專利名稱:一種定心工裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種定心工裝。
背景技術(shù):
如圖I所示為主鏡、次鏡放置位置,主鏡與次鏡的光軸需要在一條直線上,這樣才能起到很好的成像效果,一般的做法是先找到主鏡光軸基準(zhǔn),再調(diào)節(jié)次鏡光軸與其統(tǒng)一,這里所說的主鏡為非球面反射鏡。傳統(tǒng)的確定非球面反射鏡光軸基準(zhǔn)的方法是設(shè)計(jì)一種叫做“三頂三拉”的工裝,首先將該工裝連接在非球面反射鏡上,而后找到非球面反射鏡的光軸,通過頂、拉螺釘?shù)姆绞秸{(diào)節(jié)十字絲分劃板的空間位置姿態(tài),直至十字絲和光軸重合。此方法缺點(diǎn)I、通過頂、拉螺釘?shù)姆绞秸{(diào)整分劃板空間姿態(tài),工裝局部會(huì)產(chǎn)生較大應(yīng)力,分劃板空間姿態(tài)會(huì)隨應(yīng)力緩慢釋放而產(chǎn)生持續(xù)性變化,基準(zhǔn)就會(huì)改變;2、此種工裝在調(diào)整完畢后是不能夠拆卸移動(dòng)的,常常與其它元件發(fā)生干涉并會(huì)給反射鏡面型檢測結(jié)果帶來干擾,非常不便。
發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有的確定非球面反射鏡光軸基準(zhǔn)的方法導(dǎo)致基準(zhǔn)改變、非球面反射鏡面型改變的技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供一種定心工裝。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案一種定心工裝,其特殊之處在于包括反射鏡定心工裝,所述反射鏡定心工裝包括母盤和主軸套筒,所述母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,所述母盤的另一端固定有主軸套筒,所述母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,所述主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配。還包括定心基準(zhǔn)工裝,所述定心基準(zhǔn)工裝包括分劃板母盤、分劃板套筒和十字絲分劃板,所述分劃板母盤的一端固定有分劃板套筒,所述分劃板母盤的另一端固定在姿態(tài)調(diào)整工裝上,所述分劃板套筒另一端設(shè)置有凸沿,所述分劃板母盤和分劃板套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,所述十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi)且垂直于分劃板套筒軸線并靠近凸沿一端;所述十字絲分劃板的外徑與分劃板套筒的內(nèi)徑相適配,所述十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡。利用上述定心工裝確定非球面反射鏡基準(zhǔn)的方法,其特殊之處在于包括以下步驟I通過定心加工確定非球面反射鏡的光軸I. I搭建系統(tǒng)組裝確定非球面反射鏡光軸的系統(tǒng),包括機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸、姿態(tài)調(diào)整工裝、定心工裝、發(fā)光源、第一內(nèi)調(diào)焦定心儀、第二內(nèi)調(diào)焦定心儀、CXD相機(jī)以及PC機(jī),發(fā)光源設(shè)置在待確定非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)處,姿態(tài)調(diào)整工裝設(shè)置在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,并與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸,包括反射鏡定心工裝,所述反射鏡定心工裝包括母盤和主軸套筒,所述母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,所述母盤的另一端固定有主軸套筒,所述母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,所述主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配;第一內(nèi)調(diào)焦定心儀設(shè)置在大于待確定非球 面反射鏡半徑的位置,第二內(nèi)調(diào)焦定心儀位于發(fā)光源從非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)發(fā)光經(jīng)非球面反射后的光路上,CXD相機(jī)接收第一內(nèi)調(diào)焦定心儀和第二內(nèi)調(diào)焦定心儀的像點(diǎn),CXD相機(jī)的另一端與PC機(jī)連接;I. 2采用自準(zhǔn)直法確定非球面反射鏡的近似球心,通過第一內(nèi)調(diào)焦定心儀接收近似球心的像得到近似球心像;I. 