專利名稱：液晶面板檢查方法以及裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及釆用后照光(back light)照射液晶面板且使用 攝像裝置觀察液晶面板內(nèi)部的缺陷這種類型的液晶面板檢查方 法以及裝置。
背景技術：
現(xiàn)在，已公知有采用后照光照射液晶面板且使用攝像裝置 觀察液晶面板內(nèi)部的灰塵等缺陷這種類型的液晶面板檢查裝 置。在這樣的檢查裝置中，問題在于，會將附著于液晶面板表 面上的灰塵誤認為是液晶面板的內(nèi)部缺陷，從而將合格品的液 晶面板判定為次品。已知在如下的專利文獻1以及專利文獻2 中，公開了在對液晶面板的零件進行檢查時防止上述誤認的技 術。專利文獻l:日本特開平IO- 246705號公報 專利文獻2:日本特開平IO- 176995號7>才艮 專利文獻1涉及 一 種液晶面板的濾色器的檢查方法，可區(qū) 分濾色器本身的缺陷與附著于濾色器表面上的灰塵。在該檢查 方法中，在濾色器的一側(cè)配置照明裝置，使用該照明裝置照射 濾色器的 一側(cè)，并使用CCD攝像機從濾色器的另 一側(cè)拍攝透射 光的圖像。依據(jù)該攝影圖像，可獲取濾色器的突起缺陷和黑色 缺陷的位置信息(即，可獲得明亮圖像中陰影的位置)。若發(fā)現(xiàn) 那樣的缺陷，則將空氣的吹噴口拿到存在該缺陷的位置，噴出 壓縮空氣(吹氣，airblow)。由此，可將未牢固附著于濾色器 上的異物吹走。經(jīng)吹氣后，再次拍攝圖像。對吹氣前后的圖像 間實施差分處理，按適當?shù)拈y值進行二值化處理時，可分辨出因吹走而消失了的異物。由此，可解決連能簡單去除的異物也 判定為次品的問題。專利文獻2涉及 一 種液晶面板的透明玻璃基板的檢查方 法，利用該方法可區(qū)分玻璃基板本身的缺陷與附著于玻璃基板表面上的灰塵。該檢查方法使用了 4種檢查部，使玻璃基板依 次通過4種檢查部。在各檢查部中，在玻璃基板的一側(cè)配置有 照明裝置，在其另 一側(cè)配置有攝像裝置。第1檢查部和第4的檢 查部采用直接透射法來拍攝透射圖像，第2檢查部和第3檢查部 釆用間接透射法來拍攝透射圖像。在第3檢查部與第4的檢查部 之間配置有離子式除塵器，當玻璃基板通過該除塵器時，附著 于玻璃基板表背面上的塵埃便會被除去。與本發(fā)明申請有關的 部分是，對第l檢查部的拍攝圖像與第4的檢查部的拍攝圖像進 行比較。在第l檢查部的圖像中，除了玻璃基板的"表傷"、"背 傷，，和"氣泡"以外，還有附著于玻璃基板表面上的"塵埃" 都顯現(xiàn)為暗影信息。在第4檢查部的圖像中，由于已對塵埃進 行了除塵，因此，只顯現(xiàn)出了玻璃基板的"表傷"、"背傷，，和 "氣泡"。因此，通過比較第1檢查部的圖像與第4的檢查部的 圖像，可正確識別玻璃基板的"表傷"、"背傷"和"氣泡，，的 位置及狀態(tài)。在該專利文獻2中，在除去表面的灰塵時，使用 了除塵器而不是吹空氣。利用空氣吹走塵埃時，塵埃還有可能 再次附著于液晶玻璃上。上述兩項的公知技術是涉及對構成液晶面板的零件(濾色 器或玻璃基板)進行檢查的檢查方法。與此相對，已知在如下的 專利文獻3中，公開了 一種可對夾設液晶的狀態(tài)下的液晶面板 區(qū)分其內(nèi)部缺陷與表面灰塵的檢查方法。專利文獻3:曰本特開2007— 86563號/>凈艮 在該專利文獻3中，揭示了一種對未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板，使用設置于檢查裝置上的一對偏振片夾著液晶面 板來檢查液晶面板的檢查方法。