專利名稱：傳輸設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于提供傳輸空間的傳輸設(shè)備，尤其涉及一種用于為生產(chǎn)設(shè)
備之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動(dòng)提供密封傳輸空間的傳輸設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技的不斷進(jìn)步及可利用的土地資源的日益減少，人們越 來越重視資源節(jié)約及其利用效率，以減少對(duì)人類生存的環(huán)保破壞，使得人類與自然和諧發(fā) 展以滿足中國新型的工業(yè)化道路要求。 其中，在半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)及機(jī)械行業(yè)等的加工集群設(shè)備中，產(chǎn)品成品與半成 品之間的傳輸也是很重要的一部分。因?yàn)樗P(guān)系到提高產(chǎn)品的質(zhì)量、效率及合格率的重要 因素之一，也是降低企業(yè)生產(chǎn)成本重要因素之一。因此，在企業(yè)用地的成本日益增加的今 天，企業(yè)越來越重視傳輸設(shè)備的空間利用效率，減少企業(yè)對(duì)土地的使用量以降低企業(yè)生產(chǎn) 產(chǎn)品的成本，從而提高企業(yè)在市場中競爭力。但是，市場上的傳輸設(shè)備普遍存在以下的缺 點(diǎn) 目前，在傳輸系統(tǒng)中，傳輸設(shè)備一般都是單對(duì)單對(duì)的工作模式，即是產(chǎn)品在某一個(gè) 工序時(shí)卻需要用一個(gè)傳輸設(shè)備去執(zhí)行產(chǎn)品的傳輸任務(wù)。但是，在產(chǎn)品流水線的生產(chǎn)過程中， 為了能滿足產(chǎn)品的流水線生產(chǎn)要求，尤其是滿足生產(chǎn)工序種類繁多的半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)要 求，卻需要許多傳輸設(shè)備去負(fù)責(zé)各工序間的產(chǎn)品傳輸以實(shí)現(xiàn)流水線生產(chǎn)作業(yè)目的。 一方面 使得半導(dǎo)體產(chǎn)品在流水線作業(yè)生產(chǎn)過程中需求大量的傳輸設(shè)備去執(zhí)行半導(dǎo)體產(chǎn)品的傳輸 任務(wù)，增加了制造和使用傳輸設(shè)備的成本；另一方面使得傳輸設(shè)備占用了大量的土地資源， 增加了土地的使用成本，從而增加了企業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)成本以及降低企業(yè)在市場上競爭力。 同時(shí)，由于傳輸設(shè)備是針對(duì)某一半導(dǎo)體產(chǎn)品的流水線作業(yè)要求而設(shè)計(jì)制造的，當(dāng)該半導(dǎo)體 產(chǎn)品更新?lián)Q代后，應(yīng)用于該半導(dǎo)體產(chǎn)品上的大多數(shù)傳輸設(shè)備均不能適用新的半導(dǎo)體產(chǎn)品的 傳輸要求，從而使得傳輸設(shè)備的兼容性差。 因此，急需要一種結(jié)構(gòu)緊湊、兼容性好及能有效縮小占地面積的用于為生產(chǎn)設(shè)備 之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動(dòng)提供密封傳輸空間的傳輸設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、兼容性好及能有效縮小占地面積的用
于為生產(chǎn)設(shè)備之間起傳遞產(chǎn)品或半產(chǎn)品的機(jī)械手的活動(dòng)提供密封傳輸空間的傳輸設(shè)備。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種傳輸設(shè)備，其中，所述傳輸
設(shè)備包括底座、腔體、機(jī)械手、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)軸、多個(gè)側(cè)面法蘭及與所述
側(cè)面法蘭相互對(duì)應(yīng)的傳感器、閘門及閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述腔體呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形
成機(jī)械手活動(dòng)腔，所述腔體設(shè)置于所述底座之上，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端密封穿過所述腔體的
底部且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔內(nèi)并與所述機(jī)械手連接，所述驅(qū)動(dòng)軸的另一端與所述機(jī)械
