專利名稱：物理氣相沉積系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種物理氣相沉積系統(tǒng)，特別是涉及一種藉由均勻的磁場 分布來提升等離子體轟擊均勻度，而可有效提升靶材利用率的物理氣相沉 積系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般來說， 一物理氣相沉積系統(tǒng)通常會具有一沉積反應(yīng)室，其可同時
容置一靶材(target)及一晶圓，在此，靶材通常是位于晶圓的上方。就運作 上而言，在沉積反應(yīng)室內(nèi)會產(chǎn)生等離子體(等離子體即電漿，以下均稱為等 離子體)來轟擊靶材(例如，鋁材)的表面，以使得靶材分解成微粒。接著，受 到等離子體轟擊而從靶材上分解出的微粒會掉落至晶圓的表面上，并因而 沉積于晶圓的表面上。
為了增加沉積速率或等離子體轟擊耙材的速率， 一般會利用磁場來改 變電子運行軌跡，以增加其與等離子體生成氣體碰撞機(jī)率，進(jìn)而提高反應(yīng) 室內(nèi)的等離子體密度，而其最常見的方式即是在沉積反應(yīng)室的上方設(shè)置有 一可轉(zhuǎn)動的磁石。舉例來說,請參閱圖1所示，是顯示一現(xiàn)有習(xí)知的物理氣 相沉積系統(tǒng)的部分俯浮見示意圖。在一現(xiàn)有習(xí)知的物理氣相沉積系統(tǒng)的 一沉 積反應(yīng)室10的外部上方設(shè)置有一磁石20及一配重塊30。該磁石20是繞著 沉積反應(yīng)室10的一中心軸C來做旋轉(zhuǎn)，而配重塊30則是連接于磁石20的 一端，其主要是用來提升磁石20旋轉(zhuǎn)時的穩(wěn)定度。因此，當(dāng)磁石20旋轉(zhuǎn) 時，其所提供的磁場即可提升沉積反應(yīng)室10內(nèi)的靶材處的等離子體密度，進(jìn) 而增進(jìn)晶圓上沉積的速率。
然而，由于磁石20的形狀及旋轉(zhuǎn)限制，磁石20在沉積反應(yīng)室10中所 造成的磁場分布會不均勻，因而會使得沉積反應(yīng)室10內(nèi)的等離子體密度分 布不均勻。如此一來，沉積反應(yīng)室10內(nèi)的靶材(圖中未顯示)便會受到不均 勻的等離子體轟擊。更詳細(xì)的說，靶材在經(jīng)過一^R時間的等離子體轟擊之 后，其會具有一波浪形的表面形狀。也就是說，靶材的某些部分(受到較大 的磁場吸引)會因受到較多的等離子體轟擊而相對地被消耗較多，而靶材的 其余部分(受到較小的磁場吸引)則會因受到較少的等離子體轟擊而相對地 被消耗較小。如上所述，當(dāng)靶材消耗較多部分已經(jīng)不可供等離子體轟擊的 材料存在時，或由于耙材的表面起伏導(dǎo)致無法沉積均勻薄膜時，其必須整 個被更換掉。然而，此時靶材整體上仍會殘留有大量可供等離子體轟擊的材料，因而會造成靶材使用上的浪費。
由此可見，上述現(xiàn)有的物理氣相沉積系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在 有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為解決上述存在問題，相關(guān)廠商莫 不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用設(shè)計發(fā)展完成，此顯 然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的物理氣相 沉積系統(tǒng)，實屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的物理氣相沉積系統(tǒng)存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事 此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運用，積 極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積系統(tǒng)，能改進(jìn)一般 現(xiàn)有的物理氣相沉積系統(tǒng)，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并 經(jīng)過反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的物理氣相沉積系統(tǒng)存在的缺陷，而提 供一種新型結(jié)構(gòu)的物理氣相沉積系統(tǒng)，所要解決的技術(shù)問題是使其藉由均 勻的磁場分布來提升等離子體轟擊的均勻度，而可以有效的提升靶材的利 用率，進(jìn)而能夠降低整體制造成本，非常適于實用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)