該檢查裝置通過對使用后照光 照明時的透射圖像與采用傾斜照明來照明時的透射圖像進行比 較，可區(qū)分液晶面板的內(nèi)部灰塵與外部灰塵。在上述專利文獻1和專利文獻2中，可對濾色器或玻璃基板區(qū)分其自身缺陷與附著于其表面上的灰塵。但是，將這樣的技 術應用到在一對透明基板之間夾設液晶的液晶面4反、即未設有 偏振片的狀態(tài)下的液晶面板的檢查時，會產(chǎn)生如下問題。專利文獻1和專利文獻2均是以明亮畫面上的暗影信息的形式來檢 測附著于濾色器或玻璃基板的表面上的灰塵。但是，與暗畫面 (黑暗畫面)上的亮點信息相比，明亮畫面上的暗影信息不易確認。而且，在專利文獻l中，當在圖像上發(fā)現(xiàn)缺陷時，將空氣 吹噴口拿到該缺陷的位置，對準缺陷的位置集中吹壓縮空氣。 由此，將附著于表面上的灰塵吹走。因此，在專利文獻l中， 需要將空氣吹噴口拿到缺陷位置的技術方法。另一方面，在專 利文獻2中，使用離子式除塵器來除去附著于表面上的灰塵。 根據(jù)專利文獻2，采用氣流式除塵方法可能會使塵埃再次附著。 要實施該專利文獻2的技術，需要離子式除塵器。在上述專利文獻3中，為了區(qū)分液晶面板的內(nèi)部灰塵與外 部灰塵，除了后照光以外還需要傾斜照明。因此，期望構造更 簡單的檢查裝置。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種液晶面板檢查方法以及裝置。 在使用攝像裝置檢查液晶面板的缺陷時，可采用簡單的裝置， 且以黑暗畫面中的亮點信息的形式來確認灰塵的影像，從而可區(qū)分附著于液晶面板表面上的灰塵的影像與液晶面板缺陷的影 像的。本發(fā)明的液晶面板檢查方法包括如下(a)到(e)項的階段(a) 第l圖像獲取階段，在該階段中，將在一對透明基板之間夾設 有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板配置于第l檢 查部中，從液晶面板的一側(cè)隔著第l照明側(cè)偏振片來照射照明 光，從液晶面板的另一側(cè)隔著第l攝像側(cè)偏振片來拍攝液晶面 板的第l圖像，從而獲取黑暗畫面中的亮點的位置；(b)輸送階 段，在該階段中，將液晶面板從上述第l檢查部輸送至第2檢查 部；(c)氣體噴吹階段，在該階段中，將液晶面板配置于上述第 2檢查部中，向液晶面板表面吹氣體；(d)第2圖像獲取階段，在 該階段中，隔著第2照明側(cè)偏振片從配置于上述第2檢查部中的 液晶面板的一側(cè)照射照明光，隔著第2才聶像側(cè)偏振片從液晶面 板的另 一側(cè)拍攝液晶面板的第2圖像，從而獲取黑暗畫面中的 亮點的位置；(e)判定階段，在該階段中，對上述第l圖像中亮 點的位置與上述第2圖像中亮點的位置進行比較，當存在兩個 圖像中的亮點位置相同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺 陷。在第l檢查部與第2檢查部之間的輸送中途，附著于液晶面 板表面上的灰塵可能因伴隨輸送而產(chǎn)生的振動等的影響而掉 落。并且，通過在第2檢查部中對液晶面板表面吹氣體，附著 于液晶面板表面上的灰塵可能掉落。因此，通過對第l圖像與 第2圖像進行比較，可識別出黑暗畫面中出現(xiàn)的亮點是由灰塵 引起的亮點還是由液晶面板的缺陷引起的亮點。即，對于兩個 圖像中的亮點位置不相同那樣的亮點，判定為是由灰塵引起的 亮點；而兩個圖像中的亮點位置相同時，則判定為是液晶面板 存在缺陷。通過使用這樣的檢查方法，可防止將合格品誤認為次品。此外，若在氣體噴吹階段中使液晶面板傾斜，將提高灰 塵掉落的概率。而且，如果發(fā)現(xiàn)誤認率只是稍微有點增加，則 也可省去氣體噴吹階段。