本發(fā)明涉及光刻機(jī)，尤其涉及直寫(xiě)成像式曝光裝置。

背景技術(shù)：

1、激光直接成像(ldi)曝光機(jī)是一種用于制造印刷電路板的設(shè)備，使用激光光束將電路圖案投射到光敏材料上，從而形成電路板的圖案。ldi曝光機(jī)具有高精度、高速度和高效率的特點(diǎn)，可以大大提高電路板制造的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。由于光刻機(jī)自身焦深有限，對(duì)印刷電路板的平整度要求較高。

2、印刷電路板通過(guò)真空吸盤(pán)吸附進(jìn)行固定，由于吸盤(pán)吸力、印刷電路板自身材質(zhì)及包裝方式等多個(gè)因素的影響，印刷電路板容易產(chǎn)生彎曲、邊緣翹起等問(wèn)題，影響曝光成像的效果?，F(xiàn)有的部分曝光機(jī)設(shè)置壓板條固定壓接在印刷電路板的四周邊緣，壓板條無(wú)法深入觸及印刷電路板中間區(qū)域的彎曲；部分曝光機(jī)移動(dòng)壓板條將印刷電路板壓平之后再進(jìn)行曝光，增加了曝光工藝的流程時(shí)長(zhǎng)，影響生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供直寫(xiě)成像式曝光裝置，能夠解決現(xiàn)有的固定式壓板條無(wú)法深入觸及印刷電路板中間區(qū)域的彎曲，以及先壓平后曝光增加了曝光工藝的流程時(shí)長(zhǎng)而影響生產(chǎn)效率的問(wèn)題。

2、為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、提供直寫(xiě)成像式曝光裝置，包括曝光組件和對(duì)準(zhǔn)組件，所述曝光組件沿豎直方向的投影形成曝光區(qū)域，所述直寫(xiě)成像式曝光裝置還包括：

4、工作臺(tái)組件，包括基座和固定連接于所述基座的龍門(mén)機(jī)構(gòu)，所述曝光組件和所述對(duì)準(zhǔn)組件均設(shè)置于所述龍門(mén)機(jī)構(gòu)；

5、運(yùn)動(dòng)臺(tái)組件，設(shè)置于所述基座上，所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)組件包括運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和吸盤(pán)機(jī)構(gòu)，所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)活動(dòng)連接于所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)用于吸附曝光板，所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)通訊連接于所述對(duì)準(zhǔn)組件，所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)被設(shè)置為驅(qū)動(dòng)所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向和/或第二方向移動(dòng)，以使所述曝光組件對(duì)準(zhǔn)所述曝光板；

6、壓平組件，連接于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)，所述壓平組件包括第一壓板件和壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一壓板件可活動(dòng)地連接于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)，且壓接于所述曝光板的上表面，所述第一壓板件的長(zhǎng)度沿第二方向延伸且位于所述曝光區(qū)域的后側(cè)；

7、其中，在曝光過(guò)程中，當(dāng)所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向移動(dòng)以通過(guò)所述曝光區(qū)域時(shí)，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件相對(duì)于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)相向運(yùn)動(dòng)并展壓所述曝光板，所述第一壓板件始終位于所述曝光區(qū)域的后側(cè)，第一方向、第二方向和豎直方向兩兩互相垂直。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括均設(shè)置于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)的第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件沿第一方向移動(dòng)以到達(dá)展壓所述曝光板的位置，所述第二驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件沿豎直方向往復(fù)移動(dòng)以抵接或者遠(yuǎn)離所述曝光板。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件，所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件一端連接于所述第一驅(qū)動(dòng)件的輸出端，另一端連接于所述第一壓板件，所述第二驅(qū)動(dòng)件設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件上，并隨所述第一壓板件同步移動(dòng)；

10、其中，所述第一壓板件和所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件通過(guò)連接機(jī)構(gòu)活動(dòng)連接，所述連接機(jī)構(gòu)被設(shè)置為限制所述第一壓板件和所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件之間沿第一方向相對(duì)移動(dòng)，且不限制所述第一壓板件和所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件之間沿豎直方向相對(duì)移動(dòng)。

