一種光電?壓電?靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光電?壓電?靜電復(fù)合驅(qū)動微鏡微調(diào)節(jié)裝置，其中X、Y方向位移微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是由光電?壓電復(fù)合驅(qū)動。光電陶瓷在紫外光源照射下產(chǎn)生光生電壓，通過導(dǎo)線將電荷導(dǎo)引到層合在固支梁兩端的壓電薄膜電極上，壓電薄膜輸出力在固支梁兩端轉(zhuǎn)化為彎矩使固支梁中心撓度發(fā)生變化，通過柔性鉸鏈推動位移微調(diào)節(jié)平臺沿滾珠導(dǎo)軌平移。旋轉(zhuǎn)軸沿X、Y方向俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是由光電?靜電復(fù)合驅(qū)動，光電陶瓷在紫外光源的照射下產(chǎn)生電壓，通過導(dǎo)線將電荷引入到俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過靜電吸附實(shí)現(xiàn)反射鏡俯仰偏轉(zhuǎn)。本發(fā)明的光電?壓電?靜電復(fù)合驅(qū)動微鏡微調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)簡單緊湊，可以多自由度調(diào)節(jié)并且具備非接觸式控制、響應(yīng)速度快、避免電磁干擾等特點(diǎn)。
【專利說明】
一種光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種微鏡微調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置，特別是一種光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]微鏡被廣泛應(yīng)用于光學(xué)儀器、光存儲器、投影儀和掃描儀等設(shè)備中。近年來，通過對微鏡配備不同功能的驅(qū)動裝置，可以實(shí)現(xiàn)對入射光強(qiáng)度和相位的調(diào)制以及光路的選通，使得微鏡具有光開關(guān)、自適應(yīng)光學(xué)校正等功能。傳統(tǒng)的微鏡調(diào)節(jié)裝置采用精密絲桿副及滾動導(dǎo)軌、精密螺旋楔塊機(jī)構(gòu)、蝸輪-蝸桿機(jī)構(gòu)、齒輪-杠桿式機(jī)構(gòu)等機(jī)械傳動式驅(qū)動，由于機(jī)械摩擦、間隙、爬行等原因，很難一次性定位成功，往往需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)。對于壓電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動和靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，需要導(dǎo)線連接，易受到電磁噪聲干擾。對于真空或者特定操作環(huán)境下，我們無法直接操作控制，需要一種非接觸式控制裝置。
[0003]本課題組之前申報(bào)的專利號為201310442565.0的發(fā)明專利公開了一種光電陶瓷驅(qū)動的微鏡微調(diào)裝置，該裝置利用光電陶瓷的光致形變效應(yīng)驅(qū)動微鏡進(jìn)行微調(diào)節(jié)，可以直接將光能轉(zhuǎn)化機(jī)械能，驅(qū)動微鏡平移和旋轉(zhuǎn)，使結(jié)構(gòu)更加緊湊，但是該裝置在響應(yīng)速度方面有待進(jìn)一步提尚。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置。
[0005]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)解決方案為:一種光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，包括粗動臺、Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一、光電陶瓷、Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)、Y方向柔性鉸鏈、Y方向光電陶瓷、Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二、Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺、X方向壓電薄膜驅(qū)動器一、X方向柔性鉸鏈、X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)、X方向光電陶瓷一、X方向滾珠導(dǎo)軌、X方向壓電薄膜驅(qū)動器二、X方向光電陶瓷二、Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)、X方向位移微調(diào)節(jié)平臺；
[0006]粗動臺上設(shè)置Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)，該Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端固連在粗動臺上表面，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的一側(cè)層合Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的另一側(cè)固連Y方向柔性鉸鏈，光電陶瓷和Y方向光電陶瓷均位于粗動臺上，其中光電陶瓷和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一相串聯(lián)，Y方向光電陶瓷和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二相串聯(lián)，粗動臺上設(shè)置Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，該滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括兩條相互平行的導(dǎo)軌，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺位于Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上并與Y方向柔性鉸鏈的另一端固連，該Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺在Y方向柔性鉸鏈的驅(qū)動下沿Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)平移；
[0007]Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺上設(shè)置X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)，該X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端固連在Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺的上表面，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的一側(cè)層合X方向壓電薄膜驅(qū)動器一和X方向壓電薄膜驅(qū)動器二，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的另一側(cè)固連X方向柔性鉸鏈，設(shè)置在粗動臺上的X方向光電陶瓷一和X方向光電陶瓷二分別與X方向壓電薄膜驅(qū)動器一、x方向壓電薄膜驅(qū)動器二串聯(lián)，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺上設(shè)置兩條相互平行的X方向滾珠導(dǎo)軌，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺位于X方向滾珠導(dǎo)軌上，該X方向位移微調(diào)節(jié)平臺與X方向柔性鉸鏈的另一端固連，并且在X方向柔性鉸鏈的驅(qū)動下沿X方向滾珠導(dǎo)軌平移，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺上裝有兩個微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
