一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻投影物鏡是光刻機(jī)的核心部件，印刷線路板激光直寫(xiě)曝光成像設(shè)備一般配置多個(gè)光頭，每個(gè)光頭需要調(diào)節(jié)單個(gè)DMD的場(chǎng)內(nèi)拼接，場(chǎng)內(nèi)拼接需要調(diào)節(jié)物鏡倍率和DMD的傾斜角度。目前光刻物鏡多為遠(yuǎn)心物鏡，需要將遠(yuǎn)心度控制到一定指標(biāo)內(nèi)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便的具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:
[0005]一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，從物面開(kāi)始，沿光軸依次包括具有正焦距的第一透鏡組、光闌、具有負(fù)焦距的第二透鏡組、具有正焦距的單片倍率調(diào)節(jié)透鏡和曝光焦面；
[0006]所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間滿足以下關(guān)系:
[0007]0.8 ^ d/f ^ 1.2
[0008]其中，d表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間的距離，f表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡的焦距，f彡200mm。
[0009]所述的具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，所述物面為DMD微鏡。
[0010]由上述技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，易于實(shí)現(xiàn)，操作便捷，在倍率調(diào)節(jié)的同時(shí)能夠滿足光刻物鏡的畸變、遠(yuǎn)心度等指標(biāo)要求。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的光學(xué)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型。
[0013]如圖1所示，一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，從物面I開(kāi)始，沿光軸2方向，依次設(shè)有第一透鏡組3、光闌4、第二透鏡組5、倍率調(diào)節(jié)透鏡6和曝光焦面7。其中，物面I為DMD微鏡；第一透鏡組3具有正焦距，由若干片透鏡構(gòu)成；第二透鏡組5具有負(fù)焦距，由若干片透鏡構(gòu)成；倍率調(diào)節(jié)透鏡6具有正焦距，為單片透鏡。
[0014]第二透鏡組5與倍率調(diào)節(jié)透鏡6之間的距離d接近倍率調(diào)節(jié)透鏡6的焦距f，f ^ 200mm，具體?兩足以下關(guān)系:
[0015]0.8 彡 d/f 彡 1.2
[0016]不難理解，由于第二透鏡組5由若干片透鏡構(gòu)成，此處的d即為最靠近倍率調(diào)節(jié)透鏡6的那片透鏡與倍率調(diào)節(jié)透鏡6之間的距離。
[0017]第一透鏡組3為物鏡的前透鏡組，第二透鏡組5與倍率調(diào)節(jié)透鏡6 —起構(gòu)成物鏡的后透鏡組，整個(gè)物鏡的倍率由前透鏡組的焦距和后透鏡組的焦距確定。本實(shí)用新型通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)械螺紋旋轉(zhuǎn)即可以調(diào)節(jié)倍率，即沿光軸方向前后移動(dòng)(倍率調(diào)節(jié)透鏡6可以前后移動(dòng)+/_1_)，倍率調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便。
[0018]以上所述實(shí)施方式僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的權(quán)利要求書(shū)確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，其特征在于:從物面開(kāi)始，沿光軸依次包括具有正焦距的第一透鏡組、光闌、具有負(fù)焦距的第二透鏡組、具有正焦距的單片倍率調(diào)節(jié)透鏡和曝光焦面； 所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間滿足以下關(guān)系:0.8 彡 d/f 彡 1.2 其中，d表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間的距離，f表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡的焦距，f彡200_。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，其特征在于:所述物面為DMD微鏡。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，從物面開(kāi)始，沿光軸依次包括具有正焦距的第一透鏡組、光闌、具有負(fù)焦距的第二透鏡組、具有正焦距的單片倍率調(diào)節(jié)透鏡和曝光焦面；所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間滿足以下關(guān)系：0.8≤d/f≤1.2；其中，d表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間的距離，f表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡的焦距，f≥200mm。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，易于實(shí)現(xiàn)，操作便捷，在倍率調(diào)節(jié)的同時(shí)能夠滿足光刻物鏡的畸變、遠(yuǎn)心度等指標(biāo)要求。
【IPC分類(lèi)】G02B13/22, G03F7/20
【公開(kāi)號(hào)】CN204945619
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520693103
【發(fā)明人】曹常瑜
【申請(qǐng)人】合肥芯碁微電子裝備有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年9月9日