一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，包含無氧銅加熱板、雙通道熱油加熱裝置、點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置，溫度控制裝置、油循環(huán)裝置，其特征在于：所述雙通道熱油加熱裝置包含油加熱熱油桶裝置、流量控制裝置、熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置；其中熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置埋在無氧銅加熱板中，槽兩端分別與油循環(huán)裝置的外循環(huán)油管道相連接，再外循環(huán)油管道上安裝有流量控制裝置和油桶；點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置是四方狀的點(diǎn)狀電阻絲；雙通道熱油加熱裝置與點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置并列交替排布于無氧銅加熱板內(nèi)部，雙通道熱油加熱裝置進(jìn)出端與油循環(huán)裝置相連接，溫度控制裝置中的熱電偶測溫裝置安裝于無氧銅加熱板下表面，實(shí)現(xiàn)大面積基板的加熱溫度不均勻性為±1℃。
【專利說明】
一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于加熱熱處理相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，由于世界能源危機(jī)和環(huán)境污染嚴(yán)重，在尋找一種能夠解決目前能源緊缺并能長久使用的新型能源，而這樣只有風(fēng)能和太陽能是可持續(xù)再生能源，并是清潔無污染、能源豐富的特點(diǎn)。因此為了補(bǔ)充能源較好的方法是發(fā)展太陽能行業(yè)，而對于太陽能行業(yè)，目前的晶硅電池在生產(chǎn)過程中會(huì)對環(huán)境再次帶來二次污染，并且成本高，轉(zhuǎn)換率提升的空間基本沒有了，而對于CIGS薄膜太陽能電池，生產(chǎn)過程對于環(huán)境的污染很小，并成本低，技術(shù)提升空間很大，所以發(fā)展CIGS薄膜太陽能是目前的重點(diǎn)，但是做做一個(gè)轉(zhuǎn)換效率高、良品率高的CIGS薄膜太陽電池，關(guān)鍵技術(shù)在于緩沖層的制備，一般都是采用CBD法，此方法最重要的是溫度均勻的嚴(yán)格控制，這個(gè)重要的因素嚴(yán)重影響電池CdS或者ZnS薄膜的性能。
[0003]目前對于對于全球來說，大面積加熱器只能做到2mx2m，并是采用拼接多區(qū)控溫的電加熱的方式，但是做到最好的狀態(tài)，溫度均勻性是+/-3%左右。沒辦法達(dá)到+/-1攝氏度的均勻性。本實(shí)用新型解決了大面積加熱板加熱均勻性達(dá)到+/-1攝氏度的均勻性，并節(jié)省了運(yùn)行成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述問題，本實(shí)用新型提供新型提供一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)加熱溫度至300攝氏度，整個(gè)面積2mx5m的溫度均勻性達(dá)到± 1°C，并通過油和電阻絲的加熱的方式節(jié)省了生產(chǎn)運(yùn)行耗能的成本。
