本公開(kāi)涉及機(jī)器人。

背景技術(shù)：

1、在日本特開(kāi)2005-039047號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了一種基板輸送機(jī)器人，其具備基座、第一臂、第二臂以及第三臂。第一臂由從設(shè)置于基座的第一伺服馬達(dá)通過(guò)第一動(dòng)力傳遞單元傳遞的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。第二臂由從設(shè)置于基座的第二伺服馬達(dá)通過(guò)第二動(dòng)力傳遞單元傳遞的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。第三臂借助由聯(lián)動(dòng)單元傳遞的動(dòng)力而與第二臂聯(lián)動(dòng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)提供一種對(duì)兼顧腔室內(nèi)的氣體產(chǎn)生的抑制和維護(hù)性有效的機(jī)器人。

2、本公開(kāi)的一個(gè)方面的機(jī)器人具備：多關(guān)節(jié)臂，其具有支承基板的手部、基部、將手部與基部連結(jié)的臂、以及沿著臂排列且分別繞鉛垂的軸線動(dòng)作來(lái)變更手部相對(duì)于基部的位置、姿勢(shì)的多個(gè)關(guān)節(jié)；以及多個(gè)致動(dòng)器，它們分別驅(qū)動(dòng)多個(gè)關(guān)節(jié)，多個(gè)致動(dòng)器分別具有：主體，其在所要驅(qū)動(dòng)的關(guān)節(jié)中固定于多關(guān)節(jié)臂的一個(gè)連桿；以及輸出軸，其沿著軸線從主體突出并固定于多關(guān)節(jié)臂的另一個(gè)連桿，繞軸線旋轉(zhuǎn)，多關(guān)節(jié)臂與多個(gè)致動(dòng)器分別對(duì)應(yīng)地還具有密封構(gòu)件，該密封構(gòu)件以能夠與主體分體地拆卸的狀態(tài)安裝于一個(gè)連桿，并將一個(gè)連桿與輸出軸之間密封。

3、根據(jù)本公開(kāi)，能夠提供對(duì)兼顧腔室內(nèi)的氣體產(chǎn)生的抑制和維護(hù)性有效的機(jī)器人。

技術(shù)特征：

1.一種機(jī)器人，其輸送基板，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)器人，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)器人，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的機(jī)器人，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)器人，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)器人，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)器人，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)器人，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)器人，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的機(jī)器人，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的機(jī)器人，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)器人，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的機(jī)器人，其中，

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的機(jī)器人，其中，

技術(shù)總結(jié)
機(jī)器人(2)具備手部(20)和分別驅(qū)動(dòng)多個(gè)關(guān)節(jié)(J10)的多個(gè)致動(dòng)器(40)，多個(gè)致動(dòng)器(40)分別具有：主體(110、210、340)，其在所要驅(qū)動(dòng)的關(guān)節(jié)(J10)中固定于多關(guān)節(jié)臂(3)的一個(gè)連桿；以及輸出軸(120、220、350)，其沿著軸線從主體(110、210、340)突出并固定于多關(guān)節(jié)臂(3)的另一個(gè)連桿，且繞軸線旋轉(zhuǎn)，多關(guān)節(jié)臂(3)與多個(gè)致動(dòng)器(40)分別對(duì)應(yīng)地還具有密封構(gòu)件(140、240、370)，其以能夠與主體(110、210、340)分體地拆卸的狀態(tài)安裝于一個(gè)連桿，將一個(gè)連桿與輸出軸(120、220、350)之間密封。

技術(shù)研發(fā)人員：巖﨑則久,山口剛,日野一紀(jì),原田修,渡邊亮介
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社安川電機(jī)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9