出IRGACURE(注冊商 標(biāo)）651、IRGACURE 184、IRGACURE 500、IRGACURE 2959、IRGACURE 127、IRGACURE 754、 IRGACURE 907、 IRGACURE 369、 IRGACURE 379、 IRGACURE 379EG、 IRGACURE 819、 IRGACURE 819DW、IRGACURE 1800、IRGACURE 1870、IRGACURE784、IRGACURE 0XE01、IRGACURE 0XE02、 IRGACURE 250、Darocur (注冊商標(biāo)）1173、Darocur MBF、Darocur 4265、Lucirin(注冊商 標(biāo)）TP0(以上，BASF '7' \ 八 >株式會社制）、KAYACURE(注冊商標(biāo)）DETX、KAYACURE MBP、 KAYACURE DMBI、KAYACURE EPA、KAYACURE 0A (以上，日本化藥株式會社制）、VICURE-10、 VICURE55(以上，STAUFFER Co. LTD 制）、ESACURE (注冊商標(biāo)）KIP150、ESACURE TZT、ESACURE 1001、ESACURE KT046、ESACURE KB1、ESACURE KL200、ESACURE KS300、ESACURE EB3、卜 U 7 '7' > -PMS、卜U ^ > A、卜U ^ > B (以上，日本夕4、夕.' 于一株式會社制）、了 r力 才 7。卜-N-1717、7 r 力才 7。卜 7 N-1414、7 r 力才 7。卜 7 N-1606(株式會社 ADEKA 制）。
[0053] 上述光聚合引發(fā)劑可以單獨使用或2種以上組合使用。
[0054] 關(guān)于本發(fā)明的壓印材料中的（C)成分的含量，相對于上述（A)成分的質(zhì)量、或者 在含有后述的（D)成分的情況下相對于（A)成分和（D)成分的總質(zhì)量，優(yōu)選為0. lphr? 30phr，更優(yōu)選為lphr?20phr。其原因是，在（C)成分的含量的比例小于0. lphr的情況 下，不能獲得充分的固化性，發(fā)生圖案形成特性的惡化和耐擦傷性的降低。這里，所謂phr， 表示相對于（A)成分的質(zhì)量100g或者（A)成分和（D)成分的總質(zhì)量100g的、光聚合引發(fā) 劑的質(zhì)量。
[0055] <⑶成分>
[0056] 在本發(fā)明中可以添加具有3個以上聚合性基團的化合物作為（D)成分。作為（D) 成分的具有3個以上聚合性基團的化合物發(fā)揮調(diào)整通過光壓印獲得的膜的硬度的作用。具 有3個以上聚合性基團的化合物的聚合性基團的數(shù)目為例如3個?6個，作為該聚合性基 團，可舉出例如，丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基、烯丙基。
[0057] 作為上述（D)成分的化合物，可舉出例如，季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三 (甲基）丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化甘油三丙烯酸酯、乙氧基 化異氰脲酸三丙烯酸酯、ε -己內(nèi)酯改性三-(2-丙烯酰氧基乙基）異氰脲酸酯、季戊四醇 四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、雙三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙 烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯、聚甘油聚乙二醇聚丙烯 酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯1，6-己二異氰酸酯氨基甲酸酯預(yù)聚物、季戊四醇三丙烯酸酯甲 苯二異氰酸酯氨基甲酸酯預(yù)聚物、季戊四醇三丙烯酸酯異佛爾酮二異氰酸酯氨基甲酸酯預(yù) 聚物、二季戊四醇五丙烯酸酯1，6-己二異氰酸酯氨基甲酸酯預(yù)聚物。
[0058] 上述化合物能夠作為市售品而獲得，作為其具體例，可舉出ΝΚ $ 7 Τ > A-TMM-3LMN、ΝΚ 二 7 亍卟 A-TMPT、ΝΚ 二 7 亍卟 TMPT、ΝΚ 二 7 亍卟 Α-ΤΜΡΤ-3Ε0、ΝΚ 二 7 亍 > A-GLY-3E、NK 7 > A-GLY-9E、NK 7 > A-GLY-20E、NK 7 > A-9300、NK 二 7 > A-9300-1CL、NK $ 7 > A-9300-6CL、NK $ 7 > Α-ΤΜΜΤ、NK $ 7 > ATM-4E、 NK 工 7 亍卟 ATM-35E、NK 工 7 亍卟 AD-TMP、NK 工 7 亍卟 A-DPH、NK 工 7 亍卟 A-DPH-12E、 NK 工 7 亍卟 A-9550、NK 工 7 亍卟 A-9530、NK 工 7 亍卟 ADP-51EH、NK 工 7 亍卟 ATM-31EH、 NK工2 7 7 一 A_PG5〇27E、NK工2 7 7 一 A_PG5〇54以以上，新中村化學(xué)工業(yè)株式會社制）、 KAYARAD (注冊商標(biāo)）T-1420、KAYARAD D-330、KAYARAD D-310、KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120、KAYARAD GP0-303、KAYARAD TMPTA、KAYARAD THE-330,KAYARAD TPA-320,KAYARAD TPA-330,KAYARAD PET-30,KAYARAD RP-1040,KAYARAD DPHA、KAYARAD DPHA-2C、KAYARAD DN-0075、KAYARAD DN-2475、KAYARAD DPEA-12(以上，日本 化藥株式會社制）、UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H (以上，共榮社化學(xué)株式會社制）。
