顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)，其包括用于承載顯示器件的承載架、控制裝置、檢測裝置和分析裝置，其中，控制裝置用于在承載架處于工藝間的空閑時(shí)間時(shí)，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的顯示器件的對(duì)中位置的坐標(biāo)信息，向檢測裝置發(fā)送控制指令。檢測裝置用于根據(jù)控制裝置的控制指令移動(dòng)至承載架上顯示器件的對(duì)中位置，并采集該位置的圖像，且將圖像發(fā)送至分析裝置。分析裝置用于判斷顯示器件的對(duì)中情況。本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其無需測量顯示器件的關(guān)鍵尺寸就可以判斷顯示器件的對(duì)中情況，從而可以提高檢測效率，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，進(jìn)而可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說明】
顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示器件加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示器件的制作過程中，通常需要將多層膜材依次貼合在玻璃基板上，同時(shí)需要對(duì)各個(gè)膜材相對(duì)于第一層金屬膜材(沉積在玻璃基板上的第一層膜層)進(jìn)行對(duì)位，各個(gè)膜材之間的對(duì)位(Overlay)精度體現(xiàn)了各個(gè)膜材之間對(duì)位匹配的好壞。
[0003]檢測各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度的具體方法為:在第一層金屬膜材制備完成后，在第一層金屬膜材上貼附各層膜對(duì)中的基準(zhǔn)標(biāo)記(例如方框型)，通過檢測之后的每一層膜材的邊框和該基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)位的情況，來判斷各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度是否合格。
[0004]在進(jìn)行上述對(duì)位精度進(jìn)行檢測的過程中，需要通過測量膜材和第一層金屬膜材的關(guān)鍵尺寸來反饋膜材與基準(zhǔn)標(biāo)記的重合情況，由于測量該關(guān)鍵尺寸的耗時(shí)較長，因而無法對(duì)全部的顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測，而只能采用抽測的方式進(jìn)行檢測，從而無法保證所有的顯示器件的對(duì)中精度100 %合格，進(jìn)而對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量帶來影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)，其無需測量顯示器件的關(guān)鍵尺寸就可以判斷顯示器件的對(duì)中情況，從而可以提高檢測效率，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，進(jìn)而可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0006]為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的而提供一種顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，包括用于承載所述顯示器件的承載架，還包括控制裝置、檢測裝置和分析裝置，其中，所述控制裝置用于在所述承載架處于工藝間的空閑時(shí)間時(shí)，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的所述顯示器件的對(duì)中位置的坐標(biāo)信息，向所述檢測裝置發(fā)送控制指令;所述檢測裝置用于根據(jù)所述控制裝置的控制指令移動(dòng)至所述承載架上所述顯示器件的對(duì)中位置，并采集該位置的圖像，且將所述圖像發(fā)送至所述分析裝置;所述分析裝置用于分析處理所述顯示器件的對(duì)中情況。
[0007]所述分析裝置用于顯示所述圖像，以供人肉眼判斷所述顯示器件的對(duì)中情況;或者，所述分析裝置用于將所述圖像與所述顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷所述顯示器件的對(duì)中情況。
[0008]優(yōu)選的，所述分析裝置用于將所述圖像與所述顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷所述顯示器件的對(duì)中情況;所述對(duì)位檢測設(shè)備還包括報(bào)警裝置，用于在判斷所述顯示器件的對(duì)中不合格時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。
