彩色濾光基板及其制造方法、以及其在線檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種彩色濾光基板及其制造方法、以及其在線檢測方法，所述彩色濾光基板的制造方法，包括：在透明基板第一表面上形成含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層；在所述遮光層的所述開口形成彩色光阻層；在所述遮光層和彩色光阻層上形成平坦保護(hù)層；在所述平坦保護(hù)層或所述透明基板第二表面形成透明電極；在所述平坦保護(hù)層上形成多個間隔柱；所述間隔柱使用有色透明性感光性液體材料形成。本發(fā)明所提供的彩色濾光基板采用有色透明性感光性液體材料形成間隔柱，因而可以在該彩色濾光基板的制作過程中對其進(jìn)行在線檢測，從而使得工作人員能夠及時調(diào)整和更改相應(yīng)的工藝條件，制作出高品質(zhì)的彩色濾光基板。
【專利說明】彩色濾光基板及其制造方法、以及其在線檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示，特別涉及一種彩色濾光基板及其制造方法、以及其在線檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置通常包括有彩色濾光基板。該彩色濾光基板作用是將通過液晶層的白光轉(zhuǎn)化為不同顏色的光束，各不同顏色的光束重新匯聚形成圖像畫面。通常，彩色濾光基板上形成有間隔柱(Photo Spacer, PS),以使得彩色濾光基板能夠與另外一個對置基板(例如TFT基板)形成厚度均一的液晶盒。
[0003]為了制作具有更高清晰度和更高分辨率的液晶顯示裝置，要求彩色濾光基板中間隔柱的高度更均一，并且希望在彩色濾光基板制作過程中就能夠?qū)崟r檢測間隔柱的高度，以確認(rèn)間隔柱的高度均一性是否滿足要求，同時，還希望能夠一并檢測彩色濾光基板是否出現(xiàn)例如mura等缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為此，本發(fā)明提供一種彩色濾光基板的制造方法，包括:
[0005]在透明基板上形成含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層；
[0006]在所述遮光層的所述開口形成彩色光阻層；
[0007]在所述遮光層和彩色光阻層上形成平坦保護(hù)層；
[0008]在所述平坦保護(hù)層上或者所述透明基板背面形成透明電極；當(dāng)在所述平坦保護(hù)層上形成所述透明電極時，在所述透明電極上形成多個間隔柱；當(dāng)在所述透明基板背面形成所述透明電極時，在所述平坦保護(hù)層上形成多個間隔柱。
[0009]可選的，所述有色透明性感光性液體材料呈藍(lán)色透明、綠色透明、或者紅色透明。
[0010]可選的，所述間隔柱由有色透明性感光性液體材料制成，所述有色透明性感光性液體材料中著色材料的質(zhì)量濃度介于0.59TlO%。
[0011]本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板，包括:
[0012]透明基板；
[0013]含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層，形成于所述透明基板的第一表面；
[0014]彩色光阻層，形成于所述遮光層的所述開口 ；
[0015]平坦保護(hù)層，位于所述遮光層和所述彩色光阻層上；
[0016]透明電極，形成在所述平坦保護(hù)層上或者所述透明基板的背面；
[0017]多個間隔柱；當(dāng)所述透明電極形成在所述平坦保護(hù)層上時，所述間隔柱形成在所述透明電極上；當(dāng)所述透明電極形成在所述透明基板背面時，所述間隔柱形成在所述平坦保護(hù)層上。
[0018]可選的，所述間隔柱呈有色透明或無色透明。