[0059] 上述具有3個以上聚合性基團的化合物可以單獨使用或2種以上組合使用。在使 用具有3個以上聚合性基團的化合物的情況下，其比例相對于上述（A)成分的質(zhì)量，優(yōu)選為 lOphr ?70phr，更優(yōu)選為 40phr ?60phr。
[0060] < (E)成分〉
[0061] 在本發(fā)明中可以添加具有氧化乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物作為 (E)成分。通過添加（E)成分，能夠促進進一步的脫模力的降低。作為（E)成分的具有氧化 乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物是指，一分子內(nèi)具有1個以上氧化乙烯單元， 并且具有2個聚合性基團，具體而言在化合物的兩末端具有聚合性基團的化合物。另外，上 述所謂氧化乙烯單元，表示例如（_CH 2CH2〇-)。此外作為該聚合性基團，可舉出例如，丙烯酰 氧基、甲基丙稀醜氧基、乙稀基、稀丙基。
[0062] 作為上述（E)成分的化合物，可舉出例如，單乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、二甘醇 二（甲基）丙烯酸酯、三甘醇二（甲基）丙烯酸酯、四甘醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇 #200二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇#300二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇#400二（甲基） 丙烯酸酯、聚乙二醇#600二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇#1000二（甲基）丙烯酸酯、乙氧 基化雙酚A二（甲基）丙烯酸酯。
[0063] 上述化合物能夠作為市售品而獲得，作為其具體例，可舉出NK二7> 1G、NK二 叉于卟2G、NK工7亍卟3G、NK工7亍卟4G、NK工7亍卟9G、NK工7亍卟14G、NK工7于卟 23G、NK 工 7 亍卟 A-200、NK 工 7 亍卟 A-400、NK 工 7 亍卟 A-600、NK 工 7 亍卟 A-1000、NK 工 7 亍卟 ABE-300、NK $ 7 于卟 A-BPE-4、NK $ 7 于卟 A-BPE-6、NK $ 7 于卟 A-BPE-KKNK 二 7 亍卟 A-BPE-17、NK $ 7 亍卟 A-BPE-30、NK $ 7 亍卟 BPE-80N、NK $ 7 亍卟 BPE-100N、NK 工叉亍 > BPE-200、NK 工 7 > BPE-500、NK 工 7 > BPE-900、NK 工 7 > BPE-1300N (以 上，新中村化學(xué)工業(yè)株式會社制）、二Λ - 7 口 ^^ 7 (注冊商標(biāo)）PE_200、= ^一7 口 > 于 ^ 了 PE-300、二工一7口>于< 了 PE-400、二工一7口>于< 了 PE-600 (以上，第一工業(yè) 制藥株式會社制）。
[0064] 上述具有氧化乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物可以單獨使用或2種 以上組合使用。在使用具有氧化乙烯單元、并且具有2個聚合性基團的化合物的情況下，其 比例相對于本發(fā)明的壓印材料中的具有聚合性基團的化合物整體，以合計量計為5質(zhì)量％ 以上，優(yōu)選為35質(zhì)量％以下。如果相對于具有聚合性基團的化合物整體，以合計量計小于 5質(zhì)量％，則對于脫模力的降低幾乎不帶來影響，如果超過35質(zhì)量％，則脫模時發(fā)生圖案彼 此的附著等，形狀惡化。
[0065] < (F)成分〉
[0066] 在本發(fā)明中可以添加表面活性劑作為（F)成分。作為（F)成分的表面活性劑發(fā)揮 調(diào)整獲得的涂膜的制膜性的作用。
