一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)，特別是一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，它常用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制領(lǐng)域。
[0003]在電路板板加工過程中，需要對(duì)電路板進(jìn)行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機(jī)曝光，但是現(xiàn)有的曝光機(jī)曝光的尺寸較小，不適用于大尺寸的電路板曝光，若將現(xiàn)有的曝光機(jī)對(duì)大尺寸的電路板進(jìn)行曝光，其曝光的效果極差，電路板的曝光面曝光不均勻，特別是電路板邊緣地帶的曝光效果極差，而且由于曝光室內(nèi)的溫度在光照的作用下，會(huì)持續(xù)升溫，曝光燈極易損壞，從而影響電路板的曝光質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種能耗少、適用于大尺寸電路板曝光和曝光效果好的節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)。
[0005]本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，它包括放板臺(tái)、曝光室、輸送導(dǎo)軌、曝光平臺(tái)和曝光燈，所述的放板臺(tái)的臺(tái)面與曝光室的入口相對(duì)應(yīng)，所述的曝光平臺(tái)包括透光平臺(tái)座和翻轉(zhuǎn)蓋，所述的翻轉(zhuǎn)蓋可轉(zhuǎn)動(dòng)打開或合上的安裝在透光平臺(tái)座上，所述的翻轉(zhuǎn)蓋內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜，所述的曝光室內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸，伸縮氣缸的活塞桿與曝光平臺(tái)連接，所述的曝光室內(nèi)設(shè)置有一燈光罩，所述的曝光燈安裝在燈光罩內(nèi)，所述的燈光罩下方設(shè)置有一風(fēng)機(jī)，燈光罩內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器，溫度傳感器與風(fēng)機(jī)電性連接，所述的曝光室的側(cè)壁上開設(shè)有柵格板，柵格板上端的水平高度低于燈光罩上端的水平高度。
[0006]所述的曝光室上方設(shè)置有一控制室，控制室內(nèi)的控制元件控制伸縮氣缸。
[0007]所述的擋光膜為黑色擋光膜。
[0008]所述的燈光罩上方開口且其截面為弧形。
[0009]所述的曝光燈為多個(gè)，且并排的的設(shè)置在燈光罩內(nèi)。
[0010]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，設(shè)置有燈光罩，燈光罩將曝光燈的光源進(jìn)行反射，放射后的光源形成平行光對(duì)電路板的曝光面進(jìn)行曝光，燈光罩降低了光源的流失，在相同曝光強(qiáng)度下，可以降低曝光燈數(shù)量，節(jié)約能耗；燈光罩將曝光燈的光源放射，保證了光源直射電路板的曝光面，實(shí)現(xiàn)電路板的全方位曝光，提高了電路板的曝光效果；通過燈光罩反射光源，使曝光機(jī)適用于大尺寸的電路板曝光，且曝光效果極好；設(shè)置有風(fēng)機(jī)和溫度傳感器，可隨時(shí)監(jiān)測(cè)曝光室內(nèi)溫度，風(fēng)機(jī)工作，可降低曝光室內(nèi)的溫度，避免曝光燈長(zhǎng)期處于高溫狀態(tài)下，從而延長(zhǎng)了曝光燈的使用壽命。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型的剖視示意圖；
[0013]圖3為曝光平臺(tái)張開示意圖；
[0014]圖4為翻轉(zhuǎn)蓋俯視示意圖；
[0015]圖中，1-放板臺(tái)，2-曝光室，3-輸送導(dǎo)軌，4-曝光平臺(tái)，5-曝光燈，6_透光平臺(tái)座，7-翻轉(zhuǎn)蓋，8-擋光膜，9-伸縮氣缸，10-燈光罩，11-控制室，12-風(fēng)機(jī)，13-溫度傳感器，14-柵格板。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0017]如圖1所示，一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，它包括放板臺(tái)1、曝光室2、輸送導(dǎo)軌
3、曝光平臺(tái)4和曝光燈5，所述的放板臺(tái)1的臺(tái)面與曝光室2的入口相對(duì)應(yīng)，如圖3所示，所述的曝光平臺(tái)4包括透光平臺(tái)座6和翻轉(zhuǎn)蓋7，所述的翻轉(zhuǎn)蓋7可轉(zhuǎn)動(dòng)打開或合上的安裝在透光平臺(tái)座6上，在本實(shí)施例中，為保證翻轉(zhuǎn)蓋7不漏光，增加電路板的曝光效果，所述的翻轉(zhuǎn)蓋7內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜8，如圖4所示，為進(jìn)一步地保證翻轉(zhuǎn)蓋7不漏光，擋光膜8選用黑色擋光膜，如圖2所示，所述的曝光室2內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸9，伸縮氣缸9的活塞桿與曝光平臺(tái)4連接，通過伸縮氣缸9的活塞桿的來回移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)曝光平臺(tái)4的來回移動(dòng)，所述的曝光室2內(nèi)設(shè)置有一燈光罩10，所述的曝光燈5安裝在燈光罩10內(nèi)，所述的燈光罩10下方設(shè)置有一風(fēng)機(jī)12，燈光罩10內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器13，溫度傳感器13與風(fēng)機(jī)12電性連接，溫度傳感器13檢測(cè)到的溫度過高時(shí)，則將信號(hào)傳遞給風(fēng)機(jī)12，風(fēng)機(jī)12工作，加速曝光室2內(nèi)空氣與外界空氣的交換，從而降低曝光室2的溫度，避免了曝光燈5長(zhǎng)期處于高溫狀態(tài)下，延長(zhǎng)了曝光燈5的使用壽命，所述的曝光室2的側(cè)壁上開設(shè)有柵格板14，柵格板14上端的水平高度低于燈光罩10上端的水平高度，柵格板14主要用于內(nèi)外空氣交換的通道，其上端的水平高度低于燈光罩10上端的水平高度，主要是避免漏光，影響曝光效率，在本實(shí)施例中，所述的燈光罩10上方開口且其截面為弧形，曝光燈5為多個(gè)，且并排的的設(shè)置在燈光罩10內(nèi)，曝光燈5發(fā)出的光源經(jīng)過燈光罩10的弧形面放射形成平行光，且對(duì)電路板進(jìn)行曝光，降低了光源的流失，增加了光源的強(qiáng)度，在相同曝光強(qiáng)度時(shí)，可以節(jié)約曝光燈5的數(shù)量，降低能耗。