雙面曝光的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種雙面曝光的裝置，包括工作臺面，所述工作臺面上設(shè)置有一第一氣浮板，所述第一氣浮板的上方平行相向設(shè)置有第二氣浮板，所述第一氣浮板和第二氣浮板相對的一面分別均勻布設(shè)有連通的排氣孔；所述第一氣浮板和第二氣浮板上分別設(shè)置有加工通孔，二所述加工通孔的投影貫穿PCB板的處理部位，二所述加工通孔的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔移動的顯影曝光裝置，二所述顯影曝光裝置的光線分別透過加工通孔射向PCB板的二面。本實用新型具有PCB板雙面曝光定位精確、同時能避免劃傷和變形的優(yōu)點。
【專利說明】
雙面曝光的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及印制電路行業(yè)，尤其是涉及一種PCB板雙面曝光定位精確、能避免劃傷和變形的雙面曝光的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在PCB板上印制電路，傳統(tǒng)的做法是利用底片轉(zhuǎn)移圖像來進(jìn)行，先加工制作一張底片，將通過底片印制的濕膜貼在PCB板上，然后對濕膜進(jìn)行感光，顯影、蝕刻、脫膜。此方法做出來的PCB板存在精度低、加工費時、底片保存不易的缺點，這種方法在超細(xì)電路和多層板印制時容易劃傷產(chǎn)品，導(dǎo)致良品率不高。隨著消費類電子不斷朝著輕薄、微型、便攜的方向發(fā)展，對PCB板的需求也向著高密度、高精度、多層化的方向發(fā)展，針對這一市場需求轉(zhuǎn)變，常規(guī)傳統(tǒng)的底片轉(zhuǎn)移圖像技術(shù)存在只能單面曝光，需要印制菲林底片，效率和精度都越來越滿足不了市場的需要。激光直接成像LDI(Laser Direct Imagine)應(yīng)運而生，它可在涂覆有光致抗蝕劑的在制板上直接成像，然后進(jìn)行蝕刻，現(xiàn)有的PCB板LDI曝光只能單面曝光，而需要雙面曝光時還得反轉(zhuǎn)過來進(jìn)行二次曝光，此方法在高精密細(xì)小的PCB板中會造成雙面線路不統(tǒng)一，從而影響PCB板生產(chǎn)質(zhì)量。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為克服現(xiàn)有現(xiàn)在的PCB板曝光方式為人工翻轉(zhuǎn)的雙面二次曝光而嚴(yán)重影響產(chǎn)能且在人工翻轉(zhuǎn)過程中容易出現(xiàn)定位誤差，甚至將已曝光好的PCB板在此過程中劃傷的缺點，本實用新型目的在于提供一種雙面曝光定位精確、能避免劃傷和變形的雙面曝光的裝置。
[0004]本實用新型通過以下技術(shù)措施實現(xiàn)的，一種雙面曝光的裝置，包括工作臺面，所述工作臺面上設(shè)置有一第一氣浮板，所述第一氣浮板的上方平行相向設(shè)置有第二氣浮板，所述第一氣浮板和第二氣浮板相對的一面分別均勻布設(shè)有連通的排氣孔，所述第一氣浮板和第二氣浮板之間氣浮設(shè)置有PCB板，所述第一氣浮板和第二氣浮板之間至少一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置的活動部件上可拆卸連接PCB板，所述PCB板由活動部件帶動移動;所述第一氣浮板和第二氣浮板上分別設(shè)置有加工通孔，二所述加工通孔的投影貫穿PCB板的處理部位，二所述加工通孔的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔移動的顯影曝光裝置，二所述顯影曝光裝置的光線分別透過加工通孔射向PCB板的二面。
[0005]作為一種優(yōu)選方式，所述第一氣浮板的加工通孔的下方和第二氣浮板的加工通孔的上方設(shè)置分別沿通孔設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上設(shè)置有能沿導(dǎo)軌移動的顯影曝光裝置。
[0006]作為一種優(yōu)選方式，所述工作臺面的一側(cè)固定有一第一直線電機，所述第一直線電機的動子座上固定有一 U形架，所述U形架的二端分別固定有顯影曝光裝置，所述第一直線電機驅(qū)動U形架平動，從而使二所述顯影曝光裝置的光線分別沿加工通孔射向PCB板的二面。
[0007]作為一種優(yōu)選方式，二所述加工通孔的上方或下方各設(shè)有一滑軌，所述滑軌上分別滑設(shè)有滑動座，所述顯影曝光裝置固定在滑動座上。