[0067] 作為上述表面活性劑，可舉出例如，聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧 乙烯鯨蠟基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基 苯基醚等聚氧乙烯烷基芳基醚類、聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物類、失水山梨糖醇單月 桂酸酯、失水山梨糖醇單棕櫚酸酯、失水山梨糖醇單硬脂酸酯、失水山梨糖醇單油酸酯、失 水山梨糖醇三油酸酯、失水山梨糖醇三硬脂酸酯等失水山梨糖醇脂肪酸酯類、聚氧乙烯失 水山梨糖醇單月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇單棕櫚酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇單硬 脂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三油酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三硬脂酸酯等聚氧乙烯 失水山梨糖醇脂肪酸酯類等非離子系表面活性劑；商品名$ 7卜7 (注冊商標(biāo)）EF301、 工7卜v y EF303、工7卜V y EF352(三菱7U 7斤電子化成株式會社（舊株式會社夕 工Λ 3制））、商品名^方7 7 v夕（注冊商標(biāo)）F171、^方7 r v夕F173、^方7 r v夕 R-08、J 方 7 r v 夕 R-30 (DIC 株式會社制）、7 口 7 - F' FC430、7 口 7 -卜'' FC431 (住友 7 U -工A株式會社制）、商品名7寸匕方一卜'' (注冊商標(biāo)）AG710、寸一 7 口 > (注冊商標(biāo)） S-382、寸一 7 口 > SC101、寸一 7 口 > SC102、寸一 7 口 > SC103、寸一 7 口 > SC104、寸一 7 口 > SC105、寸一 7 σ > SC106 (旭硝子株式會社制）等氟系表面活性劑；和有機硅氧烷聚 合物ΚΡ341 (信越化學(xué)工業(yè)株式會社制）。
[0068] 上述表面活性劑可以單獨使用或2種以上組合使用。在使用表面活性劑的情況 下，其比例相對于上述（Α)成分的質(zhì)量、或者（Α)成分和上述（D)成分的總質(zhì)量、或者（Α) 成分和上述（Ε)成分的總質(zhì)量、或者㈧成分和⑶成分和（Ε)成分的總質(zhì)量，優(yōu)選為 0· Olphr ?40phr，更優(yōu)選為 0· Olphr ?lOphr。
[0069] < (G)成分〉
[0070] 在本發(fā)明中可以含有溶劑作為（G)成分。作為（G)成分的溶劑發(fā)揮作為（A)成分 的分子中含有氧化丙烯單元或者含有氧化丙烯單元和氧化乙烯單元、并具有2個聚合性基 團的化合物和作為（D)成分的具有3個以上聚合性基團的化合物的粘度調(diào)節(jié)的作用。
[0071] 作為上述溶劑，可舉出例如，甲苯、對二甲苯、鄰二甲苯、苯乙烯、乙二醇二甲基醚、 丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單異丙基醚、 乙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、丙 二醇單丁基醚、乙二醇單丁基醚、二甘醇二乙基醚、雙丙甘醇單甲基醚、二甘醇單甲基醚、雙 丙甘醇單乙基醚、二甘醇單乙基醚、三甘醇二甲基醚、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇、1-辛 醇、乙二醇、己二醇、雙丙酮醇、糠醇、四氫糠醇、丙二醇、芐醇、1，3- 丁二醇、1，4- 丁二醇、 2, 3- 丁二醇、γ - 丁內(nèi)酯、丙酮、甲基乙基酮、甲基異丙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、甲基 正丁基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、乙酸乙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丁酯、乙酸正丁酯、 乳酸乙酯、甲醇、乙醇、異丙醇、叔丁醇、烯丙醇、正丙醇、2-甲基-2-丁醇、異丁醇、正丁醇、 2-甲基-1-丁醇、1-戊醇、2-甲基-1-戊醇、2-乙基己醇、1，3-丙二醇、1-甲氧基-2-丁醇、 異丙基醚、1，4-二@惡燒、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、 1，3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲亞砜、N-環(huán)己基-2-吡咯燒，只要是可以調(diào)節(jié)上述㈧成分 和（D)成分的粘度的溶劑，就沒有特別限定。
[0072] 上述溶劑可以單獨使用或2種以上組合使用。
[0073] 在使用溶劑的情況下，優(yōu)選以定義為從本發(fā)明的壓印材料的全部成分，即包含上 述的（A)成分?（F)成分、以及后述的其它添加劑的全部成分中除去（G)成分的溶劑后的 成分的固體成分的比例，相對于上述壓印材料成為20質(zhì)量％?80質(zhì)量％的量，優(yōu)選成為40 質(zhì)量％?60質(zhì)量％的量來含有溶劑。
[0074] 〈其它添加劑〉
[0075] 本發(fā)明的壓印材料中，只要不損害本發(fā)明的效果，就可以根據(jù)需要含有環(huán)氧化合 物、光產(chǎn)酸劑、光敏劑、紫外線吸收劑、抗氧化劑、密合輔助劑或脫模性改進劑。
[0076] 作為上述環(huán)氧化合物，可舉出例如，工U - F (注冊商標(biāo)）GT-401、工U - 卜' PB3600、七口今寸4卜' (注冊商標(biāo)）2021P、七口今寸4卜' 2000、七口今寸4卜' 3000、 EHPE3150、同EHPE3150CE、寸4夕口 7-（注冊商標(biāo)）M100 (以上，株式會社夕Μ七斤制）、 EPICL0N(注冊商標(biāo)）840、EPICL0N 840-S、EPICL0N N-660、EPICL0N Ν-673-80Μ(以上，DIC 株式會社制）。
