專(zhuān)利名稱(chēng)：一種手動(dòng)光刻版清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造中光刻工藝所使用到的清洗裝置，具體涉及一種手動(dòng)光刻版清洗裝置。
背景技術(shù)：
專(zhuān)利號(hào)為2010201681110的實(shí)用新型專(zhuān)利，公布了一種光刻版清洗架，參見(jiàn)圖1，該清洗架是將光刻版插入卡持部I固定后，沿著圖I中虛線所示的箭頭方向，與框架2扣合后，將其浸入清洗液中，手柄3露在液面外，用清洗刷頭浸入清洗液進(jìn)行擦拭。其不足之處在于光刻版一次只能放入一片，而且清洗時(shí)人員提住手提，人手離清洗液非常接近，在使用強(qiáng)酸強(qiáng)堿清洗時(shí)容易有安全隱患
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)同時(shí)清洗多塊光刻版，并且使用安全的手動(dòng)光刻版清洗裝置。一種手動(dòng)光刻版清洗裝置，包括框體，所述框體的內(nèi)腔中等距離開(kāi)設(shè)有若干個(gè)光刻版卡槽，所述框體上夾設(shè)有夾持體。本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在I、可同時(shí)將多塊光刻版放入框體內(nèi)腔中進(jìn)行清洗，提高了工作效率；2、使用靈活，夾持體與框體方便拆開(kāi)，便于框體放入裝有清洗液的清洗槽后蓋上槽蓋，實(shí)現(xiàn)抖動(dòng)、超聲、旋轉(zhuǎn)、噴洗等洗版方式；3、避免人員與溶液槽接觸，安全系數(shù)高，通過(guò)抖動(dòng)、超聲、旋轉(zhuǎn)、噴洗等工藝手段進(jìn)行清洗，可避免擦版。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中光刻版清洗架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例I參見(jiàn)圖I，本實(shí)用新型提供的一種手動(dòng)光刻版清洗裝置，包括框體4，所述框體4的內(nèi)腔中等距離開(kāi)設(shè)有若干個(gè)光刻版卡槽5，所述框體4上夾設(shè)有夾持體6。
權(quán)利要求1.一種手動(dòng)光刻版清洗裝置，包括框體，其特征在于所述框體的內(nèi)腔中等距離開(kāi)設(shè)有若干個(gè)光刻版卡槽，所述框體上夾設(shè)有夾持體。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種手動(dòng)光刻版清洗裝置，包括框體，所述框體的內(nèi)腔中等距離開(kāi)設(shè)有若干個(gè)光刻版卡槽，所述框體上夾設(shè)有夾持體。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作方便，增加了一次清洗光刻版的數(shù)量，提高工作效率，并且使用靈活，框體和夾持體方便拆開(kāi)，人員無(wú)需近距離擦版，提高了清洗時(shí)的安全系數(shù)。
文檔編號(hào)G03F1/82GK202615111SQ20122029150
公開(kāi)日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月20日
發(fā)明者嚴(yán)貞貞, 李鑫鑫 申請(qǐng)人:合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司