[0009]優(yōu)選的，所述檢測裝置包括照相機(jī)、機(jī)械臂和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述照相機(jī)安裝在所述機(jī)械臂上，用于采集所述圖像;所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)，以使所述照相機(jī)移動(dòng)至所述承載架上方、所述顯示器件的對(duì)中位置。
[0010]優(yōu)選的，所述照相機(jī)包括自動(dòng)對(duì)焦裝置，用于根據(jù)環(huán)境光線及所述照相機(jī)與所述顯示器件之間的距離自動(dòng)對(duì)焦。
[0011]優(yōu)選的，所述承載架包括沿豎直方向間隔設(shè)置的多層托盤，每層托盤用于承載多個(gè)所述顯示器件;所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直驅(qū)動(dòng)組件和水平驅(qū)動(dòng)組件，其中，所述豎直驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述水平驅(qū)動(dòng)組件及所述機(jī)械臂同步豎直移動(dòng)至與任意相鄰兩層托盤之間的間隙相對(duì)應(yīng)的高度;所述水平驅(qū)動(dòng)組件用于在所述水平驅(qū)動(dòng)組件及所述機(jī)械臂位于與任意相鄰兩層托盤之間的間隙相對(duì)應(yīng)的高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂水平運(yùn)動(dòng)至該間隙中、所述顯示器件的對(duì)中位置。
[0012]優(yōu)選的，所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂采用旋入或旋出的方式運(yùn)動(dòng);或者，所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂采用伸出或回縮的方式運(yùn)動(dòng)。
[0013]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)安裝在所述水平驅(qū)動(dòng)組件上，用以驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0014]優(yōu)選的，所述工藝間的空閑時(shí)間為在完成曝光工藝之后，且在進(jìn)行刻蝕工藝之前，所述承載架的運(yùn)輸途中或者等待工藝期間。
[0015]作為另一個(gè)技術(shù)方案，本實(shí)用新型還提供一種曝光工藝系統(tǒng)，包括曝光單元和烘干單元，其中，所述曝光單元用于對(duì)所述顯示器件進(jìn)行曝光工藝;所述烘干單元用于對(duì)完成曝光的所述顯示器件進(jìn)行烘干，還包括對(duì)位檢測設(shè)備，所述對(duì)位檢測設(shè)備采用了本實(shí)用新型提供的上述顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，用于對(duì)完成烘干的所述顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測。
[0016]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0017]本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其利用控制裝置在承載架處于工藝間的空閑時(shí)間時(shí)，根據(jù)顯示器件的對(duì)中位置的坐標(biāo)信息向檢測裝置發(fā)送控制指令，并利用檢測裝置根據(jù)控制裝置的控制指令移動(dòng)至承載架上顯示器件的對(duì)中位置，并采集該位置的圖像，且將圖像發(fā)送至分析裝置。通過分析裝置判斷顯示器件的對(duì)中情況，可以無需測量顯示器件的關(guān)鍵尺寸，從而可以提高檢測效率，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，提尚監(jiān)控力度，從而可以提尚廣品質(zhì)量。
[0018]本實(shí)用新型提供的曝光工藝系統(tǒng)，其通過采用本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，可以提高檢測效率，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，提高監(jiān)控力度，進(jìn)而可以提尚廣品質(zhì)量。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中顯示器件的對(duì)中位置的示意圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備在工作時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0022]圖4為本實(shí)用新型提供的曝光工藝系統(tǒng)的原理框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對(duì)本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備及曝光工藝系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0024]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖1，顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其用于在顯示器件的制造過程中，對(duì)各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度進(jìn)行檢測。