在輸送階段中，也可使液晶面板在輸送路徑的至少一處相 對于水平面傾斜。這樣，將提高附著于液晶面板表面上的灰塵因受到伴隨輸送而產(chǎn)生的振動等的影響而掉落的可能性。另外，本發(fā)明的液晶面板檢查裝置用于對在一對透明基板 之間夾設有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板進行檢查，其中，該檢查裝置包括如下(a)到(e)項的裝置(a)第l 檢查部，其具有載置液晶面板的第l檢查臺、配置于液晶面板 一側(cè)的第l照明裝置、配置于液晶面板與上述第l照明裝置之間 的第1照明側(cè)偏振片、配置于液晶面板的另 一 側(cè)的第l攝像裝 置、配置于液晶面板與上述第l攝像裝置之間的第l攝像側(cè)偏振 片、從由上述第l攝像裝置拍攝的第l圖像中識別黑暗畫面中亮 點的位置的第l位置識別裝置；(b)第2檢查部，其具有載置液晶 面板的第2檢查臺、配置于液晶面板一側(cè)的第2照明裝置、配置 于液晶面板與上述第2照明裝置之間的第2照明側(cè)偏振片、配置 于液晶面板的另 一側(cè)的第2攝像裝置、配置于液晶面板與上述 第2攝像裝置之間的第2攝像側(cè)偏振片、從由上述第2攝像裝置 拍攝的第2圖像中識別黑暗畫面中亮點的位置的第2位置識別 裝置；(c)輸送裝置，其將液晶面板從上述第l檢查部輸送到上 述第2檢查部；(d)氣體吹噴裝置，其向配置于上述第2檢查部中 的液晶面板表面吹氣體；(e)判定裝置，其對上述第l圖像中的 亮點位置與上述第2圖像中的亮點位置進行比較，當存在兩個 圖像中的亮點位置相同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺 陷。在該液晶面板檢查裝置中，也與檢查方法的發(fā)明同樣，可發(fā)揮如下的作用(l)若在氣體噴吹階段中使液晶面板傾斜，將 提高灰塵掉落的概率；(2)若發(fā)現(xiàn)誤認率只是稍微增加，則可省 去氣體噴吹階段；(3)可使液晶面板在輸送路徑的至少 一 處相對 于水平面傾斜。本發(fā)明具有如下的效果(l)在兩個圖像的獲取階段之間夾 著輸送階段來獲取兩個圖像并對它們進行比較，只使用這樣簡 單的方法即可區(qū)分附著于液晶面板表面上的灰塵的影像與液晶 面板內(nèi)部的缺陷；(2)由于是觀測黑暗畫面中的亮點，因此，與 觀測明亮畫面中的黑暗信息相比，容易確認缺陷信息或灰塵信 息；(3)若在第2檢查部中向液晶面板表面吹氣體，將提高灰塵 掉落的可能性；(4)若使液晶面板在輸送路徑的至少 一 處相對于 水平面傾斜，可提高灰塵在輸送途中掉落的可能性。


圖l是表示本發(fā)明的液晶面板檢查裝置的 一 實施例的整體像概略的立體圖。圖2是表示第l檢查部的概略的正面剖視圖。 圖3是表示第2檢查部的概略的側(cè)面剖視圖。 圖4是設置了空氣吹噴裝置的狀態(tài)下的第2檢查部的主要部分的立體圖。圖5是從側(cè)面觀察第2檢查部中的空氣吹噴裝置時的側(cè)視圖。圖6是空氣吹噴機構的立體圖。圖7是圖像實例。圖8是另一圖像實例。圖9是表示本發(fā)明的液晶面板檢查方法程序的流程圖。
