專利名稱：：用于剝離的組合物以及剝離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于剝離的組合物以及剝離方法，并且更具體地說，涉及一種用于容易地剝離形成在基板上的顏色抗蝕劑(彩色抗蝕劑，colorresist)或有才幾絕》彖薄月莫的組合物和方法，以當(dāng)在基板上形成濾色片(colorfilter)或有機(jī)絕緣薄膜過程中出現(xiàn)缺陷時(shí)重新-使用該基板。
背景技術(shù)：
：在液晶顯示裝置中，上基板(頂部基板，topsubstrate)包括紅色、綠色和藍(lán)色濾色片；用于防止每一像素之間的漏光并改善對比度的黑色矩陣(blackmatrix);以及用于將電壓施加至液晶單元的共用電才及(commonelectrode)。在上基板上制造濾色片的方法如下。將用作用于黑色矩陣的材料的Cr/CrOx或有機(jī)材料根據(jù)其用途施加在玻璃基板上以形成圖案。形成黑色掩模圖案。其后，通過光刻技術(shù)形成顏色抗蝕劑圖案以便顯示顏色。將顏色抗蝕劑施加在玻璃基板上，并暴光以通過光聚合固化。在暴光之后，通過顯影除去顏色抗蝕劑的未暴光區(qū)域，并且使顏色抗蝕劑經(jīng)歷烘焙處理。通過顏料分散法、染色法、電沉積法等來產(chǎn)生顏色抗蝕劑，并且經(jīng)常使用顏料分散法。用來顯示顏色的有4幾顏坤牛通常分散在用于光致抗蝕劑的包括光聚合引發(fā)劑、單體、以及粘合劑的光敏組合物中。光聚合引發(fā)劑是當(dāng)照射時(shí)能夠產(chǎn)生自由基(原子團(tuán))的高度感光性化合物(sensitivecompound)。在聚合反應(yīng)開始后單體通過自由基形成聚合物并且變得不溶于溶劑。粘合劑保護(hù)液體單體在室溫下不受顯影劑影響，并且影響顏#+分散的穩(wěn)定性，以及紅色、綠色、和藍(lán)色圖案的耐熱、耐光和藥物抗性的可靠性。直到現(xiàn)在，一旦顏色抗蝕劑在制造濾色片的工藝過程中被固化，則不可能僅除去或l奮復(fù)圖案的有缺陷的部分。此外，由于不存在適合的用于除去顏色抗蝕劑的溶劑，因此其上形成有有缺陷濾色片的基板被丟棄。顏色抗蝕劑是負(fù)型抗蝕劑(negativetyperesist)，與正型抗蝕劑(positivetyperesist)相比，該負(fù)型4元蝕劑通常7*以通過剝離除去，從而獲得期望的改善的剝離性能。特別地，在其中濾色片形成在下基玲反(底部基々反，bottomsubstrate)的薄膜晶體管上的情況下，由包括Al的金屬形成的電極在除去顏色抗蝕劑的過程中可能被損壞。因此，已經(jīng)需要用于解決這些問題的剝離性能。此外，適合的能夠除去在薄膜晶體管上形成的負(fù)型有機(jī)絕緣薄月莫的剝離組合物(strippingcomposition)目前還沒有4艮好i也確定，這增加了對能夠剝離薄膜的組合物的需要。由于上述原因，常規(guī)使用無機(jī)剝離溶液和使用等離子體的活性離子蝕刻(RIE)。然而，為了使用無機(jī)剝離溶液，將硫酸、硝酸、發(fā)煙石克酸、以及硝'酸和過氧化氫的混合;容液加熱至120。C以上，這要求在處理的同時(shí)非常小心，以確保"吏用者的安全并避免火險(xiǎn)。使用等離子體的用于除去固化顏色抗蝕劑(其4艮難通過傳統(tǒng)的濕蝕刻方法除去)的RIE方法4皮露在美國專利第5,756,239中，其中連續(xù)4吏用02-RIE和SF6-RIE。此外，通過l吏用氧的等離子體來除去顏色抗蝕劑的吸收層以及通過使用六氟化硫或三氟化氮的RIE來除去顏色抗蝕劑的阻擋層的方法4皮露在美國專利第5，059，500號(hào)中，其中聚酯、聚酰胺、以及酚醛清漆樹脂用作吸收層，而聚石圭烷、聚硅氧烷、有機(jī)硅化合物、硅石、氮化硅以及它們的混合物用作阻擋層。然而，通過^f吏用等離子體蝕刻濾色片的方法具有實(shí)際限制，因?yàn)樗蟾哒婵蘸透吣芰?，因此在加工條件上的控制是困難的，該方法不能用于寬的領(lǐng)域，并且使用昂貴的設(shè)備。同樣地，大量的顏色抗蝕劑不能容易地通過常失見的方法除去，由于擔(dān)憂使用者的安全和降低的生產(chǎn)率和產(chǎn)量。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種能夠容易地除去顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的剝離組合物。本發(fā)明的另一個(gè)方面提供了一種用于除去在薄膜晶體管上形成的顏色抗蝕劑或負(fù)型有機(jī)絕緣薄膜的剝離組合物和剝離方法。本發(fā)明的又一個(gè)方面沖是供了一種當(dāng)除去顏色抗蝕劑或有才幾絕緣薄膜時(shí)并不損壞下基板的薄膜晶體管的剝離組合物和剝離方法。本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種剝離組合物，該剝離組合物包括0.5至45wt。/o的氫氧化合物(氫氧化物，hydroxidecompound)、10至89\￥1%的烷撐二醇烷基醚化合物(亞烷基二醇烷基醚化合物alkyleneglycolalkylethercompound)、5至45wto/o的鏈》克酉f胺4匕合物以及0.01至5wtQ/o的無才幾鹽^f匕合物。在這一點(diǎn)上，氫氧化合物具有烷基基團(tuán)(該烷基基團(tuán)具有l(wèi)至4個(gè)碳原子)，并且可以包括選自由無機(jī)石咸性氫氧化物(無機(jī)石威金屬類氪氧4匕物，inorganicalkalihydroxide)、》克基氬氧葉匕銨、步克基烯丙基氫氧化銨以及它們的組合組成的組中的一種。無機(jī)石咸性氫氧化物可以包括選自由氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀以及它們的組合組成的纟且中的一種。而且，烷基氫氧化銨可以包括選自由四乙基氫氧化銨、四曱基氬氧化銨(TMAH)、四丁基氫氧化銨、三甲基節(jié)基氫氧化銨、氫氧化銨以及它們的組合組成的組中的一種。烷基烯丙基氫氧化銨可以包4舌選自由氫fU匕銨、四甲基氫IU匕按、四乙基氫氧4匕銨、四丁基氫氧化銨、四芐基氫氧化銨以及它們的組合組成的組中的一種。此外，烷撐二醇烷基醚化合物包括具有1至4個(gè)碳原子的烷基基團(tuán)，并且可以包括選自由單烷撐二醇單烷基醚、二烷撐二醇單烷基醚、三烷撐二醇單烷基醚以及它們的組合組成的組中的一種。》克撐二醇;^基醚^f匕合物可以包^r選自由乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丁基醚、三乙二醇單丁基醚、乙二醇一曱基醚、二乙二醇一甲基醚、三乙二醇單醚、三乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙二醇一乙醚(ethyleneglycolmonoethylglycol)、丙二醇一甲基醚、二丙二醇一曱基醚、三丙二醇一曱基醚以及它們的組合組成的組中的一種。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>(I)其中，Ri和R"分別包括氫原子，并且是CrCs烷基或d-Q鏈鏈烷醇胺化合物可以由下面的化學(xué)式(n)表示。其中，1^和112如上面所定義，R是d-do烷基、d-do《連烯基、氨基、CrC!o羥烷基、Ci-do氨烷基、(CVdo烷基)苯基、苯基(d-do)烷基、C廣Cu)烷氧基、(C廣do)烷氧基(Crdo)烷基、羥基(C廣do)烷氧基(Q-do)烷基(hydroxy(d-Cio)alkyloxy(d畫do)alkyl)、C廣do烷基氨基、氨基(d-Co)烷氧基(CVdo)烷基、羥基(C廣C!o)烷基氨基(C廣C一烷基；R4是氫、CH2OH、-CH(OH)CH3、d曙C。烷基、d-do鏈烯基、氨基、C廣do羥烷基、C廣do氨烷基、(C廣C!o烷基)苯基、苯基(d-do)烷基、d畫do烷氧基、(C廠Qo)烷氧基(d-do)烷基、羥基(Crdo)烷氧基(C!-do)烷基、C廣do烷基氨基、氨基(C廣do)烷氧基(d-d。)烷基、羥基(Crdo)烷基氨基(d-do)烷基；或R3和R"可以與氮結(jié)合以形成具有1至12個(gè)碳原子的環(huán)狀氨基基團(tuán)。此外，在另一種具體實(shí)施方式中，1^和112均是氫；或R/可以是氫，而ie可以是曱基。鏈烷醇胺化合物可以包括選自由下列物質(zhì)組成的組中的一種(1)剝離脂肪族鏈烷醇胺類，例如N-羥基甲基曱胺、N-羥基甲基二曱胺、N，N-二羥基甲基曱胺、N-(a-羥基乙基)曱胺、N-(a-羥基乙基)二曱胺、N，N-(二-a-羥基乙基)曱胺、N-羥基曱基乙胺、N-羥基曱基二乙胺、N,N-二羥基曱基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙胺、N-(a-羥基乙基)二乙胺、N,N-(二-a-羥基乙基)乙胺、N-羥基曱基丙胺、N-羥基曱基二丙胺、N，N-二羥基甲基丙胺、N-(a-羥基乙基)丙胺、N-(a-羥基乙基)二丙胺、N,N-(二-a-羥基乙基)丙胺、N-羥基曱基丁胺、N-羥基曱基二丁胺、N，N-二羥基曱基丁胺、N-(a-羥基乙基)丁胺、N-(a-羥基乙基)二丁胺、N，N-(二-a-羥基乙基)丁胺、N-羥基曱基戊胺、N-羥基甲基二戊胺、N,N-二羥基曱基戊胺、N-(a-羥基乙基)戊胺、N-羥基甲基己胺、N-羥基曱基二己胺、N，N-二羥基甲基己胺、N-(a-羥基乙基)己胺、N-羥基甲基庚胺、N-羥基曱基二庚胺、N,N-二羥基曱基庚胺、N-羥基曱基辛胺、N-羥基甲基二辛胺、N,N-二羥基曱基辛胺、N-(a-羥基乙基)辛胺、N-羥基曱基甲基乙胺(N畫hydroxymethylmethylethylamine)、N畫(a畫羥基乙基)曱基乙胺、N-羥基曱基曱基丙胺、N-(a-羥基乙基)甲基丙胺、N-羥基甲基曱基丁胺、N-(a-羥基乙基)曱基丁胺、N-羥基曱基乙基丙胺、N-(a-幾基乙基)乙基丙胺、N-羥基曱基乙基丁胺、N-(a-羥基乙基)乙基丁胺、N-羥基曱基乙醇胺(CAS號(hào)65184-12-5)、N-(a-羥基乙基)乙醇胺、N,N-二羥基甲基乙醇胺、N,N-(二-a-羥基乙基)乙醇胺、N-羥基曱基二乙醇胺、N-(a-羥基乙基)二乙醇胺、N-羥基曱基-N-曱基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-甲基乙醇胺、N-羥基曱基-N-丙基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基乙醇胺、N-羥基甲基-N-丁基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基乙醇胺、N-羥基甲基異丙醇胺(CAS號(hào)76733-35-2)、N-(a-羥基乙基)異丙醇胺、N,N-二羥基曱基異丙醇胺、N，N-(二-a-羥基乙基)異丙醇胺、N-羥基曱基二異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)二異丙醇胺、N-羥基甲基-N-甲基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基異丙醇胺、N-羥基甲基-N-乙