11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接機(jī)構(gòu)包括滑槽和可沿豎直方向活動(dòng)地插裝于所述滑槽內(nèi)的導(dǎo)向件，所述第一壓板件和所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件兩者中的其一設(shè)置有所述滑槽，另一設(shè)置有所述導(dǎo)向件。

12、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一驅(qū)動(dòng)件包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)和沿第一方向延伸的絲桿，所述絲桿連接于所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電機(jī)軸，所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件螺紋連接于所述絲桿以沿所述絲桿軸向移動(dòng)；和/或，

13、所述壓平組件還包括導(dǎo)軌件，所述導(dǎo)軌件沿第一方向延伸，所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件可滑動(dòng)地連接于所述導(dǎo)軌件。

14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括彈性緩沖件，所述彈性緩沖件的一端連接于所述第二驅(qū)動(dòng)件的輸出端，另一端連接于所述第一壓板件，所述彈性緩沖件被設(shè)置為向所述第一壓板件施加彈性力以使所述第一壓板件始終具有朝向遠(yuǎn)離所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)方向運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一壓板件為輥筒，所述輥筒可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

16、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述壓平組件還包括滾筒軸承，所述滾筒軸承連接于所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述輥筒套裝于所述滾筒軸承的外側(cè)；和/或，

17、所述輥筒為防粘輥筒。

18、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述壓平組件還包括第二壓板件，所述第二壓板件和所述第一壓板件相互平行，且所述第二壓板件位于所述曝光區(qū)域的前側(cè)；和/或，

19、所述壓平組件包括兩組所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，兩組所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別位于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，兩組所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別連接于所述第一壓板件的兩端，以同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件運(yùn)動(dòng)。

20、本發(fā)明的有益效果：

21、本發(fā)明所提供的直寫(xiě)成像式曝光裝置，在曝光過(guò)程中，龍門(mén)機(jī)構(gòu)保持靜止，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向移動(dòng)以通過(guò)曝光區(qū)域，吸盤(pán)機(jī)構(gòu)的整個(gè)面積依次通過(guò)曝光區(qū)域，從而完成曝光。上述過(guò)程中，吸盤(pán)機(jī)構(gòu)由曝光起始位開(kāi)始運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過(guò)曝光中間位，并于曝光結(jié)束位停止移動(dòng)。在吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向移動(dòng)的同時(shí)，壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)第一壓板件相對(duì)于吸盤(pán)機(jī)構(gòu)相向運(yùn)動(dòng)并展壓曝光板，隨著第一壓板件相對(duì)于吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，第一壓板件能夠在曝光板的上表面移動(dòng)并進(jìn)行展壓，減少曝光板的彎曲，保持曝光板的平整度。而且，這種相向運(yùn)動(dòng)使得第一壓板件能夠始終位于曝光區(qū)域的后側(cè)。吸盤(pán)機(jī)構(gòu)隨運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿直線運(yùn)動(dòng)，第一壓板件和吸盤(pán)機(jī)構(gòu)相向運(yùn)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)的即是第一壓板件相對(duì)于龍門(mén)機(jī)構(gòu)保持靜止，從而始終位于曝光區(qū)域的后側(cè)，保證在曝光過(guò)程中，曝光板上待曝光的區(qū)域首先經(jīng)過(guò)第一壓板件的平整動(dòng)作，然后再進(jìn)入曝光區(qū)域，實(shí)現(xiàn)了曝光和壓平的同時(shí)進(jìn)行，避免增加曝光工藝的流程時(shí)長(zhǎng)，提高生產(chǎn)效率。而且，第一壓板件不會(huì)擋住曝光區(qū)域，曝光板能夠?qū)崿F(xiàn)全板曝光。

