專利名稱：一種帶水冷效果的空心陰極管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于材料表面等離子體處理的陰極管，特別是一種適用于皮革、柔性電路板等一些特殊材質(zhì)表面處理的帶水冷效果的空心陰極管。
背景技術(shù)：
低溫等離子體表面處理工藝是指在負(fù)壓下(一般為幾十帕)，對(duì)一定的氣體施加高頻電場，使其激發(fā)成等離子體狀態(tài)；等離子體作為物質(zhì)的第四態(tài)，其中包含大量的電子，離子及自由基等活性粒子，這些活性粒子碰撞到被處理物體的表面，會(huì)發(fā)生相應(yīng)的物理或化學(xué)反應(yīng)，使材料表面的性質(zhì)發(fā)生變化或是賦予新的功能，以達(dá)到其處理目的，滿足實(shí)際應(yīng)用的需要?，F(xiàn)有的空心陰極結(jié)構(gòu)等離子體表面處理雖然能夠?qū)σ恍┠蜔嵝阅茌^好的材質(zhì)進(jìn)行處理，但是由于空心陰極噴口在長時(shí)間的等離子體噴射過程中，噴口的溫度會(huì)隨著工作時(shí)間的加長而溫度逐步升高，對(duì)于皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質(zhì)，空心陰極結(jié)構(gòu)等離子體進(jìn)行表面處理時(shí)，則會(huì)損傷這些材料。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種適用于皮革、柔性電路板等一些特殊材質(zhì)表面處理的帶水冷效果的空心陰極管。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管絕緣管、空心陽極管、前端蓋、后端蓋；所述陰極管設(shè)置在空心陽極管的內(nèi)側(cè)；所述絕緣管設(shè)置在陰極管與空心陽極管之間；所述前端蓋將陰極管、絕緣管和空心陽極管的前端密封，后端蓋將陰極管、絕緣管和空心陽極管的后端密封；所述空心陽極管上設(shè)置有進(jìn)氣孔和等離子體噴口 ；所述進(jìn)氣孔和等離子體噴口均與陰極管內(nèi)部的空間相連通；所述空心陽極管中設(shè)置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管上的等離子體噴口。優(yōu)選的，所述后端蓋中空，后端蓋的中空部位上設(shè)置有有機(jī)玻璃。優(yōu)選的，所述有機(jī)玻璃將陰極管后端密封，有機(jī)玻璃與陰極管之間設(shè)置有小0型圈。優(yōu)選的，所述前端蓋與空心陽極管的前端之間設(shè)置有大0型圈，后端蓋與空心陽極管的后端之間設(shè)置有大0型圈。優(yōu)選的，所述等離子體噴口有兩排，兩排等離子體噴口的位置相互交錯(cuò)。由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型方案的帶水冷效果的空心陰極管，通過在空心陽極管上設(shè)置水冷空間，使從等離子體噴口噴出的等離子體可以得到及時(shí)的冷卻，因此，在對(duì)皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質(zhì)進(jìn)行表面等離子體處理時(shí)，等離子體的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內(nèi)，可以安全地對(duì)這些材料進(jìn)行表面處理而不會(huì)損傷這些材料。以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:附


圖1為本實(shí)用新型的一種帶水冷效果的空心陰極管的立體分解圖；附圖2為本實(shí)用新型的一種帶水冷效果的空心陰極管的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖3為本實(shí)用新型的一種帶水冷效果的空心陰極管的工作示意圖；其中:1、陰極管；2、絕緣管；3、空心陽極管；4、前端蓋；5、后端蓋；6、大0型圈；7、小0型圈；8、有機(jī)玻璃；9、等離子體噴口 ；10、等離子體；11、基材。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。附
圖1-2為本實(shí)用新型所述的一種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管I絕緣管2、空心陽極管3、前端蓋4、后端蓋5 ;所述陰極管I設(shè)置在空心陽極管3的內(nèi)側(cè)；所述絕緣管2設(shè)置在陰極管I與空心陽極管3之間；所述前端蓋4絕緣，前端蓋4將陰極管1、絕緣管2和空心陽極管3的前端密封，前端蓋4與空心陽極管3的前端之間設(shè)置有大0型圈6 ;所述后端蓋5中空，后端蓋5的中空部位上設(shè)置有圓形的有機(jī)玻璃8 ;所述有機(jī)玻璃8將陰極管I后端密封，后端蓋5將絕緣管2和空心陽極管3的后端密封；所述有機(jī)玻璃8與陰極管I之間設(shè)置有小0型圈7，后端蓋5與空心陽極管3的后端之間設(shè)置有大0型圈6 ;所述空心陽極管3上設(shè)置有進(jìn)氣孔和等離子體噴口 9 ;所述等離子體噴口 9有兩排，兩排等離子體噴口 9的位置相互交錯(cuò)；所述進(jìn)氣孔和等離子體噴口 9均與陰極管I內(nèi)部的空間相連通；所述空心陽極管3中設(shè)置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管3上的等離子體噴口9。