3讓設(shè)置在待確定非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)處的發(fā)光源發(fā)光,經(jīng)非球面鏡匯聚于一點(diǎn)即為軸上焦點(diǎn),通過第二內(nèi)調(diào)焦定心儀接收軸上焦點(diǎn)的像得到軸上焦點(diǎn)像;I. 4將步驟I. 2、步驟I. 3找到的近似球心像和軸上焦點(diǎn)像通過CXD相機(jī)顯示在PC機(jī)上;I. 5調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝,并觀察PC機(jī)上的近似球心像和軸上焦點(diǎn)像,直至近似球心像和軸上焦點(diǎn)像的運(yùn)動(dòng)軌跡成小圓,此時(shí)機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸的位置與非球面反射鏡的光軸重合,機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸即為非球面反射鏡的光軸;2以確定好的光軸為基準(zhǔn),車削定心工裝2. I車削主軸套筒的端面;2. 2車削主軸套筒內(nèi)壁一周;2. 3繞主軸套筒車削母盤一周,得到定心加工后的定心工裝;3定心加工定心基準(zhǔn)工裝3. I制作系統(tǒng)系統(tǒng)包括姿態(tài)調(diào)整工裝、機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸、內(nèi)調(diào)焦定心儀、定心基準(zhǔn)工裝,所述姿態(tài)調(diào)整工裝設(shè)置在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸一端,并與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸,所述定心基準(zhǔn)工裝包括分劃板母盤、分劃板套筒和十字絲分劃板,所述分劃板母盤的一端固定有分劃板套筒,所述分劃板母盤的另一端固定在姿態(tài)調(diào)整工裝上,所述分劃板套筒另一端設(shè)置有凸沿,所述分劃板母盤和分劃板套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,所述十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi)且垂直于分劃板套筒軸線并靠近凸沿一端;所述十字絲分劃板的外徑與分劃板套筒的內(nèi)徑相適配,所述十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡;所述十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi);所述十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡;3. 2將內(nèi)調(diào)焦定心儀焦距調(diào)節(jié)到無窮遠(yuǎn)發(fā)出平行光,平行光線由平面反射鏡反射回內(nèi)調(diào)焦定心儀內(nèi),產(chǎn)生圓周運(yùn)動(dòng)的自準(zhǔn)直像;3. 3調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝使得自準(zhǔn)直像的圓周運(yùn)動(dòng)至最小,則調(diào)整完畢,此時(shí)刻有十字絲分劃板與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸嚴(yán)格垂直;[0038]3. 4將內(nèi)調(diào)焦定心儀調(diào)焦到分劃板十字絲上,調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝使得十字絲在內(nèi)調(diào)焦定心儀內(nèi)產(chǎn)生的實(shí)像的圓周運(yùn)動(dòng)最小,則調(diào)整完畢,此時(shí)十字絲分劃板與機(jī)械軸嚴(yán)格同心;3. 5以步驟3. 3和以步驟3. 4調(diào)節(jié)最終機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸位置為基準(zhǔn),車削定心基準(zhǔn)工裝3. 5. I]車削分劃板套筒外側(cè)一周;3. 5. 2繞分劃板套筒車削凸沿一周;3. 5. 3靠近五位調(diào)整機(jī)構(gòu)一端切斷分劃板套筒,得到定心加工后的定心基準(zhǔn)工裝;4將步驟3得到定心加工后的定心基準(zhǔn)工裝安裝在步驟2得到的定心工裝中,分劃板套筒安裝在主軸套筒中并與主軸套筒相適配且配合間隙在O. Olmm以內(nèi),凸沿卡在