[0019]可選的，所述有色透明性感光性液體材料中，著色材料的質(zhì)量濃度介于0.59TlO%。[0020]本發(fā)明還提供一種彩色濾光基板在線檢測方法，所述檢測方法在如上所述的彩色濾光基板的制作過程中進(jìn)行，即:對用于形成多個如上所述的彩色濾光基板的整面基板進(jìn)行制造工藝步驟，當(dāng)在所述整面基板形成所述有色透明感光性液體材料，并未對所述有色透明感光性液體材料進(jìn)行顯影時，進(jìn)行所述檢測方法的檢測；
[0021]所述檢測方法包括下列步驟的至少一個步驟:
[0022]將所述整面基板水平放置，檢查人員用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板；
[0023]將所述整面基板呈與水平面成30-40度放置，檢查人員用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板；
[0024]將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，檢查人員用手持燈進(jìn)行照射，順著光源方向，檢查所述整面基板；
[0025]將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，檢查人員用背燈檢查所述整面基板。
[0026]可選的，所述整面基板包括多個彩色濾光基板單元，采用“弓”字形路線對每個所述彩色濾光基板單元進(jìn)行檢查。
[0027]可選的，所述上燈、手持燈和背燈均包括鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艉蜔晒鉄舻闹辽?br> 其中之一。
[0028]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:
[0029]本發(fā)明所提供的彩色濾光基板采用有色透明性感光性液體材料形成間隔柱，因而可以在該彩色濾光基板的制作過程中對其進(jìn)行在線檢測，從而使得工作人員能夠及時調(diào)整和更改相應(yīng)的工藝條件，制作出高品質(zhì)的彩色濾光基板。
[0030]本發(fā)明所提供的彩色濾光基板能夠在線檢測出彩色濾光基板的mura等缺陷，并且能夠檢測出傳統(tǒng)方法很難在線檢測出的多種類型的mura，因而降低了大批產(chǎn)品出現(xiàn)問題的風(fēng)險，從而降低了生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1至圖5為本發(fā)明實施例一彩色濾光基板的制造方法各步驟對應(yīng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖6為以本發(fā)明實施例制取的彩色濾光基板上檢查出涂布不均勻或氣泡造成的不規(guī)則塊狀mura的示意圖；
[0033]圖7為以本發(fā)明實施例制取的彩色濾光基板上檢查出沿涂布方向的mura的示意圖；
[0034]圖8為為以本發(fā)明實施例制取的彩色濾光基板上檢查出涂布起刀mura的示意圖；
[0035]圖9為傳統(tǒng)無色透明感光性樹脂所形成的彩色濾光基板的示意圖。
【具體實施方式】
[0036]實施例一
[0037]本實施例提供一種液晶顯示裝置用彩色濾光基板的制造方法，該方法包括從SI至S5五個步驟。需要說明的是，本實施例以SI至S5來命名各步驟只是為了方便區(qū)分各步驟，而并不是限定各步驟的先后順序，在本發(fā)明的不同實施例中，各步驟可根據(jù)工藝的調(diào)節(jié)來調(diào)整先后順序。下面將結(jié)合圖1至圖5對SI至S5各步驟作詳細(xì)說明。
[0038]SI，在透明基板上形成含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層。