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-乙基異丙醇胺、N-羥基甲基-N-丙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基異丙醇胺、N-羥基甲基-N-丁基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基異丙醇胺、N-羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N-(a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N,N-二羥基甲基氨基乙氧基乙醇、N，N-(二-a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N-羥基曱基氨基-2-曱基丙醇、N-(a-羥基乙基)氨基-2-曱基丙醇、N，N-二羥基曱基氨基-2-曱基丙醇、以及N,N-(二-a-羥基乙基)氨基-2-曱基丙醇；(2)脂肪族鏈烷醇多胺類，例如N-羥基曱基乙二胺(CAS號(hào)41434-24-6)、N-(a-羥基乙基)乙二胺、N,N-二羥基曱基乙二胺(CAS號(hào)70495-38-4)、N-羥基曱基亞丁基二胺(CAS號(hào)66210-83-1)、N-羥基曱基丙二胺(CAS號(hào)66210-82-0)、N,N'-二羥基曱基亞丁基二胺、N,N-二羥基甲基亞丁基二胺、N，N，N'-三羥基曱基亞丁基二胺、N，N，N',N'-四羥基曱基亞丁基二胺、N,N'-二羥基曱基丙二胺、N,N-二羥基曱基丙二胺、N，N,N'-三羥基曱基丙二胺、N，N,N',N'-四羥基曱基丙二胺、N,N-(二-a畫羥基乙基)乙二胺、N,N,N'-三羥基甲基乙二胺、N,N,N'-(三-a-羥基乙基)乙二胺、N，N,N',N'-四羥基曱基乙二胺、N,N，N',N'-(四-a-羥基乙基)乙二胺、N-羥基甲基-N-曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N,N'-二羥基甲基-N-曱基乙二胺、N,N'-(二-a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N,N',N'-(三-a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N，N',N'-三羥基曱基-N-曱基乙二胺、N-羥基曱基-N',N'-二曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N',N'-二曱基乙二胺、N，N-二羥基甲基-N',N'-二甲基乙二胺、N，N-(二-a-羥基乙基)-N',N'-二曱基乙二胺、N-羥基曱基-N，N'，N'-三曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N，N',N'-三曱基乙二胺、N-羥基曱基-N-乙基乙二胺、N,N'-二羥基甲基-N-乙基乙二胺、N，N'，N'-三羥基曱基-N-甲基乙二胺、N-羥基曱基-N',N'-二乙基乙二胺、N，N-二羥基曱基-N',N'-二乙基乙二胺、N-羥基曱基-N,N'，N'-三亞乙基二胺、N-羥基曱基丙二胺、N,N-二羥基曱基丙二胺、N，N，N'-三羥基甲基丙二胺、N,N,N'，N'-四羥基甲基丙二胺、N-羥基曱基亞丁基二胺、N，N-二羥基曱基亞丁基二胺、N,N,N'-三羥基甲基亞丁基二胺、N，N,N'，N'-四羥基甲基亞丁基二胺、N-羥基曱基二亞乙基三胺、N，N"-二羥基曱基二亞乙基三胺以及N-羥基曱基三亞乙基四胺；(3)脂肪族鏈烷醇不飽和胺類，例如N-羥基曱基烯丙基胺、N,N-二羥基曱基烯丙基胺、N-(a-羥基乙基)烯丙基胺、N,N-(二-a-羥基乙基)烯丙基胺、N-羥基甲基二烯丙基胺、N-羥基曱基-N-甲基烯丙基胺以及N-羥基曱基-N-乙基烯丙基胺；(4)剝離環(huán)狀鏈烷醇胺類，例如N-羥基甲基吡咯、N-(a-羥基乙基)吡咯、N-羥基甲基-甲基吡咯、N-羥基曱基-二曱基吡咯、N-羥基曱基-三甲基吡咯、N-羥基曱基吡咯烷、N-(a-羥基乙基)p比咯烷、N-羥基曱基-曱基吡咯烷、N-羥基甲基吡唑、N-羥基甲基咪唑、N-羥基甲基三哇、N-羥基曱基四唑、N-羥基曱基哌啶、N-(a-羥基乙基)哌口定、N畫羥基甲基p底可啉(N-hydroxymethylpipecoline)、N-羥基曱基-2,6-二曱基p底口定(N-hydroxymethyllupetidine)、Nj5基曱基p底口秦、N，N-二羥基曱基哌。秦、N-(a-羥基乙基)哌溱、N-羥基曱基曱基哌嗪、N-羥基曱基嗎啉以及N-(a-羥基乙基)嗎啉；(5)脂肪族鏈烷醇醚胺類，例如N-羥基甲基甲氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)甲氧基乙胺、N,N-二羥基曱基曱氧基乙胺、N-羥基曱基曱氧基丙胺、N,N-二羥基曱基曱氧基丙胺、N-羥基曱基乙氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙氧基乙胺、N，N-二羥基曱基乙氧基乙胺、N-羥基甲基乙氧基丙胺以及N，N-二羥基甲基乙氧基丙胺；以及它們的組合。鏈烷醇胺化合物可以進(jìn)一步包括選自由烷基胺、鏈烷醇胺、多胺、羥胺、環(huán)胺以及它們的組合組成的組中的至少一種附加胺(additiveamine)。烷基胺可以包括選自由脂肪族伯烷基胺類如曱胺、乙胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、仲丁胺、異丁胺、叔丁胺、戊胺、2-氨基戊烷、3-氨基戊烷、l-氨基-2-甲基丁烷、2-氨基-2-曱基丁烷、3-氨基-2-曱基丁烷、4-氨基-2-曱基丁烷、己胺、5-氨基-2-甲基戊烷、庚胺、辛胺、壬胺、癸胺、十一烷胺、十二烷胺、十三烷胺、十四烷胺、十五烷胺、十六烷胺、十七烷胺以及十八(烷)胺；脂肪族仲烷基胺類，例如二曱胺、二乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁胺、二異丁胺、二仲丁胺、二^又丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、曱基乙胺、曱基丙胺、曱基異丙胺、曱基丁胺、曱基異丁胺、曱基仲丁胺、甲基^又丁胺、曱基戊胺、曱基異戊胺、乙基丙胺、乙基異丙胺、乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基仲丁胺、乙基a又丁胺、乙基異戊胺、丙基丁胺以及丙基異丁胺；脂肪族叔烷基胺類，例如三曱胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、二曱基乙胺、二曱基丙胺、曱基二乙胺、曱基二丙胺；以及它們的組合組成的組中的一種。鏈烷醇胺可以包括選自由脂肪族鏈烷醇胺類例如乙醇胺、N誦甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N畫丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、N-曱基異丙醇胺、N-乙基異丙醇胺、N-丙基異丙醇胺、2-氨基丙-1-醇(2-aminopropan-l-o1)、N-曱基-2-氨基丙-l-醇、N-乙基-2-氨基丙-1-醇、l-氨基丙-3-醇、N-曱基-l-氨基丙-3-醇、N-乙基-l-氨基丙-3-醇、l-氨基丁-2-醇、N-甲基-l-氨基丁-2-醇、N-乙基-l-氨基丁-2-醇、2-氨基丁-l-醇、N-甲基-2-氨基丁-l-醇、N-乙基-2-氨基丁-l-醇、3-氨基丁-l-醇、N-曱基-3-氨基丁-l-醇、N-乙基-3-氨基丁-l-醇、1-氨基丁_4-醇、N-甲基-l-氨基丁-4-醇、N-乙基-l-氨基丁-4-醇、1-氨基-2-曱基丙-2-醇、2-氨基-2-曱基丙-l-醇、l-氨基戊-4-醇、2-氨基-4-曱基戊-l-醇、2-氨基己-l-醇、3-氨基庚-4-醇、l-氨基辛-2-醇、5-氨基辛_4-醇、l-氨基丙-2，3-二醇、2-氨基丙-l,3-二醇、三(氧甲基)氨基曱烷(三(羥曱基)氨基曱》克，tris(oxymethyl)aminomethane)、1,2-二氨基丙-3-醇、1，3-二氨基丙-2-醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇以及它們的組合組成的組中的一種。多胺類可以包4舌選自由乙二胺、丙二胺、亞丁基二胺、亞丙基二胺(1，3-丙二胺，trimethylenediamine)、四亞曱基二胺、1,3-二氨基丁烷、2，3-二氨基丁烷、戊二胺(戊曱撐二胺)、2,4-二氨基戊烷、六亞曱基二胺、庚二胺(七曱撐二胺)、辛二胺、壬二胺、N-曱基乙二胺、N，N-二甲基乙二胺、三曱基乙二胺、N-乙基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、1，2，3-三氨基丙烷、三(2-氨基乙基)胺、四(氨基曱基)曱烷、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺、四亞乙基五胺、七亞乙基八胺、九亞乙基十胺(nonaethylenedecamine)以及它們的纟且合纟且成的組中的一種。輕胺類可以包括選自由羥胺、N-曱基羥胺、N-乙基羥胺、N,N-二乙基羥胺以及它們的組合組成的組中的一種。環(huán)胺類可以包4舌選自由吡咯、2-曱基吡咯、3-甲基吡咯、2-乙基吡咯、3-乙基吡咯、2，3-二甲基吡咯、2,4-二曱基吡咯、3,4-二曱基吡咯、2,3,4-三曱基吡咯、2,3，5-三甲基吡唂、2-吡p各啉、3-吡咯啉、p比p各;^、2-曱基吡p各烷、3-曱基p比p各步克、p比口坐、口米p坐、1，2,3-三p坐、1，2，3,4-四峻、口底口定、2-p底可啉(2-甲基p底口定，2畫pipecoline)、3畫卩底可啉、4畫口底可啉、2，4畫2，6畫二曱基。底口定(2，4-lupetidine)、2,6-2，6-二曱基哌咬、3，5-2,6-二甲基咪口定、派口秦、2-曱基哌漆、2,5-二曱基哌。秦、2，6-二曱基哌漆、嗎啉以及它們的組合組成的組中的一種。此外，無才幾鹽化合物可以包括選自由氪氧^f匕鉀、醋酸鐘、硝酸鐘、碳酸4甲、焦石粦酸鉀以及它們的組合組成的組中的一種。剝離組合物可以進(jìn)一步包4舌選自由羥胺化合物、耐腐蝕劑(corrosion-resistantagent)、才及')"生溶劑、7jC以及它力1的纟且合纟且成的紐—中的一種。類、二乙醇胺類、三乙醇胺類以及它們的組合組成的組中的一種。羥胺化合物可以包括選自由單乙醇胺、單曱醇胺、異丙醇胺、二甲醇胺、二乙醇胺、二丙醇胺、三曱醇胺、三乙醇胺、四乙醇胺以及它們的組合組成的中的一種。而且，耐腐蝕劑可以包括選自由糖類、糖醇、芳香族羥基化合物、炔屬醇(acetylenealcohol)、羧酸化合物和它的酸酐、三峻^f匕合物以及它們的組合組成的組中的一種。斗唐類可以包4舌選自由具有3至6個(gè)石灰原子的單^f唐類i者如甘油醛、抗壞血酸、異抗壞血酸、蘇糖、阿拉伯糖、木糖、核糖、核酮糖、木酮糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、塔格糖、阿洛糖、阿卓糖、古洛糖、艾杜糖、塔羅糖、山梨糖、阿洛酮糖和果糖；二糖類諸如海藻糖；以及它們的組合組成的組中的一種。