專利名稱：研磨裝置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在加工玻璃板等時檢測加工中的玻璃板等上產(chǎn)生的破裂等的異常的研磨裝置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法。
背景技術：
在玻璃板的制造工序中，對玻璃板實施切斷、倒角、開孔、研磨、加熱成形、風冷強化等各種加工。例如，用于LCD或OLED等平板顯示器(FPD)的玻璃板由于其表面的微小的凹凸或彎曲成為影響圖像的主要原因，而通過研磨裝置對玻璃板的表面的一部分或整體進行研磨。為了進行此種研磨，已知有一種研磨裝置，其具備保持并輸送玻璃板的移動研磨頭；及配置在該研磨頭下方的多個研磨平臺。根據(jù)該研磨裝置，通過移動研磨頭對玻璃板進行輸送，并通過多個研磨平臺依次對玻璃板進行研磨。然而，在研磨裝置對玻璃板的研磨中，玻璃板偶爾會發(fā)生破裂。這種情況下，當在玻璃板破裂的狀態(tài)下繼續(xù)進行研磨加工時，因破裂的玻璃片而對研磨墊造成損傷。然后，在生產(chǎn)工序中進行依次研磨多個玻璃板的連續(xù)的研磨時，會產(chǎn)生對后續(xù)的玻璃板帶來壞影響這一不良情況。因此，希望提前檢測玻璃板的破裂并迅速地使研磨裝置停止。在專利文獻1中公開有一種檢測研磨加工中的玻璃板的破裂的破裂檢測裝置。該玻璃破裂檢測裝置通過麥克風30收集研磨加工中產(chǎn)生的加工聲音，并通過濾波器從收集到的加工聲音中提取規(guī)定的頻率(3kHz以上)的聲波，關于該提取的聲波，對當前的聲波水平和距當前過去規(guī)定時間內(nèi)的正常聲波水平進行比較，從而判定玻璃板的破裂。專利文獻1 日本國特開2006-35343號公報

發(fā)明內(nèi)容
然而，專利文獻1的破裂檢測裝置通過聲音來檢測研磨加工中的玻璃板的破裂， 只能檢測玻璃板破裂成粉碎的狀態(tài)下的聲音，而無法檢測破裂發(fā)生的初始階段(裂紋等的微小破裂、缺陷)的聲音。而且，容易受到周邊的聲音頻率成分的噪聲的影響。玻璃板成為細片而破裂時，如上所述會對研磨墊造成損傷，且用于將其除去的清掃作業(yè)會花費幾小時。因此，由于復原作業(yè)所需的時間、生產(chǎn)工序中的研磨作業(yè)發(fā)生中斷， 因此存在運轉(zhuǎn)率下降的缺點。需要說明的是，由于在破裂發(fā)生的初始階段產(chǎn)生的極小的聲音被研磨裝置周邊的噪音所覆蓋，因此幾乎無法檢測。而且，即使監(jiān)視員總是監(jiān)視研磨加工中的玻璃板，監(jiān)視員也不可能通過耳朵與周圍的聲波水平區(qū)分開地直接聽到該聲音來檢測研磨中的玻璃板的破裂。本發(fā)明鑒于此種情況而作出，其目的在于提供一種通過檢測研磨中的被研磨物的破裂等的異常的發(fā)生的初始階段，而能夠縮減研磨工具的受損害或清掃作業(yè)等引起的中斷時間，并抑制不需要的損失時間的發(fā)生的研磨裝置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法。
即，本發(fā)明提供一種研磨裝置，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨裝置的特征在于，具備AE傳感器，安裝在支承研磨工具或被研磨物的板上；異常檢測部，基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常；及警告單元，當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時發(fā)出警告。