手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電連接，所述側(cè)面法蘭具有傳輸通道，所述側(cè)面法蘭設(shè)置于所述腔體的側(cè)壁上且所述傳輸通道與所述機(jī)械手活動(dòng)腔連通，所 述閘門安裝于所述側(cè)面法蘭的傳輸通道內(nèi)并與所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 安裝于所述腔體上且與所述傳感器電連接，所述傳感器與所述控制系統(tǒng)電連接，所述傳感 器控制所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)所述閘門進(jìn)行開啟或關(guān)閉。 較佳地，所述傳輸設(shè)備還包括腔體頂蓋及頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述腔體的頂部開設(shè)有 腔體開口 ，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體上且與所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)安裝于所述腔體上，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制所述腔體頂蓋對(duì)所述腔體開口進(jìn)行密封關(guān)閉 或打開。通過所述腔體開口 ，方便于腔體內(nèi)部件的裝拆及便于腔體的維護(hù)；通過腔體頂蓋及 頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得腔體頂蓋對(duì)腔體開口進(jìn)行打開或關(guān)閉極易且密封性能優(yōu)異。具體地，所 述傳輸設(shè)備還包括上密封部件，所述上密封部件包括上封頭及上部法蘭，所述上封頭的一 端連接于所述腔體的腔體開口的開口處，另一端與所述上部法蘭連接，所述上部法蘭均勻 分布有密封連接孔，所述腔體頂蓋具有與所述密封連接孔對(duì)應(yīng)的密封銷柱。通過由上封頭 及上部法蘭組成的上密封部件，使得傳輸設(shè)備內(nèi)傳輸?shù)漠a(chǎn)品的處于真空的環(huán)境下工作，防 止污染物質(zhì)對(duì)傳輸設(shè)備內(nèi)的傳輸產(chǎn)品污染，提高產(chǎn)品的加工質(zhì)量；通過腔體頂蓋的密封銷 柱和上部法蘭的密封連接孔，使得腔體頂蓋與上部法蘭密封更可靠，固定更方便。具體地， 所述腔體頂蓋開設(shè)有呈透明狀的觀察窗。通過所述透明狀的觀察窗，方便操作人員對(duì)傳輸 設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)控及維護(hù)。 較佳地，所述傳輸設(shè)備還包括窗口法蘭，所述窗口法蘭的頂面呈透明狀，所述傳感 器安裝于呈透明狀的窗口法蘭的頂面上，所述窗口法蘭相對(duì)應(yīng)地設(shè)置于所述側(cè)面法蘭的傳 輸通道的末端且分別位于所述腔體的頂部和底部；通過所述呈透明狀的窗口法蘭和設(shè)置于 其上的傳感器， 一方面使得傳感器能精準(zhǔn)地檢測到傳輸設(shè)備的機(jī)械手移動(dòng)，從而精準(zhǔn)地打 開或關(guān)閉閘門，使得傳輸設(shè)備內(nèi)的產(chǎn)品傳輸更協(xié)調(diào)、更一致；另一方面便于操作人員對(duì)腔體 內(nèi)部進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。 較佳地，所述傳輸設(shè)備還包括真空泵，所述真空泵倒立安裝于所述腔體的底部并 與所述機(jī)械手活動(dòng)腔連通。通過所述真空泵，使得傳輸設(shè)備內(nèi)部具有高的真空度；通過所述 真空泵的倒立安裝，能防止灰塵、油污等小物體損壞了真空泵，延長真空泵的使用壽命。 較佳地，所述傳輸設(shè)備還包括移動(dòng)支撐組件，所述移動(dòng)支撐組件包括滑動(dòng)輪及支 撐塊，所述滑動(dòng)輪與所述底座樞接，所述支撐塊與所述底座可伸縮的連接。通過所述滑動(dòng) 輪，便于傳輸設(shè)備定位和使用；通過所述支撐塊，使得傳輸設(shè)備工作時(shí)更穩(wěn)定、更可靠。 較佳地，所述傳輸設(shè)備還包括支承環(huán)，所述支承環(huán)安裝于所述腔體的底部，所述驅(qū) 動(dòng)軸密封穿過所述支承環(huán)且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔內(nèi)，所述支承環(huán)與所述腔體的內(nèi)壁之 間設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)筋，所述腔體的外壁與所述側(cè)面法蘭之間設(shè)有外加強(qiáng)筋。通過所述支承環(huán)，使 得驅(qū)動(dòng)軸安裝更方便、可靠；通過所述內(nèi)、外加強(qiáng)筋，增加傳輸設(shè)備的整體剛度，防止傳輸設(shè) 備變形，保證傳輸設(shè)備更可靠地工作。具體地，所述側(cè)面法蘭呈平板狀，通過平板狀的側(cè)面 法蘭，使得傳輸設(shè)備與各種不同類型的生產(chǎn)設(shè)備連接簡單、密封可靠，從而使得傳輸設(shè)備具 有優(yōu)異的兼容性。 較佳地，所述腔體呈圓柱體或多邊形柱體。通過呈圓柱體或多邊形柱體的腔體，使 得腔體的結(jié)構(gòu)更緊湊且利用率更高。