[0039]請參考圖1，本實施例首先在透明基板100上形成含有復(fù)數(shù)個開口 111的遮光層110。其中，該透明基板100既可以是透明玻璃基板，也可以是透明樹脂基板，優(yōu)選為無堿硼玻璃基板。而該遮光層110可以是由黑色著色劑的樹脂材料形成，并采用遮旋光性能高的碳黑作為著色劑，也可以是由金屬鉻材料形成。該遮光層Iio可用于防止將要以下S2步驟將要形成的各彩色光阻層(可參考圖2)周邊漏光，同時可增加色彩的對比性?？梢圆捎妙伭戏稚⒎▉硇纬稍撜诠鈱?10，具體的，可將光阻材料均勻涂布在透明基板100的第一表面(未標(biāo)注，本實施例可以看成圖1所示透明基板100的上表面)上，再使用熱盤對其進(jìn)行加熱處理，并在精確冷盤中冷卻。然后使用裝有高壓汞燈的近接式曝光機和相應(yīng)尺寸的掩膜板對其進(jìn)行曝光。曝光完成后用搬送到顯影設(shè)備實施顯影，得到圖案化的遮光層110。最后在烘箱中進(jìn)行烘烤處理，形成的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。需要說明的是，本說明書各附圖目的是為了形象說明實物的結(jié)構(gòu)和連接關(guān)系，并且通常僅是局部示意圖，因而附圖中各個結(jié)構(gòu)的尺寸和比例并代表實物的尺寸和比例。
[0040]S2，在所述遮光層的所述開口形成彩色光阻層。
[0041]本實施例在完成步驟SI之后，接著分別將紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)三原色的彩色光阻層形成在遮光層的開口中，如圖2所示，形成的彩色光阻層包括有121、122和123。具體工藝可以與形成上述遮光層110類似，因而可以參照步驟SI的工藝。除此之處，還可以用其它方法來形成彩色光阻層121、122和123，例如染料法、印刷法或者電鍍法。
[0042]S3，在所述遮光層和彩色光阻層上形成平坦保護(hù)層。
[0043]參考圖3所示，在完成彩色光阻層121、122和123的制作之后，可對透明基板100進(jìn)行紫外光清洗和水洗，以除去透明基板100表面的雜質(zhì)顆粒。然后再在遮光層110和彩色光阻層121、122和123上形成平坦保護(hù)層130。本實施例仍然可以參考步驟SI中所述的工藝來形成平坦保護(hù)層130。
[0044]S4，在所述透明基板第二表面形成透明電極。
[0045]在彩色濾光基板中通常會制作一層透明電極，在某些類型的液晶顯示器中，該透明電極作為一層公共電極用于配合另外一層電極以驅(qū)動液晶。本實施例在完成上述步驟之后，在透明基板100的第二表面(未標(biāo)注，本實施例可以看成圖1所示透明基板100的下表面)形成該透明電極140，該透明電極140可以由ITO制成。可通過磁控濺鍍在透明基板100第二表面濺鍍該ITO電極。
[0046]在本實施例中，步驟S4可以不在步驟S3之后完成，它既可以在步驟S3進(jìn)行之前完成，也可以在下面將要敘述的步驟S5完成之后再進(jìn)行，因而不該以各步驟的標(biāo)號來限定本實施例各步驟的先后順序。
[0047]S5，在所述平坦保護(hù)層上形成多個間隔柱。
[0048]該間隔柱150的具體形成方法可為:通過狹縫涂布機將有色透明性感光性液體材料(該有色透明性感光性液體材料可以為有色透明感光性樹脂材料)涂布在透明基板100的平坦保護(hù)層130表面上，然后在約100°C的溫度條件下烘烤約兩分鐘，之后在近接式曝光機中以50mJ/cm2的曝光功率下進(jìn)行曝光，再通過顯影設(shè)備實施顯影，最后在約200°C的溫度條件下烘烤約半小時，得到具有間隔柱150的所需彩色濾光基板。[0049]本實施例使用有色透明性感光性液體材料來形成間隔柱150，因而與現(xiàn)有的形成方法形成無色涂層不同，本實施例所形成的涂層為透明有色涂層。因而可以借助該涂層來檢測所制作的彩色濾光基板是否存在mura等缺陷。
[0050]本實施例進(jìn)一步優(yōu)選的，所述有色透明性感光性液體材料呈藍(lán)色透明、綠色透明、或者紅色透明，該三種類型的有色透明性感光性液體材料可與彩色濾光基板的彩色光阻層較好的相容，不易引起其它視覺影響。