另外，本發(fā)明提供一種研磨方法，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨方法的特征在于，在支承研磨工具或被研磨物的板上安裝AE傳感器，異常檢測部基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常， 當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時，警告單元發(fā)出警告。所述研磨工具是研磨墊且所述被研磨物是玻璃板時，例如適合于IXD或OLED用的母玻璃基板的研磨。另外，當所述研磨工具是修整砂輪且所述被研磨物是研磨墊時，適合于研磨墊的修整作業(yè)。另外，本發(fā)明提供一種使用上述的研磨方法來進行玻璃板的加工的玻璃板的制造方法。在本發(fā)明中，從研磨中的玻璃板或修整中的研磨墊產(chǎn)生的彈性波通過研磨液中而總是被AE(acoustic emission 聲發(fā)射)傳感器檢測到，該信息總是輸出至異常檢測部。異常檢測部中預先設定有確認玻璃板產(chǎn)生了裂紋等微小破裂、缺陷的閾值和研磨墊的適當修整效率閾值。當在研磨中來自AE傳感器的輸出值超過所述閾值時，S卩，異常檢測部檢測到玻璃板產(chǎn)生了裂紋等微小破裂、缺陷時，或者，在修整中來自AE傳感器的輸出值低于所述閾值時，警告單元發(fā)出警告。并且，玻璃研磨中，在發(fā)出警告的同時，控制部使研磨裝置停止。由此，能夠檢測修整效率下降等的異常發(fā)生和玻璃板的破裂的初始階段，因此能夠在玻璃板破碎成粉碎之前檢測到玻璃板的破裂并使研磨裝置停止。由此，根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⒀心|的受損害或清掃作業(yè)等引起的中斷時間抑制成最小限度?；蛘卟挥猛ㄟ^手工進行異常檢測后的處理，而能夠使用機械裝置及計算機控制而實現(xiàn)大致自動化。在玻璃板的研磨工序中，研磨墊和玻璃板進行相對復雜的旋轉(zhuǎn)/滑動動作，總是產(chǎn)生大的機械振動并進行連續(xù)運轉(zhuǎn)。而且，來自電動機或電源系統(tǒng)的電磁波噪聲的產(chǎn)生也存在于工序附近。因此，本發(fā)明中的AE傳感器能夠檢測到玻璃板的通常的研磨中產(chǎn)生的低水平的彈性波或不可避免的噪聲成分。在此種環(huán)境下，將正常狀態(tài)下的彈性波檢測作為玻璃板的破裂的情況并判斷為發(fā)生異常的情況有可能會胡亂地干擾研磨工序。因此，在本發(fā)明中，基于實驗值或經(jīng)驗值來設定所述閾值。還具有根據(jù)指定的范圍的過去實際最大值，將該最大值加上某加法值后得到的值作為閾值的自動閾值調(diào)整功能， 并能夠選擇采用哪個閾值。將檢測到超過所選擇的閾值的信號成分的情況判定為“異?！?。 在圖3的事例中，將1. 000V設定為閾值。當研磨裝置穩(wěn)定地正常運轉(zhuǎn)時，以使其噪聲水平成為0. IV以下的方式設定檢測回路的耐噪聲設計、信號放大率等。在本發(fā)明中，在研磨中的玻璃板產(chǎn)生裂紋等微小破裂、缺陷時，對所述玻璃板進行瞬時檢測并使研磨裝置暫時停止，這種情況具有意義。在以往的方式中，無法忽視研磨頭、研磨墊的清掃作業(yè)花費的時間。然而，根據(jù)本發(fā)明，由于玻璃板未破碎，因此該清掃作業(yè)花費的時間短，在幾十分鐘以內(nèi)就足夠。由此，能夠大幅度地縮短生產(chǎn)工序中的研磨裝置的中斷時間。在本發(fā)明中，微小破裂等是指例如圖8所示，在大型的母玻璃基板的極小部分少量產(chǎn)生幾cm 幾IOcm以內(nèi)的裂紋或貫通玻璃板的表里那樣的短裂紋的狀態(tài)。此外，在本發(fā)明中，在將所述研磨墊保持于研磨平臺上的板上安裝有AE傳感器。 由此，AE傳感器能夠可靠地檢測研磨中產(chǎn)生的彈性波。