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除塵車(chē)及amhs系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):4258082閱讀:348來(lái)源:國(guó)知局
除塵車(chē)及amhs系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其包括車(chē)身、懸吊于軌道上的車(chē)輪和控制單元,其中,除塵車(chē)上還設(shè)有除塵裝置,除塵裝置包括安裝在車(chē)身上并可伸縮的機(jī)械臂、安裝于機(jī)械臂前端的吸塵嘴以及污物收集器。本發(fā)明通過(guò)在小車(chē)上設(shè)置除塵裝置,可以及時(shí)清除AMHS系統(tǒng)中產(chǎn)生的粉塵顆粒等污染物,保持空間的潔凈度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】除塵車(chē)及AMHS系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送機(jī)臺(tái)【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種除塵車(chē)及AMHS系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm娃片已經(jīng)逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來(lái)的約4公斤變成約9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不僅會(huì)降低效率,還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí),半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來(lái)越嚴(yán)苛,自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystems,簡(jiǎn)稱(chēng)AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來(lái)。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸送車(chē),往返于各個(gè)機(jī)臺(tái)之間(tool to tool輸送模式),或往返于機(jī)臺(tái)與暫存區(qū)Stocker之間(走道間系統(tǒng)interbay與走道內(nèi)系統(tǒng)intrabay)。如圖1所示的采用走道間、走道內(nèi)的輸送系統(tǒng),機(jī)臺(tái)走道每一邊的每一臺(tái)機(jī)臺(tái)10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), OHT輸送車(chē)70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,并通過(guò)軌道結(jié)構(gòu)60傳送至另一臺(tái)機(jī)臺(tái)10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內(nèi)的輸送過(guò)程稱(chēng)為走道內(nèi)系統(tǒng)110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過(guò)程則稱(chēng)為走道間系統(tǒng)100。走道內(nèi)系統(tǒng)110的輸送使用OHT輸送車(chē)70,走道間系統(tǒng)100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車(chē)70移至?xí)捍鎱^(qū)50中暫時(shí)儲(chǔ)存,等到需要用到此硅片盒30時(shí),再同樣以輸送車(chē)70搬送到指定機(jī)臺(tái)10處。
[0004]AMHS系統(tǒng)對(duì)廠房空間內(nèi)的潔凈度要求是很高的,若某個(gè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生了粉塵、雜質(zhì)等污染物,將對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和安全性帶來(lái)極大隱患。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種除塵車(chē)及AMHS系統(tǒng)。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其包括車(chē)身、懸吊于軌道上的車(chē)輪和控制單元,其中,該除塵車(chē)上還設(shè)有除塵裝置,該除塵裝置包括安裝在車(chē)身上并可伸縮的機(jī)械臂、安裝于機(jī)械臂前端的吸塵嘴以及污物收集器。
[0007]進(jìn)一步地,該機(jī)械臂由至少兩段直臂可折疊式連接而成。
[0008]進(jìn)一步地,該機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于車(chē)身上。
[0009]進(jìn)一步地,該吸塵嘴可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于機(jī)械臂前端。
[0010]進(jìn)一步地,該除塵車(chē)車(chē)身或除塵裝置上還設(shè)有攝像頭。
[0011]進(jìn)一步地,該攝像頭設(shè)于機(jī)械臂前端。
[0012]進(jìn)一步地,該污物收集器固定于機(jī)械臂上或車(chē)身上。
[0013]本發(fā)明還提供一種AMHS系統(tǒng),其包括多個(gè)機(jī)臺(tái)、軌道結(jié)構(gòu)、至少一輛輸送車(chē)、總控制單元以及至少一輛上述除塵車(chē)。
[0014]本發(fā)明的除塵車(chē)及AMHS系統(tǒng),通過(guò)在小車(chē)上設(shè)置除塵裝置,可以及時(shí)清除AMHS系統(tǒng)中產(chǎn)生的粉塵顆粒等污染物,保持空間的潔凈度。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn),以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述,其中:
[0016]圖1是現(xiàn)有自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的除塵車(chē)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]第一實(shí)施例
[0019]請(qǐng)參閱圖2,本實(shí)施例中的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē)1,其包括車(chē)身11、懸吊于軌道上的車(chē)輪12和控制單元(未圖示)。其中,除塵車(chē)I上還設(shè)有除塵裝置,除塵裝置包括安裝在車(chē)身11上并可伸縮的機(jī)械臂24、安裝于機(jī)械臂24前端的吸塵嘴21以及污物收集器23。
[0020]本實(shí)施例中,機(jī)械臂24由兩段直臂可折疊式連接而成;吸塵嘴21通過(guò)軟管22與污物收集器23連接,以將吸入的污物傳至污物收集器中。
[0021]在其他實(shí)施例中,吸塵嘴可以通過(guò)常用的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于機(jī)械臂的前端,機(jī)械臂亦可以常用的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于車(chē)身上,以實(shí)現(xiàn)360°的吸塵范圍;另外,污物收集器還可固定于機(jī)械臂上。
[0022]在其他實(shí)施例中,機(jī)械臂的前端還設(shè)有攝像頭,并與吸塵嘴平行,以供操作人員實(shí)時(shí)觀察除塵空間的畫(huà)面,更直觀、有效地控制除塵車(chē),執(zhí)行除塵作業(yè)。
[0023]第二實(shí)施例
[0024]本實(shí)施例的AMHS系統(tǒng),其包括矩陣狀布設(shè)的機(jī)臺(tái)、多根縱向軌道和橫向軌道懸吊設(shè)置的軌道結(jié)構(gòu)、設(shè)于軌道結(jié)構(gòu)上行駛的至少一輛輸送車(chē)、總控制單元以及至少一輛上述第一實(shí)施例的除塵車(chē),該除塵車(chē)設(shè)于軌道結(jié)構(gòu)上行駛。
【權(quán)利要求】
1.一種用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其包括車(chē)身、懸吊于軌道上的車(chē)輪和控制單元,其特征在于:該除塵車(chē)上還設(shè)有除塵裝置,該除塵裝置包括安裝在車(chē)身上并可伸縮的機(jī)械臂、安裝于機(jī)械臂前端的吸塵嘴以及污物收集器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該機(jī)械臂由至少兩段直臂可折疊式連接而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于車(chē)身上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該吸塵嘴可轉(zhuǎn)動(dòng)式安裝于機(jī)械臂前端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該除塵車(chē)車(chē)身或除塵裝置上還設(shè)有攝像頭。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該攝像頭設(shè)于機(jī)械臂前端。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于AMHS系統(tǒng)的除塵車(chē),其特征在于:該污物收集器固定于機(jī)械臂上或車(chē)身上。
8.—種AMHS系統(tǒng),其特征在于:其包括多個(gè)機(jī)臺(tái)、軌道結(jié)構(gòu)、至少一輛輸送車(chē)、總控制單元以及至少一輛根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的除塵車(chē)。
【文檔編號(hào)】B65G45/10GK103662740SQ201310727167
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月25日
【發(fā)明者】錢(qián)剛 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司
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