具體實施方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細說明。圖l表 示本發(fā)明的液晶面板檢查裝置的 一 實施例的整體圖像概略的立 體圖。該檢查裝置用于對在一對透明玻璃基板之間夾設有液晶 層的液晶面板的缺陷進行檢查。檢查對象的液晶面板未設有偏振片。該檢查裝置具有第I檢查部IO、第2檢查部12以及設于上 述兩個;f全查部之間的輸送系統(tǒng)。以下，對該4全查裝置中的液晶 面板14的動作進行說明。在第1檢查部10中，通過輸送動作16 將使用第l攝像裝置32拍攝了第l圖像后的液晶面板14輸送到 第l回轉(zhuǎn)臺18。借助第l回轉(zhuǎn)臺18使液晶面板14在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動 90度后，通過輸送動作20轉(zhuǎn)移到機器人輸送部(未圖示)。機器 人輸送部用于在輸送系統(tǒng)與收納盒23之間轉(zhuǎn)移液晶面板14。通 過機器人輸送部的輸送動作2 2將液晶面板14輸送到第2回轉(zhuǎn)臺 24。轉(zhuǎn)移到第2回轉(zhuǎn)臺24上的液晶面板14,通過輥式輸送機(未 圖示)的輸送動作26以及沿著與該輸送動作26垂直的方向的輸 送動作28,而移到傾斜裝置(以符號29表示其傾斜動作)的部位。 借助傾斜裝置使液晶面板14相對于水平面傾斜。通過輸送動作 3 0將處于傾斜姿勢的液晶面板14輸送到第2檢查部12中。在第2 檢查部12中，使用第2攝像裝置34拍攝液晶面板14的第2圖像。 圖2是表示第l檢查部的概略的正面剖視圖。該第l檢查部 具有第1檢查臺36,該第l檢查臺36上可載置液晶面板14。在液 晶面板14的下方配置有第l照明裝置38。液晶面板14與第l照明 裝置38之間配置有第l擴散板40和第1照明側(cè)偏振片42。第1照 明側(cè)偏振片42位于第l擴散板40的上方。在液晶面板14的上方 配置有第l攝像裝置32。在液晶面板14與第l攝像裝置32之間配 置有第l攝像側(cè)偏振片44。在該實施例中，采用由兩個偏振片 42、 44夾著液晶面板14的結構，在未對液晶面板施加電壓的狀態(tài)(非點亮狀態(tài))下，變成了黑暗畫面的狀態(tài)。該"黑暗畫面的狀 態(tài)"是指，來自背面?zhèn)鹊恼彰餮b置的光被用兩個偏振片夾著液晶 面板的結構遮斷，而在攝像裝置中顯現(xiàn)了黑暗畫面的狀態(tài)。為 變成為這樣黑暗畫面的狀態(tài)，對液晶面的液晶層與兩個偏振 片之間設定了規(guī)定的光學關系。當使液晶面板為非點亮狀態(tài)，使用第l照明裝置38從下方對液晶面板14進行照明，使用第1 攝像裝置32拍攝液晶面板14時，液晶面板的缺陷或附著于液晶 面板上的灰塵在其黑暗的畫面上顯現(xiàn)為亮點。若液晶面板不存 在缺陷，且在其表面上沒有灰塵附著，則在畫面上不出現(xiàn)亮點。由圖像處理部46按規(guī)定的閥值對第l攝像裝置32的輸出進 行二值化處理，記錄有無亮點以及亮點的位置。第l圖像處理 部46的處理結果可由第1顯示部48進行顯示。圖3是表示第2檢查部概略的側(cè)面剖視圖。該第2檢查部具 有第2檢查臺50,該第2檢查臺50上可載置液晶面板14。使第2 檢查臺5 0的液晶面板放置面5 2傾斜并與水平面成角度e 。角度e 例如大約為70度。該第2檢查部除了可使液晶面板為非點亮狀 態(tài)來進行缺陷檢查外，還可使液晶面板為點亮狀態(tài)來進行像質(zhì) 檢查。第2檢查臺50呈傾斜狀態(tài)，因此，操作者容易對液晶面 板進行目測。該第2檢查部還具有用于對液晶面板施加電壓以 進行畫質(zhì)檢查的探針裝置66。在液晶面板14的右側(cè)下方配置有第2照明裝置54。在液晶 面板14與第2照明裝置54之間配置有第2擴散板56和第2照明側(cè) 偏振片58。第2照明側(cè)偏振片58位于第2擴散板56的上方。在液 晶面板14的左側(cè)上方配置有第2攝像裝置34。在液晶面板14與 第2攝像裝置34之間配置有第2攝像側(cè)偏振片60。