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型的腔體、機(jī)械手、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)及驅(qū)動(dòng)軸，且腔體形成機(jī)械手活動(dòng)腔，使本實(shí)用新型的傳輸設(shè)備能充分利用腔體內(nèi)部的空間， 提高腔體內(nèi)部空間的利用率，使得傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)更緊湊以減少傳輸設(shè)備對(duì)寶貴的土地資 源的占用量，從而降低企業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。同時(shí)，由于本實(shí)用新型的具有傳輸通道的側(cè)面 法蘭，一方面使得與傳輸通道相連通的腔體內(nèi)的產(chǎn)品傳輸更容易；另一方面使得傳輸設(shè)備 能同時(shí)與各種不同類型的生產(chǎn)設(shè)備連接，且連接簡單、密封可靠，從而使傳輸設(shè)備具有優(yōu)異 的兼容性能。

圖1是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備的另一結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備夾持基片時(shí)的狀態(tài)圖。 圖4是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備拆卸腔體頂蓋、頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及底座后的結(jié)構(gòu)示意 圖。 圖5是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備拆卸腔體頂蓋、頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及底座后的另一結(jié)構(gòu)示 意圖。 圖6是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備的機(jī)械手夾持基片時(shí)的狀態(tài)圖。 圖7是本實(shí)用新型傳輸設(shè)備的機(jī)械手的流程圖。
具體實(shí)施方式為了詳細(xì)說明本實(shí)用新型傳輸設(shè)備的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實(shí)施方式并 配合附圖作進(jìn)一步說明。 如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型傳輸設(shè)備100包括底座1、腔體2、機(jī)械手3、機(jī)械手 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示)、控制系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)軸7、多個(gè)側(cè)面法蘭5及與所述側(cè)面法蘭5相互對(duì)應(yīng) 的傳感器4、閘門(圖中未示)及閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，所述腔體2呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形 成機(jī)械手活動(dòng)腔20，所述腔體2通過支架15固定于所述底座1的上方，所述驅(qū)動(dòng)軸7的上 端密封穿過所述腔體2的底部且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔20內(nèi)并與所述機(jī)械手3連接，其 中，如圖6所示，所述機(jī)械手3包括固定臂31，中間臂32及傳輸臂33，所述固定臂31的一端 固定于驅(qū)動(dòng)軸7上，所述固定臂31的另一端與中間臂32的一端活動(dòng)連接，所述中間臂32的 另一端與所述傳輸臂33活動(dòng)連接，通過由固定臂31、中間臂32及傳輸臂33組成的機(jī)械手 3，使得機(jī)械手3能在360度的空間內(nèi)自由活動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)軸7的下端與所述機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)連接，所述機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電連接，所述側(cè)面法蘭5開設(shè)有傳輸通道50， 所述側(cè)面法蘭5設(shè)置于所述腔體2的側(cè)壁上且所述傳輸通道50與所述機(jī)械手活動(dòng)腔20連 通，所述閘門(圖中未示)安裝于所述側(cè)面法蘭5的傳輸通道50內(nèi)并與所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 6連接，所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6安裝于所述腔體2的底部上且與所述傳感器4電連接，所述傳 感器4與所述控制系統(tǒng)電連接，所述傳感器4控制所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6對(duì)所述閘門進(jìn)行開 啟或關(guān)閉。