[0077] 作為上述光產(chǎn)酸劑，可舉出例如，IRGACURE (注冊商標(biāo)）PAG 103、IRGACURE PAG 108、 IRGACURE PAG121、IRGACURE PAG203、IRGACURE CGI725(以上，BASF '7' \ >株式會社制）、 WPAG-145、WPAG-170、WPAG-199、WPAG-281、WPAG-336、WPAG-367(以上，和光純藥工業(yè)株式 會社制）、TFE-卜U 了夕>、TME-卜U 了夕>、MP-卜U 了夕 >、夕^卜今〉卜U 了夕>、 TS-91、TS-01 (株式會社三和^彡力廣制）。
[0078] 作為上述光敏劑，可舉出例如，噻噸系、咕噸系、酮系、噻喃鹽系、堿性苯乙烯 基系、部花青系、3-取代香豆素系、3, 4-取代香豆素系、菁系、吖啶系、噻嗪系、吩噻嗪系、蒽 系、暈苯系、苯并蒽系、茈系、香豆素酮系、香豆素系、硼酸鹽系。
[0079] 上述光敏劑可以單獨使用或2種以上組合使用。通過使用該光敏劑，還可以調(diào)整 UV區(qū)域的吸收波長。
[0080] 作為上述紫外線吸收劑，可舉出例如，TINUVIN(注冊商標(biāo)）PS、TINUVIN 99-2、 TINUVIN 109、TINUVIN 328、TINUVIN 384-2、TINUVIN400、TINUVIN 405、TINUVIN 460、 TINUVIN 477、TINUVIN 479、TINUVIN 900、TINUVIN 928、TINUVIN 1130、TINUVIN 111FDL、 TINUVIN 123、TINUVIN 144、TINUVIN 152、TINUVIN 292、TINUVIN5100、TINUVIN 400-DW、 TINUVIN 477-Dff,TINUVIN 99-Dff,TINUVIN 123-Dff,TINUVIN 5050,TINUVIN 5060,TINUVIN 5151 (以上，BASF '7' \株式會社）。
[0081] 上述紫外線吸收劑可以單獨使用或2種以上組合使用。通過使用該紫外線吸收 齊IJ，有時可以控制光固化時膜的最表面的固化速度，可以提高脫模性。
[0082] 作為上述抗氧化劑，可舉出例如，IRGAN0X(注冊商標(biāo)）1010、IRGAN0X 1035、 IRGAN0X 1076、IRGAN0X 1135、IRGANOX 1520L(以上，BASF '7' \ >株式會社）。
[0083] 上述抗氧化劑可以單獨使用或2種以上組合使用。通過使用該抗氧化劑，可以防 止由于氧化而膜變色為黃色。
[0084] 作為上述密合輔助劑，可舉出例如，3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙 烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。通過使用該密合輔助劑，與基材的密合性提高。該密合輔助劑 的含量相對于上述（A)成分的質(zhì)量、或者（A)成分和上述（D)成分的總質(zhì)量、或者（A)成分 和上述（E)成分的總質(zhì)量、或者（A)成分和（D)成分和（E)成分的總質(zhì)量，優(yōu)選為5phr? 50phr，更優(yōu)選為 lOphr ?50phr。
[0085] 作為上述脫模性改進劑，可舉出例如，含有氟的化合物。作為含有氟的化合物，可 舉出例如，尺-5410、1?-1420、]\1-5410、]\1-1420』-5444』-7432、八-1430、八-1630(以上，夕'4今 >工業(yè)株式會社制）。
[0086] <壓印材料的調(diào)制>
[0087] 本發(fā)明的壓印材料的調(diào)制方法沒有特別限定，只要將（A)成分、（B)成分、（C)成 分，以及作為任意成分的（D)成分、(E)成分、(F)成分和（G)成分以及根據(jù)需要的其它添加 劑進行混合，壓印材料成為均勻的狀態(tài)即可。
[0088] 此外，將㈧成分?（G)成分以及根據(jù)需要的其它添加劑進行混合時的順序，如果 可獲得均勻的壓印材料，就沒有問題，沒有特別限定。作為其調(diào)制方法，可舉出例如，在（A) 成分中以規(guī)定的比例混合（B)成分的方法。此外，還可舉出在其中進一步混合（C)成分、（D) 成分、（E)成分、（F)成分和（G)成分，制成均勻的壓印材料的方法。此外，可舉出在該調(diào)制 方法的適當(dāng)階段，根據(jù)需要進一步添加其它添加劑來進行混合的方法。
[0089] <光壓印和轉(zhuǎn)印有圖案的膜>
[0090] 本發(fā)明的壓印材料通過涂布在基材上進行光固化，從而可以獲得所期望的固化 膜。作為涂布方法，可舉出公知或周知的方法，例如，旋轉(zhuǎn)涂布法、浸漬法、流涂法、噴墨法、 噴射法、棒涂法、凹版涂布法、狹縫涂布法、輥涂法、轉(zhuǎn)印印刷法、刷涂、刮板涂布法、氣刀涂 布法。