糖醇可以包括選自由蘇糖醇、赤蘚醇、阿東糖醇(核糖醇)、阿糖醇、木糖醇、塔羅糖醇、山梨^f唐醇、甘露糖醇、艾杜4唐醇、半乳凈唐醇、月幾醇以及它們的組合組成的組中的一種。芳香族羥基化合物可以包括選自由苯酚(phenol)、曱酚、二曱苯酚、鄰苯二酚、間苯二酚、氯醌、連苯三酚(pyrogallol)、1，2，4-苯三醇、水楊醇、對羥基千醇、對羥基苯乙醇、對氨基苯酚、間氨基苯酚、二氨基苯酚、氨基間苯二酚、對羥基苯曱酸、鄰羥基苯曱酸、2,4-二羥基苯曱酸、2,5-二羥基苯甲酸、3,4-二羥基苯曱酸、3,5-二羥基苯甲酸、五倍子酸以及它們的組合組成的組中的一種。炔屬醇可以包括選自由2-丁烯-l，4-二醇、3,5-二甲基-l-己烯-3-醇、2-曱基-3-丁烯-2-醇、3-曱基-l-戊二烯亞戊基(pentien)-3-醇、3,6-二曱基-4-辛烯-3,6-二醇、2,4，7，9-四曱基-5-姿烯畫4,7-二醇、2，5-二甲基-3-己烯-2,5-二醇以及它們的組合組成的組中的一種。羧酸化合物和它的酸酐可以包括選自由曱酸、乙酸、丙酸、丁酸、異丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、馬來酸、富馬酸、苯曱酸、苯二曱酸、1,2,3-苯三甲酸、乙醇酸、二甘醇酸、乳酸、蘋果酸、檸檬酸、乙酸酐、鄰苯二曱酸酐、馬來酐、琥珀酐、水楊酸以及它們的組合組成的組中的一種。三唑化合物可以包括選自由苯并三唑、鄰曱基苯并三唑(o-tolyltriazole)、間曱基苯并三哇、對曱基苯并三唑、羧基苯并三唑、1-羥基苯并三唑、硝基苯并三唑、二羥基丙基苯并三哇以及它們的組合組成的組中的一種。耐腐蝕劑可以包4舌選自由兒茶酚類(鄰苯二酚類，catechols)_渚如鄰苯二酚、山梨醇、木糖醇、五倍子酸、2-丁烯-l，4-二醇、苯二曱酸、鄰苯二曱酸酐、水楊酸、抗壞血酸、甲基苯并三峻、苯并三唑以及它們的纟且合iEL成的《且中的一種。而且，極性溶劑可以是石危的化合物(含石克化合物)或烷基吡咯)院酮。石危的4匕合物可以包4舌選自由二甲亞石風(fēng)、二乙亞^風(fēng)、二丙亞石風(fēng)、環(huán)丁石風(fēng)以及它們的混合物組成的組中的一種。烷基吡p各:院酮可以包括選自由吡咯烷酮、n-曱基吡咯烷酮、n-乙基吡咯烷酮、n-丙基吡咯烷酮、n-辛基吡咯烷酮、n-環(huán)己基吡咯烷酮、n-十二烷基吡咯烷酮、2-吡咯烷酮、l-羥乙基-2-p比咯烷酮、l-羥丙基-2-p比咯烷酮以及它們的組合組成的組中的一種。剝離組合物可以進(jìn)一步包括0.5至10\\4%的羥胺化合物、0.01至5wt。/o的耐腐蝕劑、以及余量的水。氫氧化合物可以是四甲基氬氧化銨，烷撐二醇烷基醚化合物可以是乙二醇曱基醚或二乙二醇曱基醚，鏈烷醇胺化合物可以包括選自由單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及它們的組合組成的組中的一種。無機(jī)鹽化合物可以是醋酸鐘或氫氧化鐘，耐腐蝕劑可以包括選自由苯并三唑、兒茶酚、炔屬醇、三三峻(tritriazole)以及它們的組合組成的組中的一種。才艮據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面的剝離方法可以包括在基板上形成包含有機(jī)材料的薄膜；以及使用剝離組合物剝離在基板上的薄膜，所述剝離組合物包含0.5至45wt。/。的氫氧化合物、10至89wt。/。的烷撐二醇烷基醚化合物、5至45wt。/。的鏈烷醇胺化合物、以及0.01至5wt。/o的無才;L鹽^匕合物。剝離方法可以進(jìn)一步包括檢查薄膜的缺陷；以及在剝離薄膜之前，當(dāng)4企測到擊夬陷時(shí)確定有在夾陷的薄月莫。薄膜可以是濾色片或有機(jī)絕緣薄膜。有機(jī)絕緣薄膜可以是負(fù)型的(negativetype)。而且，基板可以包括器件層壓板(devicelaminates),該器件層壓板包括薄膜晶體管，薄膜可以形成在器件層壓板上，并且薄膜晶體管可以包括由包括Al的金屬形成的電極。圖1是示出了在缺陷檢查后在基板上形成的濾色片或有機(jī)絕緣薄膜的剝離過程以重新使用基板的流程圖。具體實(shí)施方式在下文中，將詳細(xì)地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明并不限于以下具體實(shí)施方式。而且，本發(fā)明可以以多種不同的形式來具體體現(xiàn)，具體實(shí)施方式以使使本^皮露內(nèi)容更全面和完整，并且將本發(fā)明的構(gòu)思充分地傳達(dá)給本領(lǐng)域的沖支術(shù)人員。提供了一種有效地除去顏色抗蝕劑，特別是在薄膜晶體管上形成的顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜，更具體地說負(fù)型有機(jī)絕緣薄膜的方法，以允許重新使用先前已^皮丟棄的基板。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)顏色抗蝕劑，特別是顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜，更具體地說負(fù)型有機(jī)絕緣薄膜通過使用根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物可以容易地除去。本發(fā)明4是供了一種剝離組合物，包括(A)約0.5至約45wt%的氫氧化合物，(B)約IO至約89wt。/。的烷撐二醇烷基醚化合物，(C)約5至約45wt。/。的鏈烷醇胺化合物，以及(D)約0.01至約5wt%的無才幾鹽4匕合物。(A)氫氧化合物在^f艮據(jù)本發(fā)明一種具體實(shí)施方式的剝離組合物中使用的氫氧化合物選自由無機(jī)堿性氫氧化物、烷基氬氧化銨、烷基烯丙基氫氧化銨以及它們的組合組成的組。由于濾色片在上基板上形成并不受殘留金屬的影響，因此也可以使用無機(jī)堿性氫氧化物。氫氧化合物可以包括具有1至4個(gè)石灰原子的烷基基團(tuán)。剝離組合物可以包括0.5至45wt。/。的氫氧化合物。在其中氫氧化合物的含量小于0.5wt。/。的情況下，可以降低顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的剝離性能，因?yàn)槠錆B入顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的聚合組分(polymericcomponents)中的能力降低。同時(shí)，在其中氫氧化合物的含量大于45wt。/。的情況下，溶"長歲文應(yīng)增加，并且無枳J咸金屬沉淀，/人而溶液的組成改變以產(chǎn)生離層(層分離)，使得性能可能被降低。而且，由于水分或有機(jī)溶劑在剝離過程中蒸發(fā)，固體可以被沉淀，使得基板，尤其是下基板的薄膜晶體管可能被損壞。特別是，由于烷基氫氧化銨和烷基烯丙基氫氧化銨是不穩(wěn)定的，因此優(yōu)選它們?nèi)芙庥谒?。無機(jī)石咸性氫氧化物可以是選自由氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀以及它們的組合組成的組中的一種。烷基氫氧化銨可以是選自由四乙基氫氧化銨、四曱基氫氧化銨(TMAH)、四丁基氫氧化銨、三曱基芐基氫氧化銨、氫氧化銨以及它們的組合組成的組中的一種。此外，烷基烯丙基氫氧化銨可以是選自由氫氧化銨、四曱基氬氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四節(jié)基氬氧化銨以及它們的組合組成的組中的一種。尤其是，四曱基氫氧化銨(TMAH)可以用來除去在下基板上形成的顏色抗蝕劑，以及在上基板上形成的顏色抗蝕劑，并且可以用來除去正和負(fù)型有機(jī)絕緣薄膜。(B)烷撐二醇烷基瞇化合物在根據(jù)本發(fā)明一種具體實(shí)施方式的剝離組合物中的烷撐二醇烷基醚化合物滲透到有才幾聚合物中以改善其溶解能力，并且作為結(jié)果在后沖洗(post-washing)過程中改善了可洗性。此外，該化合物降低了顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜與下基板(尤其是，由金屬形成的下基板)之間的表面張力，使得顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜可以-帔容易地除去，并且該化合物用來溶解剝離的顏色抗蝕劑或有才幾絕緣薄膜中的粘合劑、聚合物等。通常，乙二醇醚衍生物包括醚基團(tuán)和羥基基團(tuán)兩者。因此，乙二醇醚衍生物被用作優(yōu)異的能很好地與水和有一幾溶劑混合的溶劑。烷撐二醇烷基醚化合物可以具有1至4個(gè)碳原子。才艮據(jù)本發(fā)明，烷撐二醇烷基醚4匕合物的加入可以改善后沖洗效果，尤其是，當(dāng)其與如下所述的鏈烷醇胺化合物混合時(shí)。作為烷撐二醇烷基醚化合物的實(shí)例，可以提出以下化合物諸如單烷撐二醇單烷基醚、二烷撐二醇單烷基醚、以及三烷撐二醇單烷基醚，但本發(fā)明并不限于jt匕CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OH、CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OH。此夕卜，可以4吏用選自由乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丁基醚、三乙二醇單丁基醚、乙二醇一曱基醚、二乙二醇一甲基醚、三乙二醇單醚、三乙二醇單曱基醚、乙二醇單乙二醇一乙醚、丙二醇一曱基醚、二丙二醇一曱基醚以及三丙二醇一曱基醚組成的組中的一種。當(dāng)在根據(jù)本發(fā)明的組合物中烷撐二醇烷基醚化合物的含量小于10wt。/。時(shí)，很難容易地除去顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜。另一方面，當(dāng)烷撐二醇烷基醚化合物的含量大于89wt。/o時(shí)，無機(jī)石咸金屬離子的活性降低，從而4艮難改善性能。(c)鏈烷醇胺化合物在根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物中使用的鏈烷醇胺化合物改善了氫氧化合物的作用并且加速滲入到顏色抗蝕劑的聚合物中以及溶脹。鏈烷醇胺化合物的適當(dāng)含量在大約5至45wt。/。的范圍內(nèi)。當(dāng)該含量小于5wt。/。時(shí)，延緩了顏色抗蝕劑或有才幾絕緣薄膜的剝離速率，這是不實(shí)用的。此外，當(dāng)該含量大于45wt。/。時(shí)，不能充分地防止溶脹。鏈烷醇胺化合物在其分子中具有由下面的化學(xué)式(I)表示的至少一種官能團(tuán)。、N-C-OH其中，R^和R"分別包括氫原子，并且是CrQ烷基或d-Cj連烯基。在一個(gè)實(shí)例中，由化學(xué)式(I)表示的官能團(tuán)可以如下。、N-C、>國孰CH3鏈烷醇胺化合物的實(shí)例如下。