[0008]作為一種優(yōu)選方式，所述顯影曝光裝置為LDI曝光裝置。
[0009]作為一種優(yōu)選方式，所述驅(qū)動裝置為第二直線電機，所述活動部件為固定在第二直線電機動子座上的真空吸條。
[0010]作為一種優(yōu)選方式，所述工作臺面或第一氣浮板或第二氣浮板上設(shè)置有識別PCB板位置的識別裝置。
[0011 ]作為一種優(yōu)選方式，所述活動部件在第一氣浮板和第二氣浮板充氣后二者之間的零壓力平面上連接PCB板。
[0012]作為一種優(yōu)選方式，所述第二氣浮板排氣孔氣流方向豎直向下，所述第一氣浮板排氣孔氣流方向豎直向上。
[0013]作為一種優(yōu)選方式，所述第一氣浮板和第二氣浮板內(nèi)的氣壓及流量均設(shè)置為可調(diào)節(jié)，出氣孔的出氣壓力設(shè)置為可調(diào)。
[0014]本實用新型的第一氣浮板和第二氣浮板的排氣孔在工作時相向排出高壓氣體，從而在二者中間的平面形成一零壓力差平面，當(dāng)PCB板處于第二氣浮板和第一氣浮板之間時，由于第一氣浮板和第二氣浮板的排氣孔分別向PCB板表面射出高壓氣體，當(dāng)PCB板位于第二氣浮板射向PCB板下表面的氣流壓力等于第一氣浮板射向PCB板上表面的氣流壓力加上PCB板的重力時，PCB板懸浮在第一氣浮板和第二氣浮板之間，再利用驅(qū)動裝置(如直線電機或其它機械手等)使PCB板平移;在第一氣浮板和第二氣浮板上分別設(shè)置有加工通孔，二加工通孔的投影貫穿PCB板的處理部位，二加工通孔的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔方向移動的顯影曝光裝置，通過驅(qū)動裝置上設(shè)置的真空孔將PCB板朝X方向移動，控制PCB板需要曝光的地方處加工通孔的投影處，上下兩個述顯影曝光裝置沿加工通孔方向移動朝Y方向(一般是直線移動也可以是斜線移動或弧形移動)對PCB板進(jìn)行顯影曝光，當(dāng)顯影曝光裝置移動到Y(jié)方向的終端時，驅(qū)動裝置再次推動PCB板朝X方向前進(jìn)I個單位量，顯影曝光裝置再次沿Y方向進(jìn)行曝光，如此往復(fù)。本實用新型由于利用氣流使PCB板懸浮在第一氣浮板和第二氣浮板之間，從而使得PCB板在輸送過程中零摩擦、不會變形;PCB板雙面同時曝光提高了曝光精度且大大地提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實用新型實施例的分解圖；
[0017]圖3為本實用新型實施例沒安裝顯影曝光裝置的分解圖；
[0018]圖4為本實用新型實施例第二氣浮板、第一氣浮板和PCB板的剖視圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合實施例并對照附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0020]—種LDI雙面曝光的裝置，參考圖1至圖4，包括工作臺面6，所述工作臺面6上設(shè)置有一第一氣浮板12，所述第一氣浮板12的上方平行相向設(shè)置有第二氣浮板10，所述第一氣浮板12和第二氣浮板10相對的一面分別均勻布設(shè)有連通的排氣孔，所述第一氣浮板12和第二氣浮板10之間氣浮設(shè)置有PCB板5，所述第一氣浮板12和第二氣浮板10之間至少一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置的活動部件上可拆卸連接PCB板5，所述PCB板5由活動部件帶動移動;所述第一氣浮板12和第二氣浮板10上分別設(shè)置有加工通孔9，一般情況下，加工通孔9為與PCB板5運動方向垂直的條形孔，二所述加工通孔9的投影貫穿PCB板5的處理部位，二所述加工通孔9的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔9移動的LDI顯影曝光裝置11，二所述LDI顯影曝光裝置11的光線分別透過加工通孔9射向PCB板5的二面。