主軸套筒一端;5此時(shí)非球面反射鏡光軸基準(zhǔn)建立到分劃板十字絲上。本實(shí)用新型所具有的優(yōu)點(diǎn)I、本實(shí)用新型定心基準(zhǔn)工裝的的分劃板十字絲代表了非球面反射鏡的光軸且精度很高,十字絲與光軸的同心度可以到O. 006mm左右,十字絲與光軸的垂直度可以到O. 005mm 左右;2、本實(shí)用新型定心工裝分拆卸方便,且復(fù)位精度高;3、本實(shí)用新型完全采用光學(xué)非接觸式測量方式,尋找非球面反射鏡的近似球心像和軸上焦點(diǎn)像,通過姿態(tài)調(diào)整工裝改變反射鏡姿態(tài),控制兩像點(diǎn)在內(nèi)調(diào)焦定心儀內(nèi)的跳動(dòng)量,保證光軸與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸的重合精度;4、十字絲基準(zhǔn)不僅可以輔助檢測主鏡面型,且可作為主次鏡系統(tǒng)裝調(diào)的絕對(duì)光學(xué)基準(zhǔn)。
圖I為主次鏡光學(xué)系統(tǒng)示意圖;圖2為本實(shí)用新型定心工裝的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本實(shí)用新型定心工裝與主鏡(即為非球面反射鏡)裝配關(guān)系示意圖;圖4為定心工裝與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸的裝配關(guān)系示意圖;圖5為確定非球面反射鏡光軸的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖;圖6為車削定心工裝流程示意圖;圖7為十字絲分劃板的結(jié)構(gòu)示意圖;圖8為定心基準(zhǔn)工裝的結(jié)構(gòu)示意圖;圖9為定心加工定心基準(zhǔn)工裝結(jié)構(gòu)示意圖;圖10為定心加工定心基準(zhǔn)工裝結(jié)構(gòu)示意圖;圖11為車削定心基準(zhǔn)工裝的流程示意圖;圖12為加工后的定心基準(zhǔn)工裝結(jié)構(gòu)示意圖;圖13為定心工裝、主鏡以及定心基準(zhǔn)工裝的裝配關(guān)系示意圖;圖14為姿態(tài)調(diào)整工裝的結(jié)構(gòu)示意圖;[0064]其中附圖標(biāo)記為I-主鏡,2-次鏡,3-光軸,4-非球面反射鏡,5-定心工裝,51-母盤,52-主軸套筒,6-機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸,7-姿態(tài)調(diào)整工裝,8-平行光管,9-第一內(nèi)調(diào)焦定心儀,10-第二內(nèi)調(diào)焦定心儀,Il-PC機(jī),12-十字絲分劃板,13-分劃板套筒,14-分劃板母盤,15-內(nèi)調(diào)焦定心儀,16-凸沿,0'-近似球心,F(xiàn)'-軸上焦點(diǎn),24-過渡法蘭盤,25-傾斜調(diào)整螺釘,26-平移調(diào)整螺釘,27-通孔,28-機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸連接螺釘,211-傾斜調(diào)整環(huán),212-平移調(diào)整環(huán)。
具體實(shí)施方式
如如2、圖3所示,一種定心工裝,包括反射鏡定心工裝,反射鏡定心工裝包括母盤51和主軸套筒52,母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,母盤的另一端固定有主軸套筒,母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配。還包括定心基準(zhǔn)工裝,定心基準(zhǔn)工裝包括分劃板母盤、分劃板套筒和十字絲分劃板,分劃板母盤的一端固定有分劃板套筒,所述分劃板母盤的另一端固定在姿態(tài)調(diào)整工裝上,所述分劃板套筒另一端設(shè)置有凸沿,所述分劃板母盤和分劃板套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi)且垂直于分劃板套筒軸線并靠近凸沿一端;十字絲分劃板的外徑與分劃板套筒的內(nèi)徑相適配,十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡。 利用上述定心工裝確定非球面反射鏡基準(zhǔn)的方法,包括以下步驟I通過定心加工確定非球面反射鏡的光軸I. I搭建系統(tǒng)組裝確定非球面反射鏡光軸的系統(tǒng),包括機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸6、姿態(tài)調(diào)整工裝7、定心工裝5、發(fā)光源、第一內(nèi)調(diào)焦定心儀9、第二內(nèi)調(diào)焦定心儀10、CXD相機(jī)以及PC機(jī)11,發(fā)光源設(shè)置在待確定非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)處,姿態(tài)調(diào)整工裝設(shè)置在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,并與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸,包括反射鏡定心工裝,反射鏡定心工裝包括母盤51和主軸套筒52,母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,母盤的另一端固定有主軸套筒,母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配;第一內(nèi)調(diào)焦定心儀設(shè)置在大于待確定非球面反射鏡半徑的位置,第二內(nèi)調(diào)焦定心儀位于發(fā)光源從非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)發(fā)光經(jīng)非球面反射后的光路上,CXD相機(jī)接收第一內(nèi)調(diào)焦定心儀和第二內(nèi)調(diào)焦定心儀的像點(diǎn),CXD相機(jī)的另一端與PC機(jī)連接;I. 