而且，在研磨裝置中，使用水或漿液作為研磨液，因此使AE傳感器的被絕緣的檢測面以外的金屬部分與由研磨平臺保持的板進行物理接觸或經(jīng)由水或漿液進行電接觸時，存在電噪聲進入AE傳感器而無法判別微小水平的異常信號的可能性。因此，優(yōu)選在AE傳感器上安裝用于防水及絕緣的樹脂制(絕緣性)的罩蓋。另外，不是將AE傳感器的檢測面直接安裝在板上，從所述防水的觀點出發(fā)，優(yōu)選經(jīng)由與AE傳感器的檢測面相接并覆蓋大致整體的金屬制的罩蓋而安裝在板上。此時，從提高微小水平的異常發(fā)生的檢測精度的觀點出發(fā)，而設置將AE傳感器的檢測面按壓到所述金屬制的罩蓋上的彈簧等施力單元。在本發(fā)明中，優(yōu)選在通過所述異常檢測部檢測到玻璃板的破裂后，使所述玻璃板的研磨裝置停止。該流程圖如圖7所示。即，設置玻璃板的破裂檢測裝置(Si)，開始玻璃板的加工(S2)，并在檢測到玻璃板的微小水平的破裂時使研磨裝置停止(S3)，進行研磨部件的檢查(S4)，使研磨裝置復原(S5)。例如，構(gòu)成為，由異常檢測部檢測到玻璃板的破裂發(fā)生的初始階段時，集中控制研磨裝置整體的控制部使研磨裝置停止即可。由此，不需要監(jiān)視員進行的研磨裝置的監(jiān)視這一人工作業(yè)。而且，在連續(xù)的研磨時，能夠防止對其他玻璃板的影響，因此能分別提高玻璃板的品質(zhì)、運轉(zhuǎn)率及成品率。此外，使研磨裝置停止時，優(yōu)選使玻璃板與研磨頭一起從研磨墊上升(退避)。由此，能夠容易地從研磨頭取出破裂發(fā)生的初始階段的玻璃板。在本發(fā)明中，所述AE傳感器優(yōu)選從浸透在所述研磨墊中的研磨液經(jīng)由所述板而檢測出來自玻璃板的彈性波。作為所述研磨液，在研磨玻璃板時優(yōu)選使用含有氧化鈰或二氧化硅的漿液，在修整研磨墊時優(yōu)選使用水。研磨墊通常為聚氨酯制，聚氨酯自身難以傳遞彈性波，但由于聚氨酯制的研磨墊中浸透有研磨液，因此能夠通過AE傳感器從該研磨液經(jīng)由板可靠地檢測出來自玻璃板的彈性波。作為研磨液的供給單元，優(yōu)選為在研磨平臺和板上形成多個研磨液供給孔并從這些研磨液供給孔向研磨墊供給研磨液的單元。由此，能夠均勻地對研磨墊整體供給水或漿液。在本發(fā)明中，AE傳感器優(yōu)選形成于板上，并安裝在板的從研磨平臺向側(cè)方突出的突出片的下表面。在從研磨平臺向側(cè)方突出的板的突出片的下表面上安裝AE傳感器時，能夠防止旋轉(zhuǎn)中的研磨頭與AE傳感器發(fā)生碰撞的情況。而且，作為AE傳感器的安裝位置，也可以在研磨平臺的中央部形成貫通孔，并經(jīng)由該貫通孔將AE傳感器的檢測面安裝在板上。若如此在研磨平臺的中央部安裝AE傳感器，則玻璃板的破裂位置與AE傳感器之間的距離變短的情況較多，因此提高彈性波的檢測靈敏度。安裝的AE傳感器的數(shù)目根據(jù)玻璃板的尺寸適當決定即可。例如，優(yōu)選對一邊為3000mmX 3000mm以上的玻璃板安裝兩個以上的AE傳感器。由于安裝多個AE傳感器時的AE傳感器的安裝位置提高檢測靈敏度，因此優(yōu)選相對于玻璃板大致均等地配置。例如，安裝兩個AE傳感器時，優(yōu)選隔著玻璃板將AE傳感器對稱安裝。在本發(fā)明中，從所述AE傳感器向異常檢測部輸出的頻帶利用濾波器設定在100 200kHz的范圍內(nèi)。在玻璃板的研磨裝置的周邊設有玻璃板的切斷裝置、倒角裝置、輸送裝置、二次研磨裝置等各種裝置。需要排除來自這些裝置的機械振動引起的小于IOOkHz的頻率的彈性波。而且，需要排除電噪聲引起的超過200kHz的頻率的彈性波。因此，在本發(fā)明中，設從AE傳感器向異常檢測部輸出的頻帶的下限值為100kHz， 因此能夠防止所述機械振動的彈性波引起的誤檢測，而且，設上限值為200kHz，因此能夠防止所述電噪聲的彈性波引起的誤檢測。