專利名稱：一種快拆式濺鍍陰極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于一種快拆式濺鍍陰極，其特別關(guān)于一種方便濺鍍陰極裝 卸、濺鍍靶材更換，并適用于立式濺鍍設(shè)備的濺鍍陰極。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當廣泛的 一 項重要技術(shù)，近 年來已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，大量地應(yīng)用在光電、通信、 半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為相當重要的表面處理技術(shù)。
一般而言，真空濺鍍設(shè)備可依照其濺鍍靶材的設(shè)置方式而區(qū)分為立式濺 鍍設(shè)備及臥式賊鍍設(shè)備，其中，現(xiàn)有的立式賊鍍設(shè)備的濺鍍靶材設(shè)置于該濺 鍍設(shè)備的腔體中央位置，當該濺鍍耙材需要更換時，作業(yè)人員需要利用機具
從該腔體的上方將賊鍍陰極吊取出來，再進一步將賊鍍靶材更換；更換完畢 后，仍必須再借助機具的輔助將濺鍍陰極置回該腔體中央，然而，濺鍍陰極 的吊取過程相當不便，倘若濺鍍陰極以置放于該濺鍍設(shè)備門板內(nèi)側(cè)的方式取 代設(shè)置于腔體內(nèi)部中央的方式，則其需要更換時，僅需打開門板更換即可， 如此將可避免更換過程的不便。
基于現(xiàn)有立式濺鍍設(shè)備的濺鍍陰極拆卸以及濺鍍靶材更換的不便，本案 申請人:便提出一種臺灣第097216398號新型專利申請的具有半圓形門板的 立式賊鍍設(shè)備，該新型案揭露一種可將濺鍍陰極設(shè)置于能進行開閉的半圓形 門板上，以便賊鍍陰極在濺鍍設(shè)備上的裝、卸。然而，該案并未揭露便于濺 鍍靶材更換的濺鍍陰極，因此在濺鍍陰極結(jié)構(gòu)上仍存在著有待改進的空間。

實用新型內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有濺鍍陰極裝卸以及濺鍍靶材更換上的不便，本實用新型提供了一種快拆式賊鍍陰極，以期解決上述問題。
本實用新型的主要目的在于提供一種快拆式濺鍍陰極，其特別是關(guān)于一 種方便濺鍍陰極拆卸、濺鍍靶材更換，并適用于立式濺鍍設(shè)備的濺鍍陰極。
為達到上述目的，本實用新型采取以下技術(shù)手段實現(xiàn)，其中本實用新型
的快拆式濺鍍陰極包括有
上本體，其具有一第一中空軸心、 一套設(shè)于所述第一中空軸心外部的上 支撐軸、 一活動地穿設(shè)于該上支撐軸的上遮蓋固定座以及一設(shè)置于該第一中 空軸心上并位于該上遮蓋固定座下方的聯(lián)軸器；
靶材組，其具有一內(nèi)管、 一設(shè)置于該內(nèi)管中的第二中空軸心、 一設(shè)置于 該第二中空軸心一端并位于該內(nèi)管下方的靶材下蓋、 一套設(shè)于該內(nèi)管外部的 耙材以及一設(shè)置于該靶材上端的靶材上蓋；
下本體，其具有一傳動軸心、 一套設(shè)于該傳動軸心外部的下支撐軸以及 一活動地穿設(shè)于該下支撐軸的下遮蓋固定座。
通過上述結(jié)構(gòu)，濺鍍陰極從立式濺鍍設(shè)備拆卸下來之后，將上遮蓋固定 座與下遮蓋固定座+>開并且分別往上、下移動以取出該耙材組，接著+〉開該 靶材組的靶材上蓋與靶材下蓋，將內(nèi)管從靶材中抽取出來，即可進行濺鍍靶 材的更換，那么采用本實用新型的快拆式濺鍍陰極，立式濺鍍設(shè)備在濺鍍陰 極的裝卸與'踐鍍靶材的更換方面，將可較以往更為方便、迅速，制程效率也 更為提升。


圖1為本實用新型快拆式濺鍍陰極的側(cè)視圖。 圖2為本實用新型快拆式濺鍍陰極的組件分解圖。 圖3為本實用新型快拆式濺鍍陰極設(shè)置于一具有半圓形門板的立式濺 鍍設(shè)備的側(cè)視圖。
圖4為具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備的門板開啟示意圖。