2采用自準(zhǔn)直法確定非球面反射鏡的近似球心,通過第一內(nèi)調(diào)焦定心儀接收近似球心的像得到近似球心像;I. 3讓設(shè)置在待確定非球面反射鏡的已知焦點(diǎn)處的發(fā)光源發(fā)光,經(jīng)非球面鏡匯聚于一點(diǎn)即為軸上焦點(diǎn),通過第二內(nèi)調(diào)焦定心儀接收軸上焦點(diǎn)的像得到軸上焦點(diǎn)像;I. 4將步驟2、步驟3找到的近似球心像和軸上焦點(diǎn)像通過CXD相機(jī)顯示在PC機(jī)上;I. 5調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝,并觀察PC機(jī)上的近似球心像和軸上焦點(diǎn)像,直至近似球心像和軸上焦點(diǎn)像的運(yùn)動(dòng)軌跡成小圓,此時(shí)機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸的位置與非球面反射鏡的光軸重合,機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸即為非球面反射鏡的光軸;2以確定好的光軸為基準(zhǔn),車削定心工裝(保證定心工裝內(nèi)壁與非球面反射鏡光軸的同心度和主軸套筒端面與光軸的垂直度;)2. I車削主軸套筒的端面;(端面與非球面反射鏡內(nèi)孔垂直);2. 2車削主軸套筒內(nèi)壁一周;2. 3繞主軸套筒車削母盤一周,得到定心加工后的定心工裝;3定心加工定心基準(zhǔn)工裝(設(shè)計(jì)加工定心基準(zhǔn)分劃板,包含刻有十字絲的平板玻璃分劃板及其套筒,將其通過定心加工保證十字絲中心與光軸重合且玻璃平面與光軸垂直) 3. I制作系統(tǒng)系統(tǒng)包括姿態(tài)調(diào)整工裝、機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸、內(nèi)調(diào)焦定心儀、定心基準(zhǔn)工裝,所述姿態(tài)調(diào)整工裝設(shè)置在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸一端,并與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸,定心基準(zhǔn)工裝包括分劃板母盤、分劃板套筒和十字絲分劃板,分劃板母盤的一端固定有分劃板套筒,分劃板母盤的另一端固定在姿態(tài)調(diào)整工裝上,分劃板套筒另一端設(shè)置有凸沿,分劃板母盤和分劃板套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi)且垂直于分劃板套筒軸線并靠近凸沿一端;十字絲分劃板的外徑與分劃板套筒的內(nèi)徑相適配,十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡;3. 2將內(nèi)調(diào)焦定心儀焦距調(diào)節(jié)到無窮遠(yuǎn)發(fā)出平行光,平行光線由平面反射鏡反射回內(nèi)調(diào)焦定心儀內(nèi),產(chǎn)生圓周運(yùn)動(dòng)的自準(zhǔn)直像;3. 3調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝使得自準(zhǔn)直像的圓周運(yùn)動(dòng)越來越小,直至不動(dòng),則調(diào)整完畢,此時(shí)刻有十字絲分劃板與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸絕對(duì)垂直;3. 4以步驟3. 3調(diào)節(jié)最終機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸位置為基準(zhǔn),車削定心基準(zhǔn)工裝3. 4. I]車削分劃板套筒外側(cè)一周;3. 4. 2繞分劃板套筒車削分劃板凸沿一周;3. 4. 3靠近五位調(diào)整機(jī)構(gòu)一端切割分劃板套筒,得到經(jīng)過定心加工的定心基準(zhǔn)工裝;4將步驟3得到的定心基準(zhǔn)工裝安裝在步驟2得到的定心工裝中,分劃板套筒安裝在主軸套筒中并與主軸套筒相適配且配合間隙在0.01mm以內(nèi),分劃板母盤卡在主軸