如此，通過選擇作為對象的頻帶并設定規(guī)定的閾值， 而能夠?qū)崿F(xiàn)與周圍的噪聲成分的區(qū)分。需要說明的是，上限值越高，AE傳感器的輸出越衰減，因此不優(yōu)選。而且，既可以在AE傳感器自身內(nèi)置濾波器，也可以將來自AE傳感器的輸出經(jīng)由濾波器向異常檢測部輸出。作為濾波器，優(yōu)選使用鑒別器。[發(fā)明效果]如以上說明所示，根據(jù)本發(fā)明，利用AE傳感器來檢測研磨中的被研磨物的破裂等的異常發(fā)生的初始階段，因此能夠?qū)⒀心スぞ摺⒈谎心ノ锏氖軗p害或清掃等引起的中斷時間抑制成最小限度。其結(jié)果是，能夠提高研磨工序中的連續(xù)運轉(zhuǎn)，并改善生產(chǎn)工廠的效率。而且，能夠在較早的階段檢測到微小水平的異常發(fā)生，因此能夠預防研磨裝置或研磨墊的破損，能夠使裝置的維護容易。


圖1是本發(fā)明的研磨裝置的立體圖。圖2是圖1的研磨裝置的主要部分放大剖視圖。圖3是表示來自AE傳感器的輸出波形和閾值的波形圖。圖4是AE傳感器的放大立體圖。圖5 (A)是由樹脂制罩蓋覆蓋的AE傳感器的立體圖，圖5⑶是從下方觀察到的金屬制罩蓋的立體圖，圖5(C)是從上方觀察到的金屬制罩蓋的立體圖。圖6是表示AE傳感器的另一安裝位置的研磨裝置的局部剖視圖。圖7是本發(fā)明的玻璃板的制造方法的流程圖。圖8是表示玻璃板的微小水平的破裂的俯視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖，說明本發(fā)明的研磨裝置及研磨方法以及玻璃板的制造方法的優(yōu)選的實施方式。圖1是表示實施方式的研磨裝置10的立體圖。而且，圖2是表示示出研磨裝置10的主要部分結(jié)構(gòu)的放大剖視圖。該研磨裝置10是將制造成矩形形狀的玻璃板G{例如，一邊為2000X 2200mm 2200X^00mm，厚度為0. 7mm, FPD用途的由無堿玻璃系材料構(gòu)成的利用浮法制造的研磨前的玻璃板(例如，AN100。)}研磨成液晶顯示器用玻璃板所需的平面度的研磨裝置。其結(jié)構(gòu)包括研磨頭16，經(jīng)由片狀的保持部件14在所述研磨頭的下表面保持玻璃板G ；及研磨平臺22，經(jīng)由鋁制的板18在所述研磨平臺的上表面保持研磨墊20。玻璃板G 被具有自身吸附作用的由支承件等構(gòu)成的保持部件14保持，并利用研磨頭16將被研磨面 A壓緊到研磨墊20上，從而將被研磨面A研磨成需要的平面度。在研磨中，如圖2所示，使氧化鈰水溶液等研磨液即漿液通過貫通研磨平臺22和板18而形成的多個研磨液供給孔M、24···，從研磨墊20的下表面?zhèn)裙┙o。由此，研磨墊20 成為被漿液浸漬的狀態(tài)，在該狀態(tài)下研磨玻璃板G。研磨液供給孔M、24···密集且均勻地形成在研磨平臺22和板18上。因此，向研磨墊20均勻地供給漿液。需要說明的是，作為研磨墊20，例如使用發(fā)泡聚氨酯類型或起毛皮革類型的墊，并粘貼在板18上。另夕卜，在與作為被研磨物的玻璃板G的相對的關系中，研磨墊20可以為一個，但由于對應于玻璃板G的尺寸而其尺寸也增大，因此也可以將多個分割研磨墊組合而形成一個研磨墊20。此外，在研磨平臺22上貫通形成有多個吸引孔沈、26···，這些吸引孔26 J6…經(jīng)由閥與未圖示的抽吸泵連接。因此，通過打開所述閥，而將抽吸泵的吸引力向吸引孔沈、^… 傳遞，因此將板18吸附保持在研磨平臺22的上表面。而且，通過關閉所述閥，而解除抽吸泵的吸引力，因此在研磨墊20的狀態(tài)檢查或更換時，能夠從研磨平臺22將研磨墊20與板 18 一起卸下。如圖1所示，在研磨頭I6的上部中央固定有主軸觀，在該主軸觀上連結(jié)有旋轉(zhuǎn)/ 升降裝置30。