專利名稱：制造無源的有圖案的延遲器的方法以及由該方法制造的延遲器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造無源的有圖案(patterned)的延遲器的方法以及由該方法制造的無源的有圖案的延遲器。這種延遲器的應(yīng)用廣泛，包括例如液晶裝置(LCD)投影儀的偏振轉(zhuǎn)換光學(xué)系統(tǒng)和三維自動立體顯示裝置。
背景技術(shù)：
附圖1示出了已知型號的用于提供單線偏振光的偏振轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，例如該光用來照明投影儀中的LCD。該裝置包括呈燈形式的光源1和具有第一微透鏡系統(tǒng)3的反射器2，該第一微透鏡系統(tǒng)3將光引向第二微透鏡系統(tǒng)4。微透鏡4將非偏振光引向設(shè)置在其具有有圖案的延遲器6的光輸出表面上的偏振光分離器5，圖中僅示出了部分延遲元件。偏振光分離器5的間距為第二微透鏡系統(tǒng)4的一半。串?dāng)_塊7確保了散射光不干涉偏振光分離器5和有圖案的延遲器6的操作。
如8的放大的詳圖所示，偏振光分離器5包含以偏振分象棱鏡表示的偏振分離元件系統(tǒng)。從燈1入射的光基本上不偏振，但包含S和P偏振光，且S偏振光直接通過棱鏡。S偏振光在表面9上垂直反射，接著在表面10上垂直反射，從而與P偏振光同向從偏振光分離器5中射出。但是，P偏振光通過有圖案的延遲器6的延遲器元件11，該元件呈半波片的形式。這樣就將P偏振光轉(zhuǎn)化為S偏振光，基本上使所有離開圖1所示裝置的光都成為S偏振光。與僅使用一種偏振光的裝置相比，該裝置具有相當(dāng)高的光效率。
使用了有圖案的延遲器的LCD投影顯示裝置的偏振轉(zhuǎn)換系統(tǒng)公開于US 6 084714、US 6 278 552、US 6 154 320、US 5 986 809和US 5 555 186中。但是，這些專利沒有公開任何制造有圖案的延遲器的技術(shù)或者提供具有改善的消色差性能的寬頻帶的有圖案的延遲器的技術(shù)。
市售的LCD投影顯示裝置具有延遲裝置，它用從拉伸的雙折射聚合物上切下的半波片延遲帶制成陣列。各帶必須與偏振光分離元件的光發(fā)射表面精確地對齊并附著在其上，如圖1所示。為了通過校正色散現(xiàn)象來改善寬頻帶光譜效率，雙折射聚合物要以幾層延遲材料的堆疊形式來使用。對延遲帶的精確切割以及各帶與偏振光分離器的對齊將延遲器的最小形體尺寸限制為約1.8mm。對帶狀延遲器而言，這意味著單獨(dú)帶的最小寬度約為1.8mm。這樣就限制了可得到的偏振轉(zhuǎn)換單元的最小的總體外形尺寸，因此，限制了投影儀的尺寸。而且，它還限制了燈1輸出的光的均化以及LCD盤照明的均一性。
為了避免不得不調(diào)節(jié)各個延遲元件，已知的方法是將有圖案的延遲器作為一個單獨(dú)的基片元件。例如，US 5 327 285公開了通過化學(xué)浸蝕或用機(jī)械方法除去雙折射物質(zhì)，如聚乙烯醇(PVA)來制造有圖案的延遲器的方法。這種技術(shù)的缺點(diǎn)在于有圖案的延遲器的不同區(qū)域具有不同的吸光性能。為了避免或減少這種效應(yīng)，可進(jìn)行后續(xù)的偏振化步驟，但是這需要附加的處理步驟。同時，區(qū)域的邊界清晰度較差，這就再一次限制了可以提供的圖案的最小形體尺寸。同時，該技術(shù)不能在單個的基片上形成具有不同的延遲器光軸定向的區(qū)域，從而在需要這些裝置之處處理兩種或多種基片，然后互相精確地對齊并附著。而且，這限制了圖案的最小形體尺寸。
EP 0887 667公開了制造形體尺寸更小的有圖案的延遲器的方法。該技術(shù)的一個例子簡化地描述在附圖2中。有圖案的延遲器形成在透明基片15上。適于校列可聚合液晶材料的向列層在基片上形成，并沿“A”表示的第一方向摩擦，使得向列層16能使液晶材料的光軸校列到著沿方向A。
