本發(fā)明涉及激光雕刻，具體為一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置。

背景技術(shù)：

1、光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻，一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，光刻的意思是用光來制作一個(gè)圖形，在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)復(fù)制到硅片上的過程。

2、現(xiàn)有的光刻機(jī)雖然實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化上料，但是在上料輸送后需要通過機(jī)械吸盤設(shè)備將工件轉(zhuǎn)移到光刻機(jī)上進(jìn)行加工，這一轉(zhuǎn)移工序包括上料和下料，上料和下料的效率還是不高，并且現(xiàn)有的光刻機(jī)每次只能夠進(jìn)行一次工件的加工，加工后需要在工件完成下料后才能夠繼續(xù)加工，不能夠進(jìn)行連續(xù)加工，從而影響生產(chǎn)效率，同時(shí)光刻機(jī)每次只能夠?qū)ぜM(jìn)行單面加工，全部加工完成后，還需要進(jìn)行翻面進(jìn)行二次加工，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，為此我們提出了一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，包括工作臺(tái)、支撐梁、立柱和控制器，所述支撐梁位于所述工作臺(tái)的頂部，所述立柱固定連接在所述工作臺(tái)的頂部左右兩側(cè)后側(cè)，所述控制器固定連接在所述工作臺(tái)的頂部左側(cè)前側(cè)，所述工作臺(tái)的頂部開有通槽，所述通槽的內(nèi)腔前后側(cè)壁左右兩側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有輔助輥，所述工作臺(tái)的內(nèi)腔左右側(cè)壁前后兩側(cè)之間固定連接有第一軌道，兩個(gè)所述第一軌道的頂部左右兩側(cè)之間固定連接有安裝架，所述安裝架的內(nèi)側(cè)前后側(cè)壁開有升降槽，所述升降槽的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有升降塊，所述升降塊的內(nèi)側(cè)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有張力輥，所述升降塊的頂部和所述升降槽的內(nèi)腔頂部之間固定連接有第一彈簧，所述第一軌道的頂部之間且位于所述安裝架的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有電動(dòng)滑臺(tái)，所述電動(dòng)滑臺(tái)的頂部之間固定連接有連接板，所述連接板的頂部前后兩側(cè)固定連接有支撐柱，所述支撐柱和所述連接板的之間固定連接有加固板，所述支撐柱的內(nèi)側(cè)壁上側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移動(dòng)輥，所述工作臺(tái)的頂部左右兩側(cè)固定連接有機(jī)架，所述機(jī)架的內(nèi)側(cè)壁外側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)輥，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥、所述張力輥和所述移動(dòng)輥的之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有輸送帶，所述機(jī)架的內(nèi)側(cè)壁前后兩側(cè)固定連接有限位桿，所述機(jī)架的前側(cè)壁外側(cè)固定連接有變頻電機(jī)，所述變頻電機(jī)的動(dòng)力輸出軸與所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥的前端固定連接。

3、優(yōu)選的，所述支撐梁固定連接在所述通槽的內(nèi)腔前后側(cè)壁中間處之間，所述支撐梁的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有分度盤，所述支撐梁的底部中間處固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸頂端貫穿所述支撐梁并延伸至所述支撐梁的頂部，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸頂端固定連接在所述分度盤的底部中間處。

4、優(yōu)選的，所述分度盤的前后側(cè)壁和左右側(cè)壁均開有凹槽，所述凹槽的內(nèi)腔固定連接有電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊。

5、優(yōu)選的，所述凹槽的內(nèi)腔且位于所述電動(dòng)推桿的上側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有夾板，所述連接塊的頂部與所述夾板的底部固定連接，所述夾板的外側(cè)壁開有夾槽，所述夾槽的內(nèi)腔固定連接有第二彈簧，所述第二彈簧的末端固定連接有推塊。

6、優(yōu)選的，所述夾板的頂部開有移動(dòng)槽，所述分度盤的頂部固定連接有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的末端固定連接有連接桿，所述連接桿的底端貫穿所述移動(dòng)槽并延伸至所述夾槽的內(nèi)腔，且所述連接桿的底端固定連接在所述推塊的頂部。

7、優(yōu)選的，所述立柱的前側(cè)壁固定連接有第二軌道，所述第二軌道的前側(cè)壁滑動(dòng)連接有移動(dòng)座，所述移動(dòng)座的前側(cè)壁之間固定連接有橫桿。

8、優(yōu)選的，所述橫桿的底部中間處固定連接有立桿，所述立桿的底部固定連接有光刻設(shè)備。

9、優(yōu)選的，所述立柱的內(nèi)側(cè)壁上側(cè)之間固定連接有連接梁，所述連接梁的頂部固定連接有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的動(dòng)力輸出軸底端貫穿所述連接梁并延伸至所述連接梁的頂部，且所述伺服電機(jī)的動(dòng)力輸出軸底端固定連接有螺桿，所述螺桿的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述工作臺(tái)的頂部，所述螺桿的外側(cè)壁螺接有螺塊，所述螺塊的前側(cè)壁與所述橫桿的后側(cè)壁固定連接。