鏈烷醇胺化合物可以是選自由以下物質(zhì)組成的組中的一種(1)剝離脂肪族鏈烷醇胺類，例如N-羥基曱基曱胺、N-羥基曱基二曱胺、N,N-二羥基甲基曱胺、N-(ot-羥基乙基)曱胺、N-(a-羥基乙基)二甲胺、N，N-(二-a-羥基乙基)曱胺、N-羥基曱基乙胺、N-羥基曱基二乙胺、N,N-二羥基曱基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙胺、N-(a-羥基乙基)二乙胺、N,N-(二-a-羥基乙基)乙胺、N-羥基曱基丙胺、N-輕基曱基二丙胺、N,N-二羥基曱基丙胺、N-(a-羥基乙基)丙胺、N-(a-羥基乙基)二丙胺、N,N-(二-a-羥基乙基)丙胺、N-羥基曱基丁胺、N-羥基曱基二丁胺、N,N-二羥基曱基丁胺、N-(a-羥基乙基)丁胺、N-(a-羥基乙基)二丁胺、N,N-(二-a-羥基乙基)丁胺、N-羥基甲基戊胺、N-羥基甲基二戊胺、N，N-二羥基曱基戊胺、N-(a-羥基乙基)戊胺、N-羥基甲基己胺、N-羥基甲基二己胺、N,N-二羥基甲基己胺、N-(a-羥基乙基)己胺、N-羥基甲基庚胺、N-羥基曱基二庚胺、N,N-二羥基曱基庚胺、N-羥基甲基辛胺、N-羥基甲基二辛胺、N,N-二羥基甲基辛胺、N-(a-羥基乙基)辛胺、N-羥基甲基曱基乙胺、N-(a-羥基乙基)甲基乙胺、N-羥基曱基甲基丙胺、N-(a-羥基乙基)曱基丙胺、N-羥基曱基曱基丁胺、N-(a-羥基乙基)曱基丁胺、N-羥基曱基乙基丙胺、N-(a-羥基乙基)乙基丙胺、N-羥基曱基乙基丁胺、N-(a-羥基乙基)乙基丁胺、N-羥基曱基乙醇胺(CAS號(hào)65184-12-5)、N-(a-羥基乙基)乙醇胺、N,N-二羥基曱基乙醇胺、N,N-(二-a-羥基乙基)乙醇胺、N-羥基曱基二乙醇胺、N-(a-羥基乙基)二乙醇胺、N-幾基曱基-N-甲基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基乙醇胺、N-羥基甲基-N-丙基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基乙醇胺、N-羥基甲基-N-丁基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基乙醇胺、N-羥基曱基異丙醇胺(CAS號(hào)76733-35-2)、N-(a-羥基乙基)異丙醇胺、N,N-二羥基甲基異丙醇胺、N,N-(二-a-羥基乙基)異丙醇胺、N-羥基甲基二異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)二異丙醇胺、N-羥基曱基-N-曱基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基異丙醇胺、N-羥基曱基-N-乙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-乙基異丙醇胺、N-羥基曱基-N-丙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基異丙醇胺、N-羥基曱基-N-丁基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基異丙醇胺、N-羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N-(a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N,N-二羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N,N-(二-a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N-羥基曱基氨基-2-甲基丙醇、N-(a-羥基乙基)氨基-2-甲基丙醇、N，N-二羥基曱基氨基-2-曱基丙醇、以及N，N-(二-a-羥基乙基)氨基-2-曱基丙醇；(2)脂肪族鏈烷醇多胺類，例如N-羥基曱基乙二胺(CAS號(hào)41434-24-6)、N-(a-羥基乙基)乙二胺、N，N-二羥基甲基乙二胺(CAS號(hào)70495-38-4)、N-羥基曱基亞丁基二胺(CAS號(hào)66210-83-1)、N-羥基曱基丙二胺(CAS號(hào)66210-82-0)、N,N'-二羥基甲基亞丁基二胺、N，N-二羥基甲基亞丁基二胺、N,N,N'-三羥基甲基亞丁基二胺、N，N，N'，N'畫四羥基曱基亞丁基二胺、N,N'-二羥基曱基丙二胺、N，N畫二羥基曱基丙二胺、N,N，N'-三羥基曱基丙二胺、N,N,N',N'-四羥基曱基丙二胺、N，N-(二-a-羥基乙基)乙二胺、N,N,N'-三羥基甲基乙二胺、N，N,N'-(三-a-羥基乙基)乙二胺、N，N，N',N'-四羥基曱基乙二胺、N，N,N',N'-(四-a-羥基乙基)乙二胺、N-羥基甲基-N-曱基乙二胺、N-(a畫羥基乙基)-N-甲基乙二胺、N,N'-二羥基曱基-N-曱基乙二胺、N,N'-(二-a-羥基乙基)-N-甲基乙二胺、N,N'，N'-(三-a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N，N'，N'-三羥基曱基-N-甲基乙二胺、N-羥基甲基-N'，N'-二曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N',N'-二曱基乙二胺、N，N-二羥基曱基-N',N'-二甲基乙二胺、N，N-(二-a-羥基乙基)-N',N'-二曱基乙二胺、N-羥基曱基-N，N',N'-三曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N，N'，N'-三曱基乙二胺、N-羥基曱基-N-乙基乙二胺、N,N'-二羥基曱基-N-乙基乙二胺、N，N'，N'-三羥基曱基-N-甲基乙二胺、N-羥基曱基-N',N'-二乙基乙二胺、N，N-二羥基甲基-N',N'-二乙基乙二胺、N-羥基曱基-N,N',N'-三亞乙基二胺、N-羥基曱基丙二胺、N，N-二羥基曱基丙二胺、N,N,N'-三羥基曱基丙二胺、N，N，N'，N'-四羥基曱基丙二胺、N-羥基甲基亞丁基二胺、N,N-二羥基甲基亞丁基二胺、N，N,N'-三羥基曱基亞丁基二胺、N,N，N'，N'-四羥基曱基亞丁基二胺、N-羥基曱基二亞乙基三胺、N,N"-二羥基曱基二亞乙基三胺以及N-幾基曱基三亞乙基四胺；(3)脂肪族鏈烷醇不飽和胺類，例如N-羥基曱基烯丙基胺、N，N-二羥基曱基烯丙基胺、N-(a-羥基乙基)烯丙基胺、N，N-(二-a-羥基乙基)烯丙基胺、N-羥基甲基二烯丙基胺、N-羥基曱基-N-甲基烯丙基胺以及N-羥基曱基-N-乙基烯丙基胺；(4)環(huán)狀鏈烷醇胺類，例如N-羥基曱基吡咯、N-(a-羥基乙基)吡咯、N-羥基甲基-曱基吡咯、N-羥基甲基-二甲基吡咯、N-羥基曱基-三甲基吡咯、N-羥基甲基吡咯烷、N-(a-羥基乙基)p比咯烷、N-羥基曱基-甲基ptb咯烷、N-羥基曱基吡唑、N-羥基曱基咪p坐、N-羥基曱基三哇、N-羥基甲基四唑、N-羥基曱基哌啶、N-(a-羥基乙基)哌啶、N-羥基甲基哌可啉(N-羥基曱基-2-甲基哌啶)、N-羥基曱基-2,6-二甲基艱。定、N-羥基甲基哌嗪、N,N-二羥基甲基。底。秦、N-(a-羥基乙基)哌。秦、N-羥基曱基曱基哌。秦、N-羥基甲基嗎啉以及N-(a-羥基乙基)嗎啉；以及(5)脂肪族鏈烷醇醚胺類，例如N-羥基曱基曱氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)曱氧基乙胺、N,N-二羥基曱基曱氧基乙胺、N-羥基曱基甲氧基丙胺、N,N-二羥基曱基曱氧基丙胺、N-羥基曱基乙氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙氧基乙胺、N,N-二羥基甲基乙氧基乙胺、N-羥基曱基乙氧基丙胺以及N，N-二羥基曱基乙氧基丙胺。此外，鏈烷醇胺化合物可以是剝離化合物(脫模劑，strippingcompound),并且可以由下面的4匕學(xué)式(II)表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>(II)其中，！^和R"如上面所定義，！^是CrC,()烷基、d-do鏈?；?、氨基、d-Qo羥烷基、d-do氨基烷基、(Crd。烷基)苯基、苯基(C廣do)烷基、d-do烷氧基、(C廣do)烷氧基(d-do)烷基、羥基(d-d。)烷氧基(d-d。)烷基、d-d。烷基氨基、氨基(C廣C,。)烷氧基(d-do)烷基、羥基(C廣CK))烷基氨基(CrQo)烷基；114是氫、CH2OH、-CH(OH)CH3、C-do烷基、d誦C!o鏈烯基、氨基、C廣Co羥烷基、C廣d。氨烷基、(Ci-do烷基)苯基、苯基(C!-do)烷基、d-Qo烷氧基、(d畫do)烷氧基(d-do)烷基、羥基(d-do)烷氧基(d-do)烷基、C廣do烷基氨基、氨基(Crdo)烷氧基(Crd。)烷基、或羥基(CVd。)烷基氨基(C廣d。)烷基；以及113和114可以與氮結(jié)合以形成具有1至12個(gè)碳原子的環(huán)狀氨基基團(tuán)。更優(yōu)選的剝離鏈烷醇胺可以由下面的化學(xué)式(III)表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>(III)其中113和114如上面所定義。優(yōu)選的鏈烷醇胺的實(shí)例包括N-羥基曱基乙醇胺、N-羥基曱基異丙醇胺、N,N-二羥基甲基乙醇胺、N-羥基曱基二乙醇胺、N-羥基曱基—N-曱基乙醇胺、N-羥基甲基-N-乙基乙醇胺、N-羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N，N'-二羥基曱基乙二胺、N-鞋基曱基乙二胺、N,N-二羥基曱基乙二胺、N，N，N'-三羥基曱基乙二胺、N，N，N',N'-四羥基曱基乙二胺、N-羥基曱基亞丁基二胺、N-羥基曱基丙二胺、N,N'-二羥基曱基亞丁基二胺、N，N-二羥基曱基亞丁基二胺、N,N,N'-三羥基曱基亞丁基二胺、N，N,N',N'-四羥基曱基亞丁基二胺、N，N'-二羥基曱基丙二胺、N，N-二羥基曱基丙二胺、N，N,N'-三羥基曱基丙二胺、N，N，N',N'-四羥基甲基丙二胺、N-羥基曱基二亞乙基三胺、N，N"-二羥基曱基二亞乙基三胺、N-羥基甲基甲胺、N,N-二羥基曱基曱胺、N-羥基甲基二曱胺、N-羥基甲基乙胺、N-羥基甲基二乙胺、N，N-二羥基甲基乙胺、N-羥基曱基丙胺、N-羥基甲基丁胺、N-幾基曱基嗛。秦以及N-羥基曱基嗎啉。耳又決于應(yīng)用情況，乂人高剝離能力的觀點(diǎn)來看，由化學(xué)式(III)表示的剝離鏈烷醇胺可能是令人滿意的，其中W是氫。上述鏈烷醇胺化合物可以單獨(dú)或與兩種或多種其他化合物組合使用。在其中鏈烷醇胺化合物是液體的情況下，其可以直接包含在剝離組合物中，無需用任何溶劑稀釋。如果必要的話，可以進(jìn)一步向鏈烷醇胺化合物中加入附加胺。本發(fā)明的有用的附加胺可以包括烷基胺、鏈烷醇胺、多胺、羥胺、環(huán)胺以及它們的組合。