一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法，應(yīng)用于一帶有顯示單元的曝光機(jī)臺(tái)中，所述方法包括：檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大；當(dāng)所述硬件限位開關(guān)位于所述第二位置時(shí)，檢測(cè)是否有第一動(dòng)作，其中，所述第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到所述硬件限位開關(guān)的動(dòng)作；當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；當(dāng)檢測(cè)到有第二動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第二動(dòng)作，生成第一命令，其中，所述第二動(dòng)作為請(qǐng)求進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的動(dòng)作；執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值。
【專利說明】一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體芯片制造過程中，曝光機(jī)臺(tái)聚焦是光刻技術(shù)中非常重要的一項(xiàng)內(nèi)容，只有圓片處于透鏡的焦點(diǎn)上，曝光出來的圓片線寬才能達(dá)到要求，一旦焦點(diǎn)偏離，就像人近視或遠(yuǎn)視一樣，曝光后的線寬相差太大，達(dá)不到要求，其結(jié)果是非常嚴(yán)重的。
[0003]分步式重復(fù)曝光機(jī)采用自動(dòng)聚焦來監(jiān)測(cè)焦點(diǎn)的位置，使之在規(guī)定的范圍內(nèi)。不同的圓片被傳送到臺(tái)子上時(shí)，其圓片表面與投影鏡頭的距離是變化的。這個(gè)距離受圓片的厚度和扭曲變形的影響，當(dāng)然還有其它的原因。臺(tái)子通過垂直上下移動(dòng)來消除這個(gè)距離的變化，分步式重復(fù)曝光機(jī)一直檢測(cè)這個(gè)自動(dòng)聚焦信號(hào)，并不停的調(diào)整。不能保證在圓片的所有地方都同時(shí)滿足聚焦公差，所以聚焦的自動(dòng)調(diào)節(jié)器必須在圓片的每個(gè)曝光位置進(jìn)行重復(fù)的工作，這里就會(huì)用到Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)膠面。
[0004]但本申請(qǐng)發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)實(shí)施例中發(fā)明技術(shù)方案的過程中，發(fā)現(xiàn)上述技術(shù)至少存在如下技術(shù)問題:
[0005]由于現(xiàn)有技術(shù)中用來處理厚片的分步式重復(fù)曝光機(jī)臺(tái)只能用來處理厚度在400um及以上的圓片，所以，存在曝光機(jī)臺(tái)處理厚度小于400um的圓片時(shí)，Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)存在超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題；
[0006]由于Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)存在超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題，進(jìn)而，存在曝光機(jī)臺(tái)在曝光厚度小于400um的圓片超過硬件限位值或超過軟件限位值會(huì)報(bào)警或報(bào)錯(cuò)的技術(shù)問題，從而不能正常曝光。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本申請(qǐng)實(shí)施例通過提供一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法，用于現(xiàn)有技術(shù)中曝光機(jī)臺(tái)處理厚度小于400um的圓片時(shí)，Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題；
[0008]本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法，應(yīng)用于一帶有顯示單元的曝光機(jī)臺(tái)中，所述方法包括:
[0009]檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大；
[0010]當(dāng)所述硬件限位開關(guān)位于所述第二位置時(shí)，檢測(cè)是否有第一動(dòng)作，其中，所述第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到所述硬件限位開關(guān)的動(dòng)作；
[0011]當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；
[0012]當(dāng)檢測(cè)到有第二動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第二動(dòng)作，生成第一命令，其中，所述第二動(dòng)作為請(qǐng)求進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的動(dòng)作；
[0013]執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值。[0014]優(yōu)選地，所述當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓，具體包括:
[0015]當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，生成第二命令；