與第l檢查部 同樣，采用由兩個偏振片58、 60夾著液晶面板14的結構，在未 對液晶面板施加電壓的狀態(tài)(非點亮狀態(tài))下變?yōu)楹诎诞嬅娴臓?3態(tài)。即，為了變成為那樣黑暗畫面的狀態(tài)，在液晶面^1的液晶 層與兩個偏振片之間設定了規(guī)定的光學關系。當使液晶面板14為非點亮狀態(tài)，使用第2照明裝置34從右側(cè)下方對液晶面板14 進行照明，使用第2攝像裝置34拍攝液晶面板14時，液晶面板 的缺陷或附著于液晶面板上的灰塵在其畫面上顯現(xiàn)為亮點。與 第l檢查部中的第l圖像裝置相同，第2攝像裝置34與第2圖像處 理部68相連接，第2圖像處理部68與第2顯示部70相連接。圖4是在設置了空氣吹噴裝置的狀態(tài)下的第2檢查部的主 主要部分的立體圖。在上述圖3中省略了空氣吹噴裝置的圖示。 在圖4中，沿著液晶面板14的兩條長邊將兩個空氣吹噴機構72 配置于液晶面板14的斜上方。在液晶面板14的斜下方也配置有 同樣的兩個空氣吹噴機構(未圖示)。這些空氣吹噴機構72相當 于本發(fā)明的氣體吹噴裝置。在圖4中，簡略地表示付屬于探針 裝置的多個探針單元82。這些探針單元82沿著液晶面板14的一 條長邊84和一條短邊86并列設置著。圖6是空氣吹噴機構72的立體圖。該空氣吹噴機構72具有 細長的主體74。主體74的長度大于液晶面4反的長邊長度。在該 主體74的一個面上形成有多個開口 76。在主體74的端面連接有 空氣導入管78,將高壓空氣導入該空氣導入管時，將從開口76 吹出空氣。另外，雖未作圖示，但在該空氣吹噴機構上附加有 電離器，可將離子化的空氣吹到液晶面板上?；氐綀D4,對處于相對于水平面以角度e傾斜的姿勢下的液晶面板14,可用合計四個空氣吹噴機構72對液晶面板14表側(cè)的 表面和背側(cè)的表面吹空氣80。由此，可將附著于液晶面板14表 面上的灰塵吹走。由于液晶面板14呈傾斜狀態(tài)，因此，通過空 氣的流動使灰塵從液晶面板上掉落時，該灰塵不容易再次附著 于液晶面 一反上。圖5是從橫向觀察第2檢查部中的空氣吹噴裝置的側(cè)視圖。 顯示由四個空氣吹噴機構72向傾斜姿勢的液晶面板14吹空氣 80的情況。以下，對該檢查裝置的動作進行說明。在圖2的第1檢查部 中，由第1攝像裝置32獲取液晶面板14的第1圖像。該第l圖像 例如如圖7(A)所示，在黑暗畫面(以圖中的陰影線87代表黑暗畫 面)中出現(xiàn)了 3個亮點88、 90、 92。在經(jīng)二值化處理的圖像中， 將亮點設為"l",而無亮點的部位設為"O"。亮點是由液晶面板 的缺陷(例如兩張玻璃基板間夾著的異物)引起的，或者是由附 著于液晶面板表面上的灰塵引起的。在圖l中，該液晶面板14 經(jīng)由輸送動作16、 20、 22、 26、 28而移到傾斜裝置處。由傾斜裝置使液晶面板i4傾斜為與水平面成角度e。該角度e與第2檢查部12的第2檢查臺的傾斜角度相等。呈這樣傾斜姿勢的液晶 面板14通過輸送動作30而被安置于第24全查部12的第2檢查臺 上。伴隨這些一連串的輸送動作，附著于液晶面板表面上的灰 塵可能因振動等而掉落。而且，在輸送途中液晶面板處于傾斜 姿勢，因此，容易使灰塵進一步掉落。并且，在第2檢查部12 中，使用空氣吹噴裝置向處于傾斜姿勢的液晶面板表面吹空氣， 由此也可將未從液晶面板表面滑落而殘留的灰塵吹走。其后，由第2檢查部12獲取第2圖像時，例如，如圖7(B)所 示，在黑暗的畫面中出現(xiàn)兩個亮點92、 94。亮點92在圖7(A) 的第l圖像中也出現(xiàn)過。在圖7(A)的第l圖像中顯現(xiàn)的亮點88、 90從圖7(B)的第2圖像中消失了 ?？