技術(shù)特征：

1.直寫(xiě)成像式曝光裝置，包括曝光組件(100)和對(duì)準(zhǔn)組件，所述曝光組件(100)沿豎直方向的投影形成曝光區(qū)域(101)，其特征在于，所述直寫(xiě)成像式曝光裝置還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)包括均設(shè)置于所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)(22)的第一驅(qū)動(dòng)件(321)和第二驅(qū)動(dòng)件(322)，所述第一驅(qū)動(dòng)件(321)用于驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件(31)沿第一方向移動(dòng)以到達(dá)展壓所述曝光板的位置，所述第二驅(qū)動(dòng)件(322)用于驅(qū)動(dòng)所述第一壓板件(31)沿豎直方向往復(fù)移動(dòng)以抵接或者遠(yuǎn)離所述曝光板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)還包括轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件(323)，所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件(323)一端連接于所述第一驅(qū)動(dòng)件(321)的輸出端，另一端連接于所述第一壓板件(31)，所述第二驅(qū)動(dòng)件(322)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件(323)上，并隨所述第一壓板件(31)同步移動(dòng)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述連接機(jī)構(gòu)(33)包括滑槽(331)和可沿豎直方向活動(dòng)地插裝于所述滑槽(331)內(nèi)的導(dǎo)向件(332)，所述第一壓板件(31)和所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件(323)兩者中的其一設(shè)置有所述滑槽(331)，另一設(shè)置有所述導(dǎo)向件(332)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件(321)包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(3211)和沿第一方向延伸的絲桿(3212)，所述絲桿(3212)連接于所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(3211)的電機(jī)軸，所述轉(zhuǎn)接驅(qū)動(dòng)件(323)螺紋連接于所述絲桿(3212)以沿所述絲桿(3212)軸向移動(dòng)；和/或，

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)還包括彈性緩沖件(324)，所述彈性緩沖件(324)的一端連接于所述第二驅(qū)動(dòng)件(322)的輸出端，另一端連接于所述第一壓板件(31)，所述彈性緩沖件(324)被設(shè)置為向所述第一壓板件(31)施加彈性力以使所述第一壓板件(31)始終具有朝向遠(yuǎn)離所述吸盤(pán)機(jī)構(gòu)(22)方向運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述第一壓板件(31)為輥筒，所述輥筒可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓平組件(3)還包括滾筒軸承(35)，所述滾筒軸承(35)連接于所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)，所述輥筒套裝于所述滾筒軸承(35)的外側(cè)；和/或，

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓平組件(3)還包括第二壓板件(36)，所述第二壓板件(36)和所述第一壓板件(31)相互平行，且所述第二壓板件(36)位于所述曝光區(qū)域(101)的前側(cè)；和/或，

10.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的直寫(xiě)成像式曝光裝置，其特征在于，所述壓平組件(3)還包括第二壓板件(36)，所述第二壓板件(36)和所述第一壓板件(31)相互平行，且所述第二壓板件(36)位于所述曝光區(qū)域(101)的前側(cè)，所述第一壓板件(31)和所述第二壓板件(36)均為輥筒，所述輥筒可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(32)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了直寫(xiě)成像式曝光裝置，直寫(xiě)成像式曝光裝置的工作臺(tái)組件包括基座和固定連接于基座的龍門(mén)機(jī)構(gòu)；運(yùn)動(dòng)臺(tái)組件設(shè)于基座上，吸盤(pán)機(jī)構(gòu)用于吸附曝光板，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向/或第二方向移動(dòng)以使曝光組件對(duì)準(zhǔn)曝光板；壓平組件連接于吸盤(pán)機(jī)構(gòu)，第一壓板件可活動(dòng)地連接于吸盤(pán)機(jī)構(gòu)且壓接于曝光板，第一壓板件長(zhǎng)度沿第二方向延伸且位于曝光區(qū)域后側(cè)；當(dāng)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)吸盤(pán)機(jī)構(gòu)沿第一方向移動(dòng)以通過(guò)曝光區(qū)域時(shí)，壓板驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)第一壓板件相對(duì)于吸盤(pán)機(jī)構(gòu)相向運(yùn)動(dòng)并展壓曝光板，第一壓板件始終位于曝光區(qū)域的后側(cè)。本發(fā)明通過(guò)上述設(shè)置實(shí)現(xiàn)曝光和壓平同時(shí)進(jìn)行，避免增加曝光工藝的流程時(shí)長(zhǎng)，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：徐廣峰,陳海巍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9