4主要組件符號說明:
1快拆式濺鍍陰極11上本體
111第一中空軸心112上支撐軸
113上遮蓋固定座114聯(lián)軸器
115旋轉(zhuǎn)接頭12靶材組
121內(nèi)管122第二中空軸心
123靶材下蓋124靶材
125輩巴材上蓋13下本體
131傳動軸心132下支撐軸
133下遮蓋固定座134傳動輪
14上遮蓋15下遮蓋
2立式濺鍍設(shè)備
21門板211開口
212賊鍍陰極設(shè)置部22動力源
221傳動輪
具體實施方式
如圖1與圖2所示，本實用新型的快拆式濺鍍陰極1包括有 上本體ll，其具有一第一中空軸心111、 一套設(shè)于該第一中空軸心111 外部的上支撐軸112、 一活動地穿設(shè)于該上支撐軸112的上遮蓋固定座113 以及一設(shè)置于該第一中空軸心lll上并位于該上遮蓋固定座113下方的聯(lián)軸 器114;
靶材組12，其具有一內(nèi)管121、 一設(shè)置于該內(nèi)管121中的第二中空軸心
122、 一設(shè)置于該第二中空軸心122—端并位于該內(nèi)管121下方的靶材下蓋
123、 一套設(shè)于該內(nèi)管121外部的靶材124以及一設(shè)置于該靶材124上端的 靶材上蓋125;
下本體13，其具有一傳動軸心131、 一套設(shè)于該傳動軸心131外部的下支撐軸132以及一活動地穿設(shè)于該下支撐軸132的下遮蓋固定座133。
其中，該快拆式濺鍍陰極1更包括兩個分別設(shè)置于上遮蓋固定座113兩 側(cè)的半月形上遮蓋14,以防止該上遮蓋固定座113與靶材上蓋125在濺鍍 過程中遭到耙材原子的不當沉積；此外，該快拆式濺鍍陰極1還可以包括兩 個分別設(shè)置于下遮蓋固定座133兩側(cè)的半月形下遮蓋15，以防止下遮蓋固 定座133與靶材下蓋123在濺鍍過程中遭到靶材原子的不當沉積。
另外，上本體11具有一樞設(shè)于第一中空軸心111異于聯(lián)軸器114 一端 的旋轉(zhuǎn)接頭115;下本體13則具有一固設(shè)于傳動軸心131異于下支撐軸132 一端的傳動輪134。
此外，上遮蓋14與上遮蓋固定座113、上遮蓋固定座113與靶材上蓋 125、下遮蓋15與下遮蓋固定座133、下遮蓋固定座133與靶材下蓋123均 采用螺絲鎖制的方式將這些組件鎖固至定位。
如圖1至圖4所示，快拆式濺鍍陰極1的使用方式為設(shè)置于一具有半圓 形門板21的立式賊鍍設(shè)備2上，該立式'踐鍍設(shè)備2的半圓形門板21具有開 口 211且其內(nèi)部凹設(shè)的容置空間設(shè)有至少一濺鍍陰極設(shè)置部212,本實用新 型的快拆式賊鍍陰極1即設(shè)置于該濺鍍陰極設(shè)置部212上。
此外，具有該半圓形門板21的立式濺鍍設(shè)備2具有一動力源22以及一 設(shè)置于該動力源22上的傳動輪221，當快拆式濺鍍陰極1裝設(shè)于濺鍍陰極 設(shè)置部212時，傳動輪134接觸于傳動輪221;當動力源22提供動力時， 由于樞設(shè)于第一中空軸心111的旋轉(zhuǎn)接頭115固設(shè)于濺鍍陰極設(shè)置部212 上，因此當傳動輪134受到該傳動輪221的驅(qū)動時，即可帶動該快拆式濺鍍 陰極1旋轉(zhuǎn)而進行濺鍍制程。
當賊鍍靶材124用完需要更換時，僅需要開啟立式濺鍍設(shè)備2的門板 21,直接從該門板12上該快拆式濺鍍陰極1拆卸下來，并且經(jīng)由開口 211 取出之后，便可進行賊鍍靶材124的更換。
該濺鍍靶材124在更換時，首先，將上遮蓋14與上遮蓋固定座113的 螺絲松開后拆解下來，再將上遮蓋固定座113與靶材上蓋125的螺絲松脫后，上遮蓋固定座113即可往上移動，接著再松開聯(lián)軸器114并使其往上移動， 如此即完成上本體11的拆解。
接著，將下遮蓋15與下遮蓋固定座133的螺絲松開后拆解下來，再松 開下遮蓋固定座133與靶材下蓋123的螺絲，該下遮蓋固定座133即可往下 移動，此時便完成下本體13的拆解。