通常，在玻璃基板上完成第一層金屬膜材的制備之后，在第一層金屬膜材上設(shè)置有基準(zhǔn)標(biāo)記(例如方框型)，然后，通過檢測之后的每一層膜材的邊框與該基準(zhǔn)標(biāo)記的重合情況，來判斷各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度是否合格。本實(shí)用新型提供的對(duì)位檢測設(shè)備，其通過獲得各個(gè)膜材之間的對(duì)中位置的圖像(例如照片或者攝像截圖)，即，第一層金屬膜材上的基準(zhǔn)標(biāo)記與膜材的邊框所在位置處的圖像，可以直觀地判斷出膜材的邊框與該基準(zhǔn)標(biāo)記是否重合，而無需測量顯示器件的關(guān)鍵尺寸，從而可以提高檢測效率，進(jìn)而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯不器件進(jìn)彳丁檢測，提尚監(jiān)控力度，從而可以提尚廣品質(zhì)量。
[0025]具體地，對(duì)位檢測設(shè)備包括用于承載顯示器件的承載架4、控制裝置1、檢測裝置2和分析裝置3。其中，控制裝置I用于在承載架4處于工藝間的空閑時(shí)間時(shí)，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的顯示器件的對(duì)中位置的坐標(biāo)信息向檢測裝置2發(fā)送控制指令。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中顯示器件的對(duì)中位置的示意圖。如圖2所示，顯示器件的對(duì)中位置是指能夠在同一視野中顯示膜材的邊框C與基準(zhǔn)標(biāo)記B(第一層金屬膜材的邊框)所在區(qū)域，例如圖2中的區(qū)域A。對(duì)中位置的坐標(biāo)信息是在膜材的邊框與基準(zhǔn)標(biāo)記所在區(qū)域內(nèi)選取某一點(diǎn)用作坐標(biāo)點(diǎn)，該坐標(biāo)點(diǎn)在承載架4上的坐標(biāo)信息即為對(duì)中位置的坐標(biāo)信息。例如，可以是基準(zhǔn)標(biāo)記圖案的中心點(diǎn)作為坐標(biāo)點(diǎn)，該坐標(biāo)點(diǎn)的坐標(biāo)信息被預(yù)先存儲(chǔ)在控制裝置I中，該控制裝置I根據(jù)該坐標(biāo)信息進(jìn)行編輯，而獲得檢測裝置2的移動(dòng)程序，并向檢測裝置2發(fā)送控制指令?？刂蒲b置I可以是諸如計(jì)算機(jī)、PLC等的微處理器。
[0026]檢測裝置2用于根據(jù)控制裝置I的控制指令移動(dòng)至承載架4上顯示器件的對(duì)中位置，并采集該位置的圖像，且將圖像發(fā)送至分析裝置3。這里的圖像，是指能夠顯示基準(zhǔn)標(biāo)記與膜材的邊框所在區(qū)域的照片或者攝像截圖，從而照片或者攝像截圖中可以判斷出基準(zhǔn)標(biāo)記與膜材的邊框之間的相對(duì)位置情況，并以此判斷各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度是否合格。例如，如圖2所示，區(qū)域A即為顯示器件的對(duì)中位置，在該區(qū)域A中，邊框C相鄰的兩個(gè)側(cè)邊分別和對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)標(biāo)記B相鄰的兩個(gè)側(cè)邊相互平行，且存在一定的間距，即間距Hl和間距H2，兩個(gè)間距越小，則膜材與第一層金屬膜材的重合度越高;反之，兩個(gè)間距越大，則膜材與第一層金屬膜材的重合度越低?；诖耍ㄟ^分別判斷間距Hl和間距H2是否在預(yù)設(shè)閾值內(nèi)，來判斷膜材的對(duì)位精度是否合格。
[0027]在本實(shí)施例中，分析裝置3用于顯示圖像，以供人肉眼判斷顯示器件的對(duì)中情況，該分析裝置3可以為諸如計(jì)算機(jī)、顯示屏等具有顯示功能的設(shè)備，操作人員通過觀察圖像所顯示的各個(gè)膜材之間的對(duì)中情況，可以直觀地判斷出該顯示器件的對(duì)位精度是否合格，然后及時(shí)地將不合格的顯示器件及時(shí)返工處理，將合格的顯示器件正常下放進(jìn)行后續(xù)工藝。由于上述檢測單個(gè)顯示器件的對(duì)中情況的效率較高，耗時(shí)較短，因而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，提高了監(jiān)控力度，有效地控制與對(duì)位精度相關(guān)的不良情況發(fā)生，從而可以提尚廣品質(zhì)量。