如圖3所示，本實(shí)用新型所述的一種帶水冷效果的空心陰極管在工作時(shí)，進(jìn)氣孔相陰極管I中充入氣體，氣體在陰極管I中反應(yīng)成為等離子體10，由于氣體不斷地充入陰極管I，使陰極管I中的壓力不斷增大，使等離子體10從等離子體噴口 9噴到基材11上，使等離子體10對(duì)基材11進(jìn)行表面處理；由于空心陽極管3中的水冷空間不斷通入循環(huán)的冷水，而且水冷空間靠近等離子體噴口 9，因此，等離子體10在經(jīng)過等離子體噴口 9時(shí)，受到水冷空間的冷卻作用而使等離子體10的溫度降低至基材11的溫度耐受范圍內(nèi)。由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型方案的帶水冷效果的空心陰極管，通過在空心陽極管3上設(shè)置水冷空間，使從等離子體噴口 9噴出的等離子體10可以得到及時(shí)的冷卻，因此，在對(duì)皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質(zhì)進(jìn)行表面等離子體處理時(shí)，等離子體10的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內(nèi)，可以安全地對(duì)這些材料進(jìn)行表面處理而不會(huì)損傷這些材料。以上僅是本實(shí)用新型的具體應(yīng)用范例，對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。凡采用等同變換或者等效替換而形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于:包含陰極管(I)絕緣管(2)、空心陽極管(3)、前端蓋(4)、后端蓋(5);所述陰極管(I)設(shè)置在空心陽極管(3)的內(nèi)側(cè)；所述絕緣管(2)設(shè)置在陰極管(I)與空心陽極管(3)之間；所述前端蓋(4)將陰極管(I)、絕緣管(2)和空心陽極管(3)的前端密封，后端蓋(5)將陰極管(I)、絕緣管(2)和空心陽極管(3)的后端密封；所述空心陽極管(3)上設(shè)置有進(jìn)氣孔和等離子體噴口(9);所述進(jìn)氣孔和等離子體噴口(9)均與陰極管(I)內(nèi)部的空間相連通；所述空心陽極管(3)中設(shè)置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管(3)上的等離子體噴口(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于:所述后端蓋(5)中空，后端蓋(5)的中空部位上設(shè)置有有機(jī)玻璃(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于:所述有機(jī)玻璃(8)將陰極管(I)后端密封，有機(jī)玻璃(8 )與陰極管(I)之間設(shè)置有小O型圈(7 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于:所述前端蓋(4)與空心陽極管(3)的前端之間設(shè)置有大O型圈(6)，后端蓋(5)與空心陽極管(3)的后端之間設(shè)置有大O型圈(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于:所述等離子體噴口(9)有兩排，兩排等離子體噴口(9)的位置相互交錯(cuò)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管絕緣管、空心陽極管、前端蓋、后端蓋；陰極管設(shè)置在空心陽極管的內(nèi)側(cè)；絕緣管設(shè)置在陰極管與空心陽極管之間；前端蓋和后端蓋分別將陰極管、絕緣管和空心陽極管的兩端密封；空心陽極管上設(shè)置有進(jìn)氣孔和等離子體噴口，空心陽極管中設(shè)置有靠近等離子體噴口的水冷空間；因此，從等離子體噴口噴出的等離子體可以得到及時(shí)的冷卻，因此，在對(duì)皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質(zhì)進(jìn)行表面等離子體處理時(shí)，等離子體的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內(nèi)，可以安全地對(duì)這些材料進(jìn)行表面處理而不會(huì)損傷這些材料。
文檔編號(hào)H01J37/04GK203026481SQ20122072532
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者溫貽芳, 范金玲, 薛迎春 申請(qǐng)人:蘇州工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院