[0091] 作為涂布本發(fā)明的壓印材料的基材，可舉出例如，由硅、成膜有氧化銦錫（ΙΤ0)的 玻璃（以下，本說明書中簡稱為"ΙΤ0基板"。）、成膜有氮化硅（SiN)的玻璃（SiN基板）、 成膜有氧化銦鋅（ΙΖ0)的玻璃、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、三乙酰纖維素（TAC)、丙烯酸 系樹脂、塑料、玻璃、石英、陶瓷等形成的基材。此外，還能夠使用具有撓性的柔性基材，例如 由三乙酰纖維素、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)烯烴（共）聚合物、聚乙烯 醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚酰亞胺、聚酰胺、聚烯烴、聚丙烯、聚乙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、 聚醚砜、以及組合有這些聚合物的共聚物形成的基材。
[0092] 作為使本發(fā)明的壓印材料固化的光源，沒有特別限定，可舉出例如，高壓水銀燈、 低壓水銀燈、無極燈、金屬鹵化物燈、KrF準(zhǔn)分子激光、ArF準(zhǔn)分子激光、F2準(zhǔn)分子激光、電子 射線（EB)、遠(yuǎn)紫外線（EUV)。此外，可以使用波長一般為436nm的G射線、405nm的Η射線、 365nm的I射線或GHI混合射線。此外，曝光量優(yōu)選為30?2000mJ/cm 2,更優(yōu)選為30? 1000mJ/cm2。
[0093] 另外，在使用作為上述（F)成分的溶劑的情況下，可以對光照射前的涂膜和光照 射后的固化膜的至少一方，以使溶劑蒸發(fā)為目的，施加烘烤工序。作為烘烤設(shè)備，沒有特別 限定，例如，使用電熱板、烘箱、爐，只要是可以在適當(dāng)?shù)臍夥障录创髿?、氮氣等非活性氣體、 或真空中進行烘烤的設(shè)備即可。關(guān)于烘烤溫度，以使溶劑蒸發(fā)為目的，沒有特別限定，可以 在例如，40°C?200°C進行。
[0094] 進行光壓印的裝置，只要可獲得目標(biāo)的圖案，就沒有特別限定，例如，東芝機 械株式會社制的ST50、Obducat社制的Sindre (注冊商標(biāo)）60、明昌機工株式會社制的 NM-0801HB等市售的裝置，可以使用將基材與模具進行輥壓接，光固化后進行脫模的方法。
[0095] 此外，作為本發(fā)明中使用的光壓印所使用的模具材，可舉出例如，石英、硅、鎳、氧 化鋁、羰基硅烷、玻璃碳，如果可獲得目標(biāo)的圖案，則沒有特別限定。此外，關(guān)于模具，為了提 高脫模性，可以進行在其表面形成氟系化合物等的薄膜的脫模處理。作為脫模處理所使用 的脫模劑，可舉出例如，夕^v工業(yè)株式會社制的才y v->(注冊商標(biāo)）hd、才y v - > DSX，如果可獲得目標(biāo)的圖案，則沒有特別限定。
[0096] 光壓印的圖案尺寸為納米級，具體而言按照小于1微米的圖案尺寸。
[0097]另外，在本發(fā)明中，評價脫模力的所謂90°剝離試驗，一般而言，為將粘接物（本 發(fā)明中相當(dāng)于由壓印材料形成的固化膜）粘貼于被粘物（本發(fā)明中相當(dāng)于膜），測定規(guī)定時 間后以規(guī)定的剝離速度沿90°方向拉剝時產(chǎn)生的阻力（張力）的試驗，通常，測定利用參考 了 JIS Z0237的評價法來實施。這里可以將所測定得到的阻力以被粘物的平均寬度換算得 到的值作為脫模力進行評價。
[0098] 而且將本發(fā)明的壓印材料涂布在膜上，使該膜上的涂膜與模具的具有凹凸形狀的 面進行粘接，接著使該涂膜在粘接于模具的具有凹凸形狀的面的狀態(tài)下進行光固化，然后 將膜上的固化膜從模具的具有凹凸形狀的面進行90°剝離，將該試驗中計測的脫模力、即 該膜上的固化膜從模具的具有凹凸形狀的面完全剝離時的荷重以該膜的每lcm橫寬換算 得到的值優(yōu)選大于〇g/cm且為0. 5g/cm以下，更優(yōu)選為0. 4g/cm以下。
[0099] 這樣由本發(fā)明的壓印材料制作的轉(zhuǎn)印有圖案的膜，以及具備有該膜的半導(dǎo)體元件 以及在基材上具備有該膜的光學(xué)構(gòu)件、固體攝像元件、LED器件、太陽能電池、顯示器和電子 器件也是本發(fā)明的對象。
[0100] 實施例
[0101] 以下，舉出實施例和比較例，進一步詳細(xì)地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于這些實 施例。
[0102] [壓印材料的調(diào)制]
[0103] <實施例1 >
[0104] 準(zhǔn)備NK工7> APG-700(以下，本說明書中簡稱為"APG-700"。）（新中村化學(xué)工 業(yè)株式會社制）5g、BYK-333(匕' 7^彡一· '7' \八 > 株式會社制）0· 05g(相對于APG-700 的質(zhì)量為lphr)，將它們進行混合，在該混合物中添加 Lucirin (注冊商標(biāo)）TP0(BASF '7' ^ 〃 ^株式會社制）（以下，本說明書中簡稱為"Lucirin TPO"。）0. 125g(相對于APG-700的質(zhì) 量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料PNI-al。
[0105] <實施例2 >
[0106] 將實施例1的APG-700變更為7 r U > (注冊商標(biāo)）FA-023M(以下，本說明 書中簡稱為"FA-023M"。）（日立化成工業(yè)株式會社制），除此以外，與實施例1同樣地調(diào)制 出壓印材料PNI_a2。
[0107] <實施例3 >