烧J為亮點88、 90是由附著 于液晶面板表面上的灰塵引起的，這些灰塵隨著液晶面板的輸 送或者向液晶面板吹噴空氣，而從液晶面板表面上消失了。雖 然在圖7(B)的第2圖像中出現(xiàn)了新的亮點94，但它在圖7(A)的 第1圖像中并未出現(xiàn)，設想是灰塵重新附著于液晶面板表面上了。但是，在本發(fā)明的檢查裝置中，附著新的灰塵的可能性非 常低。獲得了圖7(B)的第2圖像之后，對圖7(A)的第l圖像與圖 7(B)的第2圖像進行比較。具體而言，在第1圖像和第2圖像之 間，對各像素(即液晶面板的每個相同地點)逐一進行二值數(shù)據(jù) 的AND運算。由此，如圖7(C)所示，只在第1圖像與第2圖像這 兩個圖像中都顯現(xiàn)亮點的地點(亮點位置共同的地點)殘留有亮 點92。只在第l圖像與第2圖像中的一個圖像中顯現(xiàn)的亮點88、 90、 94是由附著于液晶面板表面上的灰塵引起的，這些亮點通 過AND演算被除去了 。通過以上的處理，可僅提取出液晶面板的缺陷。實際上， 這樣發(fā)現(xiàn)的"有缺陷的液晶面板"也有可能混有由未完全排除的 表面灰塵引起的制品(其為正常品)，即使這樣，通過使用本發(fā) 明的檢查裝置，也可大大降低將原本為合格品的制品誤判為次 品的概率。圖8是液晶面板沒有缺陷時的圖像實例。圖8(A)為第1圖 像，其中出現(xiàn)了亮點88、 90。圖8(B)為第2圖像，其中出現(xiàn)了 亮點94。圖8(C)是對第1圖像和第2圖像進行AND演算而得到的 圖像，未發(fā)現(xiàn)其中有亮點。此時可判定液晶面板不存在缺陷。圖9是表示本發(fā)明的實施例中的液晶面板檢查方法程序的 流程圖。對此前說明的動作進行簡要總結。這些程序分別為 獲取液晶面板的第1圖像(步驟S1),以使液晶面板在輸送路徑的 至少一處相對于水平面傾斜的方式來輸送液晶面板(步驟S2), 向傾斜姿勢的液晶面板吹空氣(步驟S 3),獲取液晶面板的第2 圖像(步驟S4),對第1圖像與第2圖像進行比較(步驟S5)。由圖2 所示的第l檢查部實施第l圖像的獲取動作。以包括傾斜姿勢的 狀態(tài)進行的輸送動作由圖1的輸送動作16、 20、 22、 26、 28、30來實施。其中，在從傾斜裝置向第2檢查部輸送的輸送動作 30中，以使液晶面板傾斜的狀態(tài)進行輸送。在傾斜姿勢下進行 的空氣吹噴動作由圖4所示的空氣吹噴機構72進行實施。第2圖 像的獲取動作由圖3所示的第2檢查部進行實施。第1圖像和第2 圖像的比較動作(圖像間的A N D演算)通過附屬于檢查裝置中的 電子計算機進行實施。本發(fā)明并不只限定于上述實施例，也可做如下的變更。(1) 在上述實施例中，第2檢查部是傾斜的，在第2檢查部中 液晶面板相對于水平面傾斜，但也可使第2檢查部與第l檢查部 同樣呈水平狀態(tài)。此時，液晶面玲反在從第l;險查部向第2才全查部 的輸送階段中保持水平狀態(tài)。即使在這樣的輸送形態(tài)下，附著 于液晶面板表面(特別是下向背側(cè)的表面)上的灰塵也可能因伴 隨輸送而產(chǎn)生的振動等而掉落，也可發(fā)揮本發(fā)明的效果。(2) 若發(fā)現(xiàn)不良的誤認率只是稍微增加，可省去空氣吹噴 機構。在這種情況下，只能期待通過輸送液晶面板而使附著于 液晶面板表面上的灰塵掉落的效果。(3) 上述實施例中，在獲得"黑暗畫面的狀態(tài)"時，使液晶面 板為非點亮狀態(tài)，但也可在第1檢查部或第2檢查部中，或者在 該兩個檢查部中使液晶面板為點亮狀態(tài)而獲得黑暗畫面。只要 能獲得黑暗畫面，由液晶面板和偏振片構成的光學系統(tǒng)可以是 任何類型的光學系統(tǒng)，而且，也可對液晶面板施加任何電氣信號(4) 在上述實施例中，使用空氣作為向液晶面板吹噴的氣 體，但也可使用干燥的氮氣等其他氣體。