然后，將一層光致抗蝕劑層17形成于摩擦過的向列層16上，并通過掩模18在例如紫外輻射下曝光。將已曝光的光致抗蝕劑層17顯影露出缺口如19，然后將向列層16通過其沿“B”表示的第二方向摩擦。除去光致抗蝕劑層17的殘余物以露出具有一些摩擦過的區(qū)域的向列層16，使得其上沿方向A校列液晶材料的光軸的區(qū)域與沿方向B校列液晶材料的光軸的區(qū)域交替存在。
然后，將一層可聚合液晶材料層20形成在向列層16上，使得液晶材料的局部光軸沿與向列層16的下面的區(qū)域?qū)R的方向進(jìn)行校列。然后聚合層20以固定材料的光軸。這樣，層20的區(qū)域如21具有與方向A對齊的光軸，而區(qū)域如22具有與方向B對齊的光軸。
附圖3示出了使用通過圖2所示的方法制造的有圖案的延遲器，作為用于3-D自動立體顯示裝置的潛在的可轉(zhuǎn)換視差柵欄的例子。延遲器25用作潛在的視差柵欄，當(dāng)通過輸出起偏鏡26觀察時，它是可見的。圖3示出了一個LCD輸出起偏鏡27，其偏振方向與裝置所示的參考方向，即垂直方向成45°。
延遲器25提供了半波延遲，它包含具有45°定向的光軸的區(qū)域21和具有0°定向的光軸的區(qū)域22。區(qū)域21不影響來自LCD起偏鏡27的光的偏振，而區(qū)域22把偏振旋轉(zhuǎn)了90°。當(dāng)3-D輸出起偏鏡26不使用時，該有圖案的延遲器對LCD盤不起任何作用。
3D輸出起偏鏡26具有135°定向的偏振方向，當(dāng)其用于分析來自3-D顯示裝置的光的輸出時，阻擋來自區(qū)域21的光，并讓來自區(qū)域22的光通過，從而露出潛在的視差柵欄結(jié)構(gòu)。
US 6 222 672公開了通過提供對由多重摩擦技術(shù)制造的有圖案的延遲器中色散的補(bǔ)償并包含有效的中源(mesogen)而具有改善的消色差性能的圖像系統(tǒng)。該有圖案的延遲器包含呈半波片形式的第一延遲區(qū)域，該半波片的光軸與參照方向相交成與下述角度相等但方向相反，并堆疊了另一塊光軸與參照方向成67.5°的半波片。
已知各種裝置，其空間上形成圖案的向列層是用于提供對液晶材料的多區(qū)域校列的。例如，EP 0 689 084公開了可用作用于雙折射材料的形成圖案的向列層的線性可光聚材料。為了制造具有多個不同光軸定向的區(qū)域的延遲器，需要兩種以上的照相平板印刷步驟以把線性可光聚向列材料曝光。這些步驟必須準(zhǔn)確地定位，而這將使過程變得復(fù)雜并減小了所得的有圖案的延遲器的柵距公差。
“通過反向摩擦或兩次蒸發(fā)制造四區(qū)域的TN-LCD”(SID 95 Digest，第865頁)和“用于灰度應(yīng)用的二區(qū)域的80°扭轉(zhuǎn)向列”(日本應(yīng)用物理雜志，第31卷第二頁，11B，pL1603)公開了用來提供改善的觀察角度性能的多區(qū)域LCD。
“在亞微型形成圖案的表面上進(jìn)行液晶校列的機(jī)理”(A.Rategar等人，應(yīng)用物理雜志，第89卷，No.2，pp 960-964，2001)公開了在使用原子力顯微鏡形成圖案的聚合表面上進(jìn)行液晶校列。該文件分析了在具有不同微小槽溝定向的微結(jié)構(gòu)表面上對液晶進(jìn)行多區(qū)域校列。
US 5 917 570公開了一種顯示裝置，其中，液晶在一個對稱光柵和一個與之垂直的不對稱光柵的“雙光柵”上校列。雙光柵型通過光致抗蝕劑通過彼此正交的掩模兩次曝光而形成?；蛘撸鈻趴赏ㄟ^壓紋來形成。這些公開的技術(shù)用于多區(qū)域液晶像素。
“使用沖壓成形法控制液晶的校列”(E.S.Lee等人，日本應(yīng)用物理雜志，第32卷，pp L1436-L1438，1993)公開了使用由沖壓過程形成的小槽溝對液晶進(jìn)行單區(qū)域校列的技術(shù)。