通過燈光罩10的反射，保證了光源直射電路板的曝光面，解決了大尺寸電路板曝光不均勻，電路板四周曝光質(zhì)量不高的問題。
[0018]在本實(shí)施例中為了提高曝光機(jī)的自動(dòng)化，所述的曝光室2上方設(shè)置有一控制室11，控制室11內(nèi)的控制元件控制伸縮氣缸9。
[0019]本實(shí)用新型的工作過程如下:操作人員手動(dòng)打開曝光平臺(tái)4，將電路板放置在透光平臺(tái)座6的固定區(qū)域內(nèi)，然后合上曝光平臺(tái)4，點(diǎn)動(dòng)啟動(dòng)按鈕，伸縮氣缸9運(yùn)動(dòng)，將曝光平臺(tái)4移動(dòng)到曝光區(qū)域，然后伸縮氣缸9停止工作，曝光燈5打開，曝光燈5的光源在燈光罩10的反射作用下，降低了光源的流失，增加了光源的強(qiáng)度，保證了光源直射電路板的曝光面，實(shí)現(xiàn)電路板的全方位曝光，提高了電路板的曝光效果，曝光完成后，為降低能耗，曝光燈5關(guān)閉，伸縮氣缸9運(yùn)動(dòng)，將曝光平臺(tái)4移出曝光室2，取出曝光好的電路板，溫度傳感器13檢測(cè)到的溫度過高時(shí)，則將信號(hào)傳遞給風(fēng)機(jī)12，風(fēng)機(jī)12工作，加速曝光室2內(nèi)空氣與外界空氣的交換，從而降低曝光室2的溫度，避免了曝光燈5長(zhǎng)期處于高溫狀態(tài)下，延長(zhǎng)了曝光燈5的使用壽命。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，其特征在于:它包括放板臺(tái)(1)、曝光室(2)、輸送導(dǎo)軌(3)、曝光平臺(tái)(4)和曝光燈(5)，所述的放板臺(tái)(1)的臺(tái)面與曝光室(2)的入口相對(duì)應(yīng)，所述的曝光平臺(tái)(4)包括透光平臺(tái)座(6)和翻轉(zhuǎn)蓋(7)，所述的翻轉(zhuǎn)蓋(7)可轉(zhuǎn)動(dòng)打開或合上的安裝在透光平臺(tái)座(6)上，所述的翻轉(zhuǎn)蓋(7)內(nèi)設(shè)置有一層擋光膜(8)，所述的曝光室(2 )內(nèi)水平設(shè)置有一伸縮氣缸(9 )，伸縮氣缸(9 )的活塞桿與曝光平臺(tái)(4 )連接，所述的曝光室(2 )內(nèi)設(shè)置有一燈光罩(10 )，所述的曝光燈(5)安裝在燈光罩(10)內(nèi)，所述的燈光罩(10 )下方設(shè)置有一風(fēng)機(jī)(12 )，燈光罩(10 )內(nèi)設(shè)置有一溫度傳感器(13)，溫度傳感器(13)與風(fēng)機(jī)(12)電性連接，所述的曝光室(2)的側(cè)壁上開設(shè)有柵格板(14)，柵格板(14)上端的水平高度低于燈光罩(10)上端的水平高度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，其特征在于:所述的曝光室(2 )上方設(shè)置有一控制室(11)，控制室(11)內(nèi)的控制元件控制伸縮氣缸(9 )。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，其特征在于:所述的擋光膜(8)為黑色擋光膜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，其特征在于:所述的燈光罩(10)上方開口且其截面為弧形。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，其特征在于:所述的曝光燈(5)為多個(gè)，且并排的的設(shè)置在燈光罩(10)內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種節(jié)約能耗的大臺(tái)面曝光機(jī)，它包括放板臺(tái)（1）、曝光室（2）、輸送導(dǎo)軌（3）、曝光平臺(tái)（4）和曝光燈（5），曝光平臺(tái)（4）包括透光平臺(tái)座（6）和翻轉(zhuǎn)蓋（7），翻轉(zhuǎn)蓋（7）安裝在透光平臺(tái)座（6）上，翻轉(zhuǎn)蓋（7）內(nèi)設(shè)置有層擋光膜（8），曝光室（2）內(nèi)水平設(shè)置有伸縮氣缸（9），伸縮氣缸（9）的活塞桿與曝光平臺(tái)（4）連接，曝光室（2）內(nèi)設(shè)置有燈光罩（10），曝光燈（5）安裝在燈光罩（10）內(nèi)，燈光罩（10）下方設(shè)置有風(fēng)機(jī)（12），燈光罩（10）內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器（13），溫度傳感器（13）與風(fēng)機(jī)（12）電性連接。本實(shí)用新型的有益效果是：它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適用于大尺寸電路板曝光和曝光效果好的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號(hào)】CN204989747
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520360221
【發(fā)明人】陳勝燕, 莫軍
【申請(qǐng)人】遂寧威士凱科技有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年5月29日