[0005]本使用新型的技術(shù)方案是:一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含無氧銅加熱板、雙通道熱油加熱裝置、點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置，溫度控制裝置、油循環(huán)裝置，其特征在于:所述雙通道熱油加熱裝置包含油加熱熱油桶裝置、流量控制裝置、熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置，加熱熱油為無揮發(fā)、粘性小的硅油；其中熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置埋在無氧銅加熱板中，槽兩端分別與油循環(huán)裝置的外循環(huán)油管道相連接，再外循環(huán)油管道上安裝有流量控制裝置和油桶；所述點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置，包含點(diǎn)狀的電阻絲，電阻絲為鎧裝絲或者裸裝絲，點(diǎn)狀形狀為四方狀，尺寸為50mmX50mm ;所述溫度控制裝置包含熱電偶測溫裝置、紅外測溫儀、PID模式控溫裝置、溫度控制計(jì)算模塊；
[0006]其中，雙通道熱油加熱裝置與點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置并列交替排布，并且排布安裝與無氧銅加熱板內(nèi)部，雙通道熱油加熱裝置進(jìn)出端與油循環(huán)裝置相連接，溫度控制裝置中的熱電偶測溫裝置安裝于無氧銅加熱板下表面，用于事實(shí)測量其無氧銅加熱板溫度。
[0007]所述的無氧銅熱板，其特征在于:無氧桶熱板的厚度是1mm-1OOmm之間。
[0008]所述熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置，其特征在于:在無氧銅板內(nèi)部挖雙通道的槽，槽的直徑是2mm-50mm之間。雙通道槽間距是雙槽與雙槽之間的間距是10mm-30mm之間,雙通道的槽是兩個(gè)槽為一個(gè)單元,每一個(gè)單元中兩個(gè)槽采用的相反對流形式，內(nèi)部開孔的槽進(jìn)行內(nèi)壁表面氧化處理，使其不會(huì)被熱油氧化腐蝕，導(dǎo)致污染熱油。
[0009]所述的熱油，其特征在于:該油采用無揮發(fā)、無裂解、沸點(diǎn)高于350攝氏度的，并且粘性小，流動(dòng)性好的硅油。
[0010]所述熱板無氧銅，其特征在于:無氧銅熱板材料替換為鋁、不銹鋼。大面積的加熱器，是將熱板分割為多個(gè)面積大小不同的，分別做成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的熱板加熱器。熱板表面做機(jī)械拋光打磨處理，表面的粗糙度為Ra 1.5微米-2.5微米之間。
[0011]所述雙通道熱油加熱裝置，其特征在于:采用無縫焊接密封的形式將油管與銅板雙槽口密封連接，達(dá)到無泄漏、無油揮發(fā)、不放氣的形式密封。并且在灌油的時(shí)候采用真空法，使其油在整個(gè)循環(huán)熱板槽中無空氣摻雜而產(chǎn)生氣泡，并保證油填滿整個(gè)槽，保證熱油充分與熱板接觸，保證溫度的一致性。
[0012]所述的雙通道熱油加熱裝置，其特征在于:雙槽式的油道采用對流的形式，即，一個(gè)油槽的油從這段入口進(jìn)，一個(gè)油槽的油從對面的槽口進(jìn)入，形成對流的形式，保證熱板兩邊以及中間部分的溫度一致。
[0013]所述的雙通道熱油加熱裝置，其特征在于:并且每一個(gè)雙油槽都是獨(dú)立的油進(jìn)出，然后在匯到進(jìn)/出的總的油管道，在一起回到熱油加熱桶裝置中混合循環(huán)加熱后，再次進(jìn)行輸入循環(huán)的方式，每一個(gè)雙槽都是獨(dú)立的溫度測量系統(tǒng)。
[0014]所述的進(jìn)出熱油的管道，其特征在于:該管道是根據(jù)熱板熱油流量設(shè)計(jì)的特定管徑的不銹鋼管道，該管道上安裝有流量控制器和增壓的油泵。
[0015]所述的熱油加熱桶裝置，其特征在于:該裝置包含有攪拌器、電加熱裝置、熱偶測溫裝置。其中油桶用于盛裝加熱所用的循環(huán)的熱油，并通過加熱裝置進(jìn)行加熱，用熱電偶裝置測溫，其相對結(jié)構(gòu)位置是:油桶直接與外循環(huán)熱油管道相連接，油桶下面安裝有加熱裝置，在油桶內(nèi)部安裝有熱電偶裝置。