[0051]本實施例中，所述有色透明性感光性液體材料包含的著色材料可以為下述的一種或幾種:Carmine6B (C.1.12490), Phthalocyanine Green (C.1.74260), PhthalocyanineBlue (C.1.74160),Perylene Black (BASF K0084.K0086),Cyanine Black、Linole Yellow(C.1.21090), Linole Yellow GRO (C.1.21090), Benzidine Yellow(4T-564D)，VictoriaPure Blue(C.1.42595)。特別需要說明的是，該有色透明性感光性液體材料中著色材料的質(zhì)量濃度介于0.59TlO%。本實施例的優(yōu)選方案中，所用的著色材料質(zhì)量濃度較低。這是因為，在著色材料質(zhì)量濃度較低的情況下，一方面，所形成的有色透明涂層仍然可以保證用于檢測mura ;另一方面，當(dāng)?shù)椭牧腺|(zhì)量濃度的涂層進(jìn)行顯影和烘烤之后，形成后的間隔柱150所具有的淡顏色可以褪去，重新變成無色透明。但當(dāng)然，也可以采用適當(dāng)濃的著色材料質(zhì)量濃度，使得形成后的間隔柱保持透明有色。所以，本實施例最終形成的間隔柱150既可以是有色透明的，也可以是無色透明的。
[0052]實施例二
[0053]本實施例提供另外一種液晶顯示裝置用彩色濾光基板的制造方法，該方法與實施例一中所示的方法多有相同之處，本實施例僅對其不同之處加以說明，相同部分可以參考實施例一所述內(nèi)容。
[0054]本實施例可以參考實施例一 SI至S3各步驟形成如圖3所示的結(jié)構(gòu)，而在接下去的步驟中(請參考圖1至圖5所示)，并不是在所述透明基板100第二表面形成透明電極140，而是選擇在所述平坦保護(hù)層130上形成透明電極140，然后在所述透明電極140上形成多個間隔柱150。這樣，形成的結(jié)構(gòu)與實施例一最終形成的如圖5所示結(jié)構(gòu)略有不同。本實施例最終形成的結(jié)構(gòu)中，透明電極140會形成在平坦保護(hù)層130和間隔柱150之間(未圖不)。本實施例中各結(jié)構(gòu)與實施例一中各相對應(yīng)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)基本相同，可以參考實施例一中的內(nèi)容。
[0055]實施例三
[0056]本實施例提供一種彩色濾光基板，該彩色濾光基板可以是由實施例一所述的制作方法制作得到，因而該彩色濾光基板每個部分的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)可以參考實施例一中的內(nèi)容。具體的，可參考圖5，該彩色濾光基板包括透明基板100，在該透明基板100第一表面包括有含有復(fù)數(shù)個開口 111的遮光層110。該遮光層110位于所述透明基板100的第一表面(未標(biāo)注，本實施例可以看成圖5所示透明基板100的上表面)。在所述遮光層110上包括有彩色光阻層121、122和123，該彩色光阻層121、122和123位于所述遮光層110的開口 111。本實施例中，該彩色濾光基板還包括有平坦保護(hù)層130。該平坦保護(hù)層130位于所述遮光層110和所述彩色光阻層121、122和123上，以形成對遮光層110和所述彩色光阻層121、122和123的覆蓋和保護(hù)。并且，多個間隔柱150位于平坦保護(hù)層130上。而在透明基板100第二表面(未標(biāo)注，本實施例可以看成圖5所示透明基板100的下表面)包括有透明電極 140。
[0057]本實施例中，所述間隔柱150優(yōu)選地，由有色透明感光性液體材料制成。(該有色透明性感光性液體材料可以為有色透明感光性樹脂材料)可以通過整面涂布所述有色透明感光性液體材料，再對該有色透明感光性液體材料經(jīng)過曝光顯影，形成所述間隔柱150。所述有色透明性感光性液體材料包含有著色材料，該著色材料可以為下述的一種或幾種:Carmine6B (C.1.12490), Phthalocyanine Green (C.1.74260), Phthalocyanine Blue(C.1.74160), Perylene Black (BASF K0084.K0086), Cyanine Black、Linole Yellow(C.1.21090), Linole Yellow GRO (C.1.21090), Benzidine Yellow(4T-564D)，VictoriaPure Blue (C.1.42595)。特別需要說明的是，該有色透明性感光性液體材料中著色材料的質(zhì)量濃度介于0.59TlO%。并且在由實施例一中的描述中可以知道，所述間隔柱150最終既可以是呈有色透明的，也可以是呈無色透明的。除此之外，間隔柱150也可以是用有色透明感光材料通過其它工藝制成。