[0028]上述分析裝置3是通過顯示圖像來供人肉眼判斷顯示器件的對(duì)中情況，但是本實(shí)用新型并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，分析裝置3還可以為諸如計(jì)算機(jī)、PLC等的微處理器，在接收到由檢測裝置2發(fā)送而來的圖像時(shí)，自動(dòng)將該圖像與顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷顯示器件的對(duì)中情況。所謂顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像，是指各個(gè)膜材之間的對(duì)位精度合格的圖像，該圖像被預(yù)先存儲(chǔ)在分析裝置3中。分析裝置3通過尋找待檢測的圖像與對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像的中心點(diǎn)，來進(jìn)行重合度匹配，并根據(jù)匹配結(jié)果判斷顯示器件的對(duì)中情況。優(yōu)選的，對(duì)位檢測設(shè)備還包括報(bào)警裝置，用于在分析裝置3判斷顯示器件的對(duì)中不合格時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。操作人員可以根據(jù)報(bào)警裝置的提示及時(shí)地將相應(yīng)的顯示器件進(jìn)行返工處理，而將未有報(bào)警提示的顯示器件正常下放進(jìn)行后續(xù)工藝。
[0029]下面對(duì)檢測裝置2的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。具體地，如圖1所示，檢測裝置2包括照相機(jī)21、機(jī)械臂22和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，照相機(jī)21安裝在機(jī)械臂22上，用于采集圖像。優(yōu)選的，為了使圖像更清晰，照相機(jī)21包括自動(dòng)對(duì)焦裝置，用于根據(jù)環(huán)境光線及照相機(jī)21與顯示器件之間的距離自動(dòng)對(duì)焦。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22運(yùn)動(dòng)，以使照相機(jī)21移動(dòng)至承載架4上方、顯示器件的對(duì)中位置。
[0030]承載架4可以通常承載有多個(gè)顯示器件，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備在工作時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖3，在本實(shí)施例中，承載架4包括沿豎直方向間隔設(shè)置的多層托盤，每層托盤用于承載多個(gè)顯示器件。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直驅(qū)動(dòng)組件23和水平驅(qū)動(dòng)組件24，其中，豎直驅(qū)動(dòng)組件23用于驅(qū)動(dòng)水平驅(qū)動(dòng)組件24及機(jī)械臂22同步豎直移動(dòng)至與任意相鄰兩層托盤之間的間隙41相對(duì)應(yīng)的高度。
[0031]水平驅(qū)動(dòng)組件24用于在水平驅(qū)動(dòng)組件24及機(jī)械臂22位于與任意相鄰兩層托盤之間的間隙41相對(duì)應(yīng)的高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22水平運(yùn)動(dòng)至該間隙41中、顯示器件的對(duì)中位置。優(yōu)選的，水平驅(qū)動(dòng)組件24驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22采用旋入或旋出的方式運(yùn)動(dòng)，即，機(jī)械臂22采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的方式水平進(jìn)出間隙41;或者，水平驅(qū)動(dòng)組件24驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22采用伸出或回縮的方式運(yùn)動(dòng)，即，機(jī)械臂22采用直線平移的方式水平進(jìn)出間隙41。
[0032]在實(shí)際應(yīng)用中，豎直驅(qū)動(dòng)組件23具體可以包括第一電機(jī)和絲杠，第一電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)。絲杠豎直設(shè)置，且在該絲杠上設(shè)置有滑動(dòng)部件，該滑動(dòng)部件用于在絲杠旋轉(zhuǎn)時(shí)沿絲杠作直線運(yùn)動(dòng)。水平驅(qū)動(dòng)組件24與上述滑動(dòng)部件連接，在第一電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，絲杠和滑動(dòng)部件相互配合，以帶動(dòng)水平驅(qū)動(dòng)組件24在豎直方向上作直線運(yùn)動(dòng)。水平驅(qū)動(dòng)組件24具體可以包括第二電機(jī)和傳動(dòng)部件，其中，針對(duì)水平驅(qū)動(dòng)組件24驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22采用旋入或旋出的方式運(yùn)動(dòng)的情況，第二電機(jī)可以為旋轉(zhuǎn)電機(jī)，該旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。針對(duì)水平驅(qū)動(dòng)組件24驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22采用伸出或回縮的方式運(yùn)動(dòng)的情況，第二電機(jī)可以為直線電機(jī)，該直線電機(jī)通過傳動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22水平伸出或回縮。