權利要求
1.一種液晶面板檢查方法，其中，該檢查方法包括如下(a)到(e)項的階段(a)第1圖像獲取階段，在該階段中，將在一對透明基板之間夾設有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板配置于第1檢查部中，從液晶面板的一側(cè)隔著第1照明側(cè)偏振片來照射照明光，從液晶面板的另一側(cè)隔著第1攝像側(cè)偏振片來拍攝液晶面板的第1圖像，從而獲取黑暗畫面中的亮點的位置；(b)輸送階段，在該階段中，將液晶面板從上述第1檢查部輸送至第2檢查部；(c)氣體噴吹階段，在該階段中，將液晶面板配置于上述第2檢查部中，向液晶面板表面吹氣體；(d)第2圖像獲取階段，在該階段中，隔著第2照明側(cè)偏振片從配置于上述第2檢查部中的液晶面板的一側(cè)照射照明光，隔著第2攝像側(cè)偏振片從液晶面板的另一側(cè)拍攝液晶面板的第2圖像，從而獲取黑暗畫面中的亮點的位置；(e)判定階段，在該階段中，對上述第1圖像中亮點的位置與上述第2圖像中亮點的位置進行比較，當存在兩個圖像中的亮點位置相同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺陷。
2. 根據(jù)權利要求1所述的液晶面板檢查方法，其特征在于， 在上述氣體吹噴階段中，在使液晶面板相對于水平面傾斜的狀 態(tài)下向液晶面4反表面吹氣體。
3. —種液晶面板檢查方法，其中，該檢查方法包括如下(a) 到(d)項的階段(a)第l圖像獲取階段，在該階段中，將在一對透明基板之 間夾設有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板配置于 第1檢查部中，從液晶面板的 一 側(cè)隔著第1照明側(cè)偏振片來照射 照明光，從液晶面板的另 一側(cè)隔著第l攝像側(cè)偏振片來拍攝液液晶面板從上述第l檢查部 輸送至第2檢查部；(c) 第2圖像獲取階段，在該階段中，隔著第2照明側(cè)偏振片 從配置于上述第2 #r查部中的液晶面的 一 側(cè)照射照明光，隔 著第2攝像側(cè)偏振片從液晶面板的另 一側(cè)拍攝液晶面板的第2 圖像，從而獲取黑暗畫面中的亮點的位置；(d) 判定階段，在該階段中，對上述第l圖像中亮點的位置 與上述第2圖像中亮點的位置進行比較，當存在兩個圖像中的 亮點位置相同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺陷。
4. 根據(jù)權利要求l至3中任一項所述的液晶面板#全查方法， 其特征在于，在上述輸送階段中，使液晶面板在輸送路徑的至 少 一處為相對于水平面傾斜的姿勢。
5. —種液晶面板檢查裝置，其用于對在一對透明基板之間 夾設有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板進行檢查， 其中，該檢查裝置包括如下(a)到(e)項的裝置(a) 第l檢查部，其具有載置液晶面板的第l檢查臺、配置于 液晶面板 一 側(cè)的第1照明裝置、配置于液晶面板與上述第1照明 裝置之間的第1照明側(cè)偏振片、配置于液晶面板的另 一 側(cè)的第1 攝像裝置、配置于液晶面板與上述第l攝像裝置之間的第l攝像 側(cè)偏振片、從由上述第l攝像裝置拍攝的第l圖像中識別黑暗畫 面中亮點的位置的第l位置識別裝置；(b) 第2檢查部，其具有載置液晶面板的第2檢查臺、配置于 