套筒一端;5此時(shí)非球面反射鏡光軸基準(zhǔn)建立到分劃板十字絲上。實(shí)施例一種確定非球面反射鏡基準(zhǔn)的方法,I設(shè)計(jì)加工與主鏡內(nèi)孔相配合的主軸套筒;如圖2、圖3所述2通過定心加工工藝確定主鏡(本申請的主鏡為非球面反射鏡)的光軸;如圖4、圖5所示3以確定好的光軸為基準(zhǔn),車削主鏡套筒的內(nèi)壁與端面,保證套筒內(nèi)壁與主鏡光軸的同心度和套筒端面與光軸的垂直度;如圖6所示4再設(shè)計(jì)加工定心基準(zhǔn)分劃板,包含刻有十字絲的平板玻璃分劃板及其套筒,將其通過定心加工保證十字絲中心與光軸重合且玻璃平面與光軸垂直;如圖7、圖8所示,5將內(nèi)調(diào)焦定心儀焦距調(diào)節(jié)到無窮遠(yuǎn)發(fā)出平行光,平行光線由平面反射鏡反射回內(nèi)調(diào)焦定心儀內(nèi),產(chǎn)生圓周運(yùn)動(dòng)的自準(zhǔn)直像;如圖9所示6調(diào)整姿態(tài)調(diào)整工裝使得自準(zhǔn)直像的圓周運(yùn)動(dòng)越來越小,直至不動(dòng),則調(diào)整完畢,此時(shí)刻有十字絲分劃板與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸絕對(duì)垂直;如圖10所示7以調(diào)節(jié)最終機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸位置為基準(zhǔn),車削定心基準(zhǔn)工裝如圖11的方式加工,首先車削分劃板套筒外側(cè)一周;然后繞分劃板套筒車削凸沿一周;最后靠近五位調(diào)整機(jī)構(gòu)一端切割分劃板套筒,得到經(jīng)過定心加工的定心基準(zhǔn)工裝;如圖12所示; 8將定心加工完畢的工裝與主鏡對(duì)接后,此時(shí)主鏡光軸基準(zhǔn)已經(jīng)建立到分劃板十字絲上,后續(xù)對(duì)主鏡進(jìn)行面型檢測或是與次鏡穿軸裝配,都將以此十字絲為基準(zhǔn)進(jìn)行;如圖13所示。姿態(tài)調(diào)整工裝結(jié)構(gòu)參見圖14,包括可固定非球面反射鏡的過渡法蘭盤、安裝在過渡法蘭盤后端面的傾斜調(diào)整環(huán)、安裝在傾斜調(diào)整環(huán)后端面的平移調(diào)整環(huán),過渡法蘭盤和傾斜調(diào)整環(huán)之間設(shè)置有四個(gè)圓周均布的傾斜調(diào)整螺釘,傾斜調(diào)整環(huán)和平移調(diào)整環(huán)之間設(shè)置有四個(gè)圓周均布的平移調(diào)整螺釘,平移調(diào)整環(huán)和機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸連接;過渡法蘭盤、傾斜調(diào)整環(huán)以及平移調(diào)整環(huán)的回轉(zhuǎn)中心設(shè)置有通孔。通過微量調(diào)節(jié)傾斜調(diào)整螺釘和平移調(diào)整螺釘,就可以調(diào)整就可以調(diào)整非球面反射鏡的光軸。
權(quán)利要求1.一種定心工裝,其特征在于包括反射鏡定心工裝,所述反射鏡定心工裝包括母盤和主軸套筒,所述母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,所述母盤的另一端固定有主軸套筒,所述母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,所述主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的定心工裝,其特征在于還包括定心基準(zhǔn)工裝, 所述定心基準(zhǔn)工裝包括分劃板母盤、分劃板套筒和十字絲分劃板,所述分劃板母盤的一端固定有分劃板套筒,所述分劃板母盤的另一端固定在姿態(tài)調(diào)整工裝上,所述分劃板套筒另一端設(shè)置有凸沿,所述分劃板母盤和分劃板套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置, 所述十字絲分劃板放置在分劃板套筒內(nèi)且垂直于分劃板套筒軸線并靠近凸沿一端;所述十字絲分劃板的外徑與分劃板套筒的內(nèi)徑相適配,所述十字絲分劃板為中心刻有十字絲的平面反射鏡。
專利摘要一種定心工裝,包括反射鏡定心工裝,反射鏡定心工裝包括母盤和主軸套筒,母盤一端固定在機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸上,母盤的另一端固定有主軸套筒,母盤和主軸套筒均與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸同軸設(shè)置,主軸套筒與非球面反射鏡的內(nèi)孔相適配。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有的確定非球面反射鏡光軸基準(zhǔn)的方法導(dǎo)致基準(zhǔn)改變、非球面反射鏡面型改變的技術(shù)問題,本實(shí)用新型定心基準(zhǔn)工裝的的分劃板十字絲代表了非球面反射鏡的光軸且精度很高,十字絲與光軸的同心度可以到0.006mm左右,十字絲與光軸的垂直度可以到0.005mm左右。
文檔編號(hào)G02B7/182GK202472092SQ20122011448
公開日2012年10月3日 申請日期2012年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月23日
發(fā)明者付興, 李華, 段學(xué)霆, 段戰(zhàn)軍, 耿波 申請人:中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所