專利名稱：一種晶圓包膜紙的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電子用黏性膠帶，尤其是一種于隔離層上設(shè)有凸紋的晶圓包膜紙。
背景技術(shù)：
在晶圓加工過(guò)程中，會(huì)利用如切割保護(hù)膠帶(blue tape)及紫外線照射膠帶(UV tape)之類特殊膠帶作為輔助加工工具，此類膠帶至少包括一基材膜及一黏著劑層，所述基材膜為聚合物薄膜，其由聚對(duì)苯二甲酸酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)或聚乙烯 (PE)等材質(zhì)制成，所述黏著劑層為調(diào)配完成的膠材，其均勻涂布于所述基材膜的一表面，透過(guò)所述黏著劑層貼覆于晶圓背面，可使晶圓順利進(jìn)行后續(xù)如切割、打線等制程。然而在晶圓加工搬運(yùn)過(guò)程中，會(huì)于所述特殊膠帶上貼覆底紙，藉以令晶圓固定于所述膠帶與底紙之間，使其易于堆棧并得以強(qiáng)化晶圓減少脆裂等事情發(fā)生；而且為了讓膠帶在使用時(shí)撕開與貼覆方便，所述底紙采用離型紙，其上表面涂布有如硅利康油(Silicone Oil)的離型劑，但同時(shí)這也導(dǎo)致晶圓與底紙接觸時(shí)，容易沾黏或附著到微量的離型劑，這對(duì)于晶圓講究微型化的奈米制程中，是衍生良率風(fēng)險(xiǎn)的重要因素之一。針對(duì)上述缺點(diǎn)，中國(guó)臺(tái)灣專利100203142提出了一種晶圓包膜紙，其包括一膠膜層及一隔離層，所述膠膜層包含一基材膜及一黏著劑層，所述基材膜為聚合物薄膜，所述黏著劑層系涂布于所述基材膜的表面，所述隔離層為紙材，其透過(guò)黏著劑層與所述基材膜相互黏合，以達(dá)到保持穩(wěn)定包覆晶圓的功效，并能減少工時(shí)耗費(fèi)，進(jìn)而縮短實(shí)現(xiàn)良率所需的時(shí)間。但由于所述隔離層未涂布有離型劑，其缺少離型效果，導(dǎo)致產(chǎn)生剝離不良及貼覆不易等缺點(diǎn)，在剝離時(shí)更容易因摩擦產(chǎn)生靜電，需進(jìn)行進(jìn)一步的改良。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服晶圓運(yùn)送時(shí)，保護(hù)膠帶底紙上的離型劑會(huì)沾黏或附著于晶圓上的缺點(diǎn)。為此本實(shí)用新型提供了一種新型的晶圓包膜紙，其在保持包覆時(shí)的平整性的同時(shí)還能減少工時(shí)耗費(fèi)及靜電效應(yīng)的產(chǎn)生。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案可以描述為一種晶圓包膜紙，其包括膠膜層以及隔離層，其中所述膠膜層包含有由聚合物薄膜所制成的基材膜及涂布于所述基材膜的表面的黏著劑層，所述隔離層包含有由紙材制成的紙層以及涂布于所述紙層的上表面的聚合物層，所述隔離層的上表面還壓設(shè)有多個(gè)凸紋，所述隔離層的上表面透過(guò)所述黏著劑層與所述基材膜貼覆黏合成一體，使所述凸紋之間的空隙形成氣流通道。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型公開一種晶圓包膜紙，其優(yōu)點(diǎn)在于其減少了隔離層與膠膜層的接觸面積，有效地提高了貼覆及剝離時(shí)的方便性，而且當(dāng)隔離層與膠膜層相互黏合時(shí)，其貼覆所產(chǎn)生的氣泡內(nèi)的空氣，可透過(guò)兩者之間的氣流通道順利排出，據(jù)此保持本晶圓包膜紙使用時(shí)的平整性，同時(shí)又可減少靜電效應(yīng)產(chǎn)生，進(jìn)而達(dá)到保持良率的穩(wěn)定性以及減少工時(shí)的耗費(fèi)。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的剖視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種晶圓包膜紙，在如圖1及圖2所示的一個(gè)具體實(shí)施例中，其包括一膠膜層1及一隔離層2，其中所述膠膜層1包含一基材膜11及一黏著劑層12，所述基材膜11為聚合物薄膜，其由聚對(duì)苯二甲酸酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)或聚乙烯(PE)等材質(zhì)制成，所述黏著劑層12涂布于所述基材膜11的下表面。所述隔離層2包含一紙層21及一聚合物層22，所述紙層21為紙材制成，所述聚合物層22涂布于所述紙層21的上表面，所述聚合物層22的材質(zhì)為聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、 聚烯烴(P0)、乙烯-醋酸乙烯脂共聚物(EVA)或以上材質(zhì)的混合物制成，所述隔離層2上表面壓設(shè)形成多個(gè)凸紋23，所述凸紋23可設(shè)為如圓形或菱形等幾何圖形，所述隔離層2的上表面透過(guò)所述黏著劑層12與所述基材膜11貼覆黏合成一體，所述凸紋23之間的空隙形成氣流通道24。本實(shí)用新型所提出的晶圓包膜紙于使用時(shí)，首先將晶圓妥善放置于所述隔離層2 上，再于其上覆蓋所述膠膜層1，使膠膜層1的黏著劑層12與所述隔離層2相互黏合，進(jìn)而將晶圓固定及保護(hù)于其內(nèi)，達(dá)到強(qiáng)化晶圓減少脆裂與相互隔離的目的，若黏合時(shí)產(chǎn)生氣泡， 氣泡內(nèi)的空氣可利用擠推方式使其由凸紋23間的氣流通道M流出，以維持外觀的平整性； 再者，當(dāng)需要取出晶圓時(shí)，僅需要?jiǎng)冸x所述膠膜層1，即可將晶圓取出，其可減少工時(shí)耗費(fèi)與維持良率的穩(wěn)定性。
權(quán)利要求1. 一種晶圓包膜紙，其特征在于其包括膠膜層(1)以及隔離層O)，其中所述膠膜層 (1)包含有由聚合物薄膜所制成的基材膜(11)及涂布于所述基材膜(11)表面的黏著劑層 (12)，所述隔離層(2)包含有由紙材制成的紙層以及涂布于所述紙層上表面的聚合物層(22)，所述隔離層的上表面還壓設(shè)有多個(gè)凸紋(23)，所述隔離層的上表面透過(guò)所述黏著劑層(1 與所述基材膜(11)貼覆黏合成一體，使所述凸紋之間的空隙形成氣流通道04)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓包膜紙，其包括膠膜層及隔離層，所述膠膜層包含有基材膜及黏著劑層，所述黏著劑層涂布于所述基材膜的表面；所述隔離層包含紙層及涂布于所述紙層上表面的聚合物層，所述隔離層上表面壓設(shè)形成多個(gè)凸紋；當(dāng)隔離層與膠膜層相互黏合時(shí)，所產(chǎn)生氣泡內(nèi)的空氣，可藉由所述凸紋間空隙形成的氣流通道流出，使本實(shí)用新型所提出的晶圓包膜紙保持平整美觀，并達(dá)到減少工時(shí)耗費(fèi)以及穩(wěn)定良率的功效。
文檔編號(hào)B32B7/12GK202116483SQ20112007317
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月19日
發(fā)明者方聰賢, 楊嘉彬, 林道新, 黃培峰 申請(qǐng)人:鉅侖科技股份有限公司