具體地，所述側(cè)面法蘭5呈平板狀，通過所述平板狀的側(cè)面法蘭5，使得傳輸設(shè)備 100與各種不同類型的生產(chǎn)設(shè)備之間的連接簡單、密封可靠，從而使得傳輸設(shè)備100具有優(yōu) 異的兼容性。結(jié)合圖4至圖5，更具體地，如下 較優(yōu)者，所述傳輸設(shè)備100還包括腔體頂蓋81a及頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82a，所述腔體2 5的頂部開設(shè)有腔體開口 29，所述腔體頂蓋81a樞接于所述腔體2上且與所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 82a連接，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82a安裝于所述腔體2的頂部上，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82a控制 所述腔體頂蓋81a對(duì)所述腔體開口 29進(jìn)行密封關(guān)閉或打開。通過所述腔體開口 29，方便 于腔體2內(nèi)部件的裝拆及便于腔體2的維護(hù)；通過腔體頂蓋81a及頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)82a，使得 腔體頂蓋81a對(duì)腔體開口 29進(jìn)行打開或關(guān)閉極易且密封性能優(yōu)異。具體地，所述傳輸設(shè)備 100還包括上密封部件，所述上密封部件包括上封頭83a及上部法蘭84a，所述上封頭83a 的外側(cè)與所述腔體2的腔體開口 29焊接連接，所述上封頭83a的內(nèi)則與所述上部法蘭84a 焊接連接，所述上部法蘭84a均勻分布有數(shù)個(gè)密封連接孔840a，所述腔體頂蓋81a具有與所 述密封連接孔840a對(duì)應(yīng)的密封銷柱811a。通過由上封頭83a及上部法蘭84a組成的上密 封部件，使得傳輸設(shè)備100內(nèi)傳輸?shù)漠a(chǎn)品的處于真空的環(huán)境下工作，防止污染物質(zhì)對(duì)傳輸 設(shè)備100內(nèi)的傳輸產(chǎn)品污染，提高產(chǎn)品的加工質(zhì)量；通過腔體頂蓋81a的密封銷柱811a和 上部法蘭84a的密封連接孔840a，使得腔體頂蓋81a與上部法蘭84a密封更可靠，固定更方 便。更具體地，所述傳輸設(shè)備100還包括下封頭81b及下部法蘭82b，所述驅(qū)動(dòng)軸7穿過所 述下部法蘭82b的底部，且所述下部法蘭82b密封所述驅(qū)動(dòng)軸7，所述下部法蘭82b與所述 下封頭81b的一端連接，所述下封頭81b另一端與所述腔體2的底部連接；通過下封頭81b 及下部法蘭82b，使得傳輸設(shè)備100具有優(yōu)異的密封性能且腔體2內(nèi)的部件裝拆極易。具體 地，所述腔體頂蓋81a開設(shè)有呈透明狀的觀察窗810a ;更具體地，所述觀察窗810a對(duì)設(shè)置 于腔體頂蓋81a。通過所述透明狀的觀察窗810a，方便操作人員對(duì)傳輸設(shè)備100實(shí)時(shí)監(jiān)控 及維護(hù)。 較優(yōu)者，所述傳輸設(shè)備100還包括窗口法蘭9，所述窗口法蘭9的頂面呈透明狀，所 述傳感器4安裝于呈透明狀的窗口法蘭9的頂面上，所述窗口法蘭9相對(duì)應(yīng)地設(shè)置于所述 側(cè)面法蘭5的傳輸通道50的末端且分別位于所述腔體2的頂部和底部；通過所述呈透明狀 的窗口法蘭9和設(shè)置于其上的傳感器4， 一方面使得傳感器4能精準(zhǔn)地檢測到傳輸設(shè)備100 的機(jī)械手3移動(dòng)，從而精準(zhǔn)地打開或關(guān)閉閘門，使得傳輸設(shè)備100內(nèi)的產(chǎn)品傳輸更協(xié)調(diào)、更 一致；另一方面便于操作人員對(duì)腔體2內(nèi)部進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。 較優(yōu)者，所述傳輸設(shè)備100還包括真空泵200，所述真空泵200倒立安裝于所述腔 體2的底部并與所述機(jī)械手活動(dòng)腔20連通。通過所述真空泵200，使得傳輸設(shè)備100內(nèi)部 具有高的真空度；通過所述真空泵200的倒立安裝，能防止灰塵、油污等小物體損壞了真空 泵200，延長真空泵200的使用壽命。 較優(yōu)者，所述傳輸設(shè)備100還包括移動(dòng)支撐組件，所述移動(dòng)支撐組件包括滑動(dòng)輪 11及支撐塊12，所述滑動(dòng)輪11通過螺釘110把滑動(dòng)輪架(圖中未注)固定于所述底座l 上，且滑動(dòng)輪架與滑動(dòng)輪11樞接，所述支撐塊12通過相互配合的可調(diào)節(jié)高度的螺柱、螺母 120與所述底座1連接而使支撐塊12能沿螺柱120的中心軸線方向移動(dòng)。通過所述滑動(dòng)輪 ll，便于傳輸設(shè)備100定位和使用；通過所述支撐塊12，使得傳輸設(shè)備100能根據(jù)實(shí)際的工 作需求而靈活調(diào)節(jié)支撐塊12與地面接觸可靠性，從而使得傳輸設(shè)備100工作時(shí)更穩(wěn)定、更 可靠。 