[0021]本曝光裝置的第一氣浮板12和第二氣浮板10的排氣孔在工作時相向排出高壓氣體，從而在二者中間的平面形成一零壓力差平面，當(dāng)PCB板5處于第二氣浮板10和第一氣浮板12之間時，由于第一氣浮板12和第二氣浮板10的排氣孔分別向PCB板5表面射出高壓氣體，當(dāng)PCB板位于第二氣浮板射向PCB板下表面的氣流壓力等于第一氣浮板射向PCB板上表面的氣流壓力加上PCB板的重力時，PCB板懸浮在第一氣浮板和第二氣浮板之間，再驅(qū)動裝置(如直線電機或其它機械手等)使PCB板平移;在第一氣浮板12和第二氣浮板10上分別設(shè)置有加工通孔9，二加工通孔9的投影貫穿PCB板5的處理部位，二加工通孔9的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔方向移動的LDI顯影曝光裝置11，通過驅(qū)動裝置將PCB板5朝X方向移動，控制PCB板5需要曝光的地方處加工通孔9的投影處，上下兩個LDI顯影曝光裝置11沿加工通孔方向移動朝Y方向(可以是直線移動也可以是斜線移動或弧形移動)對PCB板5進(jìn)行顯影曝光，當(dāng)LDI顯影曝光裝置11移動到Y(jié)方向的終端時，驅(qū)動裝置再次推動PCB板5朝X方向前進(jìn)I個單位量，LDI顯影曝光裝置11再次沿Y方向進(jìn)行曝光，如此往復(fù)。本曝光裝置由于利用氣流使PCB板懸浮在第一氣浮板和第二氣浮板之間，從而使得PCB板在輸送過程中零摩擦、不會變形，并且當(dāng)PCB板存在微小變形時，在第一氣浮板和第二氣浮板的氣流壓力下還能撫平變形，利用真空孔來固定并移動PCB板也避免了機械或人手夾持PCB板造成的劃傷或污染;PCB板雙面同時曝光提高了曝光精度且大大地提高了生產(chǎn)效率。
[0022]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，請參考圖1至圖2，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，工作臺面6的一側(cè)固定有一第一直線電機I，所述第一直線電機I的動子座上固定有一 U形架2，所述U形架2的二端分別固定有顯影曝光裝置11，所述第一直線電機I驅(qū)動U形架2平動，從而使二所述顯影曝光裝置11的光線分別沿加工通孔9射向PCB板5的二面。
[0023]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，請參考圖1至圖2，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，二加工通孔9的上方或下方各設(shè)有一滑軌3，所述滑軌3上分別滑設(shè)有滑動座4，所述顯影曝光裝置11固定在滑動座4上，第一直線電機I工作使U形架2平動，從而帶動顯影曝光裝置11沿滑軌3往復(fù)運動。
[0024]在另一實施例的LDI雙面曝光的裝置，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，第一氣浮板的加工通孔的下方和第二氣浮板的加工通孔的上方設(shè)置分別沿通孔設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上設(shè)置有能沿導(dǎo)軌移動的顯影曝光裝置，上下二顯影曝光裝置分別由一直線電機驅(qū)動移動，二直線電機可以同步也可以不同步運動。
[0025]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，請參考圖1至圖3，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，驅(qū)動裝置為第二直線電機8，所述活動部件為固定在第二直線電機8動子座上的真空吸條7。
[0026]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，工作臺面或第一氣浮板或第二氣浮板上設(shè)置有識別PCB板位置的識別裝置，例如在第一氣浮板或第二氣浮板上布設(shè)有氣流傳感器或壓力傳感器，從而當(dāng)傳感器感應(yīng)到PCB板的路徑后，控制相應(yīng)的閥門打開運動前方和關(guān)閉運動后方的第一氣浮板和第二氣浮板的排氣孔，從而節(jié)約用氣量;也可以在工作臺面或第一氣浮板或第二氣浮板上設(shè)置有攝像頭，通過拍攝的圖像來識別物料運動路徑，還采用其它識別裝置還進(jìn)行PCB板位置的識別(如紅外發(fā)射接收、超聲波發(fā)生反射等)。
[0027]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，第一氣浮板12和第二氣浮板10中的排氣孔與一壓縮氣源如空氣栗相連通。由空氣栗給其提供穩(wěn)定的高壓氣流，當(dāng)然在其它實施例中，也可由壓縮空氣瓶來提供高壓氣流。
[0028]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，活動部件上設(shè)置的真空孔的開口設(shè)置在第一氣浮板12和第二氣浮板10充氣后二者之間的零壓力平面上，從而使PCB板5能保證水平輸送。