[0016]執(zhí)行所述第二命令，生成與所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；
[0017]輸出所述驅(qū)動(dòng)電壓，以使在所述顯示單元顯示所述驅(qū)動(dòng)電壓。
[0018]優(yōu)選地，所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值，具體包括:
[0019]執(zhí)行所述第一命令，接收所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值；
[0020]執(zhí)行寫入命令，寫入所述軟件限位值。
[0021]優(yōu)選地，在所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值之后，所述方法還包括:
[0022]當(dāng)檢測(cè)到有第三動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第三動(dòng)作，生成第一復(fù)位指令，其中所述第三動(dòng)作為用于復(fù)位所述軟件的動(dòng)作；
[0023]執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到軟件復(fù)位狀態(tài)。
[0024]優(yōu)選地，在所述執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到所述軟件復(fù)位狀態(tài)之后，所述方法還包括:
[0025]當(dāng)檢測(cè)到有第四動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第四動(dòng)作，生成第二復(fù)位指令，其中，所述第四動(dòng)作為用于復(fù)位所述曝光機(jī)臺(tái)的動(dòng)作；
[0026]執(zhí)行所述第二復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到可以曝光的狀態(tài)。
[0027]本申請(qǐng)實(shí)施例中提供的一個(gè)或多個(gè)技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點(diǎn):
[0028]1、由于采用檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，并寫入硬件限位開關(guān)所在的第二位置對(duì)應(yīng)的軟件限位值，有效解決了曝光機(jī)臺(tái)處理厚度小于400um的圓片時(shí)，Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題，進(jìn)而增大了曝光機(jī)臺(tái)Z軸馬達(dá)的硬件限位值，以及軟件限位值的技術(shù)效果。
[0029]2、由于解決了現(xiàn)有技術(shù)中曝光機(jī)臺(tái)在曝光厚度小于400um的圓片超過硬件限位值或超過軟件限位值會(huì)報(bào)警或報(bào)錯(cuò)的技術(shù)問題，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)擴(kuò)大了曝光機(jī)臺(tái)能曝光的圓片厚度范圍的技術(shù)效果，提高了曝光機(jī)臺(tái)的利用率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例中調(diào)節(jié)限位的方法的曝光機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例中調(diào)節(jié)限位的方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]本申請(qǐng)實(shí)施例通過提供一種聚焦限位調(diào)節(jié)的方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中曝光機(jī)臺(tái)處理厚度小于400um的圓片時(shí)，Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題。
[0033]本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案為解決上述的問題，總體思路如下:
[0034]檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大；當(dāng)所述硬件限位開關(guān)位于所述第二位置時(shí)，檢測(cè)是否有第一動(dòng)作，其中，所述第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到所述硬件限位開關(guān)的動(dòng)作；當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；當(dāng)檢測(cè)到有第二動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第二動(dòng)作，生成第一命令，其中，所述第二動(dòng)作為請(qǐng)求進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的動(dòng)作；
[0035]執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值。
[0036]為了更好的理解上述技術(shù)方案，下面將結(jié)合說明書附圖以及具體的實(shí)施方式對(duì)上述技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0037]本申請(qǐng)實(shí)施例一通過提供一種聚焦限位調(diào)節(jié)的方法，如圖2所示，應(yīng)用于一帶有顯示單元的曝光機(jī)臺(tái)中，該曝光機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。
[0038]所述方法具體包括以下步驟:
[0039]S201:檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大；
[0040]具體的，第一位置可以為:曝光機(jī)臺(tái)出廠時(shí)的原始位置，基于硬件限位開關(guān)處于第一位置時(shí)，能實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中的曝光工藝，即僅能對(duì)厚度大于等于400um的圓片進(jìn)行曝光處理，第一位置也可以為:調(diào)整后的位置，對(duì)于第一位置為曝光機(jī)臺(tái)出廠的位置還是調(diào)整過的位置，本申請(qǐng)不作限制。
[0041]在具體實(shí)施過程中，轉(zhuǎn)換后的第二位置為硬件限位值大于第一位置的硬件限位開關(guān)位置，例如，硬件限位開關(guān)的第一位置為距離絲桿左極端為lOOOOum，則第二位置可以為距離第一位置為O至8500um的位置，優(yōu)選的，為了盡可能擴(kuò)大曝光機(jī)臺(tái)能正常曝光的圓片厚度范圍，為了使曝光機(jī)臺(tái)能處理280um的薄片，第二位置距離第一位置為7500um至8500um為佳，能使曝光機(jī)臺(tái)正常曝光厚度200um以上的圓片厚度時(shí)，不會(huì)超過硬件限位值。
[0042]執(zhí)行完步驟S201之后，執(zhí)行步驟S202，即:當(dāng)所述硬件限位開關(guān)位于所述第二位置時(shí)，檢測(cè)是否有第一動(dòng)作，其中，所述第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到所述硬件限位開關(guān)的動(dòng)作；
[0043]在具體實(shí)施過程中，第一動(dòng)作的操作流程具體為:首先將擋位開關(guān)調(diào)節(jié)到第四擋位、模式開關(guān)調(diào)節(jié)至手動(dòng)模式，然后將驅(qū)動(dòng)電壓手柄向上撥動(dòng)到正向壓到正硬件限位開關(guān)的位置，或者將驅(qū)動(dòng)電壓手柄向下?lián)軇?dòng)到負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的位置。
[0044]具體的，第一動(dòng)作具體包括:用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到正的動(dòng)作和用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的動(dòng)作。
[0045]當(dāng)在步驟S202中檢測(cè)到第一動(dòng)作后，執(zhí)行步驟S203，即:當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；
[0046]具體的，當(dāng)檢測(cè)到第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)正向壓到硬件限位開關(guān)的動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓，以使能記錄到正向壓到硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓，當(dāng)檢測(cè)到第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到負(fù)硬件限位開關(guān)的動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示負(fù)向壓到負(fù)硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓，以使能記錄到負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓。通過該步驟能獲得正向和/或負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓。
[0047]無(wú)論檢測(cè)到的第一動(dòng)作為手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)正向壓到硬件限位開關(guān)的動(dòng)作還是手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的動(dòng)作，都能基于以下方法步驟在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓:
[0048]首先，當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，生成第二命令；
[0049]然后，執(zhí)行所述第二命令，生成與所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓；
[0050]接著，輸出所述驅(qū)動(dòng)電壓，以使在在所述顯示單元顯示所述驅(qū)動(dòng)電壓。
[0051]執(zhí)行步驟S203之后，執(zhí)行步驟S204，即:當(dāng)檢測(cè)到有第二動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第二動(dòng)作，生成第一命令，其中，所述第二動(dòng)作為請(qǐng)求進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的動(dòng)作；
[0052]在具體實(shí)施過程中，可以根據(jù)曝光機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)的路徑進(jìn)入進(jìn)行命令編輯狀態(tài)，例如，目前的曝光機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)的進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的路徑為:Diagnosemachine/GPIBEX/EditGPIB Command,則第二動(dòng)作具體為依次請(qǐng)求進(jìn)入目標(biāo)位置，當(dāng)檢測(cè)到已經(jīng)進(jìn)入Edit GPIBCommand的目標(biāo)位置時(shí)，則曝光機(jī)臺(tái)處于命令編輯狀態(tài)，則生成第一命令，具體的，第一命令為以使曝光機(jī)臺(tái)能接收編輯的參數(shù)以及指令的命令。