較優(yōu)者，所述傳輸設(shè)備100還包括支承環(huán)24，所述支承環(huán)24安裝于所述腔體2的 底部；具體地，所述支承環(huán)24焊接于腔體2的底部以使支承環(huán)24固定可靠。所述驅(qū)動(dòng)軸 7密封穿過所述支承環(huán)24且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔20內(nèi)，所述支承環(huán)24與所述腔體2的內(nèi)壁之間焊接有內(nèi)加強(qiáng)筋22，所述腔體2的外壁與所述側(cè)面法蘭5之間焊接有外加強(qiáng)筋 23。通過所述支承環(huán)24，使得驅(qū)動(dòng)軸7安裝更方便、可靠；通過所述內(nèi)、外加強(qiáng)筋22、23，增 加傳輸設(shè)備100的整體剛度，防止傳輸設(shè)備100變形，保證傳輸設(shè)備100更可靠地工作。具 體地，所述側(cè)面法蘭5呈平板狀，通過平板狀的側(cè)面法蘭5，使得傳輸設(shè)備100與各種不同類 型的生產(chǎn)設(shè)備連接簡單、密封可靠，從而使得傳輸設(shè)備100具有優(yōu)異的兼容性。 較優(yōu)者，所述腔體2呈圓柱體或多邊形柱體，其中，多邊形柱體可為六邊形柱體、 八邊形柱體、十邊形柱體等等，然其非限制性者。通過呈圓柱體或多邊形柱體的腔體2，使得 腔體2的結(jié)構(gòu)更緊湊且利用率更高。 結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型傳輸設(shè)備100的工作原理作詳細(xì)的描述當(dāng)鍍膜完的基 片600和后蓋玻璃均處于輸入傳輸設(shè)備100的腔體2內(nèi)時(shí)，此時(shí)的基片600被輸送至基片 緩沖單元S10中。接著，傳輸設(shè)備100的控制系統(tǒng)往機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出一個(gè)基片控制信 號(hào)，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在控制系統(tǒng)的控制下驅(qū)使機(jī)械手3沿側(cè)面法蘭5的傳輸通道50方向移 動(dòng)；同時(shí)，控制系統(tǒng)也往設(shè)置于呈透明狀的窗口法蘭9上的傳感器4輸出一個(gè)基片檢測信號(hào) 令傳感器4工作；當(dāng)傳感器4檢測到機(jī)械手3時(shí)將基片檢測結(jié)果信號(hào)反饋給控制系統(tǒng)，再由 控制系統(tǒng)往閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6輸出一個(gè)基片驅(qū)動(dòng)信號(hào)去驅(qū)使閘門進(jìn)行打開(圖中未注)；接 著，機(jī)械手3的傳輸臂33在機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)使下夾持基片600，如圖3及圖6所示，且機(jī) 械手3的傳輸臂33把基片600傳輸至UV固化壓合第一單元S20中；當(dāng)傳感器4檢測到機(jī) 械手3不在傳感器4檢測范圍時(shí)就將檢測結(jié)果反饋給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)控制閘門驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)6去關(guān)閉閘門。接著，控制系統(tǒng)又往驅(qū)動(dòng)軸7的驅(qū)動(dòng)軸裝置(圖中未注)輸出一個(gè) 驅(qū)動(dòng)軸控制信號(hào)，令驅(qū)動(dòng)軸裝置驅(qū)使驅(qū)動(dòng)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使固定于驅(qū)動(dòng)軸7上的機(jī)械手3能 繞驅(qū)動(dòng)軸7旋轉(zhuǎn)至與用于輸入后蓋玻璃的側(cè)面法蘭5相對(duì)應(yīng)；此時(shí)的控制系統(tǒng)往機(jī)械手驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出一個(gè)后蓋玻璃控制信號(hào)以驅(qū)使機(jī)械手3往加熱除氣單元S30中移動(dòng)；同時(shí)，控制 系統(tǒng)也往設(shè)置于窗口法蘭9上的傳感器4輸出一個(gè)后蓋玻璃檢測信號(hào)令傳感器4工作；當(dāng) 傳感器4檢測到機(jī)械手3時(shí)將后蓋玻璃檢測結(jié)果信號(hào)反饋給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)往閘 門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6輸出一個(gè)后蓋玻璃驅(qū)動(dòng)信號(hào)去驅(qū)使側(cè)面法蘭5的閘門進(jìn)行打開(圖中未注)； 接著，機(jī)械手3的傳輸臂33在機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)使下夾持后蓋玻璃且把后蓋玻璃傳輸至UV 固化壓合第一單元S20中；當(dāng)傳感器4檢測到機(jī)械手3不在傳感器4檢測范圍時(shí)就將檢測 結(jié)果反饋給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)控制閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6去關(guān)閉閘門，這樣就同時(shí)完成基 片600、后蓋玻璃在UV固化壓合第一單元S20中傳輸。