[0058]實施例四
[0059]本實施例提供另外一種彩色濾光基板，該彩色濾光基板的結(jié)構(gòu)與實施例三所述彩色濾光基板的結(jié)構(gòu)大部分相同，因而可以參考實施例三所述內(nèi)容。而該彩色濾光基板可以由實施例二所述的制作方法形成，因而也可以結(jié)合參考實施例二所述內(nèi)容。
[0060]本實施例所提供的彩色濾光基板與實施例三所述的彩色濾光基板不同之處在于，本實施例中將圖5中的所述透明電極140形成在平坦保護(hù)層130與間隔柱150之間，而非形成在透明基板100第二表面。而其它部分的結(jié)構(gòu)則與實施例三中所述結(jié)構(gòu)相同，因此，其它部分內(nèi)容請參考本說明書以上各部分內(nèi)容。
[0061]實施例五
[0062]【背景技術(shù)】中提到，人們不斷追求更高清晰度和更高分辨率的液晶顯示器，這種追求首先要求如圖1所示的遮光層110中每一道遮光線的線寬(遮光層110可以看成是由矩陣排列的多道遮光線組成，如圖1中示出的其中的四道遮光線)減小，這就容易使得相鄰的兩個彩色光阻層容易重疊在一起(請參考圖2，彩色光阻層121和122，122和123分別在彼此交接邊緣處相互重疊)，導(dǎo)致彩色光阻層形成較多的牛角(Tuno)。這樣就會導(dǎo)致彩色濾光基板不平整，從而會造成在間隔柱150 (請參考圖5)的制作過程中會產(chǎn)生較多氣泡，進(jìn)而使得間隔柱150的高度不均一，最終導(dǎo)致彩色濾光基板的品質(zhì)的降低。
[0063]傳統(tǒng)方法中用于制作間隔柱的感光性液體材料通常呈無色透明，其涂布在彩色濾光基板上所形成的涂層也呈現(xiàn)無色透明，因而在檢查時，很難檢查出是否存在mura等缺陷，不利于彩色濾光基板在線(在線指在生產(chǎn)過程中)品質(zhì)控制。為實時檢查正在制作中的彩色濾光基板是否出現(xiàn)mura等缺陷，本發(fā)明實施例采用一種彩色濾光基板在線檢測方法，使得在制作過程中就能夠及時檢測彩色濾光基板是否出現(xiàn)mura等缺陷，從而使得工作人員能夠及時更改相應(yīng)的工藝條件，制作出高品質(zhì)的彩色濾光基板。
[0064]本實施例提供一種彩色濾光基板在線檢測方法，所述檢測方法在如上所述的彩色濾光基板的制作過程中進(jìn)行，即:對用于形成多個如上所述的彩色濾光基板的整面基板(即該整面基板包括多個彩色基板單元)進(jìn)行相應(yīng)的制造工藝步驟，當(dāng)在所述整面基板形成所述有色透明感光性液體材料，并對所述有色透明感光性液體材料進(jìn)行曝光但未進(jìn)行顯影時，進(jìn)行所述檢測方法的檢測。此時，所述有色透明感光性液體材料呈現(xiàn)為整面的有色透明涂層，該有色透明涂層有利于檢測出彩色濾光基板是否存在mura等缺陷。
[0065]該彩色濾光基板在線檢測方法具體包括:
[0066]步驟一，將所述整面基板水平放置，用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板是否存在mura等缺陷，所述的上燈是指位于燈房中檢測平臺上方的燈，本實施例中，上燈可以是鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艋蛘邿晒鉄簟?br> [0067]步驟二，將所述整面基板呈與水平面成30-40度放置，用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板，是否存在mura等缺陷，同樣的，該步驟中上燈可以是鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艋蛘邿晒鉄簟?br> [0068]步驟三，將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，用手持燈進(jìn)行照射，所述燈距離所述整面基板2(T30cm，順著光源方向，檢查所述整面基板；本實施例中，工作人員的手所拿持的燈可以是鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艋蛘邿晒鉄?