10、優(yōu)選的，所述控制器通過電線與所述電動(dòng)滑臺(tái)、所述變頻電機(jī)、所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)、所述電動(dòng)推桿、所述電動(dòng)伸縮桿、所述光刻設(shè)備和所述伺服電機(jī)電性連接。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

12、1、該轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，通過轉(zhuǎn)動(dòng)輥和移動(dòng)輥支撐輸送帶進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)通過輔助輥對(duì)輸送帶進(jìn)行支撐限位，并且通過張力輥對(duì)輸送帶形成張力，變頻電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)輥進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶也隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，通過電動(dòng)滑臺(tái)帶動(dòng)連接板上的支撐柱進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，支撐柱帶動(dòng)移動(dòng)輥進(jìn)行移動(dòng)，改變轉(zhuǎn)動(dòng)輥和移動(dòng)輥的間距，移動(dòng)輥移動(dòng)延伸到分度盤的下方，同時(shí)張力輥受到擠壓后，通過升降塊在升降槽擠壓第一彈簧，輸送帶轉(zhuǎn)動(dòng)將工件直接輸送到分度盤下側(cè)，工件進(jìn)入夾板內(nèi)的夾槽，完成上料，從而能夠在不需要對(duì)工件轉(zhuǎn)移的情況下完成工件的自動(dòng)化上料和下料，提高上料和下料的效率。

13、2、該轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，通過分度盤凹槽內(nèi)安裝的夾板，夾板通過電動(dòng)推桿帶動(dòng)其進(jìn)行垂直角度和水平角度的運(yùn)行，當(dāng)工件進(jìn)入到夾槽內(nèi)部后，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)分度盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)到后側(cè)的光刻設(shè)備下側(cè)進(jìn)行加工，加工完成后，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)將工件移動(dòng)到右側(cè)，電動(dòng)伸縮桿通過連接桿帶動(dòng)推塊進(jìn)行移動(dòng)，對(duì)工件進(jìn)行出料，出料后夾板再次轉(zhuǎn)動(dòng)到前側(cè)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)光刻機(jī)的連續(xù)化加工，提高生產(chǎn)效率。

14、3、該轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，通過伺服電機(jī)帶動(dòng)螺桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，螺桿外側(cè)螺接的螺塊向下移動(dòng)，螺塊移動(dòng)的同時(shí)帶動(dòng)橫桿下降，橫桿通過移動(dòng)座在第二軌道的支撐下進(jìn)行移動(dòng)，同時(shí)橫桿通過立桿帶動(dòng)光刻設(shè)備下降，使光刻設(shè)備卡接到工件上，對(duì)同時(shí)對(duì)工件的前后兩面進(jìn)行加工，從而能夠?qū)崿F(xiàn)工件的雙面光刻加工，無需二次加工，更加的省時(shí)省力。