烷基胺的實(shí)例包括脂肪族伯烷基胺類，例如曱胺、乙胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、仲丁胺、異丁胺、叔丁胺、戊胺、2-氨基戊烷、3-氨基戊烷、l-氨基-2-甲基丁烷、2-氨基-2-曱基丁烷、3-氨基-2-曱基丁烷、4-氨基-2-甲基丁烷、己胺、5-氨基-2-甲基戊烷、庚胺、辛胺、壬胺、癸胺、十一烷胺、十二烷胺、十三烷胺、十四烷胺、十五烷胺、十六烷胺、十七烷胺以及十八胺；脂肪族仲烷基胺類，例如二曱胺、二乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁胺、二異丁胺、二仲丁胺、二叔丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、甲基乙胺、曱基丙胺、甲基異丙胺、甲基丁胺、曱基異丁胺、曱基仲丁胺、曱基^又丁胺、曱基戊胺、甲基異戊胺、乙基丙胺、乙基異丙胺、乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基仲丁胺、乙基叔丁胺、乙基異戊胺、丙基丁胺以及丙基異丁胺；以及脂肪族^又烷基胺類，例如三曱胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、二曱基乙胺、二甲基丙胺、甲基二乙胺以及甲基二丙胺。作為附加胺的《連烷醇胺的實(shí)例包括脂肪族鏈烷醇胺類，例如乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙S事胺、N-丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-曱基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、N-曱基異丙醇胺、N-乙基異丙醇胺、N-丙基異丙醇胺、2-氨基丙-l-醇、N-曱基-2-氨基丙-l-醇、N-乙基-2-氨基丙-l-醇、l-氨基丙-3-醇、N-曱基-l-氨基丙-3-醇、N-乙基-l-氨基丙-3-醇、l-氨基丁-2-醇、N-甲基-l-氨基丁-2-醇、N-乙基-l-氨基丁-2-醇、2-氨基丁-l-醇、N-曱基-2-氨基丁-l-醇、N-乙基-2-氨基丁-1-醇、3-氨基丁-l-醇、N-甲基-3-氨基丁-l-醇、N-乙基-3-氨基丁-l-醇、l-氨基丁-4-醇、N-曱基-l-氨基丁-4-醇、N-乙基-l-氨基丁_4-醇、l-氨基-2-曱基丙-2-醇、2-氨基-2-曱基丙-l-醇、1-氨基戊-4-醇、2-氨基-4-甲基戊-l-醇、2-氨基己-l-醇、3-氨基庚-4-醇、1-氨基辛-2-醇、5-氨基辛-4-醇、l-氨基丙-2,3-二醇、2-氨基丙-l,3-二醇、三(氧甲基)氨基曱烷、1,2-二氨基丙-3-醇、1，3-二氨基丙-2-醇以及2-(2-氨基乙氧基)乙醇。多胺的實(shí)例包括乙二胺、丙二胺、亞丁基二胺、亞丙基二胺(1,3-丙二胺)、四亞曱基二胺、1，3-二氨基丁烷、2,3-二氨基丁烷、戊二胺(戊曱撐二胺)、2,4-二氨基戊烷、六亞曱基二胺、庚二胺(七曱撐二胺)、辛二胺、壬二胺、N-曱基乙二胺、N，N-二甲基乙二胺、三曱基乙二胺、N-乙基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、1,2,3-三氨基丙烷、三(2-氨基乙基)胺、四(氨基曱基)甲烷、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺、四亞乙基五胺、七亞乙基\胺以及九亞乙基十胺(nonaethylenedecamine)。羥胺的實(shí)例包括羥胺、N-曱基羥胺、N-乙基羥胺以及N,N-二乙基羥胺。環(huán)胺的實(shí)例包括吡咯、2-曱基吡咯、3-曱基吡咯、2-乙基p比咯、3-乙基吡咯、2,3-二甲基吡咯、2,4-二甲基p比咯、3,4-二曱基p比咯、2，3，4-三曱基吡咯、2,3，5-三曱基吡咯、2-吡咯啉、3-吡咯啉、吡咯烷、2陽曱基p比p各》克、3-曱基p比p各火克、p比p坐、口米p坐、1，2,3-三p坐、1,2,3,4-四哇、p底咬、2-口底可啉(2-2-曱基派咬，2-pipecoline)、3-哌可啉、4-哌可啉、2，4-2,6-二曱基哌啶、2，6-2,6-二曱基哌啶、3,5-2，6-二曱基哌啶、哌嗪、2-曱基哌。秦、2,5-二曱基哌漆、2,6-二曱基哌溱以及嗎淋。在上述的附加胺之中，曱胺、乙胺、丙胺、丁胺、乙醇胺、N-曱基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、二乙醇胺、異丙醇胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、乙二胺、丙二胺、亞丁基二胺、二亞乙基三胺、羥胺、N,N-二乙基羥胺、哌溱以及嗎啉可以是特別優(yōu)選的。附加胺和鏈烷醇胺化合物的摩爾比率沒有特別限制，而是可以在約0.01至約100,并且更優(yōu)選在約0.1至約10的范圍內(nèi)。(D)無一幾鹽化合物在本發(fā)明中使用的無機(jī)鹽化合物改善了氫氧化合物的效果并加速了與顏色抗蝕劑的聚合物鏈段結(jié)合。相對于組合物的總重量，無才幾鹽4匕合物可以以0.01至5wtQ/。的范圍^f吏用。當(dāng)無沖幾鹽4匕合物的含量太高時(shí)，在剝離過程中水分或有機(jī)溶劑蒸發(fā)，使得鹽以固體形式沉淀。因此，可能損壞基板(尤其是下基板)的薄膜晶體管。同上，當(dāng)無機(jī)鹽化合物的含量太低時(shí)，剝離性能降低。因此，含量可以控制在上面的范圍內(nèi)。無才幾鹽化合物可以包括選自由氬氧化鉀、醋酸鉀、苯曱酸鐘、硝'酸鉀、碳酸鉀、焦石粦酸鉀以及它們的組合組成的組中的一種。作為無機(jī)鹽化合物的實(shí)例的氫氧化鉀(KOH)是適合于保持堿濃度的強(qiáng)堿性物質(zhì)。顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜被KOH剝離溶液溶解在被KOH溶液滲透的溶脹凝膠區(qū)域中。當(dāng)KOH溶解于水中時(shí)，其離解成K+離子和OH-離子。OH—離子使顏色抗蝕劑的T)H官能團(tuán)的H脫質(zhì)子化(deprotonate)。因此，OH-離子變成H20，并且顏色抗蝕劑變成CT離子(酚鹽)。酚鹽的生成顯著地弱化了顏色抗蝕劑的分子之間的相互作用以增加水溶性。此外，K+離子易于滲入到溶月長凝膠區(qū)域中以成為鹽，,人而增強(qiáng)了顏色抗蝕劑的水溶性并剝離在基板上的顏色抗蝕劑。顏色抗蝕劑可以是在上基^反或下基^反上形成的顏色抗蝕劑。而且，負(fù)型和正型有機(jī)絕緣薄膜通過相同的剝離機(jī)制剝離。用于制備根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物的方法沒有特別限制。例如，剝離組合物可以通過已知的方法制備，其中將(A)至(D)的物質(zhì)供應(yīng)到配備有簡單攪拌器的混合器中，在室溫下攪拌以獲得均相溶液，并且如果必要的話，接著用具有預(yù)定孔徑的膜過濾器過濾。此外，根據(jù)本發(fā)明(E)羥胺化合物在根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物中包含的羥胺化合物改善了氫氧4b合物的步丈果并通過自由基間反應(yīng)(radicalreaction)促進(jìn)了顏色拍二蝕劑的溶解。羥胺化合物的含量在0.5至10wt。/。的范圍內(nèi)。當(dāng)羥胺化合物的含量小于0.5wt。/。時(shí)，幾乎不能除去有缺陷的顏色抗蝕劑。當(dāng)羥胺化合物的含量大于10wt。/。時(shí)，諸如鋁和鋁合金的底部金屬層可能被過度地腐蝕。幾胺化合物可以溶于水中，并且可以包括選自由乙醇胺類、曱醇胺類、二乙醇胺類、三乙醇胺類以及它們的組合組成的組中的一種。優(yōu)選地，羥胺化合物可以包括選自由單乙醇胺、單曱醇胺、異丙醇胺、二甲醇胺、二乙醇胺、二丙醇胺、三曱醇胺、三乙醇胺、四乙醇胺以及它們的《且合《且成的《且中的一種。(F)耐腐蝕劑在才艮據(jù)本發(fā)明的剝離組合物中包含的耐腐蝕劑防止底層的損壞以及金屬材料與剝離組合物的接觸腐蝕。相對于剝離組合物，耐腐蝕劑可以在0.01至5wto/。的范圍內(nèi)。耐腐蝕劑可以是選自由糖類、糖醇、芳香族羥基化合物、炔屬醇、羧酸化合物和它的酸酐、三唑4b合物以及它們的組合組成的組中的一種。糖類的實(shí)例包括具有3至6個(gè)石友原子的單糖類諸如甘油醛、蘇糖、抗壞血酸、異抗壞血酸、阿拉伯糖、木糖、核糖、核酮糖、木酮糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、塔才各糖、阿洛糖、阿卓糖、古洛糖、艾杜糖、塔羅糖、山梨糖、阿洛酮糖和果糖；以及二糖類諸如海藻糖。糖醇的實(shí)例包括蘇糖醇、赤蘚醇、阿東糖醇(核糖醇)、阿糖醇、木糖醇、塔羅糖醇、山梨糖醇、甘露糖醇、艾杜糖醇、半乳糖醇以及力幾醇。芳香族羥基化合物的實(shí)例包括苯酚、曱酚、二曱苯酚、鄰苯二酚、間苯二酚、氫醌、連苯三酚、1,2，4-苯三醇、水楊醇、對羥基千醇、對羥基苯乙醇、對氨基苯酚、間氨基苯酚、二氨基苯酚、氨基間苯二酚、對羥基苯曱酸、鄰羥基苯曱酸、2,4-二羥基苯曱酸、2，5-二羥基苯曱酸、3，4-二羥基苯甲酸、3，5-二羥基苯甲酸以及五倍子酸。炔屬醇的實(shí)例包括2-丁烯-l，4-二醇、3,5-二曱基-1-己烯-3-醇、2-甲基-3-丁烯-2-醇、3-曱基-l-戊二烯亞戊基-3-醇、3，6-二甲基-4-辛烯-3，6-二醇、2，4,7,9-四曱基隱5-癸烯-4,7-二醇以及2,5-二曱基-3匿己烯-2,5-二醇。羧酸化合物和它的酸酐的實(shí)例包括甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、異丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、馬來酸、富馬酸、苯曱酸、苯二甲酸、1,2,3-苯三甲酸、乙醇酸、二甘醇酸、乳酸、蘋果酸、4寧4蒙酸、乙酸肝、鄰苯二曱酸酐、馬來酐、琥珀酐以及水楊酸。三唑化合物的實(shí)例包括曱基苯并三唑、苯并三唑、鄰曱基苯并三唑、間曱基苯并三唑、對甲基苯并三唑、羧基苯并三唑、1-羥基苯并三唑、；肖基苯并三唑以及二羥基丙基苯并三p坐。在它們之中，優(yōu)選的耐腐蝕劑可以是兒茶酚類(鄰苯二酚類)諸如鄰苯二酚、山梨醇、木糖醇、五倍子酸、2-丁烯-l,4-二醇、苯二曱酸、鄰苯二曱酸酐、水楊酸、抗壞血酸、曱基苯并三唑以及苯并三哇。耐腐蝕劑可以單獨(dú)或與兩種或多種其他^式劑《且合〗吏用。(G)極性溶劑作為用于本發(fā)明的極性溶劑，可以使用硫的化合物諸如二甲亞砜或烷基吡咯烷酮諸如n-甲基吡咯烷酮。硫的化合物能很好地滲入并高度溶于顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜中。硫的化合物滲入顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的聚合物中以增強(qiáng)溶脹。相對于剝離組合物，極性硫的化合物優(yōu)選以1至50wt0/。的范圍使用。當(dāng)含量小于lwt。/。時(shí)，顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜幾乎不能^皮除去。當(dāng)含量大于50wt。/。時(shí)，與氪氧化合物的溶混性降^氐，使得不能預(yù)期性能改善。在本發(fā)明中使用的極性硫的化合物可以是選自由二曱亞石風(fēng)、二乙亞石風(fēng)、二丙亞石風(fēng)、環(huán)丁石風(fēng)以及它們的混合物纟且成的癥且中的一種。