US 5 946 064公開了在涂布了光校列聚合物的具有小槽溝形成于其中的熱固性樹脂層上對液晶進(jìn)行單區(qū)域校列的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一方面是提供一種制造無源的有圖案的延遲器的方法，該方法包括以下步驟形成包含許多組區(qū)域的液晶向列表面，各組區(qū)域包含具有下述細(xì)長的表面凸紋部分的光柵樣結(jié)構(gòu)基本上對準(zhǔn)在與互不相同的各組的向列方向相同的向列方向上；將一層其光軸由光柵樣結(jié)構(gòu)來定向的可固定的液晶材料配置在向列表面上；將液晶材料固定，使得覆蓋向列表面的各自對應(yīng)區(qū)域的固定的液晶材料各區(qū)域的光軸固定在由對應(yīng)區(qū)域的向列方向所確定的方向上。
本文中使用的術(shù)語“無源的”是指有圖案的延遲器的光學(xué)性能，具體地說是延遲和光軸的定向在生產(chǎn)中固定，并且在隨后的生產(chǎn)和使用中不能控制或變化。這與有源裝置，如LCD相反，在該裝置的后續(xù)生產(chǎn)中，可控制其光學(xué)性能使之向所需的方向變化。
本文中使用的術(shù)語“光柵樣結(jié)構(gòu)”定義為具有表面凸紋部分的結(jié)構(gòu)，該表面凸紋部分包含基本上相互平行地延伸于整個表面上的伸長的隆起和/或凹槽。這些隆起和/或凹槽，也可稱為細(xì)長的表面凸紋部分，可以(但不是必須)連續(xù)延伸于整個結(jié)構(gòu)。這些部分可具有各種截面形狀(在垂直于表面以及部分的延長方向的平面上)，它們可以是基本上對稱的或不對稱的。但是應(yīng)該注意的是，相鄰的表面凸紋部分之間的間距可在以下結(jié)構(gòu)范圍內(nèi)的一組之內(nèi)和/或各組之間變化該結(jié)構(gòu)不能產(chǎn)生顯著的衍射效果，因此使用術(shù)語“光柵樣結(jié)構(gòu)”要優(yōu)于“光柵結(jié)構(gòu)”。術(shù)語“光柵樣結(jié)構(gòu)”可以表示具有以下表面凸紋部分的任意結(jié)構(gòu)它們單獨(dú)是適用于衍射光柵的普通類型，但是不需要相鄰的表面凸紋部分之間的間距具有均勻性或周期性以產(chǎn)生衍射效應(yīng)。實(shí)際上，可更好地選擇相鄰的表面凸紋部分之間的間距，從而基本上防止衍射效應(yīng)的產(chǎn)生。
表面凸紋部分的深度可在0.02-5微米之間。
表面凸紋部分的寬度可在0.2-10微米之間。
各區(qū)域的表面凸紋部分可基本上相互平行，并平行于各個區(qū)域的向列方向。
在相鄰的表面凸紋部分之間的垂直于向列方向的間距可在區(qū)域內(nèi)變化。
在相鄰的表面凸紋部分之間的垂直于向列方向的間距可在一組內(nèi)的一個區(qū)域與該組內(nèi)的另一個區(qū)域之間變化。
在相鄰的表面凸紋部分之間的垂直于向列方向的間距可在一組內(nèi)的一個區(qū)域與另一組內(nèi)的一個區(qū)域之間變化。
液晶材料可以是可聚合的(如可光聚合的(比如通過紫外線照射來聚合))，并且其固定步驟可包含對材料進(jìn)行聚合。液晶材料可包含有效的中源。
向列表面可包含兩組區(qū)域。
這些區(qū)域可包含與相互交錯的各組的條紋基本上平行的條紋。
該方法可包含以下附加步驟形成均勻的延遲器，作為有圖案的延遲器的一部分。該附加步驟可包含添附伸展張緊的聚合物層。
形成步驟或者至少一個表面凸紋部分的形成步驟可包含通過幅度掩模照射光致抗蝕劑層并顯影該層。
本發(fā)明的第二方面是提供一種通過本發(fā)明第一方面的方法制造的無源的有圖案的延遲器。
這樣就可以提供一種制造無源的有圖案的延遲器的方法，它比已知的方法更簡單方便。例如，單獨(dú)步驟的數(shù)量可減少，對于準(zhǔn)確定位的要求可降低或基本消除?？删_地產(chǎn)生更小的圖案特征，以得到更小型的光學(xué)裝置或照明的均勻性。


將通過實(shí)施例，并參照以下附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的描述圖1示出了已知型號的用于LCD投影儀的偏振轉(zhuǎn)換光學(xué)系統(tǒng)中的有圖案的延遲器的使用。
圖2示出了用已知方法制造有圖案的延遲器的步驟。