[0053]基于步驟S204生成的第一命令，即執(zhí)行步驟S205，即:執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值。
[0054]在具體實(shí)施過程中，所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值，具體包括:首先，執(zhí)行所述第一命令，接收所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值；然后，執(zhí)行寫入命令，寫入所述軟件限位值。
[0055]具體的，驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值為基于下表公式獲得的軟件限位值:
[0056]
正軟件限位值=(正向壓到硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓一 0.5V) + (4.88X0.001)
負(fù)軟件限位值=(負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的驅(qū)動(dòng)電壓一 0.5V) + (4.88X0.001)
[0057]在具體實(shí)施過程中，基于上表公式獲得與第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值的方法有多種，如可以由曝光機(jī)臺(tái)直接獲得，也可以基于用戶的操作獲得，對(duì)于采用何種方法獲得，本申請(qǐng)不作限制。
[0058]在具體實(shí)施過程中，寫入軟件限位值的過程具體為:
[0059]第一步，執(zhí)行已經(jīng)輸入的編輯軟件限位值命令，具體為執(zhí)行“WS 5-1-4 Byte”命令進(jìn)入軟件限位數(shù)據(jù)輸入狀態(tài)，
[0060]第二步，執(zhí)行“Data Input—I (I) =3 或 Data Input—I (I) =4” 命令進(jìn)入軟件限位數(shù)據(jù)輸入狀態(tài)。
[0061]其中，第二步具體為:當(dāng)需要寫入的軟件限位值為正軟件限位值時(shí)，基于用戶操作，執(zhí)行“Data Input-1 (1)=3”命令，進(jìn)入正軟件限位數(shù)據(jù)寫入狀態(tài)，即可以接收正軟件限位值的狀態(tài)，然后，接收用戶輸入的正軟件限位值，接著，執(zhí)行“Execute”命令，執(zhí)行寫入正軟件限位值。當(dāng)需要寫入的軟件限位值為負(fù)限位值時(shí)，基于用戶操作，執(zhí)行“DataInput-1⑴=4”命令，進(jìn)入負(fù)軟件限位值數(shù)據(jù)寫入狀態(tài)，即可以接收負(fù)軟件限位值的狀態(tài)，然后，接收用戶輸入的負(fù)軟件限位值，接著，執(zhí)行“Execute”命令，執(zhí)行寫入負(fù)軟件限位值。
[0062]在具體實(shí)施過程中，執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值可以只寫入正軟件限位值，也可以只寫入負(fù)軟件限位值，或者同時(shí)寫入正負(fù)軟件限位值，具體采用何種方式，根據(jù)檢測(cè)到的第一動(dòng)作為正向壓到硬件限位開關(guān)，或負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)，或先后檢測(cè)到正向、負(fù)向壓到硬件限位開關(guān)的動(dòng)作中的一種情況決定寫入軟件限位值為何種方式，所以本申請(qǐng)不作具體限制。
[0063]在具體實(shí)施過程中，在所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值之后，所述方法還包括:
[0064]當(dāng)檢測(cè)到有第三動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第三動(dòng)作，生成第一復(fù)位指令，其中所述第三動(dòng)作為用于復(fù)位所述軟件的動(dòng)作；
[0065]執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到軟件復(fù)位狀態(tài)。
[0066]具體的，檢測(cè)到用戶手動(dòng)復(fù)位了軟件復(fù)位開關(guān)“A-14 EPFP PCB SI”，生成一復(fù)位指令，對(duì)步驟S205中寫入曝光機(jī)臺(tái)的存儲(chǔ)器件中的數(shù)據(jù)進(jìn)行刷新，使曝光機(jī)臺(tái)的軟件恢復(fù)到正常執(zhí)行狀態(tài)。
[0067]在具體實(shí)施過程中，在所述執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到所述軟件復(fù)位狀態(tài)之后，所述方法還包括:
[0068]當(dāng)檢測(cè)到有第四動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第四動(dòng)作，生成第二復(fù)位指令，其中，所述第四動(dòng)作為用于復(fù)位所述曝光機(jī)臺(tái)的動(dòng)作；
[0069]執(zhí)行所述第二復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到可以曝光的狀態(tài)。