烷基吡咯烷酮用作溶解顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的溶劑，并且降^f氐剝離組合物的表面張力以改善對顏色抗蝕劑或有4幾絕緣薄膜的潤濕性。為了充分地才丸行該功能，烷基吡啗—院酮的含量可以為1wt。/。以上，并且從成本效益和防止其他組分稀釋的觀點(diǎn)來看，含量可以為50wt。/Q以下。烷基吡咯烷酮的實(shí)例包括吡咯烷酮、n-曱基吡咯烷酮、n-乙基吡咯烷酮、n-丙基吡咯烷酮、n-辛基吡咯烷酮、n-環(huán)己基吡咯烷酮、n-十二烷基吡咯烷酮、2-吡p各烷酮、1-羥乙基-2-吡咯烷酮、l-羥丙基-2-p比咯烷酮等。優(yōu)選地，可以使用n-甲基吡咯烷酮，但是本發(fā)明并不限于此。(H)水在根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物中，水可以是通過離子交換樹脂過濾的純水，并且更優(yōu)選地是具有18MQ以上的比電阻的超純水。在(A)至(D)的組合物中，水可以用于能夠包含(E)至(G)中的任何一種或多種的剝離組合物的余量中。當(dāng)含量較低時(shí)，剝離組合物的粘度增加以降低剝離溶液的滲透能力和剝離組合物的排出能力(dischargeability)。當(dāng)含量較高時(shí)，剝離組合物被過度地稀釋以降低剝離能力。在下文中，將描述根據(jù)本發(fā)明的剝離方法。圖1是示出了在缺陷檢查后在基板上形成的濾色片或有機(jī)絕緣薄膜的剝離過程以重新使用基板的流程圖。根據(jù)本發(fā)明的剝離方法包括在基板上形成包含有;f幾材料的薄膜；以及使用剝離組合物剝離在基板上的薄膜，所述剝離組合物包含(A)約0.5至約45wt。/o的氫氧化合物，(B)約10至約89wt%的烷撐二醇烷基醚化合物，(C)約5至約45wt。/。的鏈烷醇胺化合物，以及(D)約0.01至約5wt。/o的無才幾鹽4匕合物。首先，制備基板(SIO)，并且在基板上形成器件層壓板(S20)?；蹇梢允且壕э@示器的上基板或下基板。當(dāng)基板是下基板時(shí)，器件層壓板可以是包括由包括Al的金屬形成的電極的薄膜晶體管。而且，當(dāng)基板是上基板時(shí)，可以省略形成器件層壓板(S20)。然后，在基板的器件層壓板上形成濾色片或有機(jī)絕緣薄膜(S30)?？梢允褂谜拓?fù)型有機(jī)絕緣薄膜中的任何一種。使其上形成有濾色片或有機(jī)絕緣薄膜的基板經(jīng)受用于確定其是否有缺陷的4企查過程(S40)。如果基板沒有缺陷，則使其經(jīng)受下一工藝(S52)。另一方面，有缺陷的基板使用剝離組合物經(jīng)受剝離過程(S51),該剝離組合物包含(A)0.5至45wt。/。的氬氧化合物；(B)10至89wt。/。的烷撐二醇烷基醚化合物；(C)5至45wt。/。的鏈烷醇胺化合物；以及(D)0.01至5wt。/。的無機(jī)鹽化合物。通過剝離過程(S51),基板上的濾色片或有才幾絕纟彖薄膜可以容易地-故除去而沒有損壞在下基^反上形成的器件層壓板。使其上除去濾色片或有機(jī)絕緣薄膜的基板回到形成濾色片或有機(jī)絕緣薄膜的步驟(S30)。[實(shí)施例]在下文中，將描述本發(fā)明的實(shí)施例。在以下實(shí)施例中，除非另外#是及，百分比和混合比都基于重量。每一組分以下面表1所示的比率混合以制備實(shí)施例和比較例的每種剝離組合物。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table>(TMAH:四甲基氫氧化銨，MDG:二乙二醇曱基醚，MG:乙二醇甲基醚，MEA:單乙醇胺，DEA:二乙醇胺，TEA:三乙醇胺，NMP:n-甲基吡p各烷酮，DMSO:二甲亞石風(fēng)，環(huán)丁石風(fēng)，PA:醋酸鉀，PB:苯甲酸鐘，PN:硝酸鐘，KOH:氫氧化鉀，AA:炔屬醇，BT:苯并三哇，TT:甲基苯并三唑)為了測試在實(shí)施例1至20以及比4交例1至3中制備的剝離組合物的性能，如下使用濾色片進(jìn)行顏色抗蝕劑剝離試驗(yàn)。才羊品制備在其底部上;兄積有Mo/Al/Mo多層并形成有圖案的3皮璃基^反上形成濾色片圖案。^吏用以下光刻工藝以紅色、鄉(xiāng)錄色、以及藍(lán)色的順序涂覆顏色抗蝕劑。將常規(guī)J吏用的顏色抗蝕劑組合物(DongjinSemichemCo.,Ltd.產(chǎn)品名DCR-725S)^走涂至具有1.7|um的最終膜厚度。隨后，在90°C的電熱板上預(yù)烘干抗蝕劑膜(抗蝕膜，resistfilm)120秒，暴露于光，并在室溫下用1。/。KOH顯影劑顯影60秒。然后，將其上形成有圖案的樣品在220°C烘箱中硬烘干(硬烤，hard-bake)20秒。此外，為了制備其上涂覆有有機(jī)絕緣薄膜的樣品，將其底部上沉積有Mo/Al/Mo多層并形成有圖案的^皮璃基^反用已經(jīng)^皮顯影的有才幾絕纟彖薄膜組合物(DongjinSemichemCo.,Ltd.產(chǎn)品名SOJN-091)進(jìn)行旋涂，使得其最終厚度變?yōu)?.0nm。隨后，在90。C的電熱板上軟烘干(soft-bake)有才幾絕纟彖薄膜120秒，暴露于光，然后在室溫下用2.38%TMAH顯影劑顯影70秒。將薄力莫完全暴露于光并在130°C下石更烘干3分4中。剝離纟式馬全將制備的樣品浸入剝離組合物中用于在70°C下除去顏色抗蝕劑和有才幾絕緣薄膜，并且測量完全剝離基才反上的顏色抗蝕劑或有才幾絕緣薄膜所花費(fèi)的時(shí)間。隨后，將樣品從剝離組合物中取出，用超純水洗滌，并用氮?dú)飧稍?。然后，用通過放大lOO倍的顯孩i鏡觀察樣品，以檢查殘留的顏色抗蝕劑是否保留在圖案中。此外，為了觀察下基玲反是否4皮損壞，將施加有顏色抗蝕劑的樣品浸入到每一剝離組合物中30分鐘，然后用掃描電子顯孩i鏡(SEM)觀察樣品。完全剝離有機(jī)絕緣薄膜材料和顏色抗蝕劑使得可以觀察到?jīng)]有殘留物所花費(fèi)的時(shí)間示于以下表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>(X:線4皮完全除去，A:AH皮嚴(yán)重?fù)p壞，o:出現(xiàn)表面點(diǎn)蝕，@:沒有觀察到損壞)如表2所示，本發(fā)明的實(shí)施例被發(fā)現(xiàn)具有優(yōu)異的除去顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜以及不損壞下基板的性能。此外，與比較例相比，它們具有優(yōu)異的除去顏色抗蝕劑以及防止腐蝕的性能。有利地，顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜可以容易地通過根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物而除去。尤其是，可以除去在薄膜晶體管上形成的顏色抗蝕劑或負(fù)型有機(jī)絕緣薄膜。而且，在除去顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜時(shí)，可以通過根據(jù)本發(fā)明的剝離組合物和剝離方法進(jìn)行剝離過程而沒有對下基板的薄膜晶體管產(chǎn)生任何損壞。雖然已經(jīng)參照優(yōu)選的具體實(shí)施方式描述了本發(fā)明，^f旦應(yīng)當(dāng)注意到，在不背離所附權(quán)利要求的技術(shù)精神的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)4亍各種變4匕和更改。權(quán)利要求1.一種剝離組合物，包括約0.5至約45wt％的氫氧化合物；約10至約89wt％的烷撐二醇烷基醚化合物；約5至約45wt％的鏈烷醇胺化合物；以及約0.01至約5wt％的無機(jī)鹽化合物。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述氫氧化合物包括具有1至4個(gè)碳原子的烷基基團(tuán)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述氫氧化合物包括選自由無機(jī)堿性氬氧化物、烷基氫氧化銨、烷基烯丙基氫氧化銨、以及它們的組合組成的組中的一種。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的剝離組合物，其中，所述無機(jī)堿性氫氧化物包括選自由氫氧化鋰、氬氧化鈉、氫氧化鉀、以及它們的纟且合《且成的《且中的一種。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的剝離組合物，其中，所述烷基氫氧化銨包括選自由四乙基氫氧化銨、四曱基氫氧化銨(TMAH)、四丁基氫氧化銨、三曱基芐基氫氧化銨、氫氧化銨、以及它們的組合組成的組中的一種。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的剝離組合物，其中，所述烷基烯丙基氫氧化銨包括選自由氫氧化銨、四曱基氫氧化銨、四乙基氬氧化銨、四丁基氫氧化銨、四千基氫氧化銨、以及它們的組合組成的纟且中的一種。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述烷撐二醇烷基醚化合物包括具有1至4個(gè)碳原子的烷基基團(tuán)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述烷撐二醇烷基醚化合物包括選自由單烷撐二醇單烷基醚、二烷撐二醇單烷基醚、三烷撐二醇單烷基醚、以及它們的組合組成的組中的一種。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述烷撐二醇烷基醚化合物包括選自由乙二醇單丁基醚、二乙二醇單丁基醚、三乙二醇單丁基醚、乙二醇一甲基醚、二乙二醇一曱基醚、三乙二醇單醚、三乙二醇單曱基醚、乙二醇單乙二醇一乙醚、丙二醇一曱基醚、二丙二醇一曱基醚、三丙二醇一曱基醚、以及它們的組合組成的組中的一種。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述鏈烷醇胺化合物包括由下面的化學(xué)式(I)表示的至少一種官能團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(I)其中，R1和R2各自包4舌氫原子，并且是d-C8烷基或Q-Q鏈烯基。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述鏈烷醇胺化合物由下面的〗匕學(xué)式(II)表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中，R1和112各自包括氫原子，并且是CrC8烷基或d-C8鏈烯基；R3是C-do烷基、C廣do鏈歸基、氨基、C,-do羥烷基、C廣do氨烷基、(C廣do烷基)苯基、苯基(C廣do)烷基、C廣C!o烷氧基、(C!-d())烷氧基(d-CH))烷基、羥基(Q-do)烷氧基(C廣do)烷基、d-do烷基氨基、氨基(C!-do)烷氧基(CVdo)烷基、或羥基(CVdo)烷基氨基(d-do)烷基；以及R4是氫、CH2OH、-CH(OH)CH3、C廣d。