旋轉(zhuǎn)/升降裝置30通過對研磨裝置10整體進行集中控制的控制部32而控制成適合于玻璃板G的研磨的轉(zhuǎn)速及下降動作(按壓力)。另一方面，研磨裝置10具備AE (acoustic emission 聲發(fā)射)傳感器34、異常檢測部36及警報器(警告單元)38。AE傳感器34為了良好地檢測玻璃板G的初始階段的破裂，而使用共振頻率為140 150kHz的傳感器。上述的共振頻率優(yōu)選設定在應檢測的頻帶的大致中央附近。并且，該AE傳感器34安裝在板18上。而且，異常檢測部36基于來自研磨中的玻璃板G的彈性波通過漿液而被AE傳感器34檢測到時從AE傳感器34發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的玻璃板G的初始階段的破裂。此外，警報器38由控制部32控制成當由異常檢測部36檢測到玻璃板G的初始階段的破裂時發(fā)出警告。然而，表示由AE傳感器34檢測到的彈性波的信號通過前置放大器40放大規(guī)定量，并通過后述的鑒別器42僅提取規(guī)定的頻帶的信號，利用PLC(PoWer Line Communication)等高速通信方式將該信號發(fā)送至異常檢測部36。異常檢測部36由裝入有算法的CD-ROM等記錄介質(zhì)構(gòu)成，該算法是用于判定研磨中發(fā)生的玻璃板G的初始破裂的算法。而且，向PLC傳遞信號的電纜44繞過變頻調(diào)速電動機、動力線等容易成為噪聲源的位置而配線。另一方面，由研磨裝置10對玻璃板G進行研磨中產(chǎn)生的彈性波總是通過漿液而被AE傳感器34檢測出，該信息總是輸出至異常檢測部36。在異常檢測部36中預先設定有用于確認玻璃板G產(chǎn)生了裂紋等微小破裂、缺陷的閾值。圖3示出來自表示所述閾值(IV)的AE傳感器34的輸出信號。來自AE傳感器34 的輸出值超過所述閾值(IV)時，即，異常檢測部36檢測到玻璃板G產(chǎn)生的裂紋等微小破裂、缺陷等的異常。接著，警報器38發(fā)出警告。在從警報器38發(fā)出警告的同時，通過控制部32自動地使研磨裝置10立即停止。由此，根據(jù)實施方式的研磨裝置10，能夠利用AE傳感器34來檢測玻璃板G的破裂發(fā)生的初始階段，而且，此時自動地使研磨裝置10立即停止，因此能夠在玻璃板G破碎成粉碎之前檢測到玻璃板G的破裂。由此，根據(jù)該研磨裝置10，能夠?qū)⒀心|20的檢查、清掃作業(yè)及更換作業(yè)等引起的中斷時間抑制成最小限度。需要說明的是，AE傳感器34也對玻璃板G的通常的研磨中產(chǎn)生的低水平的彈性波進行檢測，但連此種彈性波也判定為檢測到破裂的彈性波的情況有可能會胡亂擾亂研磨工序。因此，在實施方式的研磨裝置10中，將基于實驗值或經(jīng)驗值的所述閾值(IV)或通過自動閾值調(diào)整功能算出的值設定作為閾值。另外，即使在研磨中的玻璃板G上產(chǎn)生裂紋等微小破裂、缺陷的情況下，也需要使研磨裝置10暫時停止，而對保持部件14、研磨頭16、研磨墊20進行清潔。然而，一般玻璃板G突然破碎的情況少而微小水平的破裂或缺陷在最初產(chǎn)生的情況的概率高，因此該清掃作業(yè)和復原作業(yè)花費的時間在幾十分鐘內(nèi)就足夠。由此，能夠大幅地縮短中斷時間。此外，在實施方式的研磨裝置10中，在將研磨墊20保持于研磨平臺22的板18上安裝AE傳感器34。由此，AE傳感器34能夠準確地檢測研磨中產(chǎn)生的彈性波。另外，在研磨裝置10中，由于在玻璃板G的研磨時使用漿液，因此有可能會產(chǎn)生因板18與AE傳感器34的除AE傳感器檢測面34A之外的部分的導通所產(chǎn)生的電噪聲。