[0108] 將實施例1的APG-700變更為NK工^ 7 7 - A-1000PER(以下，本說明書中簡稱 為"A-1000PER"。）（新中村化學(xué)工業(yè)株式會社制），除此以外，與實施例1同樣地調(diào)制出壓 印材料PNI-a3。
[0109] <實施例4>
[0110] 準(zhǔn)備KAYARAD(注冊商標(biāo)）DPEA-12(以下，本說明書中簡稱為"DPEA-12"。）（日 本化藥株式會社制）〇. 5g、UA-306H(以下，本說明書中簡稱為"306H"。）（共榮社化學(xué)株式 會社制）2g、APG-7002. 5g、BYK-3330. 05g(相對于 DPEA-12、306H 和 APG-700 的總質(zhì)量為 lphr)，將它們進行混合，在該混合物中添加 Lucirin TPO 0. 125g(相對于DPEA-12、306H和 APG-700的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料PNI-a4。
[0111] <實施例5>
[0112] 將實施例4的BYK-333變更為0. lg(相對于DPEA-12、306H和APG-700的總質(zhì)量 為2phr)，除此以外，與實施例4同樣地調(diào)制出壓印材料PNI-a5。
[0113] <實施例6>
[0114] 將實施例4的APG-700變更為A-1000PER，將BYK-333變更為0. 025g(相對于 DPEA-12、306H和A-1000PER的總質(zhì)量為0. 5phr)，除此以外，與實施例4同樣地調(diào)制出壓印 材料 PNI-a6。
[0115] <實施例7>
[0116] 將實施例6的BYK-333變更為0. 05g(相對于DPEA-12、306H和A-1000PER的總質(zhì) 量為lphr)，除此以外，與實施例6同樣地調(diào)制出壓印材料PNI-a7。
[0117] <實施例8>
[0118] 將實施例6的BYK-333變更為0. lg(相對于DPEA-12、306H和A-1000PER的總質(zhì) 量為2phr)，除此以外，與實施例6同樣地調(diào)制出壓印材料PNI-a8。
[0119] <實施例9>
[0120] 準(zhǔn)備306H 2. 25g和A-1000PER 2. 75g，將它們進行混合，在該混合物中添加 BYK-3330. 05g (相對于 306H 和 A-1000PER 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin ΤΡ0 0· 125g (相對 于306H和A-1000PER的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料PNI-a9。
[0121] < 實施例 10 >
[0122] 準(zhǔn)備DPEA-121.25g、KAYARAD(注冊商標(biāo)）PET-30(以下，本說明書中簡稱為 "PET30"。）（日本化藥株式會社制）1. 25g、A-1000PER 2. 5g，將它們進行混合，在該混合 物中添加 BYK-3330. lg(相對于 DPEA-12、PET30 和 A-1000PER 的總質(zhì)量為 2phr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于DPEA-12、PET30和A-1000PER的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-alO。
[0123] < 實施例 11 >
[0124] 準(zhǔn)備PET302g、A-1000PER 3g，將它們進行混合，在該混合物中添加 BYK-3330. lg(相對于 PET30 和 A-1000PER 的總質(zhì)量為 2phr)、Lucirin ΤΡ0 (λ 125g (相對 于PET30和A-1000PER的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料PNI-all。
[0125] < 實施例 12 >
[0126] 準(zhǔn)備NK工7> A_200(以下，本說明書中簡稱為"A-200"。）（新中村化學(xué) 工業(yè)株式會社制）1. 5g、A-1000PER 3g、DPEA-120. 5g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al2。
[0127] < 實施例 13 >
[0128] 準(zhǔn)備A-2001. 5g、A-1000PER 2. 5g、DPEA-121g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al3。
[0129] < 實施例 14>
[0130] 準(zhǔn)備A-2001. 5g、A-1000PER 2g、DPEA-121. 5g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al4。
[0131] < 實施例 15 >
[0132] 準(zhǔn)備A-2001. 5g、A-1000PER 1. 5g、DPEA-122g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al5。
[0133] < 實施例 16 >