[0016]所述的一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，其特征在于:在每兩個(gè)雙油槽之間采用多個(gè)分布式的點(diǎn)狀電加熱絲加熱，并且是分成多個(gè)區(qū)域控制溫度，點(diǎn)狀電阻絲加熱器的點(diǎn)狀面積是Imm2-1Omm2之間，并是大小不同的點(diǎn)狀電阻絲加熱器交錯(cuò)分布，交錯(cuò)分布形成一條直線，每一個(gè)直線單元與雙管熱油管道是交替的平布于無氧銅板內(nèi)部，再次每一個(gè)點(diǎn)狀電阻絲都是可以單獨(dú)調(diào)節(jié)加熱功率。
[0017]所述的點(diǎn)狀電阻絲加熱器，其特征在于:每一個(gè)點(diǎn)狀電阻絲加熱器的電阻絲可以單芯、單芯螺旋、雙芯、三芯的形式，內(nèi)部是氧化鎂填充的，外面可以是不銹鋼形式的鎧裝包裝也可以是裸裝的電阻絲。
[0018]所述的一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，其特征在于:每一個(gè)小熱板的局部溫度都是通過熱油的加熱溫度與點(diǎn)狀電阻絲加熱器互補(bǔ)的形式形成的，大型的熱板是分別由這幾個(gè)小的熱板分別控溫調(diào)節(jié)，達(dá)到大熱板的溫度一致性。
[0019]溫度測量裝置包含:熱電偶接觸式測溫，分別測量點(diǎn)狀加熱器的溫度和每一個(gè)雙槽熱油管道的溫度，每一雙槽熱油管都是有三個(gè)熱偶測量該區(qū)域的溫度，熱電偶安裝在熱板鉆有小孔的內(nèi)部，測量熱板的溫度；采用紅外線非接觸是測溫裝置測量熱板上基板的溫度，根據(jù)基板的大小適當(dāng)分紅外測溫儀的數(shù)量。
[0020]溫度控制裝置包含:熱電偶測溫的溫度控制采用智能的PID控溫，PLC通過每一個(gè)熱偶控溫采集的溫度數(shù)據(jù)和紅外測溫控制采集的溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行分析計(jì)算，并發(fā)出命令，調(diào)節(jié)該局部點(diǎn)狀加熱器的功率和熱油的加熱功率，進(jìn)行互補(bǔ)平衡整個(gè)大面積的加熱器對基本加熱的溫度均勻性。
[0021]所述的溫度控制裝置，其特征在于:溫度控制裝置的熱電偶接觸式測溫裝置與紅外測溫儀是并聯(lián)的，均最后與PID模式控溫裝置相連接，再將其信息輸出與溫度控制計(jì)算模塊，進(jìn)行溫度的控制和調(diào)節(jié)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是表示加熱器側(cè)面分布與油循環(huán)原理；
[0023]圖2是表示俯視看整個(gè)熱板油槽循環(huán)以及點(diǎn)狀電加熱器分布以及控制；
[0024]圖3是CBD實(shí)例CBD的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0025]以下是結(jié)合附圖對于本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說明。
[0026]本實(shí)用新型一種新型的大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)用于化學(xué)水浴沉積設(shè)備(CBD)和層壓機(jī)設(shè)備中的加熱裝置中。
[0027]所述化學(xué)水浴沉積設(shè)備(CBD)，該設(shè)備包含沉積腔體100、加熱系統(tǒng)110、藥液加入裝置120、基板支撐裝置130、藥液排除裝置140，其設(shè)備的結(jié)構(gòu)是，反應(yīng)腔體的下方部分安裝有排液管道口，中間是安裝加熱熱板，熱板上安裝有基板支撐裝置，腔體的最上面是安裝的藥液加入裝置。