其中，基片600和后蓋玻璃在UV固 化壓合第二單元S40中傳輸過程與基片600和后蓋玻璃在UV固化壓合第一單元S20中傳 輸過程是一樣的，在此不再累贅。 當(dāng)基片600和后蓋玻璃均在UV固化壓合第一單元S20中被固定化壓合時(shí)，在控制 系統(tǒng)作用下，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制機(jī)械手3將UV固化壓合第一單元S20固化壓合后基片 600和后蓋玻璃由第一輸出單元輸出S50 ;同樣，在UV固化壓合第二單元S40中被固化壓合 的基片600和后蓋玻璃也在控制系統(tǒng)作用下驅(qū)使機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使機(jī)械手3將UV固化壓 合第二單元S40固化壓合后的基片600和后蓋玻璃由第二輸出單元S60輸出。這樣就完成 了傳輸設(shè)備100的內(nèi)部的產(chǎn)品傳輸過程。其中，為了防止已輸入傳輸設(shè)備100內(nèi)的產(chǎn)品被 污染以降低產(chǎn)品精度，在機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)下，機(jī)械手3將傳輸設(shè)備100內(nèi)的產(chǎn)品暫時(shí)儲(chǔ)存在 暫存單元S70中。[0032] 本實(shí)用新型的腔體2、機(jī)械手3、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)及驅(qū)動(dòng)軸7，且腔體2形 成機(jī)械手活動(dòng)腔20，使本實(shí)用新型的傳輸設(shè)備100能充分利用腔體2內(nèi)部的空間，提高腔 體2內(nèi)部空間的利用率，使得傳輸設(shè)備100的結(jié)構(gòu)更緊湊以減少傳輸設(shè)備IOO對(duì)土地資源 的占用量，從而降低企業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。同時(shí)，由于本實(shí)用新型的具有傳輸通道50的側(cè) 面法蘭5，一方面使得與傳輸通道50相連通的腔體2內(nèi)的產(chǎn)品傳輸更容易；另一方面使得 傳輸設(shè)備100能同時(shí)與各種不同類型的生產(chǎn)設(shè)備連接，且連接簡單、密封可靠，從而使傳輸 設(shè)備100具有優(yōu)異的兼容性能。 本實(shí)用新型傳輸設(shè)備100所涉及的機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)及閘門驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的 驅(qū)動(dòng)原理均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際需要所熟知的，在此不再做詳細(xì)的說明。 以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型 之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬于本實(shí)用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種傳輸設(shè)備，其特征在于包括底座、腔體、機(jī)械手、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)軸、多個(gè)側(cè)面法蘭及與所述側(cè)面法蘭相互對(duì)應(yīng)的傳感器、閘門及閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述腔體呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成機(jī)械手活動(dòng)腔，所述腔體設(shè)置于所述底座之上，所述驅(qū)動(dòng)軸的一端密封穿過所述腔體的底部且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔內(nèi)并與所述機(jī)械手連接，所述驅(qū)動(dòng)軸的另一端與所述機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電連接，所述側(cè)面法蘭具有傳輸通道，所述側(cè)面法蘭設(shè)置于所述腔體的側(cè)壁上且所述傳輸通道與所述機(jī)械手活動(dòng)腔連通，所述閘門安裝于所述側(cè)面法蘭的傳輸通道內(nèi)并與所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述腔體上且與所述傳感器電連接，所述傳感器與所述控制系統(tǒng)電連接，所述傳感器控制所述閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)所述閘門進(jìn)行開啟或關(guān)閉。