[0134] 準(zhǔn)備A-2001. 5g、A-1000PER lg、DPEA-122. 5g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al6。
[0135] < 實施例 17 >
[0136] 準(zhǔn)備A-2001. 5g、A-1000PER 0· 5g、DPEA-123g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al7。
[0137] < 實施例 18 >
[0138] 準(zhǔn)備A-2001g、A-1000PER 1. 5g、DPEA-122. 5g，將它們進行混合，在該混合物中 添加 BYK-3330. 05g (相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al8。
[0139] < 實施例 19 >
[0140] 準(zhǔn)備A-2001g、A-1000PER lg、DPEA-123g，將它們進行混合，在該混合物中添 加 BYK-3330. 05g(相對于 A-200、A-1000PER 和 DPEA-12 的總質(zhì)量為 lphr)、Lucirin TPO 0. 125g(相對于A200、A-1000PER和DPEA-12的總質(zhì)量為2. 5phr)，調(diào)制出壓印材料 PNI-al9。
[0141] <比較例1>
[0142] 準(zhǔn)備 306H 5g、BYK-3330. 05g(相對于 306H 的質(zhì)量為 lphr)、Lucirin ΤΡ0 0. 125g (相對于306H的質(zhì)量為2. 5phr)，將它們進行混合，調(diào)制出壓印材料PNI-bl。
[0143] <比較例2>
[0144] 將比較例1的BYK-333變更為0. lg(相對于306H的質(zhì)量為2phr)，除此以外，與比 較例1同樣地調(diào)制出壓印材料PNI_b2。
[0145] <比較例3>
[0146] 將比較例1的306H變更為PET30,除此以外，與比較例1同樣地調(diào)制出壓印材料 PNI-b3。
[0147] <比較例4>
[0148] 將比較例2的306H變更為PET30,除此以外，與比較例2同樣地調(diào)制出壓印材料 PNI-b4。
[0149] <比較例5>
[0150] 準(zhǔn)備DPEA-120. 5g、306H 2g、APG-7002. 5g，將它們進行混合，在該混合物中添加 Lucirin ΤΡ0 0· 125g(相對于 DPEA-12、306H 和 APG-700 的總質(zhì)量為 2. 5phr)，調(diào)制出壓印 材料 PNI-b5。
[0151] <比較例6>
[0152] 將比較例5的APG700變更為A-1000PER，除此以外，與比較例5同樣地調(diào)制出壓印 材料 PNI-b6。
[0153] [模具的脫模處理]
[0154] 將鎳制的間距250nm、高度250nm的蛾眼圖案模具（株式會社4 ^ 7々7制）和硅 片浸漬在用^?7々（注冊商標(biāo)）HFE-7100(氫氟醚，住友7 U - = A株式會社）（以下，本 說明書中簡稱為" 7v夕HFE-7100''。）將才7 V - > (注冊商標(biāo)）DSX(夕Μ今 >工業(yè)株 式會社制）稀釋至〇. 1質(zhì)量％而得的溶液中，使用溫度為90°C、濕度為90RH%的高溫高濕 裝置處理1小時，用77々HFE-7100沖洗后，在空氣中使其干燥。
[0155] [光壓印和脫模力試驗]
[0156] 使用棒式涂布機（全自動制膜器KT-AB3120 = - T 7々株式會社制）將由實施例 1?實施例19和比較例1?比較例6獲得的各壓印材料涂布在厚度80 μ m的三乙酰纖維 素膜（使用富士7 株式會社制7 々（注冊商標(biāo)））（以下，本說明書中簡稱為 "TAC膜"。）上，使該TAC膜上的涂膜與實施了上述脫模處理的蛾眼圖案模具進行輥壓接。 接著對于該涂膜，從TAC膜側(cè)利用無極均勻照射裝置（QRE-4016A，株式會社才一々制作所 制）實施350mJ/cm 2的曝光，進行了光固化。進而參考JIS Z0237來進行90°剝離試驗，測 定與模具的具有凹凸形狀的面粘接的、TAC膜上所形成的固化膜從模具的具有凹凸形狀的 面完全剝落時的荷重。進而算出膜的每lcm寬度的荷重，設(shè)為脫模力（g/cm)。將結(jié)果示于 表1中。
[0157] [鋼絲棉擦傷試驗]
[0158] 關(guān)于上述脫模力試驗后獲得的固化膜，進行鋼絲棉擦傷試驗。試驗機使用大榮精 機（有）制，使用#〇〇〇〇的鋼絲棉。每單位面積的荷重設(shè)為20. 4g/cm2,使上述鋼絲棉往復(fù) 10次。關(guān)于擦傷后的傷條數(shù)，如以下那樣進行評價。將結(jié)果示于表1中。
[0159] 0 ?5 條：A
[0160] 6 ?10 條：B
[0161] 11 ?20 條：C
[0162] 21 ?30 條：D
[0163] 31 ?40 條：E
[0164] [透射率測定]
[0165] 將由實施例1?實施例19和比較例1?比較例6獲得的各壓印材料旋轉(zhuǎn)涂布在 石英基板上，使進行了上述脫模處理的硅片進行粘接，設(shè)置于納米壓印裝置（NM-0801HB，明 昌機工株式會社制），經(jīng)10秒加壓至100N來除去膜中的氣泡，經(jīng)10秒泄壓后，利用無極均 勻照射裝置，實施了 350mJ/cm2的曝光。進而將硅片剝落，對石英基板上所制作的厚度5 μ m 的膜，進行了透射率測定。作為試驗機使用SHIMADSU UV-3600(株式會社島津制作所制）， 研究可見光區(qū)域中的平均透射率。將所得的結(jié)果示于表1中。
