適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，包括提供菲林，玻璃板、工件，在工件下表面設置多孔材料介質層，在所述多孔材料介質層的下部設置有的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動裝置，在所述平臺下部設置有第二驅動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產生的過濾空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高生產效率，貼合的正壓力可以無限制增大。
【專利說明】適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及曝光機使用【技術領域】，尤其涉及一種適合影像轉移曝光機的菲林與工 件密著方法。

【背景技術】
[0002] 在批量生產印制電路板過程中，是經過紫外線曝光，使所需的電路圖形通過菲林 轉移到工件上，如果菲林和工件間有間隙或氣泡，就會引起圖形失真，造成曝光不良，為此 數(shù)十年來，行業(yè)內都是采用抽真空形成負壓，使玻璃受壓或變形來達到菲林和工件的貼合， 但始終存在如下的問題：1、抽真空的時間過長，使生產效率變低；2、由于貼有菲林的玻璃 易碎，所以真空度不能過高，這就使得變形應力較大的工件與菲林不能形成良好的貼合，另 夕卜，必需用不同的墊片（對不同的工件）去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃被抽爆，費 時費工，不適應自動化生產；3、由于工件的上下兩面同時與高剛性的平臺和玻璃接觸，玻璃 本身（與工件接觸面）和鋁合金平臺的不平和凹陷就會造成貼合不良，也很難通過調節(jié)真 空度來改善貼合的均勻度。


【發(fā)明內容】

[0003] 本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方 法，該適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法是通過對所述平臺的充氣，使在其多孔 材料介質層表面產生均勻的氣浮壓力，以迫使工件與菲林進行緊密貼合。
[0004] 可以在吹氣條件下使得影像轉移曝光機中的菲林和工件緊密貼合，避免將玻璃板 壓碎，吹氣時間短，吹氣的氣壓可以無限增大，生產效率高，自動化程度高。
[0005] 為解決抽真空密著存在的上述技術問題，本發(fā)明提供的適合影像轉移曝光機的菲 林與工件密著方法包括提供菲林，玻璃板、可與菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件 下表面設置多孔材料介質層，在所述多孔材料介質層的下部設置有與所述多孔材料介質層 緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動裝置，在所述平臺 下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅動裝置，所述菲林貼附在該玻 璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小 孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產生的過濾空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到 工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲 林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質層上部， 所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與菲林的位置是否初步對準，通過第一驅 動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺 的上下移動，調整所述工件與所述菲林的位置，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對位，然后 所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均勻的氣浮 壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位后進行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉 移到所述工件上，然后所述空氣泵抽氣，將所述工件吸附回平臺再移走。
[0006] 優(yōu)選地，所述菲林與工件密著方法包括以下步驟：
[0007] S1 :將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材 料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是 否初步對準；
[0008] S2 :(XD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標進行對位標定，通過第 一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所 述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對 位；
[0009] S3:所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質層的細微小孔對所述工 件進行吹氣，所產生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲 林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所述工件 上；
[0010] S4:所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表 面再移走。
[0011] 優(yōu)選地，所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括：
[0012] S201 :所述第二驅動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下 部；
[0013] S202 :第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動；
[0014] S203:所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的 間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對位；
[0015] 優(yōu)選地，所述第二驅動裝置包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平臺之間 距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。
[0016] 優(yōu)選地，所述多孔材料介質層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的 細微氣孔進行氣浮和吸附。
[0017] 優(yōu)選地，所述第一驅動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅動裝置沿X、Y 軸移動及圓周轉動。
[0018] 優(yōu)選地，所述第一驅動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝 設于所述裝置本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X 軸絲桿座上的Υ軸絲桿、與所述Υ軸絲桿裝配在一起Υ軸絲桿座、裝設于所述Υ軸絲桿座上 用于驅動所述玻璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述第一絲桿轉動的第一伺服 電機、用于驅動所述第二絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配 在一起。
[0019] 優(yōu)選地，所述平臺的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小 孔相對應的氣孔，所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。
[0020] 優(yōu)選地，所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。