為了防止該電噪聲，而優(yōu)選在圖4所示的AE傳感器34上安裝圖5 (A)所示的用于防水及絕緣的樹脂制的罩蓋46。該罩蓋46覆蓋AE傳感器34的除檢測面34A之外的部分。此外，不是將AE傳感器34的檢測面34A直接安裝在板18上，而如圖5 (B) ,5(C)所示，從防水和防止因漿液引起的電導通的觀點出發(fā)，優(yōu)選經(jīng)由與AE傳感器34的檢測面34A相接并覆蓋大致整體的金屬制的罩蓋48而安裝在板18上。此時，從提高檢測精度的觀點出發(fā)，優(yōu)選設置將 AE傳感器34的檢測面34A按壓到罩蓋48上的彈簧等施力單元(未圖示)。對圖5 (B)、5 (C)進行說明，圖5 (B)是從下方觀察到的罩蓋48的立體圖，圖5 (C)是上方觀察到的罩蓋48的立體圖。該罩蓋48是底部打開的箱體，在所述罩蓋48的頂板48A 的下表面中央部經(jīng)由所述施力單元按壓固定有AE傳感器34的檢測面34A。另外，在頂板48A上隔著AE傳感器34的安裝部48B而在兩側(cè)形成有螺母部48C、 48C。并且，以與螺母部48C、48C對應的方式在板18上形成有貫通孔(未圖示)，使螺栓(未圖示)通過這些貫通孔并與螺母部48C、48C緊固，從而將罩蓋48固定在板18上。此外，以如下的方式構(gòu)成研磨裝置的系統(tǒng)，S卩，從圖1的警報器38發(fā)出警告時，對研磨裝置10整體進行集中控制的控制部32使研磨裝置10停止。由此，不需要監(jiān)視員對研磨裝置10的監(jiān)視。而且，在連續(xù)的研磨時，能夠阻止發(fā)生異常后對后續(xù)的其他玻璃板G的影響，因此玻璃板G的品質(zhì)、運轉(zhuǎn)率及成品率分別提高。而且，在研磨裝置10停止時，控制部32優(yōu)選以使玻璃板G與研磨頭16 —起從研磨墊20上升(退避)的方式控制旋轉(zhuǎn)/升降裝置30。由此，能夠容易地將發(fā)生破裂的初始階段的玻璃板G從研磨頭16取出。另外，AE傳感器34從研磨墊20所浸透的漿液經(jīng)由板18檢測來自玻璃板G的彈性波。圖6示出玻璃板G的破裂檢測原理。在研磨中的玻璃板G上，在點P發(fā)生初始階段的破裂時，來自點P的彈性波如圖中的虛線所示在玻璃板G中傳播，接著傳播給漿液所浸透的研磨墊20，然后，向板18傳播而被AE傳感器34檢測到。研磨墊20通常是聚氨酯制，聚氨酯自身難以傳遞彈性波，但聚氨酯制的研磨墊20 中浸透有漿液。因此，來自點P的彈性波從該漿液經(jīng)由板18而被AE傳感器34可靠地檢測到。另一方面，如圖1所示，AE傳感器34安裝在形成于板18上并從研磨平臺22向側(cè)方突出的突出片18A的下表面。如此將AE傳感器34安裝在從研磨平臺22向側(cè)方突出的板18的突出片18A的下表面時，能夠防止旋轉(zhuǎn)中的研磨頭16與AE傳感器34碰撞。在圖1中，圖示了 AE傳感器的數(shù)目為一個的情況，但如上所述，安裝的AE傳感器的數(shù)目優(yōu)選根據(jù)玻璃板的大小而適當決定。另外，作為AE傳感器34的安裝位置，也可以如圖6所示，在研磨平臺22的中央部形成貫通孔22A，并經(jīng)由該貫通孔22A將雙點劃線所示的AE傳感器34的檢測面34A安裝在板18的下表面。若如此在研磨平臺22的中央部安裝AE傳感器34，則能夠縮短玻璃板G 的破裂位置與AE傳感器34之間的距離。通過取得此種配置結(jié)構(gòu)，而提高彈性波的檢測靈敏度。此外，從AE傳感器34向異常檢測部36輸出的頻帶利用鑒別器(濾波器)42設定在100 200kHz的范圍內(nèi)。在研磨裝置10的周邊設置有玻璃板G的切斷裝置、倒角裝置、 開孔裝置等各種裝置，需要排除來自這些裝置的機械振動引起的頻率(小于100kHz)的彈性波，而且，需要排除電噪聲引起的頻率(超過200kHz)的彈性波。