[0166] [指紋的擦去性]
[0167] 使用棒式涂布機（全自動制膜器KT-AB3120 = - T 7々株式會社制）將由實施例 1?實施例8和實施例12?實施例19獲得的各壓印材料涂布在厚度80 μ m的TAC膜上，將 該TAC膜上的涂膜與實施了上述脫模處理的蛾眼圖案模具進行輥壓接。接著對于該涂膜， 從TAC膜側(cè)利用無極均勻照射裝置（QRE-4016A，株式會社才一々制作所制），實施350mJ/ cm2的曝光，進行了光固化。從模具脫模后，利用super lacquer spray( 7寸?^株式 會社制）將上述TAC膜中與形成有轉(zhuǎn)印有蛾眼圖案的固化膜的面相反的面涂裝成黑色。進 而，在TAC膜上所形成的固化膜的蛾眼圖案上附著人工指紋液（TDK株式會社制），在上述鋼 絲棉擦傷試驗所使用的試驗機上安裝?> 2 '7卜（注冊商標(biāo)）M-l(旭化成# & ^株式會社 制），進行以570g/cm2的荷重往復(fù)50次的指紋的擦去試驗，目視確認(rèn)了指紋的擦去性。該 試驗中進行的擦去為干擦。擦去試驗后，將可以擦去指紋的情況評價為〇、將不能擦去指紋 即殘存有指紋的情況評價為X的結(jié)果示于表2中。
[0168] [表 1]
[0169] 表 1
[0170]

【權(quán)利要求】
1. 一種壓印材料，其含有下述（A)成分、（B)成分和（C)成分， (A) 成分：具有氧化丙烯單元或者具有氧化丙烯單元和氧化乙烯單元、并且具有2個聚 合性基團的化合物， (B) 成分：有機硅化合物， (C) 成分：光聚合引發(fā)劑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料，其還含有具有3個以上聚合性基團的化合物作為 Φ)成分。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印材料，其還含有具有氧化乙烯單元、并且具有2個聚 合性基團的化合物作為（E)成分。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3的任一項所述的壓印材料，其還含有表面活性劑作為（F)成分。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4的任一項所述的壓印材料，其還含有溶劑作為（G)成分。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?5的任一項所述的壓印材料，所述㈧成分的化合物為具有選自 丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、乙烯基和烯丙基中的至少1種基團2個作為所述聚合性基團 的化合物。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印材料，所述（D)成分的化合物為具有選自丙烯酰氧基、甲 基丙烯酰氧基、乙烯基和烯丙基中的至少1種基團3個以上作為所述聚合性基團的化合物。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1?7的任一項所述的壓印材料，在將所述壓印材料涂布在膜上，使 該膜上的涂膜與模具的具有凹凸形狀的面粘接，接著使該涂膜光固化，然后將膜上的固化 膜從模具的具有凹凸形狀的面進行90°剝離的試驗中，將計測的脫模力、即該膜上的固化 膜從模具的具有凹凸形狀的面剝離時的荷重以該膜的每lcm橫寬換算得到的值大于Og/cm 且為0· 5g/cm以下。
9. 一種轉(zhuǎn)印有圖案的膜，其是由權(quán)利要求1?8的任一項所述的壓印材料制作的。
10. -種光學(xué)構(gòu)件，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
11. 一種固體攝像裝置，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
12. -種LED器件，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
13. -種半導(dǎo)體元件，其具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
14. 一種太陽能電池，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
15. -種顯示器，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
16. -種電子器件，其在基材上具備權(quán)利要求9所述的轉(zhuǎn)印有圖案的膜。
【文檔編號】B29C59/02GK104246975SQ201380021471
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年4月16日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月27日
【發(fā)明者】淳平 小林, 加藤　拓, 圭介 首藤, 正睦 鈴木 申請人:日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會社