[0021] 采用上述技術方法后，將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件 放置在所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工 件與菲林的位置是否初步對準；CCD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林的靶標進行找 正，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Υ軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝 置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件 的準確對位，并使所述工件移動至與所述菲林相互貼合；所述空氣泵吹氣，通過所述細微小 孔對所述工件進行吹氣，所產生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工 件與所述菲林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移 到所述工件上。該密著方法的優(yōu)點是：
[0022] 1、該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高 生產效率；
[0023] 2、貼合的正壓力可以無限制增大，并且可分別通過支撐平臺的四個電缸的升降來 調節(jié)工件與菲林間距的一致性，以改善貼合的均勻性；
[0024] 3、由于密著時，工件與平臺無接觸，且是柔性工件變形去適應玻璃，所以平臺和玻 璃的凹陷等對貼合效果影響較??；
[0025] 4、平臺本身具備的吸附和氣浮功能有利于工件的取放和傳送，更適應自動化生 產。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 圖1為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法的工作示意圖；
[0027] 圖2為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S1的工作示意 圖；
[0028] 圖3為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的工作示意 圖；
[0029] 圖4為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S3的工作示意 圖；
[0030] 圖5為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S4的工作示意 圖；
[0031] 圖6為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法的執(zhí)行流程圖；
[0032] 圖7為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的實現(xiàn)流程圖。

【具體實施方式】
[0033] 為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對 本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
[0034] 請參閱圖1，圖1為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法的工作示 意圖；在本實施例中，適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法包括提供菲林12,玻璃 板11、可與菲林12下表面相互貼合在一起的工件13,在工件13下表面設置多孔材料介質 層14,在多孔材料介質層14的下部設置有與多孔材料介質層14緊密貼合的平臺15,平臺 15與空氣泵相連，在玻璃板11上部設置有第一驅動裝置，在平臺15下部設置有調整工件 13與菲林12之間距離和平行度的第二驅動裝置16,菲林12貼附在該玻璃板11下表面， 多孔材料介質層14上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過菲林與工 件密著方法將空氣泵產生的過濾空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到工件的下表面，在 工件13的下表面形成使得工件13與菲林12緊密貼合的均勻氣浮壓力，菲林13與工件12 密著方法包括貼好菲林13,機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質層上部，所述平 臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件12與放置菲林13的玻璃板11的位置是否初步對 準，通過第一驅動裝置驅動玻璃板11進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時第二驅動裝置驅動 16所述平臺的上下移動，調整玻璃板11與菲林12的位置，實現(xiàn)菲林12與工件13的準確對 位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均 勻的氣浮壓力，使工件13與菲林12緊密貼合，貼合到位后進行紫外線曝光，使菲林12上的 影像轉移到工件13上，然后所述空氣泵放氣，將工件13移走。
[0035] 請參閱圖6,圖6為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法的執(zhí)行流 程圖；菲林12與工件13密著方法包括以下步驟：
[0036] S1 :如圖2所示，將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在 所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲 林的位置是否初步對準；
[0037] S2 :如圖3所示，(XD攝像頭對工件13的四個定位孔與菲林12上的靶標進行對位 標定，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動 裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工 件的準確對位；
[0038] S3 :如圖4所示，所述空氣泵吹氣，通過平臺15與多孔材料介質層14的細微小孔 對工件13進行吹氣，所產生的均勻氣浮壓力使工件13與菲林12緊密貼合，檢測工件13與 菲林12是否貼合到位，如果貼合到位，紫外線開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所 述工件上；
[0039] S4:如圖5所示，所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附 回平臺表面再移走。
[0040] 請參閱圖7,圖7為本發(fā)明適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的 實現(xiàn)流程圖；
[0041] 所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括：
[0042] S201 :所述第二驅動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下 部；
[0043] S202 :第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動；
[0044] S203 :所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整工件13與菲林12的間 距，實現(xiàn)菲林12與工件13的準確對位，在本實施例中，優(yōu)選的傳感器為激光位移傳感器，在 其他實施例中，也可選擇其他類型的位移傳感器。
[0045] 在本實施例中，多孔材料介質層14優(yōu)選的材料為陶瓷或鋁金屬材料在其他實施 例中，也可選擇其他類型的材料，空氣能從多孔材料介質層14分布均勻的細微小孔進行氣 浮和吸附。
[0046] 在本實施例中，所述第一驅動裝置采用伺服控制，玻璃板11可相對第一驅動裝置 沿X、Y軸移動及圓周轉動。
[0047] 第一驅動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝設于所述裝 置本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X軸絲桿座上 的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿裝配在一起Y軸絲桿座、裝設于所述Y軸絲桿座上用于驅動所 述玻璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述第一絲桿轉動的第一伺服電機、用于 驅動所述第二絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板11與所述第三伺服電機裝配在一起。