烷基、C廣C,o鏈烯基、氨基、d-d。羥烷基、CVd。氨烷基、(d-d。烷基)苯基、苯基(Q-do)烷基、d-do烷氧基、(d-Qo)烷氧基(d-d。)烷基、羥基(d-do)烷氧基(CVd。)烷基、烷基氨基、氨基(d-d。)烷氧基(d-do)烷基、或羥基(d-do)烷基氨基(d-do)烷基。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的剝離組合物，其中，R3和R4與氮結(jié)合以形成具有1至12個(gè),灰原子的環(huán)狀氨基基團(tuán)。13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的剝離組合物，其中，Ri和R"分別是氫；或Ri是氫，而W是曱基。14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的剝離組合物，其中，所迷鏈烷醇胺化合物包4舌選自由下列物質(zhì)組成的組中的一種(1)剝離脂肪力臭鏈烷醇胺類，包括N-羥基曱基曱胺、N-羥基甲基二曱胺、N，N-二羥基曱基曱胺、N-(a-羥基乙基)甲胺、N-(a-羥基乙基)二曱胺、N，N-(二-a-羥基乙基)曱胺、N-羥基曱基乙胺、N-羥基曱基二乙胺、N，N-二羥基甲基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙胺、N-(a-羥基乙基)二乙胺、N，N-(二-a-羥基乙基)乙胺、N-羥基曱基丙胺、N-羥基曱基二丙胺、N，N-二羥基曱基丙胺、N-(a-羥基乙基)丙胺、N-(a-羥基乙基)二丙胺、N，N-(二-a-羥基乙基)丙胺、N-羥基曱基丁胺、N-羥基曱基二丁胺、N，N-二羥基曱基丁胺、N-(a-羥基乙基)丁胺、N-(a-羥基乙基)二丁胺、N，N-(二-a-羥基乙基)丁胺、N-羥基甲基戊胺、N-羥基曱基二戊胺、N,N-二羥基曱基戊胺、N-(a-羥基乙基)戊胺、N-羥基曱基己胺、N-羥基甲基二己胺、N,N-二羥基甲基己胺、N-(a-羥基乙基)己胺、N-羥基曱基庚胺、N-羥基甲基二庚胺、N,N-二羥基曱基庚胺、N-羥基曱基辛胺、N-羥基曱基二辛胺、N,N-二羥基曱基辛胺、N-(a-羥基乙基)辛胺、N-羥基曱基曱基乙胺、N-(a-羥基乙基)甲基乙胺、N-羥基曱基曱基丙胺、N-(a-羥基乙基)曱基丙胺、N-羥基曱基甲基丁胺、N-(a-羥基乙基)曱基丁胺、N-羥基曱基乙基丙胺、N-(a-羥基乙基)乙基丙胺、N-羥基甲基乙基丁胺、N-(a-羥基乙基)乙基丁胺、N-羥基曱基乙醇胺(CAS號(hào)65184-12-5)、N-(a-羥基乙基)乙醇胺、N，N-二羥基甲基乙醇胺、N，N-(二-a-羥基乙基)乙醇胺、N-羥基曱基二乙醇胺、N-(a-羥基乙基)二乙醇胺、N-羥基甲基-N-曱基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基乙醇胺、N-羥基曱基-N-丙基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基乙醇胺、N-羥基曱基-N-丁基乙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基乙醇胺、N-羥基曱基異丙醇胺(CAS號(hào)76733-35-2)、N-(a-羥基乙基)異丙醇胺、N，N-二羥基曱基異丙醇胺、N,N-(二-a-羥基乙基)異丙醇胺、N-羥基甲基二異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)二異丙醇胺、N-羥基曱基-N-曱基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-甲基異丙醇胺、N-羥基曱基-N-乙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-乙基異丙醇胺、N-羥基曱基-N-丙基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丙基異丙醇胺、N-羥基甲基-N-丁基異丙醇胺、N-(a-羥基乙基)-N-丁基異丙醇胺、N-羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N-(a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N,N-二羥基曱基氨基乙氧基乙醇、N,N-(二-a-羥基乙基)氨基乙氧基乙醇、N-羥基甲基氨基-2-曱基丙醇、N-(a-羥基乙基)氨基-2-曱基丙醇、N,N-二羥基曱基氨基-2-曱基丙醇、以及N,N-(二-a-羥基乙基)氨基-2-曱基丙醇；(2)脂肪族《連烷醇多胺類，包4舌N-羥基曱基乙二胺(CAS號(hào)41434-24-6)、N-(a-羥基乙基)乙二胺、N，N-二羥基曱基乙二胺(CAS號(hào)70495-38-4)、N-羥基曱基亞丁基二胺(CAS號(hào)66210-83-1)、N-羥基曱基丙二胺(CAS號(hào)66210-82-0)、N,N'-二羥基曱基亞丁基二胺、N,N-二羥基曱基亞丁基二胺、N,N,N'-三羥基甲基亞丁基二胺、N,N，N',N'-四羥基曱基亞丁基二胺、N,N'-二羥基曱基丙二胺、N,N-二羥基曱基丙二胺、N,N,N'-三羥基曱基丙二胺、N,N,N'，N'-四羥基甲基丙二胺、N，N-(二-a-羥基乙基)乙二胺、N，N，N'-三羥基曱基乙二胺、N，N,N'-(三-a-羥基乙基)乙二胺、N,N，N'，N'-四羥基曱基乙二胺、N,N,N',N'-(四-a-羥基乙基)乙二胺、N-羥基曱基-N-甲基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N，N'-二羥基甲基-N-曱基乙二胺、N,N'-(二-a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N，N',N'-(三-a-羥基乙基)-N-曱基乙二胺、N，N'，N'-三羥基曱基-N-曱基乙二胺、N-羥基曱基-N',N'-二曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N',N'-二曱基乙二胺、N,N-二羥基甲基-N',N'陽二甲基乙二胺、N,N-(二-a畫羥基乙基)-N'，N'-二曱基乙二胺、N-羥基曱基-N,N'，N'-三曱基乙二胺、N-(a-羥基乙基)-N,N'，N'-三曱基乙二胺、N-羥基曱基-N-乙基乙二胺、N，N'-二羥基曱基-N-乙基乙二胺、N,N',N'-三羥基甲基-N-甲基乙二胺、N-羥基甲基-N',N'-二乙基乙二胺、N,N-二羥基甲基-N'，N'-二乙基乙二胺、N-羥基甲基-N,N'，N'-三亞乙基二胺、N-羥基曱基丙二胺、N，N-二羥基曱基丙二胺、N,N，N'-三羥基曱基丙二胺、N,N,N',N'-四羥基曱基丙二胺、N-羥基曱基亞丁基二胺、N，N-二羥基曱基亞丁基二胺、N，N，N'-三羥基曱基亞丁基二胺、N,N，N'，N'-四羥基甲基亞丁基二胺、N-羥基曱基二亞乙基三胺、N,N"-二羥基曱基二亞乙基三胺以及N-羥基曱基三亞乙基四胺；(3)脂肪族鏈烷醇不飽和胺類，包括N-羥基甲基烯丙基胺、N,N-二羥基甲基烯丙基胺、N-(a-羥基乙基)烯丙基胺、N,N-(二-a-羥基乙基)烯丙基胺、N-羥基曱基二烯丙基胺、N-羥基曱基-N-曱基烯丙基胺以及N-羥基曱基-N-乙基烯丙基胺；(4)剝離環(huán)狀鏈烷醇胺類，包括N-羥基甲基吡咯、N-(a-羥基乙基)吡咯、N-羥基甲基-曱基吡咯、N-羥基曱基-二曱基吡咯、N-羥基曱基-三曱基吡咯、N-羥基曱基吡咯烷、N-(a-羥基乙基)p比咯烷、N-羥基曱基-曱基吡咯烷、N-羥基曱基吡唑、N-羥基曱基咪唑、N-羥基曱基三唑、N-羥基甲基四唑、N-羥基曱基咪咬、N-(a-羥基乙基)哌啶、N-羥基曱基哌可啉、N-羥基曱基-2，6-二曱基哌啶、N-羥基曱基哌。秦、N,N-二羥基甲基哌嗪、N-(a-羥基乙基)哌嗪、N-羥基甲基曱基哌嗪、N-羥基曱基嗎啉以及N-(a-羥基乙基)嗎啉；(5)脂肪族鏈烷醇醚胺類，包括N-羥基曱基曱氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)甲氧基乙胺、N，N-二羥基甲基曱氧基乙胺、N-羥基曱基曱氧基丙胺、N,N-二羥基曱基曱氧基丙胺、N-羥基曱基乙氧基乙胺、N-(a-羥基乙基)乙氧基乙胺、N,N-二羥基甲基乙氧基乙胺、N-羥基曱基乙氧基丙胺以及N,N-二羥基曱基乙氧基丙胺；以及它們的組合。15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的剝離組合物，其中，所述鏈烷醇胺化合物進(jìn)一步包括選自由烷基胺、鏈烷醇胺、多胺、羥胺、環(huán)胺、以及它們的組合組成的組中的至少一種附力口胺。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的剝離組合物，其中，所述烷基胺包括選自由脂肪族伯烷基胺類，包括曱胺、乙胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、仲丁胺、異丁胺、叔丁胺、戊胺、2-氨基戊烷、3-氨基戊烷、l-氨基-2-曱基丁烷、2-氨基-2-曱基丁烷、3-氨基-2-曱基丁烷、4-氨基-2-曱基丁烷、己胺、5-氨基-2-曱基戊烷、庚胺、辛胺、壬胺、癸胺、十一烷胺、十二烷胺、十三烷胺、十四烷胺、十五烷胺、十六烷胺、十七烷胺以及十八胺；月旨肪族仲烷基胺類，包括二曱胺、二乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁胺、二異丁胺、二仲丁胺、二^又丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、甲基乙胺、曱基丙胺、甲基異丙胺、曱基丁胺、曱基異丁胺、曱基仲丁胺、甲基叔丁胺、甲基戊胺、曱基異戊胺、乙基丙胺、乙基異丙胺、乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基仲丁胺、乙基^又丁胺、乙基異戊胺、丙基丁胺以及丙基異丁胺；脂肪族+又烷基胺類，包括三甲胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、二曱基乙胺、二曱基丙胺、曱基二乙胺以及曱基二丙胺；以及它們的組合組成的組中的一種。17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的剝離組合物，其中，所述鏈烷醇胺包括選自由脂肪族鏈烷醇胺類，包括乙醇胺、N-曱基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-曱基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、N-曱基異丙醇胺、N-乙基異丙醇胺、N-丙基異丙醇胺、2-氨基丙-l-醇、N-曱基-2-氨基丙-l-醇、N-乙基-2-氨基丙-l-醇、l-氨基丙-3-醇、N-甲基-l-氨基丙-3-醇、N-乙基-l-氨基丙-3-醇、l-氨基丁-2-醇、N-曱基-l-氨基丁-2-醇、N-乙基-l-氨基丁-2-醇、2-氨基丁-l-醇、N-甲基-2-氨基丁_1_醇、N-乙基-2-氨基丁-l-醇、3-氨基丁-l-醇、N-曱基-3-氨基丁-l-醇、N-乙基-3-氨基丁-l-醇、l-氨基丁-4-醇、N-甲基-1-氨基丁-4-醇、N-乙基-l-氨基丁-4-醇、1-氨基-2-曱基丙-2-醇、2-氨基-2-甲基丙-l-醇、l-氨基戊-4-醇、2-氨基-4-甲基戊-1-醇、2-氨基己-l-醇、3-氨基庚-4-醇、l-氨基辛-2-醇、5-氨基辛一4-醇、l-氨基丙-2，3-二醇、2-氨基丙-l，3-二醇、三(氧甲基)氨基甲烷、1,2-二氨基丙-3-醇、1,3-二氨基丙-2-醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、以及它們的組合組成的組中的一種。