因此，在實施方式的研磨裝置10中，由于設從AE傳感器34向異常檢測部36輸出的頻帶的下限值為100kHz，因此能夠防止所述機械振動的彈性波引起的誤檢測。而且，由于上限值為200kHz，因此能夠防止所述電噪聲的彈性波引起的誤檢測。需要說明的是，上限值越高AE傳感器34的輸出越衰減，因此不優(yōu)選。而且，也可以在AE傳感器自身內(nèi)置用于提取所述頻帶的頻率的濾波器。本發(fā)明并不局限于上述的實施例，也能夠適用于FPD以外的電子裝置，例如，光學元件用玻璃基板、玻璃盤、太陽電池等的基板加工。另外，在實施方式中，例示了研磨墊20作為研磨工具，并例示了玻璃板G作為被研磨物，但并不局限于此，也能夠適用于將修整砂輪(平面狀的電沉積金剛石板)作為研磨工具、將研磨墊20作為被研磨物而通過修整砂輪來修整研磨墊20的裝置。該裝置的結(jié)構(gòu)是在圖2中將玻璃板G置換成修整砂輪，因此這里省略圖示。另外，修整研磨墊20時，使用水作為研磨液，在修整時產(chǎn)生的來自研磨墊20的彈性波通過水被AE傳感器34檢測到。并且，來自AE傳感器34的信息總是輸出至異常檢測部36，在異常檢測部36中預先設定有研磨墊20的適當修整效率下限的閾值。當異常檢測部36檢測到研磨墊20的修整效率的下降時，警報器38發(fā)出警告。詳細地并參照特定的實施方式說明了本發(fā)明，但本領域技術人員可知不脫離本發(fā)明的精神和范圍而能夠施加各種變更、修改。 本申請基于2008年12月12日提出申請的日本專利申請2008-317沈9，并作為參照而將其內(nèi)容引用于此。標號說明
10研磨裝置
14保持部件
16研磨頭
18板
20研磨墊
22研磨平臺
22k貫通孔
24研磨液供給孔
26吸引孔
28主軸
30旋轉(zhuǎn)/升降裝
32控制部
34AE傳感器
34A檢測面
36異常檢測部
38警報器
40前置放大器
42鑒別器
44PLC電纜
46早皿
48早皿
48A頂板
48B安裝部
48C螺母部
權(quán)利要求
1.一種研磨裝置，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨裝置的特征在于，具備AE傳感器，安裝在支承研磨工具或被研磨物的板上；異常檢測部，基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常；及警告單元，當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時發(fā)出警告。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其中，所述研磨工具是研磨墊，所述被研磨物是玻璃板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其中，所述研磨工具是修整砂輪，所述被研磨物是研磨墊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其中，當由所述異常檢測部檢測到所述玻璃板的異常時，利用控制所述研磨裝置的控制部使研磨裝置停止。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的研磨裝置，其中，所述AE傳感器從浸透到所述研磨墊中的所述研磨液經(jīng)由所述板而檢測來自所述玻璃板的彈性波。
6.根據(jù)權(quán)利要求2、4或5中任一項所述的研磨裝置，其中， 所述研磨墊經(jīng)由所述板被研磨平臺保持，所述AE傳感器形成于所述板上，并安裝在從所述研磨平臺向側(cè)方伸出的突出片的下表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求2、4、5或6中任一項所述的研磨裝置，其中，從所述AE傳感器向所述異常檢測部輸出的頻帶利用濾波器設定在100 200kHz的范圍內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項所述的研磨裝置，其中，來自所述被研磨物的彈性波通過所述研磨液而被所述AE傳感器檢測出。