[0028]所述層壓機(jī)設(shè)備，該設(shè)備包含層壓上腔體、層壓下腔體、加熱裝置、抽真空裝置、基板傳輸裝置。其結(jié)構(gòu)是層壓上腔體是一個(gè)提供重量的光滑橡膠面，下腔體的下方部門安裝有加熱板，基板傳輸進(jìn)來后，直接放置在加熱板上升溫，上下腔體閉合后，由真空泵進(jìn)行抽真空，真空泵安裝在下腔體下面，抽氣后，加熱板加熱，實(shí)現(xiàn)工件層壓壓合。
[0029]本實(shí)用新型一種新型的大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含無氧銅加熱板1、雙通道熱油加熱裝置2、點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置3，溫度控制裝置4、油循環(huán)裝置5，其特征在于:所述雙通道熱油加熱裝置包含油加熱熱油桶裝置20、流量控制裝置21、熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置22，加熱熱油為無揮發(fā)、粘性小的硅油；其中熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置埋在無氧銅加熱板I中，槽兩端分別與油循環(huán)裝置5的外循環(huán)油管道50相連接，在外循環(huán)油管道上安裝有流量控制裝置21和油桶20，在油桶中安裝有熱電偶測溫裝置23 ;所述點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置，包含點(diǎn)狀的電阻絲30，電阻絲為鎧裝絲或者裸裝絲，點(diǎn)狀形狀為四方狀，尺寸為50mmX50mm ;所述溫度控制裝置4包含熱電偶測溫裝置40、紅外測溫儀41、PID模式控溫裝置42、溫度控制計(jì)算模塊43 ；
[0030]其中，雙通道熱油加熱裝置與點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置并列交替排布，并且排布安裝與無氧銅加熱板I內(nèi)部，雙通道熱油加熱裝置2進(jìn)出端與油循環(huán)裝置5相連接，溫度控制裝置4中的熱電偶測溫裝置安裝于無氧銅加熱板I下表面，用于事實(shí)測量其無氧銅加熱板溫度。
[0031]所述的無氧銅熱板，其特征在于:無氧桶熱板的厚度是1mm-1OOmm之間。
[0032]所述熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置，其特征在于:在無氧銅板內(nèi)部挖雙通道的槽，槽的直徑是2mm-50mm之間。雙通道槽間距是2mm-5mm,雙槽與雙槽之間的間距是10mm-30mm之間，內(nèi)部開孔的槽進(jìn)行內(nèi)壁表面氧化處理，使其不會(huì)被熱油氧化腐蝕，導(dǎo)致污染熱油，雙通道的槽是兩個(gè)槽為一個(gè)單元，每一個(gè)單元中兩個(gè)槽采用的相反對流形式。
[0033]所述無氧銅熱板，可以是鋁、不銹鋼材料，大面積的加熱器，是將熱板分割為多個(gè)面積大小不同的，分別做成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的熱板加熱器。熱板表面做機(jī)械拋光打磨處理，表面的粗糙度為Ra 1.0微米-2.5微米之間。
[0034]所述油加熱裝置，其特征在于:油加熱裝置的油桶進(jìn)行加熱，該裝置包含有攪拌器24、電加熱裝置25、熱偶測溫裝置23、油桶20。所述油桶需要做隔熱和保溫結(jié)構(gòu)，避免溫度的散失，盡量達(dá)到與外界沒有熱對流，其結(jié)構(gòu)由內(nèi)向外一次是不銹鋼材料熱油桶、三層鏡面反射板，石墨棉材料，不銹鋼板，并安裝有高壓安全閥；所述攪拌器可以是機(jī)械旋轉(zhuǎn)攪拌。所述熱偶測溫裝置包含:采用多個(gè)接觸式溫度測量儀器測溫，分別測量熱油桶的上、中、下三個(gè)部分的熱油溫度，并用PID監(jiān)控控制油的溫度。加熱裝置是在熱油桶上安裝電阻絲加熱器爐進(jìn)行加熱。其中油桶用于盛裝加熱所用的循環(huán)的熱油，并通過加熱裝置進(jìn)行加熱，用熱電偶裝置測溫，其相對結(jié)構(gòu)位置是:油桶20直接與外循環(huán)熱油管道50相連接，油桶下面安裝有加熱裝置25，在油桶內(nèi)部安裝有熱電偶裝置23和攪拌器24。