[0033]在本實(shí)施例中，照相機(jī)21包括兩個(gè)，且兩個(gè)照相機(jī)21間隔安裝在機(jī)械臂22上，并且相鄰兩個(gè)照相機(jī)21之間的間隔與托盤上相鄰兩個(gè)顯示器件之間的間隔一致，這樣可以實(shí)現(xiàn)兩個(gè)照相機(jī)21同時(shí)采集相應(yīng)的兩個(gè)顯示器件的對(duì)中位置的圖像，從而可以進(jìn)一步提高檢測效率。在這種情況下，優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)25，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)25安裝在水平驅(qū)動(dòng)組件24上，用以驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。借助旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)25，可以在兩個(gè)照相機(jī)21在完成當(dāng)前的兩個(gè)顯示器件的對(duì)中位置的圖像采集之后，通過驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂22在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，而使兩個(gè)照相機(jī)21旋轉(zhuǎn)至與當(dāng)前顯示器件相鄰的兩個(gè)顯示器件的對(duì)中位置處，并進(jìn)行圖像采集。也就是說，借助旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)25，可以在水平驅(qū)動(dòng)組件24保持不動(dòng)的前提下，對(duì)相應(yīng)區(qū)域中的四個(gè)以上顯示器件的對(duì)中位置進(jìn)行圖像采集，從而可以簡化驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)流程，進(jìn)一步提1?檢測效率D
[0034]優(yōu)選的，工藝間的空閑時(shí)間為在完成曝光工藝之后，且在進(jìn)行刻蝕工藝之前，承載架的運(yùn)輸途中或者等待工藝期間。由于曝光工藝具有可撤銷的特點(diǎn)，即，使完成曝光工藝的顯示器件恢復(fù)至進(jìn)行曝光工藝之前的狀態(tài)，因此，通過在完成曝光工藝之后，且在進(jìn)行刻蝕工藝之前，對(duì)顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測，可以將不合格的顯示器件恢復(fù)至進(jìn)行曝光工藝之前的狀態(tài)，然后重新將相應(yīng)的膜層與基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)中，最終使顯示器件的對(duì)位精度合格。
[0035]作為另一個(gè)技術(shù)方案，圖4為本實(shí)用新型提供的曝光工藝系統(tǒng)的原理框圖。請參閱圖4，本實(shí)用新型還提供一種曝光工藝系統(tǒng)，其包括曝光單元100、烘干單元200和對(duì)位檢測設(shè)備300，其中，曝光單元100用于對(duì)顯示器件進(jìn)行曝光工藝;烘干單元200用于對(duì)完成曝光的顯示器件進(jìn)行烘干，對(duì)位檢測設(shè)備300采用了本實(shí)用新型提供的上述對(duì)位檢測設(shè)備，用于對(duì)完成烘干的顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測。
[0036]由于曝光工藝具有可撤銷的特點(diǎn)，S卩，使完成曝光工藝的顯示器件恢復(fù)至進(jìn)行曝光工藝之前的狀態(tài)，因此，通過在完成曝光工藝之后，且在進(jìn)行刻蝕工藝之前，利用對(duì)位檢測設(shè)備300對(duì)顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測，可以將不合格的顯示器件恢復(fù)至進(jìn)行曝光工藝之前的狀態(tài)，然后重新將相應(yīng)的膜層與基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)中，最終使顯示器件各膜層的對(duì)位精度合格，并進(jìn)行后續(xù)工藝，顯示器件的傳輸方向如圖3中的箭頭所示。
[0037]本實(shí)用新型提供的曝光工藝系統(tǒng)，其通過采用本實(shí)用新型提供的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，可以提高檢測效率，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)全部的顯示器件進(jìn)行檢測，提高監(jiān)控力度，進(jìn)而可以提尚廣品質(zhì)量。