本發(fā)明提出的一種物理氣相沉積系統(tǒng)，其包括 一沉積反應(yīng)室； 一磁石，是 以轉(zhuǎn)動及移動的方式設(shè)置于該沉積反應(yīng)室之上； 一行星齒輪組，具有一環(huán) 形齒圈、 一第一齒輪、 一第二齒輪及一平衡齒輪，其中，該環(huán)形齒圈是圍繞 該第一齒輪、該第二齒輪及該平衡齒輪，并且具有一內(nèi)齒部及一外齒部，該 環(huán)形齒圈的旋轉(zhuǎn)中心軸是與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸重合，該第二齒輪及 該平衡齒輪是分別嚙合于該內(nèi)齒部與該第 一齒輪之間，以及該第二齒輪的 旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連接于該磁石的旋轉(zhuǎn)中心軸； 一第一驅(qū)動裝置，連接 于該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸，是用以驅(qū)使該第一齒輪旋轉(zhuǎn)； 一驅(qū)動齒輪,嚙 合于該環(huán)形齒圈的該外齒部，是用以驅(qū)使該環(huán)形齒圈旋轉(zhuǎn)；以及一第二驅(qū) 動裝置，連接于該驅(qū)動齒輪,是用以驅(qū)使該驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其中所述的磁石的旋轉(zhuǎn)半徑是等于或大于 該第二齒輪的旋轉(zhuǎn)半徑。
前述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其中所述的第一驅(qū)動裝置具有一第一馬達(dá) 及一第一轉(zhuǎn)軸，該第二驅(qū)動裝置具有一第二馬達(dá)及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn) 軸是連接于該第 一馬達(dá)與該第 一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸 是連接于該第二馬達(dá)與該驅(qū)動齒輪之間。
前述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其中所述的該第一驅(qū)動裝置與該第二驅(qū)動裝置之間，更包括一傳動皮帶作為連結(jié)。
前述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其中所述的第 一驅(qū)動裝置具有 一馬達(dá)及一 第一轉(zhuǎn)軸，該第二驅(qū)動裝置具有一變速機(jī)構(gòu)及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn)軸是 連接于該馬達(dá)與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸之間，該傳動皮帶是連接于該第 一轉(zhuǎn)軸與該變速才幾構(gòu)之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸是連接于該變速機(jī)構(gòu)與該驅(qū)動
齒輪之間。
本發(fā)明與現(xiàn)有^1術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上可知，為達(dá)
到上述目的，本發(fā)明提供一種物理氣相沉積系統(tǒng)，包括一沉積反應(yīng)室； 一磁 石，是以轉(zhuǎn)動及移動的方式設(shè)置于該沉積反應(yīng)室之上； 一行星齒輪組，具有 一環(huán)形齒圈、 一第一齒輪、 一第二齒輪及一平衡齒輪，其中，該環(huán)形齒圈 是圍繞該第一齒輪、該第二齒輪及該平衡齒輪，并且具有一內(nèi)齒部及一外 齒部，該環(huán)形齒圈的旋轉(zhuǎn)中心軸是與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸重合，該第 二齒輪是間隔于該平衡齒輪，該第二齒輪及該平衡齒輪是分別嚙合于該內(nèi) 齒部與該第一齒輪之間，以及該第二齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連接于該 磁石的旋轉(zhuǎn)中心軸； 一第一驅(qū)動裝置，連接于該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸，是 用以驅(qū)使該第一齒輪旋轉(zhuǎn)； 一驅(qū)動齒輪，嚙合于該環(huán)形齒圏的該外齒部，是 用以驅(qū)使該環(huán)形齒圏旋轉(zhuǎn)；以及一第二驅(qū)動裝置，連接于該驅(qū)動齒輪，是用 以驅(qū)使該驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn)。
同時，根據(jù)本發(fā)明的物理氣相沉積系統(tǒng)，該磁石的旋轉(zhuǎn)半徑是等于或大 于該第二齒輪的旋轉(zhuǎn)半徑。
又在本發(fā)明中，該第一驅(qū)動裝置具有一第一馬達(dá)及一第一轉(zhuǎn)軸，該第 二驅(qū)動裝置具有一第二馬達(dá)及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn)軸是連接于該第一馬 達(dá)與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸是連接于該第二馬達(dá) 與該驅(qū)動齒輪之間。
又在本發(fā)明中，更包括一傳動皮帶，是連接于該第一驅(qū)動裝置與該第二 驅(qū)動裝置之間。