，并且可以采用“弓”字形路線對每個彩色濾光基板單元進(jìn)行檢查?！肮弊中温肪€可以理解成從第一行(或列)的第一個彩色濾光基板單元從左到右(或從右到左)檢測到該行(或該列)最后一個彩色濾光基板單元，再換到下一行(或者下一列)，按反方向從右到左(或從左到右)從第一個彩色濾光基板單元檢測到最后一個彩色濾光基板單元，按上述過程不斷進(jìn)行，直至檢測完全部彩色濾光基板單元?！肮弊中温肪€可以節(jié)省檢測總行程。在檢查所述整面基板的過程中，對于表面光亮區(qū)域進(jìn)行由左至右，由上至下的細(xì)致檢查。
[0069]步驟四，將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，用背燈在距離所述整面基板背面2(T70cm的位置進(jìn)行照射，檢查人員在距離所述整面基板正面40cnT60Cm的位置進(jìn)行檢查，檢查所述整面基板。本實施例中，所述背燈是指燈位于所檢查的整面基板和工作人員之間，該所述的背燈可以是鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艋蛘邿晒鉄簟?br> [0070]由于傳統(tǒng)方法中用于制作間隔柱的感光性液體材料通常呈無色透明，其涂布在彩色濾光基板上所形成的涂層也呈現(xiàn)無色透明，因而在檢查時，必須全部進(jìn)行上述步驟一至四的四個步驟才能基本保證不漏檢。因而其檢測過程復(fù)雜，檢測時間長。但是本發(fā)明實施例只需要進(jìn)行上述四個步驟的其中之一，即可較為全面檢測出正在制作的彩色濾光基板是否存在mura等缺陷，并且所用的燈具可選擇范圍大。從中可以看出，本實施例所提供的檢測方法較以往的檢測方法在操作要求上寬松很多，并且容易檢出mura等缺陷，同時檢測時間可以大為縮短，有利于彩色濾光基板在線品質(zhì)控制。
[0071]由于本實施例所在線檢測的整面基板(包括多個彩色基板單元)包括有用有色透明感光性液體材料形成整面涂層(此時涂層已經(jīng)過曝光，但未經(jīng)顯影和烘烤)，因而，本實施例的檢測方法能夠迅速顯示出許多用無色透明感光性液體材料形成的涂層很難檢測出的mura,如附圖6至附圖9所示。圖6顯示出了利用本實施例的檢測方法能夠迅速檢測出涂布不均勻或氣泡造成的不規(guī)則塊狀mura，圖7顯示出利用本實施例的檢測方法能夠迅速檢測出沿涂布方向(move direction, MD)的mura,圖8顯示出利用本實施例的檢測方法能夠迅速檢測出涂布時起刀mura (位于圖8的底部)。而圖9為用傳統(tǒng)方法制作的整面基板,從中可以看出，其難以檢測出相應(yīng)的mura (傳統(tǒng)必須進(jìn)行較為復(fù)雜和詳細(xì)的步驟才能檢測出)。由于本實施例的檢測方法能夠迅速檢測出傳統(tǒng)方法很難在線檢測出的多種類型的mura，因而節(jié)省了工作人員的檢測時間，減輕了工作人員的工作強度，同時使得工作人員能夠及時調(diào)整和更改相應(yīng)的工藝條件，降低了大批產(chǎn)品出現(xiàn)問題的風(fēng)險，從而降低了生產(chǎn)成本。[0072]本說明書中各個部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個部分重點說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參見即可。