[0008]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn)為:I)本發(fā)明的光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置利用光電陶瓷的光生電壓效應(yīng)以及壓電薄膜的逆壓電效應(yīng)，使光能直接轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，取消了中間機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，使結(jié)構(gòu)簡單緊湊;2)本發(fā)明的裝置的驅(qū)動源為紫外光，可實(shí)現(xiàn)光控非接觸式驅(qū)動，避免了電磁噪聲干擾，適用于各種介質(zhì)環(huán)境工作;3)本發(fā)明利用的光電陶瓷的光生電壓效應(yīng)相比于光致伸縮效應(yīng)，響應(yīng)速度更快。
[0009]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
【附圖說明】
[0010]圖1為光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動微鏡微調(diào)節(jié)裝置立體圖。
[0011 ]圖2為光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動微鏡微調(diào)節(jié)裝置平面示意圖。
[0012]圖3為滾動導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4為光照前光電-壓電復(fù)合驅(qū)動微位移調(diào)節(jié)裝置示意圖。
[0014]圖5為光照后光電-壓電復(fù)合驅(qū)動微位移調(diào)節(jié)裝置示意圖。
[0015]圖6為俯仰機(jī)構(gòu)光電-靜電復(fù)合驅(qū)動裝置示意圖。
[0016]圖中標(biāo)號所代表的含義為:1.粗動臺、2.Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一、3.方向光電陶瓷一、4.Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)、5.Y方向柔性鉸鏈、6.Y方向光電陶瓷二、7.Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二、8.Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺、9.X方向壓電薄膜區(qū)動器一、1.X方向柔性鉸鏈、11.X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)、12.X方向光電陶瓷一，13.X方向滾珠導(dǎo)軌、14.X方向壓電薄膜二、15.X方向光電陶瓷二、16.Y方向滾珠導(dǎo)軌、17.X方向位移微調(diào)節(jié)平臺、18.旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一、19.旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡、20.旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二、21.旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二、22.旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷、23.旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡、24.旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一、25.旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷。
【具體實(shí)施方式】
[0017]結(jié)合圖1，本發(fā)明的一種光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，包括粗動臺1、Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一 2、光電陶瓷3、Υ方向固支梁放大機(jī)構(gòu)4、Υ方向柔性鉸鏈5、Υ方向光電陶瓷6、Υ方向壓電薄膜驅(qū)動器二 7、Υ方向位移微調(diào)節(jié)平臺8、Χ方向壓電薄膜驅(qū)動器一 9、Χ方向柔性鉸鏈10、Χ方向固支梁放大機(jī)構(gòu)114方向光電陶瓷一124方向滾珠導(dǎo)軌134方向壓電薄膜驅(qū)動器二 14、Χ方向光電陶瓷二 15、Υ方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)16、Χ方向位移微調(diào)節(jié)平臺17;
[0018]粗動臺I上設(shè)置Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)4，該Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端固連在粗動臺I上表面，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)4的一側(cè)層合Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一 2和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二 7，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)4的兩端，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)4的另一側(cè)固連Y方向柔性鉸鏈5，光電陶瓷3和Y方向光電陶瓷6均位于粗動臺I上，其中光電陶瓷3和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一 2相串聯(lián)，Y方向光電陶瓷6和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二 7相串聯(lián)，粗動臺I上設(shè)置Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)16，該滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括兩條相互平行的導(dǎo)軌，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺8位于Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)16上并與Y方向柔性鉸鏈5的另一端固連，該Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺8在Y方向柔性鉸鏈5的驅(qū)動下沿Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)16平移；
[0019]Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺8上設(shè)置X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)11，該X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)11的兩端固連在Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺8的上表面，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)11的一側(cè)層合X方向壓電薄膜驅(qū)動器一 9和X方向壓電薄膜驅(qū)動器二 14，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)11的兩端，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)11的另一側(cè)固連X方向柔性鉸鏈10，設(shè)置在粗動臺I上的X方向光電陶瓷一 12和X方向光電陶瓷二 15分別與X方向壓電薄膜驅(qū)動器一 9、X方向壓電薄膜驅(qū)動器二 14串聯(lián)，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺8上設(shè)置兩條相互平行的X方向滾珠導(dǎo)軌13，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺17位于X方向滾珠導(dǎo)軌13上，該X方向位移微調(diào)節(jié)平臺17與X方向柔性鉸鏈10的另一端固連，并且在X方向柔性鉸鏈10的驅(qū)動下沿X方向滾珠導(dǎo)軌13平移，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺17上裝有兩個微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