又在本發(fā)明中，該第一驅(qū)動裝置具有一馬達(dá)及一第一轉(zhuǎn)軸，該第二驅(qū) 動裝置具有一變速機(jī)構(gòu)及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn)軸是連接于該馬達(dá)與該第 一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸之間，該傳動皮帶是連接于該第一轉(zhuǎn)軸與該變速機(jī)構(gòu) 之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸是連接于該變速機(jī)構(gòu)與該驅(qū)動齒輪之間。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)至少具有下列優(yōu)點及有 益效果本發(fā)明所揭露的物理氣相沉積系統(tǒng)可以藉由控制i茲石的運行軌跡 而使得沉積反應(yīng)室內(nèi)的等離子體蜜度分布能更加均勻，藉由均勻的磁場分 布來提升等離子體轟擊的均勻度，而可有效的提升靶材的利用率，進(jìn)而能 夠降低整體制造成本，非常適于實用。
綜上所述，本發(fā)明是有關(guān)于一種物理氣相沉積系統(tǒng)，包括一沉積反應(yīng)室、 一磁石、 一行星齒輪組、 一第一驅(qū)動裝置、 一驅(qū)動齒輪以及一第二驅(qū) 動裝置。該磁石，設(shè)置于沉積反應(yīng)室之上。該行星齒輪組，具有一環(huán)形齒 圏、 一第一齒輪、 一第二齒輪及一平衡齒輪。環(huán)形齒圈圍繞第一齒輪、第 二齒輪及平衡齒輪，并具有一內(nèi)齒面及一外齒面。環(huán)形齒圈的旋轉(zhuǎn)中心軸與 第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸重合。第二齒輪及平衡齒輪嚙合于內(nèi)齒面與第一齒 輪之間。第二齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連接于磁石的旋轉(zhuǎn)中心軸。該第 一驅(qū)動裝置，連接于第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸。該驅(qū)動齒輪嚙合于外齒面。該 第二驅(qū)動裝置連接于驅(qū)動齒輪。本發(fā)明可有效的提升靶材利用率，而能降 低整體制造成本。本發(fā)明具有上述諸多優(yōu)點及實用價值，其不論在產(chǎn)品結(jié) 構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用 的效果，且較現(xiàn)有的物理氣相沉積系統(tǒng)具有增進(jìn)的突出功效，從而更加適 于實用，并具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用Y介值，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的 技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和 其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附 圖，詳細(xì)說明如下。


圖1是顯示一現(xiàn)有習(xí)知的物理氣相沉積系統(tǒng)的部分俯視示意圖。
圖2是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)第一實施例的部分剖面示意圖。 圖3是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的磁石、行星齒輪組及驅(qū)動齒輪
的組合結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的行星齒輪組的第二齒輪的邊緣
上任一點的一種運行軌跡示意圖。
圖5是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的行星齒輪組的第二齒輪的邊緣
上任一點的另 一種運行軌跡示意圖。
圖6是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的行星齒輪組的第二齒輪的邊緣
上任一點的再一種運行軌跡示意圖。
圖7是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)第二實施例的部分剖面示意圖。
1、 100、 100，物理氣相沉積系統(tǒng) 10、 110:沉積反應(yīng)室
20、 120:,茲石 30: 配重塊
130:行星齒輪組 131:環(huán)形齒圈
131a:內(nèi)齒部 131b:外齒部
132:第一齒輪 133:第二齒輪
134:平衡齒輪 140、 140，笫一驅(qū)動裝置
141:第一馬達(dá) 142:第一轉(zhuǎn)軸143:馬達(dá)150:驅(qū)動齒輪
160、160，第二驅(qū)動裝置161:第二馬達(dá)
162:第二轉(zhuǎn)軸163:變速機(jī)構(gòu)
170:傳動皮帶C:中心軸
T:靶材W:半導(dǎo)體元件