圖3示出了使用有圖案的延遲器作為三維自動立體顯示裝置中的視差柵欄的已知裝置。
圖4圖解性地說明了制造構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的無源的有圖案的延遲器的方法中使用的幅度掩模；圖5圖解性地說明了制造構(gòu)成本發(fā)明的實(shí)施方式的有圖案的延遲器的方法。
具體實(shí)施例方式
幅度掩模30的典型區(qū)域更詳細(xì)地顯示在31中。區(qū)域31包含清澈或透明的區(qū)域如32，與模糊的、吸收或反射區(qū)域33交錯。清澈區(qū)域32通過照射，如紫外線照射，使光致抗蝕劑層曝光，而吸收或反射區(qū)域33阻擋此照射。
清澈區(qū)域32和吸收區(qū)域33呈細(xì)對角線的形式，在各個條紋中相互平行。這些部分的角與無源的有圖案的延遲器的光軸所需角度一致。例如，一組條紋的部分可具有與垂直面成夾角+22.5°的定向，而另一組的這些部分以-22.5°定向。或者，一組的這些部分的角的定向可與另一組的這些部分的角的定向大小不同。例如，一組的這些部分的角的定向?yàn)?22.5°，而另一組的這些部分的角的定向?yàn)?25.0°。另一個例子是，一組的這些部分的角的定向?yàn)?℃，而另一組的這些部分的角的定向?yàn)?45℃。
清澈區(qū)域32和吸收區(qū)域33的寬度可以相同或者不同，且最好在0.2-10.0微米之間。如上所述，最好變化清澈區(qū)域32和吸收區(qū)域33的寬度以抑制衍射效應(yīng)，雖然清澈區(qū)域32和吸收區(qū)域33的寬度原則上在整個結(jié)構(gòu)內(nèi)是均勻的。例如，清澈和/或吸收區(qū)域32、33的寬度可在區(qū)域39、40之內(nèi)，例如以隨機(jī)或偽隨機(jī)的方式變化。另外，或者清澈和/或吸收區(qū)域32、33的寬度可在一組的區(qū)域39、40與該組的另一區(qū)域39、40之間變化。另外，或者清澈和/或吸收區(qū)域32、33的寬度可在一組的區(qū)域39與另一組的區(qū)域40之間變化。
圖5示出了使用圖4所示的幅度掩模30形成向列層來制造無源的有圖案的延遲器的方法。延遲器形成在，例如玻璃或塑料基片35上，它被適當(dāng)?shù)厍鍧?，并通過例如旋涂或絲網(wǎng)印刷法涂布了一層光致抗蝕劑層36。在一個具體的例子中，將購自MicroChem的型號為SU8 2002的負(fù)光致抗蝕劑噴灑在基片35上，得到厚0.5微米的一層。然后將抗蝕劑在65℃軟烘焙1分鐘，95℃軟烘焙1分鐘。
然后，將光致抗蝕劑層36通過相鄰光致抗蝕劑層36或與其接觸的掩模30，在紫外線照射下曝光。接著，將已曝光的層36在65℃曝光后烘焙1分鐘，并在95℃曝光后烘焙1分鐘。曝光后的層在購自Shipley公司的EC溶劑中顯影1分鐘，緊接著，將其置于異丙醇中漂洗并干燥。
這些步驟導(dǎo)致了具有與幅度掩模30的幅度圖案標(biāo)稱一致的表面凸紋圖案的向列表面的形成。具體地說，在光致抗蝕劑層36上不通過吸收區(qū)域33曝光的地方，曝光和顯影步驟導(dǎo)致了光致抗蝕劑材料被除去，以在允許下面的光致抗蝕劑層曝光的與清澈區(qū)域32的圖案對應(yīng)的地方留下表面凸紋或光柵樣的圖案。在說明的實(shí)施方式中，形成作為交錯的垂直條紋的兩組向列表面。各組的區(qū)域包含具有沿同一方向排列的細(xì)長的表面凸紋部分，但是不同的組有沿不同方向排列的細(xì)長的表面凸紋部分的光柵樣結(jié)構(gòu)。這些方向確定了最終的延遲器的光軸。
干燥后，在150-200℃之間將余下的光致抗蝕劑及基片硬烘焙30分鐘。然后，例如通過旋涂或其它普遍已知的涂層技術(shù)，使用在25-40重量％的二甲苯或PGMEA(丙二醇單乙醚乙酸酯)溶液中的有效的中源，如購自Merck有限公司的RMM 34，對由殘余的光致抗蝕劑形成的向列表面以及基片的相鄰表面進(jìn)行涂布。有效的中源通過光軸在結(jié)構(gòu)的表面凸紋部分的方向上的光柵樣結(jié)構(gòu)來校列。層38的雙折射和光學(xué)厚度決定了延遲器的延遲性。光學(xué)厚度可通過控制溶液涂層的濃度、鋪展速度和溶劑的蒸發(fā)速度來調(diào)節(jié)。延遲性的精確調(diào)節(jié)可通過在進(jìn)行固化的過程中，精確地控制有效的中源的溫度來調(diào)節(jié)，較高的溫度使層38的雙折射較低，因此延遲性較低。