[0020]所述X方向位移微調(diào)節(jié)平臺17上的兩個微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中，一個俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸是沿X方向，另一個俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸是沿Y方向。
[0021 ]所述旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向的微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 18、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡19、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二21;旋轉(zhuǎn)軸沿X方向的微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 20、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡23、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 24;
[0022]旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷22、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷25均設(shè)置在粗動臺I上，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷22的一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二21、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡19相連，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷22的另一端與旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 18相連；
[0023]旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷25的一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡23、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 24相連，旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷25的另一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 20相連。
[0024]下面進(jìn)行更詳細(xì)的描述:
[0025]結(jié)合圖1、圖2，本發(fā)明的一種光電陶瓷驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，適用于微鏡的非接觸式遠(yuǎn)程光控領(lǐng)域，尤其適用于易受電磁干擾的微鏡微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。該裝置包括粗動臺、Y方向位移微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、X方向位移微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向的俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向的俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、線性滾珠導(dǎo)軌。粗動臺^方向位移微調(diào)節(jié)平臺和X方向位移微調(diào)節(jié)平臺通過滾動導(dǎo)軌相互疊加在一起。旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向的俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)均位于X方向位移微調(diào)節(jié)平臺上。
[0026]Y方向位移微調(diào)節(jié)光電陶瓷3和6，X方向位移微調(diào)節(jié)光電陶瓷12和15，俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)光電陶瓷22和25均布置在粗動臺I上，光源照射方向不需要隨著X、Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺的變化而改變。
[0027]結(jié)合圖2、圖3、圖4和圖5，Y方向位移微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和X方向位移微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是通過光電-壓電復(fù)合驅(qū)動。Y方向光電陶瓷3和6，在紫外光源的照射下產(chǎn)生光生電壓，并通過導(dǎo)線將電荷引入到層合在Y方向固支梁4兩端的壓電薄膜驅(qū)動器2和7的正負(fù)電極上，由于逆壓電效應(yīng)，壓電薄膜產(chǎn)生的薄膜力使固支梁4的中心撓度發(fā)生改變，并將壓電薄膜產(chǎn)生的應(yīng)變放大，通過柔性鉸鏈5推動Y方向位移調(diào)整平臺8沿滾珠導(dǎo)軌16平移。
[0028]同理，X方向光電陶瓷12和15，在紫外光源照射下產(chǎn)生光生電壓，并通過導(dǎo)線將電荷引入到層合在X方向固支梁11兩端的壓電薄膜驅(qū)動器9和14的正負(fù)電極上，由于逆壓電效應(yīng)，壓電薄膜產(chǎn)生的薄膜力使固支梁11的中心撓度發(fā)生改變，并將壓電薄膜產(chǎn)生的應(yīng)變放大，通過X方向柔性鉸鏈1推動X方向位移調(diào)整平臺17沿滾珠導(dǎo)軌13平移。
[0029]結(jié)合圖6，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)光電陶瓷22，在紫外光源照射下產(chǎn)生光生電壓，并通過導(dǎo)線將電荷引入到旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極18和21以及反射鏡19上，其中電極21和反射鏡19帶同種電荷，電極18和反射鏡19帶異種電荷。在靜電吸附的作用下，實(shí)現(xiàn)反射鏡19的俯仰調(diào)節(jié)。
[0030]同理，旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)光電陶瓷25，在紫外光源照射下產(chǎn)生光生電壓，并通過導(dǎo)線將電荷引入到旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極20和24以及反射鏡23上，其中電極24和反射鏡23帶同種電荷，電極20和反射鏡23帶異種電荷。在靜電吸附的作用下，實(shí)現(xiàn)反射鏡23的俯仰調(diào)節(jié)。