具體實施例方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功 效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的物理氣相沉積系統(tǒng)其
具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特4正及其功效，詳細(xì)"i兌明如后。
有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點及功效，在以下配合參考圖 式的較佳實施例的詳細(xì)說明中將可清楚的呈現(xiàn)。為了方便說明，在以下的實 施例中，相同的元件以相同的編號表示。
第一實施例
請參閱圖2所示，圖2是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)第一實施例的 部分剖面示意圖。本實施例的物理氣相沉積系統(tǒng)100,主要包括有一沉積反 應(yīng)室110、 一磁石120、 一行星齒輪組130、 一第一驅(qū)動裝置140、 一驅(qū)動 齒輪150以及一第二驅(qū)動裝置160。
上述的沉積反應(yīng)室110，其內(nèi)可容納設(shè)有一耙材T及一半導(dǎo)體元件W (例 如，一晶圓)。在本實施例中，該靶材T是位于半導(dǎo)體元件W之上，并且靶材 T是相對于半導(dǎo)體元件W。
上述的i茲石120,是以轉(zhuǎn)動及移動的方式設(shè)置于沉積反應(yīng)室110之上(此 部分將在稍后的敘述中進(jìn)行說明)，并且該磁石120是對應(yīng)于沉積反應(yīng)室110 內(nèi)的靶材T。
請結(jié)合參閱圖3所示，是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的磁石、行星齒 輪組及驅(qū)動齒輪的組合結(jié)構(gòu)示意圖。上述的行星齒輪組130,具有一環(huán)形齒 圏131、 一第一齒輪132、 一第二齒輪133及單個或復(fù)數(shù)個平衡齒輪134。
該環(huán)形齒圏131，是圍繞著該第一齒輪132、第二齒輪133及平衡齒輪 134,并且該環(huán)形齒圏131具有一內(nèi)齒部131a及一外齒部131b。在此，該環(huán) 形齒圈131的旋轉(zhuǎn)中心軸是與第一齒輪132的旋轉(zhuǎn)中心軸重合；
該第二齒輪133及平衡齒輪134，是分別嚙合于環(huán)形齒圏131的內(nèi)齒部 131a與第一齒輪132之間，并且該第二齒輪133的旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連 接于磁石120的旋轉(zhuǎn)中心軸。
請參閱圖2所示，上述的第一驅(qū)動裝置140，是連接于第一齒輪132的 旋轉(zhuǎn)中心軸，其可用來驅(qū)使該第一齒輪132旋轉(zhuǎn)。更詳細(xì)的說，該第一驅(qū) 動裝置140,具有一第一馬達(dá)141及一第一轉(zhuǎn)軸142;該第一轉(zhuǎn)軸142,是連接于第一馬達(dá)141與第一齒輪132的旋轉(zhuǎn)中心軸之間。因此，當(dāng)?shù)谝获R達(dá) 141運轉(zhuǎn)而驅(qū)使第一轉(zhuǎn)軸142旋轉(zhuǎn)時，連接于第一轉(zhuǎn)軸142的第一齒輪132 即會旋轉(zhuǎn)。
上述的驅(qū)動齒4侖150，是嚙合于環(huán)形齒圈131的外齒部131b,其是用來 驅(qū)使環(huán)形齒圏131旋轉(zhuǎn)。
上述的第二驅(qū)動裝置160,是連接于驅(qū)動齒輪150，其是用來驅(qū)使驅(qū)動 齒輪150旋轉(zhuǎn)。更詳細(xì)的說，該第二驅(qū)動裝置160，具有一第二馬達(dá)161及 一第二轉(zhuǎn)軸162;
該第二轉(zhuǎn)軸162,是連接于該第二馬達(dá)161與驅(qū)動齒4侖150之間。因此 當(dāng)?shù)诙R達(dá)161運轉(zhuǎn)而驅(qū)使第二轉(zhuǎn)軸162旋轉(zhuǎn)時，連接于第二轉(zhuǎn)軸162的 驅(qū)動齒輪150即會旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而能使得環(huán)形齒圈131旋轉(zhuǎn)。
此外，特別的是，上述的磁石120的旋轉(zhuǎn)半徑是等于或大于第二齒輪 133的旋轉(zhuǎn)半徑。
下面具體說明》茲石120、行星齒輪組130及驅(qū)動齒輪150之間的運作方 式以及物理氣相沉積系統(tǒng)100的運作方式。
請參閱圖2、圖3及圖4所示，圖4是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的 行星齒輪組的第二齒輪的邊緣上任一點的一種運行軌跡示意圖。首先，在第 一齒輪132依一固定方向及一固定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，且驅(qū)動齒輪150及環(huán)形齒圏 131不旋轉(zhuǎn)的情形下，第二齒輪133及平衡齒輪134會在第一齒輪132與環(huán) 形齒圏131 (環(huán)形齒圈131的內(nèi)齒部131a)之間轉(zhuǎn)動及移動，進(jìn)而驅(qū)使》茲石 120隨著第二齒輪133轉(zhuǎn)動及移動。此時，在第二齒輪133的邊緣上任一點 的運行軌跡是如圖4所示。
