本發(fā)明涉及激光加工相關(guān)，尤其涉及一種高速旋光模組。

背景技術(shù)：

1、隨著工業(yè)技術(shù)的高速發(fā)展，高準(zhǔn)確度微小孔應(yīng)用在各行業(yè)中，其發(fā)展趨勢是孔徑小、深度大、準(zhǔn)確度高、應(yīng)用材料廣泛(如高強度、高硬度、高韌性、高熔點的金屬、陶瓷、玻璃、高分子材料、晶體等物質(zhì))。傳統(tǒng)的微孔加工技術(shù)主要包括機械加工、電火花、化學(xué)腐蝕、超聲波打孔等技術(shù)，這些技術(shù)各有特點，但已經(jīng)無法滿足更高的微孔加工需求。比如，機械加工對高硬度、高脆性的材料效率很低，很難加工小于0.2mm的孔；電火花只能加工金屬材料。激光打孔具有效率高、極限孔徑小、準(zhǔn)確度高、成本低、幾乎無材料選擇性等優(yōu)點，現(xiàn)已成為微孔加工的主流技術(shù)之一。

2、當(dāng)前激光鉆孔最常用的加工方式為振鏡掃描，可逐層環(huán)切掃描或螺旋掃描，但振鏡掃描的不足之處是無法避免錐度。在制孔過程中，由于聚焦激光光束的發(fā)散和多次反射現(xiàn)象，材料燒蝕速率會隨著制孔深度的增加急劇下降。因此，在較厚材料上制備較大深徑比的微孔更有難度。

3、有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計人積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種高速旋光模組，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述其中任一技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是提供一種高速旋光模組。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

3、一種高速旋光模組，包括基板以及安裝在基板上的轉(zhuǎn)鏡組件；

4、在轉(zhuǎn)鏡組件右側(cè)的基板上通過電機固定板安裝有伺服電機，轉(zhuǎn)鏡組件包括旋轉(zhuǎn)軸、第一鏡片固定塊和第二鏡片固定塊；

5、伺服電機前端的驅(qū)動端依次通過第一同步輪和同步帶與安裝在旋轉(zhuǎn)軸前端的第二同步輪相連接，旋轉(zhuǎn)軸的后端與第一鏡片固定塊的前端相連接，在第一鏡片固定塊的后端內(nèi)側(cè)安裝有第一鏡片，在第一鏡片固定塊的后端安裝有中間塊，第二鏡片固定塊的前端轉(zhuǎn)動安裝在中間塊的后端，在第二鏡片固定塊的后端內(nèi)側(cè)安裝有第二鏡片。

6、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，在基板的底部安裝有減震板。

7、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，減震板為優(yōu)力膠塊。

8、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，第二同步輪位于兩個軸承座之間，兩個軸承座均安裝在基板上，旋轉(zhuǎn)軸沿著前后方向的兩側(cè)分別通過第一軸承安裝在兩個軸承座上。

9、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，在第二同步輪與兩個軸承座之間的旋轉(zhuǎn)軸上均安裝有間隔環(huán)。

10、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，第一鏡片固定塊的前端通過螺母鎖固塊安裝在旋轉(zhuǎn)軸上。

11、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，第二鏡片固定塊通過至少一個第二軸承安裝在中間塊上。

12、作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，第二軸承通過鎖緊圈安裝在中間塊上。

13、借由上述方案，本發(fā)明至少具有以下優(yōu)點：

14、本發(fā)明相比于傳統(tǒng)的加工方式，能加工更多的半導(dǎo)體行業(yè)材料，比如高強度金屬、玻璃、陶瓷、晶體以及一些高脆性材料，更容易加工高精度微孔、錐形孔等。

15、本發(fā)明加工效率更高，ng率更低。

16、上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

技術(shù)特征：

1.一種高速旋光模組，包括基板(1)以及安裝在所述基板(1)上的轉(zhuǎn)鏡組件(10)；其特征在于：

2.如權(quán)利要求1所述的一種高速旋光模組，其特征在于，在所述基板(1)的底部安裝有減震板(2)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種高速旋光模組，其特征在于，所述減震板(2)為優(yōu)力膠塊。

4.如權(quán)利要求1所述的一種高速旋光模組，其特征在于，所述第二同步輪(8)位于兩個軸承座(7)之間，兩個所述軸承座(7)均安裝在基板(1)上，所述旋轉(zhuǎn)軸(9)沿著前后方向的兩側(cè)分別通過第一軸承(11)安裝在兩個軸承座(7)上。

5.如權(quán)利要求4所述的一種高速旋光模組，其特征在于，在所述第二同步輪(8)與兩個軸承座(7)之間的旋轉(zhuǎn)軸(9)上均安裝有間隔環(huán)(12)。

6.如權(quán)利要求1所述的一種高速旋光模組，其特征在于，所述第一鏡片固定塊(14)的前端通過螺母鎖固塊(13)安裝在旋轉(zhuǎn)軸(9)上。

7.如權(quán)利要求1所述的一種高速旋光模組，其特征在于，所述第二鏡片固定塊(16)通過至少一個第二軸承(19)安裝在中間塊(15)上。

8.如權(quán)利要求7所述的一種高速旋光模組，其特征在于，所述第二軸承(19)通過鎖緊圈(20)安裝在中間塊(15)上。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種高速旋光模組，包括基板以及安裝在基板上的轉(zhuǎn)鏡組件；伺服電機前端的驅(qū)動端依次通過第一同步輪和同步帶與安裝在旋轉(zhuǎn)軸前端的第二同步輪相連接，在第一鏡片固定塊的后端內(nèi)側(cè)安裝有第一鏡片，在第一鏡片固定塊的后端安裝有中間塊，在第二鏡片固定塊的后端內(nèi)側(cè)安裝有第二鏡片。本發(fā)明相比于傳統(tǒng)的加工方式，能加工更多的半導(dǎo)體行業(yè)材料，比如高強度金屬、玻璃、陶瓷、晶體以及一些高脆性材料，更容易加工高精度微孔、錐形孔等。

技術(shù)研發(fā)人員：趙裕興,丁雪健,馮唐忠
受保護的技術(shù)使用者：蘇州德龍激光股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9