[0035]所述油采用無揮發(fā)、無裂解、沸點(diǎn)高于350攝氏度的，并且粘性小，流動(dòng)性好的硅油，可以在市場上購買。
[0036]所述油循環(huán)裝置，該裝置包含熱油外管道50、熱板內(nèi)部循環(huán)裝置22、密封裝置51、泵動(dòng)力循環(huán)裝置52。
[0037]所述熱油外管道，該管道是油通過此油管道送到銅板油槽口，油管道采用不銹鋼的，管道直徑根據(jù)實(shí)際計(jì)算需求設(shè)計(jì)，管道是是雙層的，為了避免油在循環(huán)的時(shí)候熱量散失的作用。并且熱油管道是兩個(gè)油進(jìn)管道和油回的管路管道。
[0038]所述的密封裝置，該裝置采用無縫焊接密封將油管與銅板雙槽口密封，達(dá)到無泄漏、無油揮發(fā)、不放氣的形式密封。并且在灌油的時(shí)候采用真空法，使其油在整個(gè)循環(huán)熱板槽中無空氣摻雜而產(chǎn)生氣泡，并保證油填滿整個(gè)槽，保證熱油充分與熱板接觸，保證溫度的一致性。
[0039]所述的熱油熱板中內(nèi)部循環(huán)裝置，該裝置是雙槽式的油道采用對流的形式，S卩，在上述的熱板中開槽，開槽均為為一對一組的形式，一組油槽是一個(gè)油槽的油從這段入口進(jìn)，一個(gè)油槽的油從對面的槽口進(jìn)入，形成對流的形式，保證熱板兩邊以及中間部分的溫度一致。并且每一個(gè)雙油槽都是獨(dú)立的油進(jìn)出，然后在匯到進(jìn)/出的總的油管道，在一起回到油桶混合循環(huán)的方式。
[0040]所述的泵動(dòng)力循環(huán)裝置52，該裝置是在油桶出油口安裝一個(gè)油泵，油泵啟動(dòng)，提供整個(gè)加熱器熱油循環(huán)的動(dòng)力，然后油在循環(huán)回到油桶中。
[0041]所述點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置3，該裝置在每兩個(gè)雙油槽之間采用多個(gè)分布式的點(diǎn)狀電加熱絲30加熱，點(diǎn)狀電加熱絲交錯(cuò)分布形成一條直線，每一個(gè)直線單元與雙管熱油管道是交替的平布于無氧銅板內(nèi)部，并且是分成多個(gè)區(qū)域控制溫度，點(diǎn)狀電加熱引線全部是由銅板的北部引入，并采用陶瓷做絕緣。每一條線上的點(diǎn)狀電加熱器分為3個(gè)區(qū)域控制溫度。點(diǎn)狀電阻絲加熱器的點(diǎn)狀面積是Imm2-1Omm2之間，并是大小不同的點(diǎn)狀電阻絲加熱器交錯(cuò)分布，每一個(gè)都是可以單獨(dú)調(diào)節(jié)加熱功率。
[0042]所述的點(diǎn)狀電阻絲加熱器，該裝置每一個(gè)點(diǎn)狀電阻絲加熱器的電阻絲可以單芯、單芯螺旋、雙芯、三芯的形式，內(nèi)部是氧化鎂填充的，外面可以是不銹鋼形式的鎧裝包裝也可以是裸裝的電阻絲。
[0043]所述點(diǎn)狀電阻絲加熱器，其特征在于:點(diǎn)狀電阻絲加熱器加熱采用的是市電供應(yīng)電力，進(jìn)行局部加熱的方式，其構(gòu)成包含外接電源31、電力輸入線纜32、點(diǎn)狀電阻絲組成30，外接電源直接通過電力輸入線纜將電輸送至點(diǎn)狀電阻絲，進(jìn)行加熱。
[0044]每一個(gè)小熱板的局部溫度都是通過熱油的加熱溫度與點(diǎn)狀電阻絲加熱器互補(bǔ)的形式形成的，大型的熱板是分別由這幾個(gè)小的熱板分別控溫調(diào)節(jié)，達(dá)到大熱板的溫度一致性。