[0038]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，包括用于承載所述顯示器件的承載架，其特征在于，還包括控制裝置、檢測裝置和分析裝置，其中， 所述控制裝置用于在所述承載架處于工藝間的空閑時(shí)間時(shí)，根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的所述顯示器件的對(duì)中位置的坐標(biāo)信息，向所述檢測裝置發(fā)送控制指令； 所述檢測裝置用于根據(jù)所述控制裝置的控制指令移動(dòng)至所述承載架上所述顯示器件的對(duì)中位置，并采集該位置的圖像，且將所述圖像發(fā)送至所述分析裝置； 所述分析裝置用于分析處理所述顯示器件的對(duì)中情況。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述分析裝置用于顯示所述圖像，以供人肉眼判斷所述顯示器件的對(duì)中情況;或者，所述分析裝置用于將所述圖像與所述顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷所述顯示器件的對(duì)中情況。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述分析裝置用于將所述圖像與所述顯示器件的對(duì)中標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較，并根據(jù)比較結(jié)果判斷所述顯示器件的對(duì)中情況； 所述對(duì)位檢測設(shè)備還包括報(bào)警裝置，用于在判斷所述顯示器件的對(duì)中不合格時(shí)，進(jìn)行報(bào)警。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述檢測裝置包括照相機(jī)、機(jī)械臂和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中， 所述照相機(jī)安裝在所述機(jī)械臂上，用于采集所述圖像； 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)，以使所述照相機(jī)移動(dòng)至所述承載架上方、所述顯示器件的對(duì)中位置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述照相機(jī)包括自動(dòng)對(duì)焦裝置，用于根據(jù)環(huán)境光線及所述照相機(jī)與所述顯示器件之間的距離自動(dòng)對(duì)焦。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述承載架包括沿豎直方向間隔設(shè)置的多層托盤，每層托盤用于承載多個(gè)所述顯示器件； 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直驅(qū)動(dòng)組件和水平驅(qū)動(dòng)組件，其中， 所述豎直驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述水平驅(qū)動(dòng)組件及所述機(jī)械臂同步豎直移動(dòng)至與任意相鄰兩層托盤之間的間隙相對(duì)應(yīng)的高度； 所述水平驅(qū)動(dòng)組件用于在所述水平驅(qū)動(dòng)組件及所述機(jī)械臂位于與任意相鄰兩層托盤之間的間隙相對(duì)應(yīng)的高度時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂水平運(yùn)動(dòng)至該間隙中、所述顯示器件的對(duì)中位置。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂采用旋入或旋出的方式運(yùn)動(dòng);或者， 所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂采用伸出或回縮的方式運(yùn)動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)安裝在所述水平驅(qū)動(dòng)組件上，用以驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，其特征在于，所述工藝間的空閑時(shí)間為在完成曝光工藝之后，且在進(jìn)行刻蝕工藝之前，所述承載架的運(yùn)輸途中或者等待工藝期間。10.—種曝光工藝系統(tǒng)，包括曝光單元和烘干單元，其中，所述曝光單元用于對(duì)所述顯示器件進(jìn)行曝光工藝;所述烘干單元用于對(duì)完成曝光的所述顯示器件進(jìn)行烘干，其特征在于，還包括對(duì)位檢測設(shè)備，所述對(duì)位檢測設(shè)備采用權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的顯示器件的對(duì)位檢測設(shè)備，用于對(duì)完成烘干的所述顯示器件的對(duì)中情況進(jìn)行檢測。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK205427436SQ201620226332
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年3月23日
【發(fā)明人】張磊, 代伍坤, 陳磊, 李嘉鵬, 董宜萍
【申請人】北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司