請結(jié)合參閱圖5、圖6所示，圖5是顯示本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)的行 星齒輪組的第二齒輪的邊緣上任一點的另一種運行軌跡示意圖，圖6是再 一種運行軌跡示意圖。在另一方面，在第一齒輪132及驅(qū)動齒輪150皆旋 轉(zhuǎn)的情形下，環(huán)形齒圏131會旋轉(zhuǎn)，以及第二齒輪133及平衡齒輪134仍 會在第一齒輪132與環(huán)形齒圈131(環(huán)形齒圈131的內(nèi)齒部131a)之間轉(zhuǎn)動 及移動，進(jìn)而亦驅(qū)使一磁石120隨著第二齒輪133轉(zhuǎn)動及移動。值得注意的 是,在第一齒輪132仍依一固定方向及一固定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，且驅(qū)動齒輪150的 旋轉(zhuǎn)方向及轉(zhuǎn)速為可變的情形下(亦即，環(huán)形齒圏131的旋轉(zhuǎn)方向及轉(zhuǎn)速為
可變的情形下)，在第二齒輪133的邊緣上任一點可具有多種運行軌跡，如 圖5及圖6所示。
如上所述，由于驅(qū)動齒輪150的存在，故第二齒輪133及磁石120的 運行軌跡即可^皮控制。更詳細(xì)的說，藉由運行軌跡可凈皮控制的石茲石120所 提供的磁場輔助，沉積反應(yīng)室110內(nèi)的等離子體密度分布即可變得更加均 勻，因而可使得沉積反應(yīng)室110內(nèi)的靶材T會受到均勻的等離子體轟擊。也就是說，靶材T在經(jīng)過一段時間的等離子體轟擊后，其外圍部分及中心部 分的消耗會大致上相同。因此，靶材T的浪費情況即可有效的被避免，因而 可使得靶材T的利用率被有效提升。 第二實施例
請參閱圖7所示，是本發(fā)明物理氣相沉積系統(tǒng)第二實施例的部分剖面 示意圖。在本實施例中與第一實施例相同的元件均標(biāo)示以相同的符號。
本發(fā)明第二實施例的物理氣相沉積系統(tǒng)100，，主要包括有一沉積反應(yīng) 室110、 一磁石120、 一行星齒輪組130、 一第一驅(qū)動裝置140，、 一驅(qū)動 齒輪150、 一第二驅(qū)動裝置160，以及一傳動皮帶170。
上述的傳動皮帶170,是連接于第一驅(qū)動裝置140，與第二驅(qū)動裝置 160，之間。
上述的第一驅(qū)動裝置140，，是連接于第一齒4侖132的旋轉(zhuǎn)中心軸，其可 用來驅(qū)使第一齒輪132旋轉(zhuǎn)。更詳細(xì)的說，第一驅(qū)動裝置140，具有一馬達(dá) 143及一第一轉(zhuǎn)軸142,該第一轉(zhuǎn)軸142,是連接于馬達(dá)143與第一齒輪132 的旋轉(zhuǎn)中心軸之間。當(dāng)馬達(dá)143運轉(zhuǎn)而驅(qū)使第一轉(zhuǎn)軸142旋轉(zhuǎn)時，連接于 第一轉(zhuǎn)軸142的第一齒輪132即會旋轉(zhuǎn)。
上述的第二驅(qū)動裝置160，，是連接于驅(qū)動齒輪150，其是用來驅(qū)使驅(qū) 動齒輪150旋轉(zhuǎn)。更詳細(xì)的說，第二驅(qū)動裝置160，具有一變速機(jī)構(gòu)163及 一第二轉(zhuǎn)軸162,傳動皮帶170是連接于第一驅(qū)動裝置140'的第一轉(zhuǎn)軸142 與第二驅(qū)動裝置160'的變速機(jī)構(gòu)163之間，并且，該第二轉(zhuǎn)軸162是連接 于變速機(jī)構(gòu)163與驅(qū)動齒輪150之間。
如上所述，當(dāng)馬達(dá)143運轉(zhuǎn)而驅(qū)使第一轉(zhuǎn)軸142旋轉(zhuǎn)時，連接于第一轉(zhuǎn) 軸142與變速機(jī)構(gòu)163之間的傳動皮帶170即可將旋轉(zhuǎn)動力傳遞至變速機(jī) 構(gòu)163,而變速機(jī)構(gòu)163即可驅(qū)使第二轉(zhuǎn)軸162旋轉(zhuǎn)。在此，連接于第二轉(zhuǎn) 軸162的驅(qū)動齒輪150即會旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而能使得環(huán)形齒圈131旋轉(zhuǎn)。
至于本實施例的其他元件的構(gòu)造、特征或運作方式，均與第一實施例相 同，故在此不再贅述，而省略其重復(fù)的說明。
綜上所述，由于本發(fā)明所揭露的物理氣相沉積系統(tǒng)，可以藉由控制磁 石的運行軌跡而使得沉積反應(yīng)室內(nèi)的等離子體密度分布能更加均勻，故可 以有效的提升靶材的利用率，進(jìn)而能夠降低整體制造成本。