[0048] 平臺15的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小孔相對應 的氣孔，所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。
[0049] 空氣泵對工件13的吹氣壓力可無限制增大。
[0050] 該適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法的優(yōu)點是：
[0051] 1、該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高 生產效率；
[0052] 2、貼合的正壓力可以無限制增大，并且可分別通過支撐平臺的四個電缸的升降來 調節(jié)工件與菲林間距的一致性，以改善貼合的均勻性；
[0053] 3、由于密著時，工件與平臺無接觸，且是柔性工件變形去適應玻璃，所以平臺和玻 璃的凹陷等對貼合效果影響較??；
[0054] 4、平臺本身具備的吸附和氣浮功能有利于工件的取放和傳送，更適應自動化生 產。
[0055] 應當理解的是，以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，不能因此限制本發(fā)明的專利范圍， 凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在 其他相關的【技術領域】，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內。
【權利要求】
1. 適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：提供菲林，玻璃板、可與 菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件下表面設置多孔材料介質層，在多孔材料介質 層的下部設置有與所述多孔材料介質層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃 板上部設置有第一驅動裝置，在所述平臺下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行 度的第二驅動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若 干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產生的過濾 空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲 林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工 件放置在于所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與 菲林的位置是否初步對準，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉 動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實 現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在 所述多孔材料介質層表面形成均勻的氣浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位 后進行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉移到所述工件上，然后所述空氣泵收氣，將所述 工件移走。
2. 根據(jù)權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述多孔材料介質層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細微小孔進行氣浮 和吸附。
3. 根據(jù)權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述平臺的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小孔相對應的氣孔， 所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。
4. 根據(jù)權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。
5. 根據(jù)權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述菲林與工件密著方法包括以下步驟： 51 :將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材料介 質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是否初 步對準； 52 :(XD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標進行對位標定，通過第一驅 動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺 的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對位； S3:所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質層的細微小孔對所述工件進 行吹氣，所產生的連綿氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲林是 否貼合到位，如果貼合到位，紫外線開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所述工件上； S4:所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表面再 移走。
6. 根據(jù)權利要求5所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括： S201 :所述第二驅動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下部； 5202 :第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動； 5203 :所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距， 實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準確對位。
7. 根據(jù)權利要求6所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第二驅動裝置包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平臺之間距離與平行度的 電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。
8. 根據(jù)權利要求5所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第一驅動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅動裝置沿X、Υ軸移動及圓周轉 動。
9. 根據(jù)權利要求8所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第一驅動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝設于所述裝置本 體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X軸絲桿座上的Υ 軸絲桿、與所述Υ軸絲桿裝配在一起Υ軸絲桿座、裝設于所述Υ軸絲桿座上用于驅動所述玻 璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述第一絲桿轉動的第一伺服電機、用于驅動 所述第二絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配在一起。
【文檔編號】G03F7/20GK104216236SQ201410419325
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年8月22日 優(yōu)先權日:2014年8月22日
【發(fā)明者】代毓平, 代童慶 申請人:深圳市大川光電設備有限公司