[0045]所述溫度測量裝置，該裝置包含:熱電偶接觸式測溫，分別測量點(diǎn)狀加熱器的溫度和每一個(gè)雙槽熱油管道的溫度，每一雙槽熱油管都是有三個(gè)熱偶測量該區(qū)域的溫度，熱電偶安裝在熱板鉆有小孔的內(nèi)部，測量熱板的溫度；采用紅外線非接觸是測溫裝置測量熱板上基板的溫度，根據(jù)基板的大小適當(dāng)分紅外測溫儀的數(shù)量。
[0046]所述溫度控制裝置，該裝置包含:熱電偶測溫的溫度控制采用智能的PID控溫，PLC通過每一個(gè)熱偶控溫采集的溫度數(shù)據(jù)和紅外測溫控制采集的溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行分析計(jì)算，并發(fā)出命令，調(diào)節(jié)該局部點(diǎn)狀加熱器的功率和熱油的加熱功率，進(jìn)行互補(bǔ)平衡整個(gè)大面積的加熱器對基本加熱的溫度均勻性。
[0047]所述的溫度控制裝置，其特征在于:溫度控制裝置的熱電偶接觸式測溫裝置與紅外測溫儀是并聯(lián)的，均最后與PID模式控溫裝置相連接，再將其信息輸出與溫度控制計(jì)算模塊，進(jìn)行溫度的控制和調(diào)節(jié)。
[0048]本實(shí)用新型提出的新型大面積加熱板加熱系統(tǒng)，可以解決大面積加熱溫度不均的難點(diǎn)，并能解決大面積電加熱巨大耗能的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)化學(xué)水浴沉積(CBD)單面多片同時(shí)沉積以及層壓機(jī)多片基板同時(shí)加熱層壓的功能、并能有效控制基板的溫度均勻性，溫度加至300攝氏度時(shí)，溫度均勻性為+/-1攝氏度，為薄膜行業(yè)提高的良率以及產(chǎn)能。
【權(quán)利要求】
1.一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含無氧銅加熱板、雙通道熱油加熱裝置、點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置，溫度控制裝置、油循環(huán)裝置，其特征在于: 所述雙通道熱油加熱裝置包含油加熱熱油桶裝置、流量控制裝置、熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置；其中熱板中雙通道開槽溝油加熱裝置埋在無氧銅加熱板中，槽兩端分別與油循環(huán)裝置的外循環(huán)油管道相連接，再外循環(huán)油管道上安裝有流量控制裝置和油桶；其中點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置為尺寸為50mmx50mm四方塊電加熱絲，該裝置由至少多個(gè)分布在熱板中，雙通道熱油加熱裝置與點(diǎn)狀電阻絲加熱裝置并列交替排布，并且排布安裝與無氧銅加熱板內(nèi)部，雙通道熱油加熱裝置進(jìn)出端與油循環(huán)裝置相連接，溫度控制裝置中的熱電偶測溫裝置安裝于無氧銅加熱板下表面，用于事實(shí)測量其無氧銅加熱板溫度； 所述溫度控制裝置包含熱電偶測溫裝置、紅外測溫儀、PID模式控溫裝置、溫度控制計(jì)算模塊。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型大面積混合型加熱板加熱系統(tǒng)，其特征在于:所述溫度控制裝置結(jié)構(gòu)是:熱電偶測溫裝置一端連接與無氧銅加熱板下表面，一端與PID模式控溫裝置相連接，其中紅外測溫儀的紅外線直接照射與無氧銅加熱板表面，并與PID模式控溫裝置相連接，熱電偶測溫裝置與紅外測溫儀屬于并聯(lián)關(guān)系，最后PID模式控溫裝置與溫度控制計(jì)算模塊相連接，最終構(gòu)成溫度控制裝置。
【文檔編號(hào)】C23C18/00GK204251711SQ201420639265
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2015年1月7日 優(yōu)先權(quán)日:2015年1月7日
【發(fā)明者】周震, 張雨菲, 田野 申請人:山東希格斯新能源有限責(zé)任公司