技術(shù)特征：

1.一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：包括工作臺(tái)(100)、支撐梁(200)、立柱(300)和控制器(400)，所述支撐梁(200)位于所述工作臺(tái)(100)的頂部，所述立柱(300)固定連接在所述工作臺(tái)(100)的頂部左右兩側(cè)后側(cè)，所述控制器(400)固定連接在所述工作臺(tái)(100)的頂部左側(cè)前側(cè)，所述工作臺(tái)(100)的頂部開有通槽(110)，所述通槽(110)的內(nèi)腔前后側(cè)壁左右兩側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有輔助輥(111)，所述工作臺(tái)(100)的內(nèi)腔左右側(cè)壁前后兩側(cè)之間固定連接有第一軌道(120)，兩個(gè)所述第一軌道(120)的頂部左右兩側(cè)之間固定連接有安裝架(121)，所述安裝架(121)的內(nèi)側(cè)前后側(cè)壁開有升降槽(122)，所述升降槽(122)的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有升降塊(123)，所述升降塊(123)的內(nèi)側(cè)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有張力輥(124)，所述升降塊(123)的頂部和所述升降槽(122)的內(nèi)腔頂部之間固定連接有第一彈簧(125)，所述第一軌道(120)的頂部之間且位于所述安裝架(121)的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有電動(dòng)滑臺(tái)(130)，所述電動(dòng)滑臺(tái)(130)的頂部之間固定連接有連接板(131)，所述連接板(131)的頂部前后兩側(cè)固定連接有支撐柱(132)，所述支撐柱(132)和所述連接板(131)的之間固定連接有加固板(133)，所述支撐柱(132)的內(nèi)側(cè)壁上側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移動(dòng)輥(134)，所述工作臺(tái)(100)的頂部左右兩側(cè)固定連接有機(jī)架(140)，所述機(jī)架(140)的內(nèi)側(cè)壁外側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)輥(141)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥(141)、所述張力輥(124)和所述移動(dòng)輥(134)的之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有輸送帶(142)，所述機(jī)架(140)的內(nèi)側(cè)壁前后兩側(cè)固定連接有限位桿(143)，所述機(jī)架(140)的前側(cè)壁外側(cè)固定連接有變頻電機(jī)(144)，所述變頻電機(jī)(144)的動(dòng)力輸出軸與所述轉(zhuǎn)動(dòng)輥(141)的前端固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述支撐梁(200)固定連接在所述通槽(110)的內(nèi)腔前后側(cè)壁中間處之間，所述支撐梁(200)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有分度盤(210)，所述支撐梁(200)的底部中間處固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(220)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(220)的動(dòng)力輸出軸頂端貫穿所述支撐梁(200)并延伸至所述支撐梁(200)的頂部，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(220)的動(dòng)力輸出軸頂端固定連接在所述分度盤(210)的底部中間處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述分度盤(210)的前后側(cè)壁和左右側(cè)壁均開有凹槽(211)，所述凹槽(211)的內(nèi)腔固定連接有電動(dòng)推桿(212)，所述電動(dòng)推桿(212)的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊(213)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述凹槽(211)的內(nèi)腔且位于所述電動(dòng)推桿(212)的上側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有夾板(230)，所述連接塊(213)的頂部與所述夾板(230)的底部固定連接，所述夾板(230)的外側(cè)壁開有夾槽(231)，所述夾槽(231)的內(nèi)腔固定連接有第二彈簧(232)，所述第二彈簧(232)的末端固定連接有推塊(233)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述夾板(230)的頂部開有移動(dòng)槽(234)，所述分度盤(210)的頂部固定連接有電動(dòng)伸縮桿(235)，所述電動(dòng)伸縮桿(235)的末端固定連接有連接桿(236)，所述連接桿(236)的底端貫穿所述移動(dòng)槽(234)并延伸至所述夾槽(231)的內(nèi)腔，且所述連接桿(236)的底端固定連接在所述推塊(233)的頂部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述立柱(300)的前側(cè)壁固定連接有第二軌道(310)，所述第二軌道(310)的前側(cè)壁滑動(dòng)連接有移動(dòng)座(311)，所述移動(dòng)座(311)的前側(cè)壁之間固定連接有橫桿(320)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述橫桿(320)的底部中間處固定連接有立桿(321)，所述立桿(321)的底部固定連接有光刻設(shè)備(322)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述立柱(300)的內(nèi)側(cè)壁上側(cè)之間固定連接有連接梁(330)，所述連接梁(330)的頂部固定連接有伺服電機(jī)(331)，所述伺服電機(jī)(331)的動(dòng)力輸出軸底端貫穿所述連接梁(330)并延伸至所述連接梁(330)的頂部，且所述伺服電機(jī)(331)的動(dòng)力輸出軸底端固定連接有螺桿(332)，所述螺桿(332)的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述工作臺(tái)(100)的頂部，所述螺桿(332)的外側(cè)壁螺接有螺塊(333)，所述螺塊(333)的前側(cè)壁與所述橫桿(320)的后側(cè)壁固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，其特征在于：所述控制器(400)通過電線與所述電動(dòng)滑臺(tái)(130)、所述變頻電機(jī)(144)、所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)(220)、所述電動(dòng)推桿(212)、所述電動(dòng)伸縮桿(235)、所述光刻設(shè)備(322)和所述伺服電機(jī)(331)電性連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了激光雕刻技術(shù)領(lǐng)域的一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，包括工作臺(tái)、支撐梁、立柱和控制器，所述支撐梁位于所述工作臺(tái)的頂部，所述立柱固定連接在所述工作臺(tái)的頂部左右兩側(cè)后側(cè)，所述控制器固定連接在所述工作臺(tái)的頂部左側(cè)前側(cè)，所述工作臺(tái)的頂部開有通槽，所述通槽的內(nèi)腔前后側(cè)壁左右兩側(cè)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有輔助輥，所述工作臺(tái)的內(nèi)腔左右側(cè)壁前后兩側(cè)之間固定連接有第一軌道，該轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，能夠在不需要對(duì)工件轉(zhuǎn)移的情況下完成工件的自動(dòng)化上料和下料，提高上料和下料的效率，能夠?qū)崿F(xiàn)光刻機(jī)的連續(xù)化加工，提高生產(chǎn)效率，能夠?qū)崿F(xiàn)工件的雙面光刻加工，無需二次加工，更加的省時(shí)省力。

技術(shù)研發(fā)人員：馮夢(mèng)飛,孫行,丁寧,丁軍崗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇格微晶智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6