9.一種研磨方法，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨方法的特征在于，在支承研磨工具或被研磨物的板上安裝AE傳感器，異常檢測部基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常，當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時，警告單元發(fā)出警告。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨方法，其中，所述研磨工具是研磨墊，所述被研磨物是玻璃板。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨方法，其中，所述研磨工具是修整砂輪，所述被研磨物是研磨墊。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的研磨方法，其中，當由所述異常檢測部檢測到所述玻璃板的異常時，利用控制部控制所述研磨裝置，使研磨裝置停止。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或12所述的研磨方法，其中，所述AE傳感器從浸透到所述研磨墊中的所述研磨液經(jīng)由所述板而檢測來自所述玻璃板的彈性波。
14.根據(jù)權(quán)利要求10、12或13中任一項所述的研磨方法，其中， 所述研磨墊經(jīng)由所述板被研磨平臺保持，所述AE傳感器形成于所述板上，并安裝在從所述研磨平臺向側(cè)方伸出的突出片的下表面。
15.根據(jù)權(quán)利要求10、12、13或14中任一項所述的研磨方法，其中，從所述AE傳感器向所述異常檢測部輸出的頻帶利用濾波器設定在100 200kHz的范圍內(nèi)。
16.根據(jù)權(quán)利要求9 15中任一項所述的研磨方法，其中，來自所述被研磨物的彈性波通過所述研磨液而被所述AE傳感器檢測出。
17.一種玻璃板的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求9、10、12 16中任一項所述的研磨方法進行玻璃板的加工。
全文摘要
本發(fā)明提供一種研磨裝置，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向所述研磨工具與所述被研磨物之間供給研磨液一邊利用所述研磨工具研磨所述被研磨物，所述研磨裝置的特征在于，具備AE傳感器，安裝在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上；異常檢測部，基于來自所述被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從所述AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常；及警告單元，當由所述異常檢測部檢測到所述被研磨物的異常時發(fā)出警告。
文檔編號B24B37/04GK102245350SQ20098014995
公開日2011年11月16日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月12日
發(fā)明者關昌雄, 秋山秀, 鈴木健司, 齊藤勛 申請人:旭硝子株式會社