[0073]以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例，目的是為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好的理解本發(fā)明的精神，然而本發(fā)明的保護(hù)范圍并不以該具體實施例的具體描述為限定范圍，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，可以對本發(fā)明的具體實施例做修改，而不脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種彩色濾光基板的制造方法，包括: 在透明基板第一表面上形成含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層； 在所述遮光層的所述開口形成彩色光阻層； 在所述遮光層和彩色光阻層上形成平坦保護(hù)層； 在所述平坦保護(hù)層上或者所述透明基板第二表面形成透明電極；當(dāng)在所述平坦保護(hù)層上形成所述透明電極時，在所述透明電極上形成多個間隔柱；當(dāng)在所述透明基板第二表面形成所述透明電極時，在所述平坦保護(hù)層上形成多個間隔柱； 其特征在于，所述間隔柱使用有色透明性感光性液體材料形成。
2.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述有色透明性感光性液體材料呈藍(lán)色透明、綠色透明、或者紅色透明。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述有色透明性感光性液體材料中，著色材料的質(zhì)量濃度介于0.5%~10%。
4.一種彩色濾光基板，包括: 透明基板； 含有復(fù)數(shù)個開口的遮光層，形成于所述透明基板的第一表面； 彩色光阻層，形成于所述遮光層的所述開口 ； 平坦保護(hù)層，位于所述遮光層和所述彩色光阻層上； 透明電極，形成在所述平坦保護(hù)層上或者所述透明基板的第二表面； 多個間隔柱；當(dāng)所述透明電極形成在所述平坦保護(hù)層上時，所述間隔柱形成在所述透明電極上；當(dāng)所述透明電極形成在所述透明基板第二表面時，所述間隔柱形成在所述平坦保護(hù)層上。
5.如權(quán)利要求4所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述間隔柱呈有色透明或無色透明。
6.如權(quán)利要求4或5所述的彩色濾光基板，其特征在于，所述間隔柱由有色透明性感光性液體材料制成，并且所述有色透明性感光性液體材料中著色材料的質(zhì)量濃度介于0.5%~10%。
7.一種彩色濾光基板在線檢測方法，所述檢測方法在如權(quán)利要求4至6任意一項所述的彩色濾光基板的制作過程中進(jìn)行，即:對用于形成多個如權(quán)利要求4至6任意一項所述的彩色濾光基板的整面基板進(jìn)行制造工藝步驟， 當(dāng)在所述整面基板形成有色透明感光性液體材料，并未對所述有色透明感光性液體材料進(jìn)行顯影時，進(jìn)行所述檢測方法的檢測； 所述檢測方法包括下列步驟的至少一個步驟: 將所述整面基板水平放置，檢查人員用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板； 將所述整面基板呈與水平面成30-40度放置，檢查人員用上燈進(jìn)行照射，檢查所述整面基板； 將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，檢查人員用手持燈進(jìn)行照射，順著光源方向，檢查所述整面基板； 將所述整面基板呈與水平面成75~80度放置，檢查人員用背燈檢查所述整面基板。
8.如權(quán)利要求7所述的彩色濾光基板在線檢測方法，其特征在于，所述整面基板包括多個彩色濾光基板單元，采用“弓”字形路線對每個所述彩色濾光基板單元進(jìn)行檢查。
9.如權(quán)利要求7所述的彩色濾光基板在線檢測方法，其特征在于，所述上燈、手持燈和背燈均包括鈉燈、白燈、綠燈、鹵素?zé)艉?熒光燈的至少其中一種。
【文檔編號】G02F1/13GK103901656SQ201210572840
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月25日
【發(fā)明者】張志偉, 金子若彥, 徐廣軍, 張莉 申請人:上海儀電顯示材料有限公司