[0070]具體的,檢測(cè)用戶是否按動(dòng)曝光機(jī)臺(tái)的Reset “Wafer Stage”命令,使臺(tái)子各驅(qū)動(dòng)部位回到軟件初始位置，當(dāng)檢測(cè)到按動(dòng)復(fù)位曝光機(jī)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)單元?jiǎng)幼鲿r(shí)，生成一個(gè)復(fù)位曝光機(jī)臺(tái)的第二復(fù)位指令，執(zhí)行第二復(fù)位指令，對(duì)曝光機(jī)臺(tái)狀態(tài)進(jìn)行復(fù)位，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到可以曝光的狀態(tài)。
[0071]上述本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案，至少具有如下的技術(shù)效果或優(yōu)點(diǎn):
[0072]1、由于采用檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，并寫入硬件限位開關(guān)所在的第二位置對(duì)應(yīng)的軟件限位值，有效解決了曝光機(jī)臺(tái)處理厚度小于400um的圓片時(shí)，Z軸馬達(dá)上下調(diào)節(jié)圓片時(shí)會(huì)超過硬件限位值或軟件限位值的技術(shù)問題，進(jìn)而增大了曝光機(jī)臺(tái)Z軸馬達(dá)的硬件限位值，以及軟件限位值的技術(shù)效果。
[0073]2、由于解決了現(xiàn)有技術(shù)中曝光機(jī)臺(tái)在曝光厚度小于400um的圓片超過硬件限位值或超過軟件限位值會(huì)報(bào)警或報(bào)錯(cuò)的技術(shù)問題，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)擴(kuò)大了曝光機(jī)臺(tái)能曝光的圓片厚度范圍的技術(shù)效果，提高了曝光機(jī)臺(tái)的利用率。
[0074]盡管已描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本發(fā)明范圍的所有變更和修改。
[0075]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種聚焦限位調(diào)節(jié)方法，應(yīng)用于一帶有顯示單元的曝光機(jī)臺(tái)中，其特征在于，所述方法包括: 檢測(cè)所述曝光機(jī)臺(tái)的硬件限位開關(guān)是否從第一位置轉(zhuǎn)換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大； 當(dāng)所述硬件限位開關(guān)位于所述第二位置時(shí)，檢測(cè)是否有第一動(dòng)作，其中，所述第一動(dòng)作為用于手動(dòng)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓值時(shí)壓到所述硬件限位開關(guān)的動(dòng)作； 當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓； 當(dāng)檢測(cè)到有第二動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第二動(dòng)作，生成第一命令，其中，所述第二動(dòng)作為請(qǐng)求進(jìn)入命令編輯狀態(tài)的動(dòng)作； 執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，在所述顯示單元顯示所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓,具體包括: 當(dāng)檢測(cè)到所述第一動(dòng)作時(shí)，生成第二命令； 執(zhí)行所述第二命令，生成與所述第一動(dòng)作對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓； 輸出所述驅(qū)動(dòng)電壓，以使在所述顯示單元顯示所述驅(qū)動(dòng)電壓。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值，具體包括: 執(zhí)行所述第一命令，接收所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值； 執(zhí)行寫入命令，寫入所述軟件限位值。
4.如權(quán)利要求1-3中任一權(quán)項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在所述執(zhí)行所述第一命令，寫入所述驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)應(yīng)的軟件限位值之后，所述方法還包括: 當(dāng)檢測(cè)到有第三動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第三動(dòng)作，生成第一復(fù)位指令，其中所述第三動(dòng)作為用于復(fù)位所述軟件的動(dòng)作； 執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到軟件復(fù)位狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述執(zhí)行所述第一復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到所述軟件復(fù)位狀態(tài)之后，所述方法還包括: 當(dāng)檢測(cè)到有第四動(dòng)作時(shí)，響應(yīng)所述第四動(dòng)作，生成第二復(fù)位指令，其中，所述第四動(dòng)作為用于復(fù)位所述曝光機(jī)臺(tái)的動(dòng)作； 執(zhí)行所述第二復(fù)位指令，以使所述曝光機(jī)臺(tái)恢復(fù)到可以曝光的狀態(tài)。
【文檔編號(hào)】G03F7/207GK103869634SQ201210546133
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月14日
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