液晶面板一側(cè)的第2照明裝置、配置于液晶面板與上述第2照明 裝置之間的第2照明側(cè)偏振片、配置于液晶面板的另 一 側(cè)的第2 攝像裝置、配置于液晶面板與上述第2攝像裝置之間的第2攝像 側(cè)偏振片、從由上述第2攝像裝置拍攝的第2圖像中識別黑暗畫面中亮點的位置的第2位置識別裝置；(c) 輸送裝置，其將液晶面板從上述第1檢查部輸送到上述 第2檢查部；(d) 氣體吹噴裝置，其向配置于上述第2檢查部中的液晶面 ^反表面吹氣體；(e) 判定裝置，其對上述第l圖像中的亮點位置與上述第2 圖像中的亮點位置進行比較，當存在兩個圖像中的亮點位置相 同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺陷。
6. 權利要求5所述的液晶面板檢查裝置，其特征在于，上 述氣體吹噴裝置是在使液晶面板相對于水平面傾斜的狀態(tài)下向 液晶面寺反表面p欠氣體。
7. —種液晶面板檢查裝置，其用于對在一對透明基板之間 夾設有液晶層的、未設有偏振片的狀態(tài)下的液晶面板進行檢查， 其中，該檢查裝置包括如下(a)到(d)項的裝置第l檢查部，其具有載置液晶面板的第l檢查臺、配置于液 晶面板 一 側(cè)的第1照明裝置、配置于液晶面板與上述第1照明裝 置之間的第l照明側(cè)偏振片、配置于液晶面板的另 一側(cè)的第l攝 像裝置、配置于液晶面板與上述第l攝像裝置之間的第l攝像側(cè) 偏振片、從由上述第l攝像裝置拍攝的第l圖像中識別黑暗畫面 中亮點的位置的第l位置識別裝置；(b) 第2檢查部，其具有載置液晶面板的第2檢查臺、配置于 液晶面板一側(cè)的第2照明裝置、配置于液晶面板與上述第2照明 裝置之間的第2照明側(cè)偏振片、配置于液晶面板的另 一 側(cè)的第2 攝像裝置、配置于液晶面板與上述第2攝像裝置之間的第2攝像 側(cè)偏振片、從由上述第2攝像裝置拍攝的第2圖像中識別黑暗畫 面中亮點的位置的第2位置識別裝置；(c) 輸送裝置，其將液晶面板從上述第l檢查部輸送到上述第2檢查部；(d)判定裝置，其對上述第1圖像中的亮點位置與上述第2 圖像中的亮點位置進行比較，當存在兩個圖像中的亮點位置相 同那樣的亮點時判定為液晶面板存在缺陷。
8.根據(jù)權利要求5至7中任 一 項所述的液晶面板檢查裝置， 其特征在于，在上述輸送階段中，使液晶面板在輸送路徑的至 少一處為相對于水平面傾斜的姿勢。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液晶面板檢查方法以及裝置。在使用攝像裝置檢查液晶面板缺陷時，可用簡單的裝置區(qū)分附著于液晶面板表面上的灰塵的影像與液晶面板缺陷的影像。將在一對透明基板之間夾設有液晶層的液晶面板(14)配置于第1檢查部(10)中，從液晶面板(14)的一側(cè)照射照明光，從另一側(cè)拍攝第1圖像。將液晶面板(14)從第1檢查部(10)輸送到第2檢查部(12)。此時，使液晶面板(14)在輸送途中的至少一處相對于水平面傾斜。將液晶面板(14)配置于第2檢查部(12)中，對傾斜液晶面板(14)吹氣體以吹走灰塵。用第2檢查部(12)獲取液晶面板(14)的第2圖像。對第1圖像的黑暗畫面中的亮點的位置與第2圖像中的亮點的位置進行比較，從而區(qū)分出液晶面板的缺陷與灰塵。
文檔編號G02F1/13GK101324713SQ20081010862
公開日2008年12月17日 申請日期2008年5月30日 優(yōu)先權日2007年5月30日
發(fā)明者水野邦廣, 菊田誠 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司