以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式 上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā) 明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利 用上述揭示技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡 未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作 的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種物理氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于其包括一沉積反應(yīng)室；一磁石，是以轉(zhuǎn)動及移動的方式設(shè)置于該沉積反應(yīng)室之上；一行星齒輪組，具有一環(huán)形齒圈、一第一齒輪、一第二齒輪及一平衡齒輪，其中，該環(huán)形齒圈是圍繞該第一齒輪、該第二齒輪及該平衡齒輪，并且具有一內(nèi)齒部及一外齒部，該環(huán)形齒圈的旋轉(zhuǎn)中心軸是與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸重合，該第二齒輪及該平衡齒輪是分別嚙合于該內(nèi)齒部與該第一齒輪之間，以及該第二齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連接于該磁石的旋轉(zhuǎn)中心軸；一第一驅(qū)動裝置，連接于該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸，是用以驅(qū)使該第一齒輪旋轉(zhuǎn)；一驅(qū)動齒輪，嚙合于該環(huán)形齒圈的該外齒部，是用以驅(qū)使該環(huán)形齒圈旋轉(zhuǎn)；以及一第二驅(qū)動裝置，連接于該驅(qū)動齒輪，是用以驅(qū)使該驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于其中所述的 磁石的旋轉(zhuǎn)半徑是等于或大于該第二齒輪的旋轉(zhuǎn)半徑。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于其中所述的 第一驅(qū)動裝置具有一第一馬達(dá)及一第一轉(zhuǎn)軸，該第二驅(qū)動裝置具有一第二 馬達(dá)及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn)軸是連接于該第一馬達(dá)與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn) 中心軸之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸是連接于該第二馬達(dá)與該驅(qū)動齒輪之間。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于其中所述的 該第一驅(qū)動裝置與該第二驅(qū)動裝置之間，更包括一傳動皮帶。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的物理氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于其中所述的 第一驅(qū)動裝置具有一馬達(dá)及一第一轉(zhuǎn)軸，該第二驅(qū)動裝置具有一變速機(jī)構(gòu) 及一第二轉(zhuǎn)軸，該第一轉(zhuǎn)軸是連接于該馬達(dá)與該第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸之 間，該傳動皮帶是連接于該第一轉(zhuǎn)軸與該變速機(jī)構(gòu)之間，以及該第二轉(zhuǎn)軸是 連接于該變速機(jī)構(gòu)與該驅(qū)動齒4侖之間。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)一種物理氣相沉積系統(tǒng)，包括一沉積反應(yīng)室、一磁石、一行星齒輪組、一第一驅(qū)動裝置、一驅(qū)動齒輪以及一第二驅(qū)動裝置。磁石設(shè)置于沉積反應(yīng)室之上。行星齒輪組具有一環(huán)形齒圈、一第一齒輪、一第二齒輪及一平衡齒輪。環(huán)形齒圈圍繞第一齒輪、第二齒輪及平衡齒輪，并具有一內(nèi)齒面及一外齒面。環(huán)形齒圈的旋轉(zhuǎn)中心軸與第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸重合。第二齒輪及平衡齒輪嚙合于內(nèi)齒面與第一齒輪之間。第二齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸是重合并連接于磁石的旋轉(zhuǎn)中心軸。第一驅(qū)動裝置連接于第一齒輪的旋轉(zhuǎn)中心軸，驅(qū)動齒輪嚙合于外齒面。第二驅(qū)動裝置連接于驅(qū)動齒輪。本發(fā)明藉由均勻的磁場分布可以提升等離子體轟擊的均勻度，而能夠有效的提升靶材利用率。
文檔編號C23C14/35GK101319305SQ200710110719
公開日2008年12月10日 申請日期2007年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月6日
發(fā)明者吳孝哲, 李名言, 蔡文立 申請人:茂德科技股份有限公司