當上本體11與下本體13的拆解完成之后，即可取出該靶材組12，然 后松開靶材上蓋125及靶材下蓋123，再將內(nèi)管121從靶材124中抽取出來， 緊接著套換上新的靶材124,而后反向操作上述拆解步驟即可完成濺鍍靶材 的更換。
最后，將具備新靶材124的快拆式濺鍍陰極1裝回該立式濺鍍設(shè)備2的 賊鍍陰極設(shè)置部212中即可再度進行濺鍍制程。
通過上述結(jié)構(gòu)，本實用新型提供一種快拆式濺鍍陰極以改善現(xiàn)有濺鍍陰 極裝卸、賊鍍耙材更換不便的缺陷。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施 例，不能以此限定本實用新型的保護范圍；故，凡依本實用新型申請專利范 圍及實用新型說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實用新 型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極包括有上本體，其具有第一中空軸心、一套設(shè)于所述第一中空軸心外部的上支撐軸、一活動地穿設(shè)于所述上支撐軸的上遮蓋固定座以及一設(shè)置于所述第一中空軸心上并位于所述上遮蓋固定座下方的聯(lián)軸器；靶材組，其具有一內(nèi)管、一設(shè)置于所述內(nèi)管中的第二中空軸心、一設(shè)置于所述第二中空軸心一端并位于所述內(nèi)管下方的靶材下蓋、一套設(shè)于所述內(nèi)管外部的靶材以及一設(shè)置于所述靶材上端的靶材上蓋；下本體，其具有一傳動軸心、一套設(shè)于所述傳動軸心外部的下支撐軸以及一活動地穿設(shè)于所述下支撐軸的下遮蓋固定座。
2、 如權(quán)利要求1所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述上本體具有一 樞設(shè)于所述第一中空軸心異于所述聯(lián)軸器一端的旋轉(zhuǎn)接頭。
3、 如權(quán)利要求2所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述傳動軸心具有 一固設(shè)于所述傳動軸心異于下支撐軸一端的傳動輪。
4、 如權(quán)利要求3所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極 進一 步包括兩個分別設(shè)置于所述上遮蓋固定座兩側(cè)的上遮蓋。
5、 如權(quán)利要求4所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極 進一步包括兩個分別設(shè)置于所述下遮蓋固定座兩側(cè)的下遮蓋。
6、 如權(quán)利要求5所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述上遮蓋和所述 下遮蓋均為半月形。
專利摘要本實用新型公開了一種快拆式濺鍍陰極，包括有上本體，其具有一第一中空軸心、一套設(shè)于該第一中空軸心的上支撐軸、一活動地穿設(shè)于該上支撐軸的上遮蓋固定座以及一設(shè)置于該第一中空軸心上的聯(lián)軸器；靶材組，其具有一內(nèi)管、一設(shè)置于該內(nèi)管中的第二中空軸心、一設(shè)置于該第二中空軸心一端且在內(nèi)管下方的靶材下蓋、一套設(shè)于該內(nèi)管外部的靶材以及一設(shè)置于該靶材上端的靶材上蓋；下本體，其具有一傳動軸心、一套設(shè)于該傳動軸心外部的下支撐軸以及一活動地穿設(shè)于該下支撐軸的下遮蓋固定座；采用上述結(jié)構(gòu)，本實用新型可適用于立式濺鍍設(shè)備并提升濺鍍陰極裝卸與濺鍍靶材更換的便利性。
文檔編號C23C14/34GK201292401SQ20082014008
公開日2009年8月19日 申請日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月21日
發(fā)明者姚朝禎 申請人:鈺衡科技股份有限公司