專利名稱：多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅還原爐技術(shù)，特別是一種多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩。
背景技術(shù)：
在多晶硅還原爐中，由于輻射和氣體對(duì)流傳熱的雙重原因，加熱硅棒的電能約有 85%的消耗在爐壁上，由于冷卻的爐壁會(huì)帶走加熱硅棒的熱量，所以目前很多技術(shù)人員都通過(guò)高溫油冷或者高溫水冷的方式來(lái)提高爐壁溫度來(lái)減少加熱硅棒的熱量損失，但改善的程度有限。也有通過(guò)加石英保溫鐘罩的辦法來(lái)減少損耗，但由于制作原材料和制作工藝的限制，鐘罩的尺寸不能做得很大，只適合用于小型還原爐，并且價(jià)格昂貴，易破碎，所以需要設(shè)計(jì)一種新型的保溫裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為解決上述問(wèn)題提供了一種多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，不僅具有良好的節(jié)電效果，還適用于各種還原爐，使用成本較低，不易碎。多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩呈鐘罩狀，固定在爐內(nèi)壁上，與爐內(nèi)壁同圓心，保溫隔熱罩設(shè)置于多晶硅還原爐的爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層的硅棒之間。所述節(jié)電保溫隔熱罩采用碳碳復(fù)合材料制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁的縱向上疊加形成。所述節(jié)電保溫隔熱罩采用石墨制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁縱向上疊加形成。所述節(jié)電保溫隔熱罩是鉬片和碳?xì)中纬蓤A環(huán)狀的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀復(fù)合板在縱向上疊加形成節(jié)電保溫隔熱罩，節(jié)電保溫隔熱罩的鉬片面朝向硅棒，隔熱板的碳?xì)置娉驙t內(nèi)壁。所述節(jié)電保溫隔熱罩是炭布和炭泡沫材料形成的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀的復(fù)合板在縱向上疊加形成，節(jié)電保溫隔熱罩的炭布面朝向硅棒，隔熱板的炭泡沫材料面朝向爐內(nèi)壁。所述爐內(nèi)壁上焊接有固定螺帽，碳?xì)趾豌f片槽上設(shè)置有對(duì)應(yīng)的螺栓孔，通過(guò)高純石墨或碳碳復(fù)合材料螺栓將節(jié)電保溫隔熱罩固定于爐內(nèi)壁上。所述爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層硅棒中心之間的距離大于250mm，可以滿足該節(jié)電保溫隔熱罩足夠的安裝空間。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型具有良好的節(jié)電效果，可以減少爐壁帶走熱量而降低50%左右的還原電耗，而且適用于各種還原爐，使用成本較低，不易碎。

圖1為本實(shí)用新型的縱向半剖結(jié)構(gòu)示意圖[0015]圖2為本實(shí)用新型的橫向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1-2所示，多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩2，呈鐘罩狀，固定在爐內(nèi)壁1上， 與爐內(nèi)壁1同圓心，節(jié)電保溫隔熱罩2設(shè)置于多晶硅還原爐的爐內(nèi)壁1與爐內(nèi)最外層的硅棒之間。所述節(jié)電保溫隔熱罩2采用碳碳復(fù)合材料制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁1的縱向上疊加形成。所述節(jié)電保溫隔熱罩2采用石墨制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁1縱向上疊加形成。所述節(jié)電保溫隔熱罩2是鉬片和碳?xì)中纬蓤A環(huán)狀的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀復(fù)合板在縱向上疊加形成節(jié)電保溫隔熱罩2，節(jié)電保溫隔熱罩2的鉬片面朝向硅棒，隔熱板的碳?xì)置娉驙t內(nèi)壁1。所述節(jié)電保溫隔熱罩2是炭布和炭泡沫材料形成的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀的復(fù)合板在縱向上疊加形成，節(jié)電保溫隔熱罩2的炭布面朝向硅棒，隔熱板的炭泡沫材料面朝向爐內(nèi)壁1。所述爐內(nèi)壁1上焊接有固定螺帽，碳?xì)趾豌f片槽上設(shè)置有對(duì)應(yīng)的螺栓孔，通過(guò)高純石墨或碳碳復(fù)合材料螺栓將節(jié)電保溫隔熱罩2固定于爐內(nèi)壁1上。該節(jié)電保溫隔熱罩2的尺寸可以根據(jù)還原爐爐罩確定，爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層硅棒中心之間的距離大于250mm，可以滿足節(jié)電保溫隔熱罩2足夠的安裝空間，相對(duì)于傳統(tǒng)還原爐的爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層硅棒中心之間的距離一般為100-150mm，因此本方案加大了還原爐爐罩的內(nèi)徑。
權(quán)利要求1.多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩呈鐘罩狀，固定在爐內(nèi)壁上，與爐內(nèi)壁同圓心，保溫隔熱罩設(shè)置于多晶硅還原爐的爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層的硅棒之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩采用碳碳復(fù)合材料制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁的縱向上疊加形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩采用石墨制成的圓環(huán)在爐內(nèi)壁縱向上疊加形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩是鉬片和碳?xì)中纬蓤A環(huán)狀的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀復(fù)合板在縱向上疊加形成節(jié)電保溫隔熱罩，節(jié)電保溫隔熱罩的鉬片面朝向硅棒，隔熱板的碳?xì)置娉驙t內(nèi)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩是炭布和炭泡沫材料形成的復(fù)合板，所述圓環(huán)狀的復(fù)合板在縱向上疊加形成，節(jié)電保溫隔熱罩的炭布面朝向硅棒，隔熱板的炭泡沫材料面朝向爐內(nèi)壁。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述爐內(nèi)壁上焊接有固定螺帽，碳?xì)趾豌f片槽上設(shè)置有對(duì)應(yīng)的螺栓孔，通過(guò)高純石墨或碳碳復(fù)合材料螺栓將節(jié)電保溫隔熱罩固定于爐內(nèi)壁上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層硅棒中心之間的距離大于250mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅還原爐的節(jié)電保溫隔熱罩，其特征在于所述節(jié)電保溫隔熱罩呈鐘罩狀，固定在爐內(nèi)壁上，與爐內(nèi)壁同圓心，保溫隔熱罩設(shè)置于多晶硅還原爐的爐內(nèi)壁與爐內(nèi)最外層的硅棒之間；本實(shí)用新型的這種結(jié)構(gòu)具有良好的節(jié)電效果，可以減少爐壁帶走熱量而降低50%左右的還原電耗，而且適用于各種還原爐，使用成本較低，不易碎。
文檔編號(hào)C01B33/021GK201971644SQ201120002110
公開(kāi)日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2011年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月6日
發(fā)明者馮德志, 戴自忠, 易正義 申請(qǐng)人:四川永祥多晶硅有限公司