[0029]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，請參考圖4，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，第二氣浮板10排氣孔氣流方向豎直向下，所述第一氣浮板12排氣孔氣流方向豎直向上。
[0030]—實施例的LDI雙面曝光的裝置，在前面技術(shù)方案的基礎(chǔ)上具體還可以是，第一氣浮板12和第二氣浮板10內(nèi)的氣壓及流量均設(shè)置為可調(diào)節(jié)，出氣孔的出氣壓力設(shè)置為可調(diào)。從而通過調(diào)節(jié)第一氣浮板12和第二氣浮板10的壓力差能調(diào)節(jié)PCB板在二者之間的高度，并根據(jù)PCB板的厚度、表面積等調(diào)節(jié)氣孔的出氣壓力。
[0031]以上是對本實用新型LDI雙面曝光的裝置進(jìn)行了闡述，用于幫助理解本實用新型，但本實用新型的實施方式并不受上述實施例的限制，任何未背離本實用新型原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種雙面曝光的裝置，其特征在于:包括工作臺面，所述工作臺面上設(shè)置有一第一氣浮板，所述第一氣浮板的上方平行相向設(shè)置有第二氣浮板，所述第一氣浮板和第二氣浮板相對的一面分別均勻布設(shè)有連通的排氣孔，所述第一氣浮板和第二氣浮板之間氣浮設(shè)置有PCB板，所述第一氣浮板和第二氣浮板之間至少一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置的活動部件上可拆卸連接PCB板，所述PCB板由活動部件帶動移動;所述第一氣浮板和第二氣浮板上分別設(shè)置有加工通孔，二所述加工通孔的投影貫穿PCB板的處理部位，二所述加工通孔的上方或下方各設(shè)有一能沿加工通孔移動的顯影曝光裝置，二所述顯影曝光裝置的光線分別透過加工通孔射向PCB板的二面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述第一氣浮板的加工通孔的下方和第二氣浮板的加工通孔的上方設(shè)置分別沿通孔設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上設(shè)置有能沿導(dǎo)軌移動的顯影曝光裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述工作臺面的一側(cè)固定有一第一直線電機，所述第一直線電機的動子座上固定有一 U形架，所述U形架的二端分別固定有顯影曝光裝置，所述第一直線電機驅(qū)動U形架平動，從而使二所述顯影曝光裝置的光線分別沿加工通孔射向PCB板的二面。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:二所述加工通孔的上方或下方各設(shè)有一滑軌，所述滑軌上分別滑設(shè)有滑動座，所述顯影曝光裝置固定在滑動座上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述顯影曝光裝置為LDI曝光目.ο6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述驅(qū)動裝置為第二直線電機，所述活動部件為固定在第二直線電機動子座上的真空吸條。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述工作臺面或第一氣浮板或第二氣浮板上設(shè)置有識別PCB板位置的識別裝置。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述活動部件在第一氣浮板和第二氣浮板充氣后二者之間的零壓力平面上連接PCB板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述第二氣浮板排氣孔氣流方向豎直向下，所述第一氣浮板排氣孔氣流方向豎直向上。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面曝光的裝置，其特征在于:所述第一氣浮板和第二氣浮板內(nèi)的氣壓及流量均設(shè)置為可調(diào)節(jié)，出氣孔的出氣壓力設(shè)置為可調(diào)。
【文檔編號】G03F7/20GK205507357SQ201620177166
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月9日
【發(fā)明人】王占良, 張明, 胡濤
【申請人】深圳盟星科技有限公司