[0031]由上可知，本發(fā)明的光電-壓電-靜電復(fù)合驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置利用光電陶瓷的光生電壓效應(yīng)以及壓電薄膜的逆壓電效應(yīng)，使光能直接轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，取消了中間機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，使結(jié)構(gòu)簡單緊湊;本發(fā)明的裝置的驅(qū)動源為紫外光，可實(shí)現(xiàn)光控非接觸式驅(qū)動，避免了電磁噪聲干擾，適用于各種介質(zhì)環(huán)境工作。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括粗動臺[1]、Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一[2]、光電陶瓷[3]、Υ方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[4]、Υ方向柔性鉸鏈[5]、Υ方向光電陶瓷[6]、Υ方向壓電薄膜驅(qū)動器二[7]、Υ方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]、Χ方向壓電薄膜驅(qū)動器一[9]、Χ方向柔性鉸鏈[10]、Χ方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11]、Χ方向光電陶瓷一[12]、Χ方向滾珠導(dǎo)軌[13]、Χ方向壓電薄膜驅(qū)動器二[14]、Χ方向光電陶瓷二[15]、Υ方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)[16]、X方向位移微調(diào)節(jié)平臺[17]; 粗動臺[I]上設(shè)置Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[4]，該Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)的兩端固連在粗動臺[I]上表面，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[4]的一側(cè)層合Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一 [2]和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二 [7]，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[4]的兩端，Y方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[4]的另一側(cè)固連Y方向柔性鉸鏈[5]，光電陶瓷[3]和Y方向光電陶瓷[6]均位于粗動臺[I]上，其中光電陶瓷[3]和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器一 [2]相串聯(lián)，Y方向光電陶瓷[6]和Y方向壓電薄膜驅(qū)動器二 [7]相串聯(lián)，粗動臺[I]上設(shè)置Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)[16]，該滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括兩條相互平行的導(dǎo)軌，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]位于Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)[16]上并與Y方向柔性鉸鏈[5]的另一端固連，該Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]在Y方向柔性鉸鏈[5]的驅(qū)動下沿Y方向滾珠導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)[16]平移； Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]上設(shè)置X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11]，該X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11]的兩端固連在Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]的上表面，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11]的一側(cè)層合X方向壓電薄膜驅(qū)動器一 [9]和X方向壓電薄膜驅(qū)動器二 [14]，該兩個壓電薄膜驅(qū)動器位于X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11 ]的兩端，X方向固支梁放大機(jī)構(gòu)[11 ]的另一側(cè)固連X方向柔性鉸鏈[10]，設(shè)置在粗動臺[I]上的X方向光電陶瓷一 [12]和X方向光電陶瓷二 [15]分別與X方向壓電薄膜驅(qū)動器一[9]、Χ方向壓電薄膜驅(qū)動器二[14]串聯(lián)，Y方向位移微調(diào)節(jié)平臺[8]上設(shè)置兩條相互平行的X方向滾珠導(dǎo)軌[13]，Χ方向位移微調(diào)節(jié)平臺[17]位于X方向滾珠導(dǎo)軌[13]上，該X方向位移微調(diào)節(jié)平臺[17]與X方向柔性鉸鏈[10]的另一端固連，并且在X方向柔性鉸鏈[10]的驅(qū)動下沿X方向滾珠導(dǎo)軌[13]平移，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺[17]上裝有兩個微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，X方向位移微調(diào)節(jié)平臺[17]上的兩個微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中，一個俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸是沿X方向，另一個俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸是沿Y方向。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光電-壓電-靜電驅(qū)動的微鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向的微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 [18]、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡[19]、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 [21 ];旋轉(zhuǎn)軸沿X方向的微鏡俯仰調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 [20 ]、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡[23 ]、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 [ 24]; 旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[22]、旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[25]均設(shè)置在粗動臺[I ]上，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[22]的一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 [21 ]、旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡[19]相連，旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[22]的另一端與旋轉(zhuǎn)軸沿Y方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 [18]相連； 旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[25 ]的一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)反射鏡[23],旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極二 [ 24 ]相連，旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)光電陶瓷[25 ]的另一端電極與旋轉(zhuǎn)軸沿X方向俯仰機(jī)構(gòu)電極一 [20]相連。
【文檔編號】G02B26/08GK106066536SQ201610489977
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年6月28日 公開號201610489977.3, CN 106066536 A, CN 106066536A, CN 201610489977, CN-A-106066536, CN106066536 A, CN106066536A, CN201610489977, CN201610489977.3
【發(fā)明人】陸飛, 王新杰, 劉亞風(fēng)
【申請人】南京理工大學(xué)