2. 如權(quán)利要求1所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括腔體頂蓋及頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所 述腔體的頂部開設(shè)有腔體開口 ，所述腔體頂蓋樞接于所述腔體上且與所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連 接，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述腔體上，所述頂蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制所述腔體頂蓋對(duì)所述腔 體開口進(jìn)行密封關(guān)閉或打開。
3. 如權(quán)利要求2所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括上密封部件，所述上密封部件包 括上封頭及上部法蘭，所述上封頭的一端連接于所述腔體的腔體開口的開口處，另一端與 所述上部法蘭連接，所述上部法蘭均勻分布有密封連接孔，所述腔體頂蓋具有與所述密封 連接孔對(duì)應(yīng)的密封銷柱。
4. 如權(quán)利要求2所述的傳輸設(shè)備，其特征在于所述腔體頂蓋開設(shè)有呈透明狀的觀察窗。
5. 如權(quán)利要求l所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括窗口法蘭，所述窗口法蘭的頂面 呈透明狀，所述傳感器安裝于呈透明狀的窗口法蘭的頂面上，所述窗口法蘭相對(duì)應(yīng)地設(shè)置 于所述側(cè)面法蘭的傳輸通道的末端且分別位于所述腔體的頂部和底部。
6. 如權(quán)利要求l所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括真空泵，所述真空泵倒立安裝于 所述腔體的底部并與所述機(jī)械手活動(dòng)腔連通。
7. 如權(quán)利要求1所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括移動(dòng)支撐組件，所述移動(dòng)支撐組 件包括滑動(dòng)輪及支撐塊，所述滑動(dòng)輪與所述底座樞接，所述支撐塊與所述底座可伸縮的連 接。
8. 如權(quán)利要求1所述的傳輸設(shè)備，其特征在于還包括支承環(huán)，所述支承環(huán)安裝于所 述腔體的底部，所述驅(qū)動(dòng)軸密封穿過所述支承環(huán)且延伸入所述機(jī)械手活動(dòng)腔內(nèi)，所述支承 環(huán)與所述腔體的內(nèi)壁之間設(shè)有內(nèi)加強(qiáng)筋，所述腔體的外壁與所述側(cè)面法蘭之間設(shè)有外加強(qiáng) 筋。
9. 如權(quán)利要求1所述的傳輸設(shè)備，其特征在于所述側(cè)面法蘭呈平板狀。
10. 如權(quán)利要求1所述的傳輸設(shè)備，其特征在于所述腔體呈圓柱體或多邊形柱體。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種傳輸設(shè)備，包括底座、腔體、機(jī)械手、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)軸、多個(gè)側(cè)面法蘭及與側(cè)面法蘭相互對(duì)應(yīng)的傳感器、閘門及閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，腔體呈中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)形成機(jī)械手活動(dòng)腔，驅(qū)動(dòng)軸的一端密封穿過腔體的底部且延伸入機(jī)械手活動(dòng)腔內(nèi)并與機(jī)械手連接，驅(qū)動(dòng)軸另一端與機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與控制系統(tǒng)電連接，側(cè)面法蘭具有傳輸通道，側(cè)面法蘭設(shè)置于腔體的側(cè)壁上且傳輸通道與機(jī)械手活動(dòng)腔連通，閘門安裝于側(cè)面法蘭的傳輸通道內(nèi)并與閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，閘門驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于腔體上且與傳感器電連接，傳感器與控制系統(tǒng)電連接。本實(shí)用新型能充分利用腔體內(nèi)部空間且其結(jié)構(gòu)緊湊、兼容性高并便于腔體內(nèi)產(chǎn)品傳輸。
文檔編號(hào)B25J19/00GK201446534SQ200920059250
公開日2010年5月5日 申請(qǐng)日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司