在溶劑蒸發(fā)之后，層38形成了與向列層37的下面區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，該向列層37的各區(qū)域的光軸在下面的向列層的槽溝的方向上校列。然后，例如通過在氣體氮“殼層”下、在波長為365nm、在層38中的流量為1.5焦耳/cm2的紫外燈下曝光來固化層38的有效的中源。這樣，層38的材料通過光聚固化或固定，使得光學(xué)性能，包括區(qū)域的光軸定向和雙折射固定下來。
通過與公開于EP 0 887 667的技術(shù)進(jìn)行比較，可將上述方法概括為包含以下步驟1.用抗蝕劑涂布基片；2.通過掩模使抗蝕劑曝光；3.抗蝕劑顯影；4.用可聚合的液晶涂布；5.液晶聚合。
相反地，EP 0 887 667的技術(shù)可概括如下A.用向列材料涂布基片；B.烘焙向列材料；C.沿第一方向摩擦；D.用抗蝕劑涂布；E.通過掩模將抗蝕劑曝光；F.抗蝕劑顯影；G.在第二方向上摩擦抗蝕劑；H.把抗蝕劑大面積曝光；I.抗蝕劑顯影；J.用可聚合的液晶涂布；K.液晶聚合。
本方法的步驟1-5與上述方法的步驟D-F、J和K一致，分別使本方法得到實(shí)質(zhì)性的簡化，該簡化在于不需要已知技術(shù)的許多方法步驟。同時，與已知技術(shù)的步驟D-F相比，步驟1-3的操作容差減小。因此，本方法需要比已知裝置更少、更簡單的操作步驟，但是能生產(chǎn)質(zhì)量相等，例如具有類似尺寸的最小圖案特征的無源的有圖案的延遲器。
為了改善有圖案的延遲器的消色差性能，可將由拉伸的聚合物制得的均勻的延遲器層壓在通過圖5所示的方法制得的有圖案的延遲器的任一面上。適當(dāng)?shù)匦Ａ芯鶆虻难舆t器的光軸，例如與垂直面的夾角為-67.5°，使其峰值延遲性與有圖案的延遲器匹配。此外，可提供一防反射涂層，該涂層可以，例如形成在制造均勻的延遲器的拉伸的聚合物上?；蛘撸硗獾?，可在沒有用抗蝕劑層36涂布的基片35的表面上提供一防反射涂層。
作為從拉伸的聚合物片材制造均勻的延遲器的一種可選擇的方法，可使用如圖5所示相同的方法，但是使用包含單一均勻區(qū)域或在其整個表面上的光柵樣結(jié)構(gòu)的掩模，在有圖案的延遲器的任一表面上直接形成均勻的延遲器。用于均勻的延遲器的幅度掩模的清澈區(qū)域和吸收區(qū)域的寬度可以相等，或者它們可以不相等。掩模的清澈區(qū)域和吸收區(qū)域的寬度可以等于有圖案的延遲器所用的掩模的線寬度，或者它們可以不相等。幅度掩模的清澈區(qū)域和吸收區(qū)域的寬度可以是均勻的，或者它們可以，例如以隨機(jī)或偽隨機(jī)的方式在掩模上變化。均勻的延遲器可以在有圖案的延遲器完成后再形成?；蛘撸诟餮舆t器通過涂布及固定步驟依次形成之后，兩種延遲器所用的向列表面可在基片35上形成。
在上述技術(shù)中，光柵樣結(jié)構(gòu)通過“光”從掩模轉(zhuǎn)移到光致抗蝕劑層來形成。
將光致抗蝕劑層36通過掩模30暴露在UV照射下。已曝光的抗蝕劑置于Clariant公司的MIF726顯影劑中顯影20秒，在去離子水中徹底漂洗并干燥。在150-200℃將干基片硬烘焙30分鐘以增加抗蝕劑材料的通過率。用實(shí)施例1中描述的可聚合的液晶涂布烘焙過的基片。
權(quán)利要求