18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的剝離組合物，其中，所述多胺包括選自由乙二胺、丙二胺、亞丁基二胺、亞丙基二胺、四亞曱基二胺、1,3-二氨基丁烷、2,3-二氨基丁烷、戊二胺、2，4-二氨基戊烷、六亞曱基二胺、庚二胺、辛二胺、壬二胺、N-曱基乙二胺、N,N-二曱基乙二胺、三曱基乙二胺、N-乙基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、1，2，3-三氨基丙烷、三(2-氨基乙基)胺、四(氨基甲基)甲烷、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺、四亞乙基五胺、七亞乙基/\胺、九亞乙基十胺、以及它們的組合纟且成的ia中的一種。19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的剝離組合物，其中，所述羥胺包括選自由羥胺、N-甲基羥胺、N-乙基羥胺、N,N-二乙基羥胺、以及它們的組合組成的組中的一種。20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的剝離組合物，其中，所述環(huán)胺包括選自由p比咯、2-甲基吡咯、3-曱基吡咯、2-乙基吡咯、3-乙基吡咯、2,3-二曱基吡咯、2,4-二曱基p比咯、3,4-二甲基吡咯、2，3，4-三甲基吡咯、2，3,5-三甲基吡咯、2-吡咯啉、3-吡咯啉、吡咯烷、2-甲基吡p各烷、3-曱基吡咯烷、吡唑、口米哇、1，2，3-三哇、1,2,3,4-四哇、p底^定、2-p底可卩林、3-p底可啉、4-。底可啉、2，4-2,6-二甲基哌啶、2,6-2，6-二甲基哌啶、3,5-2，6-二甲基哌啶、哌，秦、2-甲基哌喚、2,5-二曱基哌。秦、2,6-二甲基哌漆、嗎啉、以及它們的組合組成的組中的一種。21.才艮據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述無4幾鹽化合物包括選自由氬氧化鉀、醋酸鐘、苯甲酸鉀、硝酸鐘、碳酸鉀、焦石粦酸鐘、以及它們的組合組成的組中的一種。22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離組合物，其中，所述剝離組合物進(jìn)一步包括選自由羥胺化合物、耐腐蝕劑、極性溶劑、水、以及它們的癥且合^L成的《且中的一種。23.才艮據(jù)4又利要求22所述的剝離組合物，其中，所述羥胺化合物溶于水。24.才艮據(jù)4又利要求23所述的剝離組合物，其中，所述羥胺化合物包括選自由乙醇胺類、曱醇胺類、二乙醇胺類、三乙醇胺類、以及它們的組合組成的組中的一種。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的剝離組合物，其中，所述羥胺化合物包括選自由單乙醇胺、單甲醇胺、異丙醇胺、二曱醇胺、二乙醇胺、二丙醇胺、三甲醇胺、三乙醇胺、四乙醇胺、以及它們的組合組成的組中的一種。26.根據(jù)權(quán)利要求22所述的剝離組合物，其中，所述耐腐蝕劑包括選自由糖類、糖醇、芳香族羥基化合物、炔屬醇、羧酸化合物和它的酸酐、三哇化合物、以及它們的組合組成的組中的一種。27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述糖類包括選自由具有3至6個(gè)碳原子的單糖類，包括甘油醛、抗壞血酸、異抗壞血酸、蘇糖、阿拉伯糖、木糖、核糖、核酮糖、木酮糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、塔格糖、阿洛糖、阿卓糖、古洛糖、艾杜糖、塔羅糖、山梨糖、阿洛酮糖和果糖；二糖類包括海藻#唐；以及它們的組合組成的組中的一種。28.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述糖醇包括選自由蘇糖醇、赤蘚醇、阿東糖醇、阿糖醇、木糖醇、塔羅糖醇、山梨糖醇、甘露糖醇、艾杜糖醇、半乳糖醇、肌醇、以及它們的纟且合《且成的《且中的一種。29.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述芳香族羥基化合物包括選自由苯酚、曱酚、二曱苯酚、鄰苯二酚、間苯二酚、氬醌、連苯三酚、1,2,4-苯三醇、水楊醇、7十羥基千醇、對羥基苯乙醇、對氨基苯酚、間氨基苯酚、二氨基苯酚、氨基間苯二酚、對羥基苯甲酸、鄰羥基苯曱酸、2，4-二羥基苯曱酸、2，5-二羥基苯甲酸、3,4-二羥基苯甲酸、3，5-二羥基苯曱酸、五4咅子酸、以及它們的組合組成的組中的一種。30.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述炔屬醇包括選自由2-丁烯-l，4-二醇、3，5-二曱基-1-己烯-3-醇、2-曱基畫3-丁烯-2-醇、3-曱基-l-戊二烯亞戊基-3-醇、3,6-二曱基-4-辛烯-3,6-二醇、2，4，7,9-四曱基-5-癸烯-4，7-二醇、2，5-二曱基-3-己烯-2,5-二醇、以及它們的組合組成的組的一種。31.才艮據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述羧酸化合物和它的酸酐包括選自由甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、異丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、馬來酸、富馬酸、苯甲酸、苯二曱酸、1，2，3-苯三甲酸、乙醇酸、二甘醇S吏、乳酸、蘋果酸、斗寧檬酸、乙酸酐、鄰苯二曱酸酐、馬來肝、琥珀酐、水楊酸、以及它們的《且合《且成的《且中的一種。32.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述三唑化合物包括選自由曱基苯并三唑、苯并三唑、鄰曱基苯并三唑、間甲基苯并三唑、對曱基苯并三唑、羧基苯并三唑、1-羥基苯并三唑、硝基苯并三唑、二羥基丙基苯并三唑、以及它們的組合組成的組中的一種。33.根據(jù)權(quán)利要求26所述的剝離組合物，其中，所述耐腐蝕劑包括選自由兒茶酚類，包括鄰苯二酚、山梨醇、木糖醇、五倍子酸、2-丁烯-l，4-二醇、苯二曱酸、鄰苯二曱酸酐、水楊酸、抗壞血酸、曱基苯并三唑、苯并三p坐、以及它們的組合組成的組中的一種。34.根據(jù)權(quán)利要求22所述的剝離組合物，其中，所述極性溶劑是^琉的化合物或烷基吡咯烷酮。35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的剝離組合物，其中，所述硫的化合物包4舌選自由二甲亞石風(fēng)、二乙亞石風(fēng)、二丙亞石風(fēng)、環(huán)丁S風(fēng)、以及它們的混合物組成的組中的一種。36.根據(jù)權(quán)利要求34所述的剝離組合物，其中，所述烷基吡咯烷酉同包括選自由吡咯烷酮、n-曱基吡咯烷酮、n-乙基吡咯烷酮、n-丙基吡咯烷酮、n-辛基吡咯烷酮、n-環(huán)己基吡咯烷酮、n-十二烷基吡咯烷酮、2-吡咯烷酮、l-羥乙基-2-p比咯烷酮、1-羥丙基-2-p比咯烷酮、以及它們的組合組成的組中的一種。37.根據(jù)權(quán)利要求22所述的剝離組合物，其中，所述剝離組合物進(jìn)一步包括0.5至10wt。/o的羥胺化合物、0.01至5wt。/。的耐腐蝕劑以及余量的水；所述氫氧化合物是四甲基氬氧化銨；所述烷撐二醇烷基醚化合物是乙二醇曱基醚或二乙二醇曱基醚；所述鏈烷醇胺化合物包括選自由單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及它們的組合組成的組中的一種；所述無才幾鹽4匕合物是醋酸鉀或氫氧化鉀；以及所述耐腐蝕劑包括選自由苯并三唑、兒茶酚、炔屬醇、三三唑、以及它們的組合組成的組中的一種。38.—種剝離方法，所述方法包括在基板上形成包含有機(jī)材料的薄膜；以及使用剝離組合物剝離在所述基板上的所述薄膜，所述剝離組合物包括約0.5至約45wt。/。的氪氧化合物、約10至約89wt。/。的烷撐二醇烷基醚化合物、約5至約45wt。/。的4連烷醇胺化合物、以及約0.01至約5wt。/o的無機(jī)鹽化合物。39.根據(jù)權(quán)利要求38所述的剝離方法，進(jìn)一步包括才企查薄膜的缺陷；以及在剝離所述薄膜之前，當(dāng)檢測到缺陷時(shí)確定所述有缺陷的薄膜。40.根據(jù)權(quán)利要求38所述的剝離方法，其中，所述薄膜是濾色片。41.根據(jù)權(quán)利要求38所述的剝離方法，其中，所述薄膜是有機(jī)絕緣薄膜。42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的剝離方法，其中，所述有機(jī)絕緣薄膜是負(fù)型的。43.根據(jù)權(quán)利要求38所述的剝離方法，其中，所述基板包括器件層壓板，而所述薄膜形成在所述器件層壓板上。44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的剝離方法，其中，所述器件層壓板包括薄膜晶體管。45.根據(jù)權(quán)利要求44所述的剝離方法，其中，所述薄膜晶體管包括由包括Al的金屬形成的電極。全文摘要本發(fā)明提供了一種剝離組合物和剝離方法，其能夠容易地剝離在基板上形成的顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜以當(dāng)在基板上形成濾色片或有機(jī)絕緣薄膜過程中發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)重新使用該基板。在一種具體實(shí)施方式中，剝離組合物包括約0.5至約45wt％的氫氧化合物、約10至約89wt％的烷撐二醇烷基醚化合物、約5至約45wt％的鏈烷醇胺化合物、以及約0.01至約5wt％的無機(jī)鹽化合物。有利地，剝離過程可以在不損壞下基板的薄膜晶體管同時(shí)除去顏色抗蝕劑或有機(jī)絕緣薄膜的情況下實(shí)施。文檔編號(hào)G03F7/42GK101398639SQ200810211419公開日2009年4月1日申請日期2008年9月22日優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日發(fā)明者尹錫壹,張斗瑛,樸弘植,李智鮮,李炳珍,洪瑄英,許舜范,辛成健,鄭世桓,鄭宗鉉,鄭鐘鉉,金俸均,金圣培,金柄郁申請人:三星電子株式會(huì)社;東進(jìn)世美肯株式會(huì)社