1.一種制造無源的有圖案的延遲器的方法，它包含以下步驟形成包含許多組區(qū)域的液晶向列表面，各組區(qū)域包含具有下述細(xì)長的表面凸紋部分的光柵樣結(jié)構(gòu)基本上對準(zhǔn)在與互不相同的各組的向列方向相同的向列方向上；將一層其光軸由結(jié)構(gòu)來定向的可固定的液晶材料配置在向列表面上；將液晶材料固定，使得覆蓋向列表面的各自對應(yīng)區(qū)域的固定的液晶材料各區(qū)域的光軸固定在由對應(yīng)區(qū)域的向列方向所確定的方向上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述表面凸紋部分的深度為0.02-5微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述表面凸紋部分的寬度為0.2-10微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述各區(qū)域的表面凸紋部分基本上相互平行，并且平行于對應(yīng)區(qū)域的向列方向。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述在相鄰的表面凸紋部分之間、垂直于向列方向的間距可在區(qū)域內(nèi)變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述在相鄰的表面凸紋部分之間、垂直于向列方向的間距可在一組中的一個區(qū)域與該組中的另一區(qū)域之間變化。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述在相鄰的表面凸紋部分之間、垂直于向列方向的間距可在一組中的一個區(qū)域與另一組中的一個區(qū)域之間變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述液晶材料是可聚合的，且固定步驟包括將材料聚合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于所述液晶材料是可光聚合的。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于所述液晶材料可通過紫外線照射進(jìn)行光聚合。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于所述液晶材料包含有效的中源。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述向列表面包含兩組區(qū)域。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述區(qū)域包含與相互交錯的各組的條紋基本上平行的條紋。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，它包含以下附加步驟形成均勻的延遲器，作為上述有圖案的延遲器的一部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于所述附加步驟包含添附伸展張緊的聚合物層。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述形成步驟或至少一個形成步驟包含通過幅度掩模照射光致抗蝕劑層并對該層顯影。
17.一種無源的有圖案的延遲器，它是根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法制造的。
全文摘要
提供了一種制造無源的有圖案的延遲器的方法，其中，形成液晶向列表面。向列表面37包含若干組的區(qū)域。各區(qū)域包含具有沿相同向列方向的細(xì)長的表面凸紋部分的光柵樣結(jié)構(gòu)。不同的組的向列方向互不相同。在向列表面上涂布一層可固定的液晶材料38，該液晶材料的光軸由下面的光柵樣結(jié)構(gòu)來定向。然后，將液晶材料固定，使得光軸由下面的光柵樣結(jié)構(gòu)來確定，并將其固定。
文檔編號G03F7/20GK1432828SQ0310271
公開日2003年7月30日 申請日期2003年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月18日
發(fā)明者M·哈日瓦, G·布爾赫, H·史蒂文森 申請人:夏普株式會社